JP5523753B2 - 生産指標情報生成装置、プログラム及び生産情報生成方法 - Google Patents

Description

本発明は、生産に関する情報を生成する技術に関する。

半導体等の生産においては、生産する製品について、各生産工程で使用する生産装置、各生産装置に投入する時間、等のシミュレーションを行って、生産計画を立案することが行われている（例えば、特許文献１参照）。

米国特許第６８８９１７８号明細書

生産計画を立案するためのシミュレーションを行う際には、各生産工程で使用する生産装置の能力を特定する指標等をオペレータが手動で入力しなければならず、不便であった。

そこで、本発明は、生産装置の能力を特定する指標を容易に取得できるようにすることを目的とする。

以上の課題を解決するため、本発明は、生産装置のログ情報より、当該生産装置の能力を特定する指標を取得する。

例えば、本発明は、生産装置の生産能力を特定する生産指標情報を生成する生産指標情報生成装置であって、前記生産装置と、前記生産装置が処理した処理対象と、当該処理対象に処理を行った開始時間と、当該処理対象の処理を終了した終了時間と、を特定するログ情報を記憶する記憶部と、制御部と、を備え、前記制御部は、前記ログ情報に基づいて、互いに前後する処理対象の前記終了時間同士の時間差が予め定めた閾値以下になる場合、前記互いに前後する処理対象が同一のグループに属するように、前記グループを生成する処理と、前記グループに含まれる前記処理対象を、前記グループに含まれる前記処理対象の数に応じ
た分類に分類する処理と、前記分類毎に、前記分類に含まれるサイクルタイムを特定するサイクルタイム情報を生成する処理と、前記分類毎のサイクルタイム情報を予め定められた形式の表示形式にして出力部に出力する処理と、を行うこと、を特徴とする。

以上のように、本発明によれば、生産装置の能力を特定する指標を容易に取得できるようになる。

生産指標情報生成装置の概略図。 ログ情報テーブルの概略図。 コンピュータの概略図。 生産指標情報生成装置での処理を示すフローチャート。 スループット情報出力画面の概略図。 サイクルタイム情報出力画面の概略図。 ウェハのサイクルタイムのヒストグラム。 線形回帰情報出力画面の概略図。 生産指標情報テーブルの概略図。 生産指標情報生成装置の概略図。 生産指標情報テーブルの概略図。 スループット情報出力画面の概略図。 サイクルタイム情報出力画面の概略図。 スループット情報出力画面の概略図。 サイクルタイム情報出力画面の概略図。 スループット情報出力画面の概略図。 サイクルタイム情報出力画面の概略図。

図１は、本発明の第一の実施形態である生産指標情報生成装置１００の概略図である。図示するように、生産指標情報生成装置１００は、記憶部１１０と、制御部１２０と、入力部１３０と、出力部１４０と、通信部１５０と、を備える。

記憶部１１０は、ログ情報記憶領域１１１と、サイクルタイム情報記憶領域１１２と、線形回帰情報記憶領域１１３と、生産指標情報記憶領域１１４と、を備える。

ログ情報記憶領域１１１には、生産設備で使用されている生産装置に処理対象物（ここではウェハ）を投入した時間と、当該処理対象物に対して当該生産装置での処理が終了した時間と、を特定するログ情報が記憶される。例えば、本実施形態においては、図２（ログ情報テーブル１１１ａの概略図）に示すようなログ情報テーブル１１１ａが記憶される。

図示するように、ログ情報テーブル１１１ａは、ウェハＩＤ欄１１１ｂと、製品種別ＩＤ欄１１１ｃと、ロットＩＤ欄１１１ｄと、処理欄１１１ｅと、開始時間欄１１１ｆと、終了時間欄１１１ｇと、装置ＩＤ欄１１１ｈと、を有する。

ウェハＩＤ欄１１１ｂには、後述する装置ＩＤ欄１１１ｈで特定される生産装置での処理対象であるウェハを特定する情報が格納される。本実施形態においては、ウェハを特定する情報として、各々のウェハを一意に識別するための識別情報であるウェハＩＤが格納される。

製品種別ＩＤ欄１１１ｃには、ウェハＩＤ欄１１１ｂで特定されるウェハが使用される製品の種別を特定する情報が格納される。本実施形態においては、製品の種別を特定する情報として、各々の製品の種別を一意に識別するための識別情報である製品ＩＤが格納される。

ロットＩＤ欄１１１ｄには、ウェハＩＤ欄１１１ｂで特定されるウェハが含まれるロットを特定する情報が格納される。本実施形態においては、ロットを特定する情報として、各々のロットを一意に識別するための識別情報であるロットＩＤが格納される。

処理欄１１１ｅには、ウェハＩＤ欄１１１ｂで特定されるウェハに対して、後述する装置ＩＤ欄１１１ｈで特定される生産装置が行う処理を特定する情報が格納される。本実施形態においては、処理を特定する情報として、各々の処理の処理名が格納される。

開始時間欄１１１ｆには、ウェハＩＤ欄１１１ｂで特定されるウェハに対して、後述する装置ＩＤ欄１１１ｈで特定される生産装置が処理を開始した時間（ここでは、年月日時間）を特定する情報が格納される。

終了時間欄１１１ｇには、ウェハＩＤ欄１１１ｂで特定されるウェハに対して、後述する装置ＩＤ欄１１１ｈで特定される生産装置が処理を終了した時間（ここでは、年月日時間）を特定する情報が格納される。

装置ＩＤ欄１１１ｈには、ウェハＩＤ欄１１１ｂで特定されるウェハに対して処理を行う生産装置を特定する情報が格納される。本実施形態においては、生産装置を特定する情報として、各々の生産装置を一意に識別するための識別情報である装置ＩＤが格納される。

サイクルタイム情報記憶領域１１２には、生産装置及び製品種別毎にグループ分けされたウェハのサイクルタイムを特定するサイクルタイム情報が記憶される。なお、サイクルタイム情報については、図６を用いて詳細に説明する。

線形回帰情報記憶領域１１３には、生産装置及び製品種別毎にグループ分けされたウェハのサイクルタイムに対して線形回帰分析を行うことにより、算出される回帰直線を特定する線形回帰情報が記憶される。なお、線形回帰情報については、図８を用いて詳細に説明する。

生産指標情報記憶領域１１４には、製品種別毎の生産装置の生産能力を特定する生産指標情報が記憶される。なお、生産指標情報については、図９を用いて詳細に説明する。

制御部１２０は、ログ情報抽出部１２１と、サイクルタイム情報生成部１２２と、線形回帰情報生成部１２３と、生産指標情報生成部１２４と、を備える。

ログ情報抽出部１２１は、ログ情報記憶領域１１１に記憶されているログ情報テーブル１１１ａより、生産装置及び製品種別毎のログ情報を抽出する。

サイクルタイム情報生成部１２２は、ログ情報抽出部１２１が抽出したログ情報より、予め定められた時間間隔内に処理が終了したウェハをグループ分けして、当該グループに含まれるウェハのサイクルタイムを、当該グループに含まれるウェハの数毎の分類に分類したサイクルタイム情報を生成して、サイクルタイム情報記憶領域１１２に記憶する。

線形回帰情報生成部１２３は、サイクルタイム情報生成部１２２が生成したサイクルタイム情報より、グループに含まれるウェハの数毎に分類されたサイクルタイムの値から基準値を特定し、特定された基準値に対して線形回帰分析を行うことで回帰直線を算出し、算出した回帰直線を特定する線形回帰情報を生成して、線形回帰情報記憶領域１１３に記憶する。

生産指標情報生成部１２４は、線形回帰情報生成部１２３が生成した線形回帰情報より、生産装置の生産能力を特定する生産指標情報を生成し、生産指標情報記憶領域１１４に記憶する。

入力部１３０は、情報の入力を受け付ける。

出力部１４０は、情報を出力する。

通信部１５０は、ネットワークを介した情報の送受信を行う。

以上に記載した生産指標情報生成装置１００は、例えば、図３（コンピュータ９００の概略図）に示すような、ＣＰＵ（Central Processing Unit）９０１と、メモリ９０２と、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）等の外部記憶装置９０３と、ＣＤ（Compact Disk）やＤＶＤ（Digital Versatile Disk）等の可搬性を有する記憶媒体９０４に対して情報を読み書きする読書装置９０５と、キーボードやマウスなどの入力装置９０６と、ディスプレイなどの出力装置９０７と、通信ネットワークに接続するためのＮＩＣ（Network Interface Card）等の通信装置９０８と、を備えた一般的なコンピュータ９００で実現できる。

例えば、記憶部１１０は、ＣＰＵ９０１がメモリ９０２又は外部記憶装置９０３を利用することにより実現可能であり、制御部１２０は、外部記憶装置９０３に記憶されている所定のプログラムをメモリ９０２にロードしてＣＰＵ９０１で実行することで実現可能であり、入力部１３０は、ＣＰＵ９０１が入力装置９０６を利用することで実現可能であり、出力部１４０は、ＣＰＵ９０１が出力装置９０７を利用することで実現可能であり、通信部１５０は、ＣＰＵ９０１が通信装置９０８を利用することで実現可能である。

この所定のプログラムは、読書装置９０５を介して記憶媒体９０４から、あるいは、通信装置９０８を介してネットワークから、外部記憶装置９０３にダウンロードされ、それから、メモリ９０２上にロードされてＣＰＵ９０１により実行されるようにしてもよい。また、読書装置９０５を介して記憶媒体９０４から、あるいは、通信装置９０８を介してネットワークから、メモリ９０２上に直接ロードされ、ＣＰＵ９０１により実行されるようにしてもよい。

図４は、生産指標情報生成装置１００での処理を示すフローチャートである。

まず、生産指標情報生成装置１００のログ情報抽出部１２１は、ログ情報記憶領域１１１に記憶されているログ情報テーブル１１１ａにおいて、後述するステップＳ１８の生産指標情報を生成していない生産装置に対応する装置ＩＤを装置ＩＤ欄１１１ｈより一つ特定する（Ｓ１０）。

次に、ログ情報抽出部１２１は、ログ情報テーブル１１１ａにおいて、ステップＳ１０特定した装置ＩＤが装置ＩＤ欄１１１ｈに格納されているレコードの製品種別ＩＤ欄１１１ｃに格納されている製品種別ＩＤより、後述するステップＳ１８の生産指標情報を生成していない製品種別に対応する製品種別ＩＤを一つ特定する（Ｓ１１）。

次に、ログ情報抽出部１２１は、ステップＳ１０で特定した装置ＩＤ及びステップＳ１１で特定した製品種別ＩＤが、それぞれ装置ＩＤ欄１１１ｈ及び製品種別ＩＤ欄１１１ｃに格納されているレコードの全ての欄に格納されている情報をログ情報として抽出する（Ｓ１２）。

なお、ログ情報抽出部１２１は、ステップＳ１２で抽出したログ情報より、予め設定された開始時点から、処理が終了したウェハと、処理が終了した時点における累積の処理数（スループット）と、を特定するスループット情報を生成することも可能である。

例えば、ログ情報抽出部１２１は、図５（スループット情報出力画面１６０の概略図）に示すようなスループット情報出力画面１６０のように、ｘ軸（横軸）を予め設定された開始時点からの特定の時間（ここでは、年月日時間）とし、ｙ軸（縦軸）に処理が終了したウェハのスループット（累積処理数）としたグラフを生成し、ログ情報の終了時間に対応するｘ軸の情報に、予め設定された開始時点からのウェハのスループットに対応する位置に点を描画することで、スループット情報とすることができる。

次に、サイクルタイム情報生成部１２２は、ステップＳ１２で抽出されたログ情報において、終了時間欄１１１ｇに格納されていた終了時間が相前後するウェハのうち、相前後する終了時間が連続して予め定められた閾値以下となるものからなるグループを生成する（Ｓ１３）。

例えば、サイクルタイム情報生成部１２２は、図５の破線で囲まれたウェハによりグループを生成する。

次に、サイクルタイム情報生成部１２２は、ステップＳ１３でグループ分けされた各々のグループに含まれるウェハのサイクルタイムを、ログ情報の開始時間欄１１１ｇに格納されていた開始時間から終了時間欄１１１ｇに格納されていた終了時間までの時間で算出し、算出したウェハのサイクルタイムを、当該グループに含まれるウェハの数毎に分類したサイクルタイム情報を生成する（Ｓ１４）。

例えば、サイクルタイム情報生成部１２２は、図６（サイクルタイム情報出力画面１６１の概略図）に示すようなサイクルタイム情報出力画面１６１のように、ｘ軸（横軸）をグループ内のウェハ数とし、ｙ軸（縦軸）をウェハのサイクルタイムとするグラフを生成し、ｘ軸の隣接するウェハ数同士の間に設けられた矩形状の領域に、横軸の隣接するウェハ数のいずれか一方に含まれるウェハのサイクルタイムに対応する位置に点を描画（点の中心が相重ならないように描画）することで、サイクルタイム情報とすることができる。

なお、このようにして生成されたサイクルタイム情報は、ステップＳ１０及びＳ１１で特定した装置ＩＤ及び製品種別ＩＤに対応付けて、サイクルタイム情報記憶領域１１２に記憶する。

次に、線形回帰情報生成部１２３は、ステップＳ１４で生成されたサイクルタイム情報において、各グループに含まれるウェハ数の分類毎に、当該分類に含まれるウェハのサイクルタイムのヒストグラム（サイクルタイムと、当該サイクルタイムを有するウェハ数（度数）と、のヒストグラム）を生成し（図７参照）、最大のウェハ数に対して所定の割合（ここでは、例えば、２５パーセント）だけ低いウェハ数のサイクルタイムのうち、最大のウェハ数に対応するサイクルタイムよりも小さいサイクルタイムの値を基準値として特定する（Ｓ１５）。

ステップＳ１５は、ログ情報における開始時間及び終了時間の入力エラー（ノイズ成分）を取り除くために行う処理であり、このような入力エラーがない場合には、各々の分類に含まれるウェハのサイクルタイムの最小値を基準値として使用することも可能である。

次に、線形回帰情報生成部１２３は、ステップＳ１５で特定した基準値に対して線形回帰分析を行うことで回帰直線を算出し（最小二乗法等）、算出した回帰直線を特定する線形回帰情報を生成する（Ｓ１６）。

例えば、線形回帰情報生成部１２３は、図８（線形回帰情報出力画面１６２の概略図）に示すように、図６に示すようなサイクルタイム情報出力画面１６１において、ステップＳ１５で特定した基準値をプロットし、プロットした基準値に基づいて回帰直線（近似直線）を引くことで、線形回帰情報とすることができる。

なお、このようにして生成された線形回帰情報は、線形回帰情報記憶領域１１３に記憶される。

次に、生産指標情報生成部１２４は、ステップＳ１２で抽出されたログ情報、ステップＳ１４で生成されたサイクルタイム情報及びステップＳ１６で特定された回帰直線から製品種別及び生産装置毎の生産能力を示す生産指標を特定し、生産指標情報として、例えば、図９（生産指標情報テーブル１１４ａの概略図）に示すような生産指標情報テーブル１１４ａに格納する（Ｓ１７）。

図示するように、生産指標情報テーブル１１４ａは、ステップ欄１１４ｂと、処理欄１１４ｃと、割合欄１１４ｄと、ａ（傾き）欄１１４ｅと、ｂ（切片）欄１１４ｆと、搭載可能数欄１１４ｇと、装置ＩＤ欄１１４ｈと、製品種別ＩＤ欄１１４ｉと、を有する。

ステップ欄１１４ｂには、後述する製品種別ＩＤ欄１１４ｉで特定される製品種別を生産する際に、装置ＩＤ欄１１４ｈで特定される生産装置にウェハを投入する順番を特定する情報が格納される。

例えば、生産指標情報生成部１２４は、ステップＳ１２で抽出したログ情報の開始時間欄１１１ｆに格納されていた開始時間と、終了時間欄１１１ｇに格納されていた終了時間と、によりウェハを生産装置に投入する順番を特定し、特定した順番をステップ欄１１４ｂに格納する。

なお、生産指標情報生成部１２４は、ウェハを生産装置に投入する順番を特定した際に、同じ製品種別ＩＤに使用される一のウェハ及び他のウェハが、異なる装置ＩＤで特定される生産装置に投入される部分がある場合には、この部分については、複数の製造装置で一つのステップが構成されているものとして、一つの順番を割り当てる。

処理欄１１４ｃには、後述する装置ＩＤ欄１１４ｈで特定される生産装置が行う処理を特定する情報が格納される。

ここで、生産指標情報生成部１２４は、ステップＳ１２で抽出したログ情報の処理欄１１１ｅに格納されていた処理名を処理欄１１４ｃに格納する。

割合欄１１４ｄには、ステップＳ１２で抽出したログ情報において、後述する製品種別ＩＤ欄１１４ｉで特定される製品を製造する際に、後述する装置ＩＤ欄１１４ｈで特定される生産装置に投入されるウェハの割合を特定する情報が格納される。

例えば、ウェハを生産装置に投入する順番を特定した際に、同じ製品種別ＩＤの製品に使用される一のウェハ及び他のウェハが、異なる装置ＩＤで特定される生産装置に投入される場合には、割合欄１１４ｄには、１００％未満の値が格納される。

なお、生産指標情報生成部１２４は、ステップＳ１２で抽出したログ情報において、後述する装置ＩＤ欄１１４ｈに対応する装置ＩＤが装置ＩＤ欄１１１ｈに格納されているウェハ数を、ステップＳ１２で抽出したログ情報で特定される全てのウェハ数で除算し、「１００」を乗算して算出した割合を、割合欄１１４ｄに格納する。

ａ（傾き）欄１１４ｅには、ステップＳ１６で算出した回帰直線の傾きの値が格納される。

ｂ（切片）欄１１４ｆには、ステップＳ１６で算出した回帰直線のｙ切片の値が格納される。

搭載可能数欄１１４ｇには、ステップＳ１６で算出した回帰直線の傾きの値が、ほぼ「０」（０±所定の閾値の範囲内）の場合には、ステップＳ１４で生成されたサイクルタイム情報において、各々の分類に含まれるウェハが属するグループの数が所定の閾値以上の分類のうち、グループに含まれるウェハの数の最大値が格納され、ステップＳ１６で算出した回帰直線の傾きの値が、ほぼ「０」（０±所定の閾値の範囲内）ではない場合には、「１」が格納される。

装置ＩＤ欄１１４ｈには、ステップＳ１０で選択された装置ＩＤが格納される。

製品種別ＩＤ欄１１４ｉには、ステップＳ１１で選択された製品種別ＩＤが格納される。

図４に戻り、次に、ログ情報抽出部１２１は、ログ情報テーブル１１１ａより、ステップＳ１０で選択された生産装置で生産する製品の内、ステップＳ１７で生産指標情報を生成していない製品があるか否かを確認し（Ｓ１８）、ある場合には（ステップＳ１８でＹｅｓ）ステップＳ１１に戻り処理を繰り返し、ない場合には（ステップＳ１８でＮｏ）ステップＳ１９に進む。

ステップＳ１９では、ログ情報抽出部１２１は、ログ情報テーブル１１１ａより、ステップＳ１７で生産指標情報を生成していない生産装置があるか否かを確認し、ある場合には（ステップＳ１９でＹｅｓ）ステップＳ１０に戻り処理を繰り返し、ない場合には（ステップＳ１９でＮｏ）処理を終了する。

以上のように、本実施形態によれば、ログ情報から容易に製品及び生産装置毎の生産指標を特定することができる。このため、このような生産指標を用いることにより、製品毎のシミュレーションを容易に行うことができるようになる。

例えば、ある製品及びある生産装置の回帰直線がｙ＝ａｘ＋ｂである場合、ｘに一ロット当たりのウェハ数を代入することで、ｙの値として、この製品におけるこの生産装置の一ロット当たりのサイクルタイムを算出することができるようになり、ある製品を製造するラインに配置する生産装置を特定することにより、製品全体のサイクルタイムを容易に算出することができる。

図１０は、本発明の第二の実施形態である生産指標情報生成装置２００の概略図である。図示するように、生産指標情報生成装置２００は、記憶部２１０と、制御部２２０と、入力部１３０と、出力部１４０と、通信部１５０と、を備える。

記憶部２１０は、ログ情報記憶領域１１１と、サイクルタイム情報記憶領域１１２と、線形回帰情報記憶領域１１３と、生産指標情報記憶領域２１４と、を備え、第一の実施形態と比較して生産指標情報記憶領域２１４が異なっているため、以下、生産指標情報記憶領域２１４について説明する。

生産指標情報記憶領域２１４には、製品種別及び生産装置毎の生産能力を示す生産指標情報が記憶される。例えば、本実施形態においては、図１１（生産指標情報テーブル２１４ａの概略図）に示すような生産指標情報テーブル２１４ａが記憶される。

生産指標情報テーブル２１４ａは、ステップ欄２１４ｂと、処理欄２１４ｃと、割合欄２１４ｄと、タイプ欄２１４ｊと、ａ（傾き）欄２１４ｅと、ｂ（切片）欄２１４ｆと、搭載可能数欄２１４ｇと、装置ＩＤ欄２１４ｈと、製品種別ＩＤ欄２１４ｉと、を有し、第一の実勢形態における生産指標情報テーブル１１４ａと比較して、タイプ欄２１４ｊが追加されている点で異なっているため、以下、タイプ欄２１４ｊに格納される情報について説明する。

タイプ欄２１４ｊには、装置ＩＤ欄２１４ｈで特定される生産装置が処理対象に対して処理を行うタイプを特定する情報が格納される。

ここで、本実施形態においては、処理を行うタイプを特定する情報として、生産装置が一つの処理対象に対して一つのプロセスで処理を行う「シングル」、生産装置が一つの処理対象に対して複数のプロセスで処理を行う（生産装置が複数の処理対象に対して複数のプロセスを並行して行う）「マルチ」、生産装置が複数の処理対象に対して同時に処理を行う「バッチ」、の三つのタイプの何れかが格納されるようになっている。

図１０に戻り、制御部２２０は、ログ情報抽出部１２１と、サイクルタイム情報生成部１２２と、線形回帰情報生成部１２３と、生産指標情報生成部２２４と、を備え、第一の実施形態と比較して、生産指標情報生成部２２４での処理が異なっているため、以下、生産指標情報生成部２２４での処理に関連する事項について説明する。

本実施形態における生産指標情報生成部２２４は、第一の実施形態と同様の生産指標情報を生成する他、各生産装置での処理タイプを分類して、当該処理タイプについても生産指標情報に追加する。

例えば、ログ情報抽出部１２１がログ情報テーブル１１１ａより特定の製品及び特定の製造装置に対応して抽出したログ情報において、図１２（スループット情報出力画面２６０の概略図）に示すようなスループット情報出力画面２６０のように、複数のウェハが同時（特定の狭い時間範囲）に出力される場合には、サイクルタイム情報生成部１２２において、生成されるサイクルタイム情報は、図１３に示すようなサイクルタイム情報出力画面２６２のように、グループ内のウェハ数で分類されたウェハのサイクルタイムが、グループ内のウェハ数によらずにほぼ一定のサイクルタイムに集中する。

このような場合には、線形回帰情報生成部１２３で算出される回帰直線は、図１３に示すように、ｘ軸にほぼ平行な直線となる（傾きの値が「０」±所定の閾値の範囲内）。

このような回帰直線が算出された場合には、生産指標情報生成部２２４は、生産指標情報テーブル２１４ａのタイプ欄２１４ｊに「バッチ」の文字列を格納し、ａ（傾き）欄２１４ｅには「０」を、ｂ（切片）欄２１４ｆには回帰直線のｙ切片の値を、搭載可能数欄２１４ｇには、サイクルタイム情報生成部１２２で生成されたサイクルタイム情報において、グループに含まれるウェハの数で分類した際に、分類に含まれるウェハが属するグループの数が所定の閾値以上の分類のうち、グループに含まれるウェハの数の最大値を格納する。

また、ログ情報抽出部１２１がログ情報テーブル１１１ａより特定の製品及び特定の製造装置に対応して抽出したログ情報において、図１４（スループット情報出力画面３６０の概略図）に示すようなスループット情報出力画面３６０のように、複数のウェハが周期的に連続して出力されるような場合には、サイクルタイム情報生成部１２２において、生成されるサイクルタイム情報は、図１５に示すようなサイクルタイム情報出力画面３６２のようになる。

このような場合には、線形回帰情報生成部１２３で算出される回帰直線は、図１５に示すように、傾きの値が０よりも大きくなり、また、ｙ切片の値が「０」＋所定の閾値の範囲を超えて大きくなる。

このような回帰直線が算出された場合には、生産指標情報生成部２２４は、生産指標情報テーブル２１４ａのタイプ欄２１４ｊに「マルチ」の文字列を格納し、ａ（傾き）欄２１４ｅには回帰直線の傾きの値を、ｂ（切片）欄２１４ｆには回帰直線のｙ切片の値を、搭載可能数欄２１４ｇには「１」を格納する。

さらに、ログ情報抽出部１２１がログ情報テーブル１１１ａより特定の製品及び特定の製造装置に対応して抽出したログ情報において、図１６（スループット情報出力画面４６０の概略図）に示すようなスループット情報出力画面４６０のように、ウェハが一つずつ連続して出力されるような場合には、サイクルタイム情報生成部１２２において、生成されるサイクルタイム情報は、図１７に示すようなサイクルタイム情報出力画面４６２のようになる。

このような場合には、線形回帰情報生成部１２３で算出される回帰直線は、図１５に示すように、傾きの値が０よりも大きくなり、また、ｙ切片の値がほぼ「０」（「０」＋所定の閾値の範囲内）となる。

このような回帰直線が算出された場合には、生産指標情報生成部２２４は、生産指標情報テーブル２１４ａのタイプ欄２１４ｊに「シングル」の文字列を格納し、ａ（傾き）欄２１４ｅには回帰直線の傾きの値を、ｂ（切片）欄２１４ｆには「０」の値を、搭載可能数欄２１４ｇには「１」の値を、格納する。

本発明の第二の実施形態によれば、生産指標情報テーブル２１４ａのａ（傾き）欄２１４ｅに格納されている値をａ、ｂ（切片）欄２１４ｆに格納されている値をｂ、搭載可能数欄２１４ｇに格納されている値をｃ、とすると、製品を生産する際のシミュレーションにおいて、生産指標情報テーブル２１４ａのタイプ欄２１４ｊに「シングル」の文字列が格納されているレコードの装置ＩＤ欄２１４ｈで特定される生産装置については、下記の（１）式で、ロット毎のサイクルタイムＣＴ_ｌｏｔを算出することができる。

ここで、ＬｏｔＳｉｚｅは、ロットに含まれるウェハの数である。

また、生産指標情報テーブル２１４ａのタイプ欄２１４ｊに「バッチ」の文字列が格納されているレコードの装置ＩＤ欄２１４ｈで特定される生産装置については、下記の（２）式で、ロット毎のサイクルタイムＣＴ_ｌｏｔを算出することができる。

ここで、Ｒｏｕｎｄｕｐは、小数点以下を繰り上げることを示している。

さらに、生産指標情報テーブル２１４ａのタイプ欄２１４ｊに「マルチ」の文字列が格納されているレコードの装置ＩＤ欄２１４ｈで特定される生産装置については、下記の（３）式で、ロット毎のサイクルタイムＣＴ_ｌｏｔを算出することができる。

ここで、ＣＴ_{ｗａｆｅｒ}は、回帰直線ｙ＝ａｘ＋ｂにおいて、ｘ＝１の値を代入したときのｙの値である。

なお、生産指標情報生成部２２４は、まず、生産装置がバッチタイプであるか否かを判断し、次に、マルチタイプであるか否かを判断し、最後に、シングルタイプであるか否かの順番で判断することが望ましい。

以上のように、本発明の第二の実施形態によれば、生産装置のシミュレーションを行う際に、生産装置の処理タイプにより生産能力を示す生産指標を容易に取得することが可能である。

以上に記載した実施形態においては、生産指標情報テーブル１１４ａ、２１４ａを作成するようにしているが、例えば、図６に示すようなサイクルタイム情報出力画面１６１や図８に示すような線形回帰情報出力画面１６２を出力部１４０に出力するだけでも、生産能力を把握する生産指標とすることができるため、図６に示すようなサイクルタイム情報出力画面１６１及び図８に示すような線形回帰情報出力画面１６２の少なくとも何れか一方を生成することで処理を終了してもよい。

なお、記憶部１１０、２１０のログ情報記憶領域１１１に記憶する情報については、ＭＥＳ（Manufacturing Execution System）からネットワーク等を介して取得するようにしてもよく、また、入力部１３０を介して、オペレータより入力を受け付けてもよい。

１００、２００ 生産指標情報生成装置
１１０、２１０ 記憶部
１１１ ログ情報記憶領域
１１２ サイクルタイム情報記憶領域
１１３ 線形回帰情報記憶領域
１１４、２１４ 生産指標情報記憶領域
１２０、２２０ 制御部
１２１ ログ情報抽出部
１２２ サイクルタイム情報生成部
１２３ 線形回帰情報生成部
１２４、２２４ 生産指標情報生成部

Claims (15)

1. 生産装置の生産能力を特定する生産指標情報を生成する生産指標情報生成装置であって、
   前記生産装置と、前記生産装置が処理した処理対象と、当該処理対象に処理を行った開始時間と、当該処理対象の処理を終了した終了時間と、を特定するログ情報を記憶する記憶部と、制御部と、を備え、
   前記制御部は、
   前記ログ情報に基づいて、互いに前後する処理対象の前記終了時間同士の時間差が予め定めた閾値以下になる場合、前記互いに前後する処理対象が同一のグループに属するように、前記グループを生成する処理と、
   前記グループに含まれる前記処理対象を、前記グループに含まれる前記処理対象の数に応じた分類に分類する処理と、
   前記分類毎に、前記分類に含まれるサイクルタイムを特定するサイクルタイム情報を生成する処理と、
   前記分類毎のサイクルタイム情報を予め定められた形式の表示形式にして出力部に出力する処理と、を行うこと、
   を特徴とする生産指標情報生成装置。
2. 請求項１に記載の生産指標情報生成装置であって、
   前記制御部は、
   前記サイクルタイム情報より、前記サイクルタイムを一方の軸とし、前記分類に対応する数を他方の軸とする座標系において、前記分類毎に、前記分類に含まれる処理対象のサイクルタイムのうち、予め定められた基準により選択されたサイクルタイムを基準点として、当該基準点の回帰直線を求め、当該回帰直線の傾き及び切片を前記生産装置の生産指標情報とすること、
   を特徴とする生産指標情報生成装置。
3. 請求項２に記載の生産指標情報生成装置であって、
   前記制御部は、
   前記回帰直線の傾きが０から予め定められた閾値の範囲内にある場合には、前記生産指標情報に、前記生産装置が複数の処理対象を同時に処理するものであることを特定する情報を含めること、
   を特徴とする生産指標情報生成装置。
4. 請求項２又は３に記載の生産指標情報生成装置であって、
   前記制御部は、
   前記回帰直線の傾きが予め定められた閾値よりも大きく、前記回帰直線の切片が０から予め定められた閾値の範囲内にある場合には、前記生産指標情報に、前記生産装置が一つの処理対象を一つのプロセスで処理するものであることを特定する情報を含めること、
   を特徴とする生産指標情報生成装置。
5. 請求項２〜４の何れか一項に記載の生産指標情報生成装置であって、
   前記制御部は、
   前記回帰直線の傾きが予め定められた閾値よりも大きく、前記回帰直線の切片が予め定められた閾値よりも大きい場合には、前記生産指標情報に、前記生産装置が一つの処理対象を複数のプロセスで処理するものであることを特定する情報を含めること、
   を特徴とする生産指標情報生成装置。
6. 請求項２〜５の何れか一項に記載の生産指標情報生成装置であって、
   前記制御部は、
   サイクルタイムを一方の軸とし、当該サイクルタイムに対応する前記処理対象の個数を他方の軸とするヒストグラムにおいて、最も個数の多いサイクルタイムに対して、予め定められた割合であって、最も個数の多いサイクルタイムよりも小さいサイクルタイムを前記基準点とすること、
   を特徴とする生産指標情報生成装置。
7. 請求項２〜５の何れか一項に記載の生産指標情報生成装置であって、
   前記制御部は、
   前記分類に含まれる処理対象のサイクルタイムの最小値を前記基準点として選択すること、
   を特徴とする生産指標情報生成装置。
8. コンピュータを、
   生産装置と、当該生産装置が処理した処理対象と、当該処理対象に処理を行った開始時間と、当該処理対象の処理を終了した終了時間と、を特定するログ情報を記憶する記憶手段、および、制御手段、として機能させるプログラムであって、
   前記制御手段に、
   前記ログ情報に基づいて、互いに前後する処理対象の前記終了時間同士の時間差が予め定めた閾値以下になる場合、前記互いに前後する処理対象が同一のグループに属するように、前記グループを生成する処理と、
   前記グループに含まれる前記処理対象を、前記グループに含まれる前記処理対象の数に応じた分類に分類する処理と、
   前記分類毎に、前記分類に含まれるサイクルタイムを特定するサイクルタイム情報を生成する処理と、
   前記分類毎のサイクルタイム情報を予め定められた形式の表示形式にして出力部に出力する処理と、を行わせること、
   を特徴とするプログラム。
9. 請求項８に記載のプログラムであって、
   前記制御手段に、
   前記サイクルタイム情報より、前記サイクルタイムを一方の軸とし、前記分類に対応する数を他方の軸とする座標系において、前記分類毎に、前記分類に含まれる処理対象のサイクルタイムのうち、予め定められた基準により選択されたサイクルタイムを基準点として、当該基準点の回帰直線を求め、当該回帰直線の傾き及び切片を前記生産装置の生産指標情報とさせること、
   を特徴とするプログラム。
10. 請求項９に記載のプログラムであって、
    前記制御手段に、
    前記回帰直線の傾きが０から予め定められた閾値の範囲内にある場合には、前記生産指標情報に、前記生産装置が複数の処理対象を同時に処理するものであることを特定する情報を含めさせること、
    を特徴とするプログラム。
11. 請求項９又は１０に記載のプログラムであって、
    前記制御手段に、
    前記回帰直線の傾きが予め定められた閾値よりも大きく、前記回帰直線の切片が０から予め定められた閾値の範囲内にある場合には、前記生産指標情報に、前記生産装置が一つの処理対象を一つのプロセスで処理するものであることを特定する情報を含めさせること、
    を特徴とするプログラム。
12. 請求項９〜１１の何れか一項に記載のプログラムであって、
    前記制御手段に、
    前記回帰直線の傾きが予め定められた閾値よりも大きく、前記回帰直線の切片が予め定められた閾値よりも大きい場合には、前記生産指標情報に、前記生産装置が一つの処理対象を複数のプロセスで処理するものであることを特定する情報を含めさせること、
    を特徴とするプログラム。
13. 請求項９〜１２の何れか一項に記載のプログラムであって、
    前記制御手段に、
    サイクルタイムを一方の軸とし、当該サイクルタイムに対応する前記処理対象の個数を他方の軸とするヒストグラムにおいて、最も個数の多いサイクルタイムに対して、予め定められた割合であって、最も個数の多いサイクルタイムよりも小さいサイクルタイムを前記基準点とさせること、
    を特徴とするプログラム。
14. 請求項９〜１２の何れか一項に記載のプログラムであって、
    前記制御手段に、
    前記分類に含まれる処理対象のサイクルタイムの最小値を前記基準点として選択させること、
    を特徴とするプログラム。
15. 生産装置と、当該生産装置が処理した処理対象と、当該処理対象に処理を行った開始時間と、当該処理対象の処理を終了した終了時間と、を特定するログ情報を記憶する記憶部と、制御部と、を備え、前記生産装置の生産能力を特定する生産指標情報を生成する生産指標情報生成装置が行う生産情報生成方法であって、
    前記制御部が、前記ログ情報に基づいて、互いに前後する処理対象の前記終了時間同士の時間差が予め定めた閾値以下になる場合、前記互いに前後する処理対象が同一のグループに属するように、前記グループを生成する処理を行う過程と、
    前記制御部が、前記グループに含まれる前記処理対象を、前記グループに含まれる前記処理対象の数に応じた分類に分類する処理を行う過程と、
    前記制御部が、前記分類毎に、前記分類に含まれるサイクルタイムを特定するサイクルタイム情報を生成する処理を行う過程と、
    前記制御部が、前記分類毎のサイクルタイム情報を予め定められた形式の表示形式にして出力部に出力する処理を行う過程と、を有すること、
    を特徴とする生産情報生成方法。

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