JP5511713B2 - Linear motor - Google Patents
Linear motor Download PDFInfo
- Publication number
- JP5511713B2 JP5511713B2 JP2011041787A JP2011041787A JP5511713B2 JP 5511713 B2 JP5511713 B2 JP 5511713B2 JP 2011041787 A JP2011041787 A JP 2011041787A JP 2011041787 A JP2011041787 A JP 2011041787A JP 5511713 B2 JP5511713 B2 JP 5511713B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stator
- divided
- phase
- permanent magnets
- structures
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 22
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 9
- BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] Chemical compound N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 7
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 229910001172 neodymium magnet Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Linear Motors (AREA)
Description
この発明は、固定子のストローク全体の一部に対向するように可動子の永久磁石が配置されたリニアモータに関し、特に固定子に対して可動子が相対移動する際のコギング力を抑制するための可動子構造に関するものである。 The present invention relates to a linear motor in which a permanent magnet of a mover is arranged so as to face a part of the entire stroke of the stator, and particularly to suppress cogging force when the mover moves relative to the stator. This relates to the mover structure.
一般に、工作機械や半導体製造装置などの産業機械においては、テーブル送りや搬送機器のアクチュエータに対し、高速化および高精度化の要求が高いことから、近年では、工作機械などにダイレクト駆動のリニアモータがよく用いられるようになっている。 In general, in industrial machines such as machine tools and semiconductor manufacturing equipment, there is a high demand for high speed and high precision for actuators for table feed and transfer equipment. Is often used.
リニアモータは、回転型サーボモータおよびボールネジを組み合わせた駆動方式に比べて、高精度特性および高加速度特性を得ることができ、かつバックラッシュや摩擦による応答誤差が生じないことから、高精度システムを構築する場合に適している。 Compared with a drive system that combines a rotary servo motor and a ball screw, a linear motor can achieve high accuracy and acceleration characteristics, and no response error due to backlash or friction. Suitable for building.
リニアモータは、固定子と、固定子に対して相対移動自在な可動子とを備えており、一般的な固定子は、磁石板の上に複数の永久磁石を配置して構成され、隣接する永久磁石は、互いに異極となるように着磁されている。また、可動子の複数のティースには、それぞれコイルが巻回されている。 The linear motor includes a stator and a mover that can move relative to the stator. The general stator is configured by arranging a plurality of permanent magnets on a magnet plate, and is adjacent to the stator. The permanent magnets are magnetized so as to have different polarities. A coil is wound around each of the teeth of the mover.
前述の回転型サーボモータおよびボールネジを組み合わせた駆動方式の場合には、限界速度以下で運転する必要があるのでストロークに制限があるが、リニアモータの場合には、限界速度やストローク制限の問題は理論上生じない。 In the case of the drive system that combines the rotary servo motor and the ball screw described above, it is necessary to operate at a speed lower than the limit speed, so the stroke is limited. However, in the case of a linear motor, the problem of the limit speed and stroke limit is It does not occur in theory.
しかし、上記構成のリニアモータにおいては、長ストローク化すると、必要とする永久磁石数が増加するうえ、高推力化を目的として、永久磁石にネオジム磁石が多く用いられることから、リニアモータが高価になる原因となっている。
そこで、低コスト化を目的として、ストローク全体の一部に永久磁石を配置したリニアモータが提案されている(たとえば、特許文献1参照)。
However, in the linear motor having the above configuration, when the stroke is increased, the number of required permanent magnets is increased, and a large number of neodymium magnets are used as permanent magnets for the purpose of increasing the thrust. It has become a cause.
Therefore, for the purpose of reducing the cost, a linear motor in which a permanent magnet is arranged in a part of the entire stroke has been proposed (for example, see Patent Document 1).
特許文献1に記載の従来のリニアモータは、隣り合う各2つの磁極が互いに異なる極性を有するように配置された磁極列(可動子)と、磁極列に対向するように配列された電機子列(可動子)と、磁極列と電機子列との間に位置するように配置されかつ互いに間隔を隔てて所定方向に並んだ所定数の軟磁性体(固定子)とにより構成され、電機子列の磁極数と、磁極列の磁極数と、軟磁性体の磁極数との比が「1:M:(1+M)/2」(M>0、かつM≠1)に設定されている。
A conventional linear motor described in
従来のリニアモータは、特許文献1に記載のように、コギング力を低減するための構成を備えていないので、固定子に対する可動子の相対移動時にコギング力が発生して、位置決め精度が悪化するうえ、リニアスケール調整作業時の妨げになるという課題があった。
Since the conventional linear motor does not have a configuration for reducing the cogging force as described in
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、移動可能なストローク全体の一部に対向するように可動子の永久磁石が配置されたリニアモータにおいて、コギング力の低減を実現したリニアモータを得ることを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and in a linear motor in which a mover permanent magnet is arranged so as to face a part of the entire movable stroke, the cogging force is reduced. It aims at obtaining the linear motor which realized.
この発明に係るリニアモータは、固定子と、固定子に対して相対移動自在に配置された可動子とを備え、固定子は、可動子の進行方向に沿って一定のピッチで配列された複数の軟磁性体の磁極により構成され、可動子は、固定子の両面に対して所定のギャップを隔てて対向配置された第1および第2の構造体からなり、第1の構造体は、固定子の一方の面に対向配置された複数のティースと、複数のティースの各々に巻回されたコイルとからなり、第2の構造体は、固定子の他方の面に対向配置された複数の永久磁石と、永久磁石を位置決め固定するコアとからなり、複数の永久磁石は、隣り合う磁極が互いに異極となるように配置されたリニアモータであって、第1および第2の構造体は、進行方向にn分割(nは自然数)され、第1および第2の構造体の分割部の離間距離は、一定の磁極ピッチτに対して、τ/n+m・τ(mは0以上の整数)に設定され、第1および第2の構造体は進行方向に2分割され、2分割された第1の構造体のうち、一方のコイル配置は、U相、V相、W相、・・・の順に設定され、他方のコイル配置は、Uの逆相、Vの逆相、Wの逆相、・・・の順に設定されたものである。 A linear motor according to the present invention includes a stator and a mover disposed so as to be relatively movable with respect to the stator, and the stator is a plurality of stators arranged at a constant pitch along the moving direction of the mover. The movable element is composed of first and second structures that are arranged to face both surfaces of the stator with a predetermined gap therebetween, and the first structure is fixed. The second structure includes a plurality of teeth disposed opposite to one surface of the stator, and a coil wound around each of the plurality of teeth. The second structure includes a plurality of teeth disposed opposite to the other surface of the stator. The permanent magnet includes a permanent magnet and a core for positioning and fixing the permanent magnet. The plurality of permanent magnets are linear motors arranged so that adjacent magnetic poles are different from each other, and the first and second structures are , Divided into n in the traveling direction (n is a natural number) Distance divided portions of the second structure, for a constant magnetic pole pitch τ, τ / n + m · τ (m is an integer of 0 or more) is set to, the first and second structures moving direction In the first structure that is divided into two, one coil arrangement is set in the order of U phase, V phase, W phase,..., And the other coil arrangement is the reverse phase of U. , V reverse phase, W reverse phase,...
この発明によれば、ストローク全体の一部に可動子の永久磁石が配置されたリニアモータにおいて、安価な構成で、コギング1f成分(fは基本波成分)をキャンセル可能な可動子構造を実現することにより、可動子の移動時におけるコギング力を抑制することができる。 According to the present invention, in a linear motor in which a mover permanent magnet is arranged in a part of the entire stroke, a mover structure capable of canceling a cogging 1f component (f is a fundamental wave component) is realized with an inexpensive configuration. Thereby, the cogging force at the time of movement of a needle | mover can be suppressed.
実施の形態1.
以下、図面を参照しながら、この発明の実施の形態1について説明する。
図1はこの発明の実施の形態1に係るリニアモータ100を示す断面図である。
図1において、リニアモータ100は、固定子1と、固定子1に対して相対移動自在な可動子2とにより構成されている。
1 is a sectional view showing a
In FIG. 1, a
固定子1は、移動可能なストローク全体にわたって固定配置された複数の軟磁性体の磁極11からなり、各磁極11は、一定の磁極ピッチτを隔てて進行方向に沿って並べて構成されている。なお、磁極11の材質としては、安価に製作したい場合には鉄が用いられる。また、磁極部の渦電流損を低減したい場合には、電磁鋼板を積層して構成される。
The
可動子2は、固定子1に対向する第1および第2の構造体21、22からなり、第1および第2の構造体21、22は、固定子1のストローク全体の一部の両面に対し、所定のギャップG1、G2を介して対向配置するようにそれぞれ位置決め支持されている。各ギャップG1、G2は同一値であってもよい。
The
第1の構造体21は、コイル4が巻回された複数のティース3により構成され、第2の構造体22は、複数の永久磁石5が固定子対向面に貼り付けられたコア6により構成されている。
第1および第2の構造体21、22は、それぞれ進行方向に2分割されており、固定子1の磁極11の磁極ピッチτに対して、τ/2となるように離間配置されている。
The
The first and
第1の構造体21において、ティース3は、固定子1の磁極11の磁極ピッチτと同一のピッチで配列されている。
一方、第2の構造体22において、永久磁石5は、磁極ピッチτよりも短いピッチで配列され、かつ隣り合う磁極が互いに異極となるように配置されている。
なお、可動子2のティース3やコア6も、固定子1の磁極11と同様に、渦電流損低減を実現するためには、電磁鋼板を積層して構成することが望ましい。
In the
On the other hand, in the
In addition, similarly to the
図1に示したリニアモータ100の場合、第1の構造体21のティース3の数は「6」、第2の構造体22の永久磁石5の数は「8」、ティース3(磁極ピッチτと同ピッチ)に対向する磁極11の数は「6」であり、ティース3の数「6」と磁極の数「6」とが等しい。
したがって、可動子2(第1および第2の構造体21、22)が離間配置されていない場合には、コギング1f成分(および、その倍数成分)が発生する。
In the case of the
Therefore, when the mover 2 (the first and
しかし、図1のリニアモータ100のように、ストローク全体の一部に永久磁石5を配置した構成において、第1および第2の構造体21、22を進行方向にτ/2だけ離間配置することにより、可動子2の分割部で発生するコギング1f成分の位相が180°だけシフトするので、コギング1f成分を低減することが可能である。
However, in the configuration in which the
なお、2分割でコギング1f成分の位相が実質的に180°(+m・360°)ずれていればよいので、分割部の離間距離(ずらし量)は、τ/2に限定されることはなく、0以上の整数mを用いて、m・τ+τ/2に設定してもよい。
また、図1においては、可動子2を2分割した場合を示したが、n分割(nは自然数)した場合には、第1および第2の構造体21、22の分割部の離間距離は、磁極ピッチτに対して、τ/n+m・τに設定されることになる。
Note that the phase of the cogging 1f component only needs to be substantially 180 ° (+ m · 360 °) shifted in two divisions, so the separation distance (shift amount) of the divided portions is not limited to τ / 2. The integer m greater than or equal to 0 may be used to set m · τ + τ / 2.
In addition, FIG. 1 shows the case where the
さらに、図1においては、各ティース3に対するコイル4の巻線が容易となるように、分割部をギャップとしたが、図2に示すように、進行方向に分割された第1および第2の構造体21、22の間にスペーサ7を配置して、ティース3を一体構成としてもよい。
Further, in FIG. 1, the divided portion is a gap so that the winding of the
図2の場合、スペーサ7の材質は、磁性体または非磁性体のいずれであってもよく、第2の構造体21(ティース3)をスペーサ7と一体化することもできる。
同様に、スペーサ7を磁性体とした場合には、第2の構造体22(永久磁石5を貼り付けるコア6)も進行方向にスペーサ7と一体化構成として、実質的にスペーサ7を省略することができる。この場合、部品点数が削減されて製造コストを低減することができる。
In the case of FIG. 2, the material of the spacer 7 may be either a magnetic material or a non-magnetic material, and the second structure 21 (the teeth 3) can be integrated with the spacer 7.
Similarly, when the spacer 7 is made of a magnetic material, the second structure 22 (
以上のように、この発明の実施の形態1(図1、図2)に係るリニアモータ100は、固定子1と、固定子1に対して相対移動自在に配置された可動子2とを備えている。
固定子1は、可動子2の進行方向に沿って一定の磁極ピッチτで配列された複数の軟磁性体の磁極11により構成されている。
As described above, the
The
可動子2は、固定子1の両面に対して所定のギャップG1、G2を隔てて対向配置された第1および第2の構造体21、22により構成されている。
第1の構造体21は、固定子1の一方の面に対向配置された複数のティース3と、複数のティース3の各々に巻回されたコイル4により構成されている。
The
The
第2の構造体22は、固定子1の他方の面に対向配置された複数の永久磁石5と、永久磁石5を位置決め固定するコア6により構成され、複数の永久磁石5は、隣り合う磁極が互いに異極となるように配置されている。
The
第1および第2の構造体21、22は、進行方向にn分割され、第1および第2の構造体21、22の分割部の離間距離は、磁極ピッチτに対して、τ/n+m・τに設定されている。
The first and
具体的には、磁極ピッチτと同ピッチのティース3の数は、ティース3に対向する軟磁性体の磁極11の数と等しい値に設定されており、この場合に、可動子2(図1、図2)の分割構成を適用することによりコギング1f成分をキャンセルすることができる。
Specifically, the number of
すなわち、ストローク全体の一部に可動子2の永久磁石5が配置され、ティース3の数「6」が対向する磁極11の数「6」と等しい値に設定されたリニアモータ100において、安価な構成でコギング1f成分を低減することができる。
That is, in the
実施の形態2.
なお、上記実施の形態1(図1、図2)では、コイル4の相配置について具体的に言及しなかったが、図3に示すように、2分割された第1の構造体21の各々において、ティース3に巻回されたコイル4の相配置順序を、一方ではU相、V相、W相、・・・と設定し、他方ではUの逆相、Vの逆相、Wの逆相、・・・と設定してもよい。
In the first embodiment (FIGS. 1 and 2), the phase arrangement of the
図3はこの発明の実施の形態2に係るリニアモータ100を示す断面図であり、前述と同様のものについては、前述と同一符号を付して詳述を省略する。
図3において、進行方向に2分割された第1の構造体21の各々のティース3に巻回されたコイル4は、分割部の前後で逆相となるように配置されている。
すなわち、第1の構造体21の一方においては、U相、V相、W相の順序であるのに対し、他方においては、Uの逆相、Vの逆相、Wの逆相の順序となっている。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing a
In FIG. 3, the
That is, one of the
以上のように、この発明の実施の形態2(図3)に係るリニアモータ100によれば、第1および第2の構造体21、22は進行方向に2分割され、2分割された第1の構造体21のうち、一方のコイル配置は、U相、V相、W相、・・・の順に設定され、他方のコイル配置は、Uの逆相、Vの逆相、Wの逆相、・・・の順に設定されているので、分布巻係数(≦1.0)を最大値「1.0」に設定することができ、前述のコギング低減効果に加えて、リニアモータ100を高効率に駆動することができる。
As described above, according to the
実施の形態3.
なお、上記実施の形態1、2(図1〜図3)では、3相の磁束バランスについて考慮しなかったが、3相の磁束バランスを改善するために、図4に示すように、分割された第2の構造体22Aの各両端に位置する永久磁石5Aの進行方向幅L2を、他の中間位置の永久磁石5の進行方向幅L1よりも大きい値に設定してもよい。
In the first and second embodiments (FIGS. 1 to 3), the three-phase magnetic flux balance was not considered. However, in order to improve the three-phase magnetic flux balance, the three-phase magnetic flux balance is divided as shown in FIG. The traveling direction width L2 of the
図4はこの発明の実施の形態3に係るリニアモータ100Aを示す断面図であり、前述と同様のものについては、前述と同一符号を付して、または符号の後に「A」を付して詳述を省略する。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a
図5は前述の実施の形態2(図3)の構成における磁束波形を各相(U、V、W)ごとに示す説明図であり、横軸は電気角[°]、縦軸は磁束φ[%]を示している。
図5において、V相(□特性参照)のピークを100%とした場合に、U相およびW相(■特性、黒三角特性参照)のピークは65%程度しかないことが分かる。
FIG. 5 is an explanatory diagram showing the magnetic flux waveform in the configuration of the above-described second embodiment (FIG. 3) for each phase (U, V, W), where the horizontal axis represents the electrical angle [°] and the vertical axis represents the magnetic flux φ. [%].
In FIG. 5, when the peak of the V phase (see □ characteristics) is 100%, the peak of the U phase and the W phase (see ■ characteristics and black triangle characteristics) is only about 65%.
図5のような磁束波形となる原因として、V相は、2分割された第1および第2の構造体21、22(図3参照)の中央に配置されていることから磁束φを集め易いのに対し、U相およびW相は、2分割された第1および第2の構造体21、22の両端に配置されていることから、磁束φを集めにくくなっていることが考えられる。
The cause of the magnetic flux waveform as shown in FIG. 5 is that the V phase is arranged at the center of the two divided first and
そこで、この発明の実施の形態3(図4)においては、分割された第2の構造体22Aの両端に位置する永久磁石5Aの進行方向幅L2を、他の中央部の永久磁石5の進行方向幅L1よりも長く設定することにより、U相およびW相の磁束φを向上させる構成としている。
Therefore, in the third embodiment (FIG. 4) of the present invention, the traveling direction width L2 of the
これにより、3相(U、V、W)のアンバランス(図5参照)が解消されて磁束特性が改善するので、前述のコギング低減効果に加えて、リニアモータ100Aを高効率に駆動することができる。
This eliminates the unbalance (see FIG. 5) of the three phases (U, V, W) and improves the magnetic flux characteristics. In addition to the above-described cogging reduction effect, the
実施の形態4.
なお、上記実施の形態3(図4)では、3相の磁束バランスを改善するために、両端に位置する永久磁石5Aの進行方向幅L2を、中央部の永久磁石5の進行方向幅L1よりも大きい値に設定したが、図6に示すように、分割された第2の構造体22Bの両端に位置する永久磁石5Bの残留磁束密度を、他の中間位置の永久磁石5の残留磁束密度よりも大きい値に設定してもよい。
In the third embodiment (FIG. 4), in order to improve the three-phase magnetic flux balance, the traveling direction width L2 of the
図6はこの発明の実施の形態4に係るリニアモータ100Bを示す断面図であり、前述と同様のものについては、前述と同一符号を付して、または符号の後に「B」を付して詳述を省略する。
FIG. 6 is a cross-sectional view showing a linear motor 100B according to
図6においては、図5に示した3相アンバランスを解消するために、分割された第2の構造体22Bの両端に位置する永久磁石5Bの残留磁束密度を、他の永久磁石5の残留磁束密度よりも大きい値に設定している。すなわち、永久磁石5Bは、他の永久磁石5よりも保持力の大きい磁性材料で構成されている。
これにより、前述の実施の形態3と同様に、3相の磁束バランスが改善するので、前述のコギング低減効果に加えて、リニアモータ100Bを高効率に駆動することができる。
In FIG. 6, in order to eliminate the three-phase imbalance shown in FIG. 5, the residual magnetic flux density of the
As a result, the three-phase magnetic flux balance is improved as in the third embodiment, so that the linear motor 100B can be driven with high efficiency in addition to the cogging reduction effect described above.
実施の形態5.
なお、上記実施の形態3、4(図4、図6)では、3相の磁束バランスを改善するために、第2の構造体22A、22Bの各両端部の永久磁石5A、5Bの磁束特性を向上させたが、図7に示すように、分割された第1の構造体21Cの両端に位置するティース3Cの先端部30の長さを、他の中間位置のティース3の先端部の長さとは異なる値に設定してもよい。
In the third and fourth embodiments (FIGS. 4 and 6), in order to improve the three-phase magnetic flux balance, the magnetic flux characteristics of the
図7はこの発明の実施の形態5に係るリニアモータ100Cを示す断面図であり、前述と同様のものについては、前述と同一符号を付して、または符号の後に「C」を付して詳述を省略する。
FIG. 7 is a cross-sectional view showing a linear motor 100C according to
図7においては、3相のアンバランスを解消するために、分割された第1の構造体21Cの両端に位置するティース3Cの先端部30(外側)が、他の中央部のティース3の先端部よりも長くなるように伸張されている。
In FIG. 7, in order to eliminate the three-phase imbalance, the tips 30 (outside) of the
これにより、両端部に位置するU相およびW相が磁束φを集める範囲が拡大するので、前述と同様に、前述のコギング低減効果に加えて3相アンバランスが改善し、リニアモータ100Cを高効率に駆動することができる。
なお、図7においては、両端に位置するティース3Cの先端部30の長さを伸張させたが、リニアモータ100Cの設計構造に応じて、他のティース3の先端部長さよりも短い値にも設定され得る。
As a result, the U-phase and W-phase located at both ends expand the range in which the magnetic flux φ is collected. Thus, in the same way as described above, the three-phase imbalance is improved in addition to the above-described cogging reduction effect, and the linear motor 100C is increased. It can be driven efficiently.
In FIG. 7, the length of the
実施の形態6.
なお、上記実施の形態1〜5(図1〜図7)では、主としてコギング1fのみを低減するための構成について述べたが、コギング1fのみならず、1fの倍数のコギングを低減するために、図8に示すように、第2の構造体22Dの永久磁石5Dをそれぞれ積層方向に分割し、積層方向に分割された各永久磁石51、52を、磁極ピッチτよりも小さい範囲内で互いにずらして配置してもよい。
In the first to fifth embodiments (FIGS. 1 to 7), the configuration for mainly reducing the cogging 1f has been described. However, in order to reduce not only the cogging 1f but also a cogging of multiples of 1f, As shown in FIG. 8, the permanent magnet 5D of the second structure 22D is divided in the stacking direction, and the
図8はこの発明の実施の形態6に係るリニアモータ100Dを示す断面図であり、前述と同様のものについては、前述と同一符号を付して、または符号の後に「D」を付して詳述を省略する。
FIG. 8 is a cross-sectional view showing a
図8においては、コギング1fのみならず、他のコギング成分も低減するために、永久磁石5Dを積層方向に分割して永久磁石51、52とし、互いにずらして配置する構成としている。
すなわち、永久磁石51、52のずらし量を磁極ピッチτよりも小さく設定することにより、コギング1f成分とは異なる成分(低減要求に応じて設定される)を低減可能となる。
In FIG. 8, in order to reduce not only the cogging 1 f but also other cogging components, the
That is, by setting the shift amount of the
具体的には、永久磁石51、52のずらし量は、たとえばコギング6f成分を低減するためには「τ/12」に設定され、コギングpf成分(pは自然数)を低減するためには「τ/2p」に設定される。
これにより、可動子2Dの移動時におけるコギング力をさらに効果的に抑制することができる。
Specifically, the shift amount of the
Thereby, the cogging force at the time of movement of the needle | mover 2D can be suppressed more effectively.
実施の形態7.
なお、上記実施の形態6(図8)では、コギング1fのみならず、他のコギング成分を低減するために、第2の構造体22Dの永久磁石5Dを積層方向に分割して互いにずらして配置したが、図9に示すように、第1の構造体21Eのティース3Eをそれぞれ積層方向に分割し、積層方向に分割された各ティース31、32を、磁極ピッチτよりも小さい範囲内で互いにずらして配置してもよい。
Embodiment 7 FIG.
In the sixth embodiment (FIG. 8), in order to reduce not only the cogging 1f but also other cogging components, the permanent magnets 5D of the second structural body 22D are divided in the stacking direction and shifted from each other. However, as shown in FIG. 9, the
図9はこの発明の実施の形態7に係るリニアモータ100Eを示す断面図であり、前述と同様のものについては、前述と同一符号を付して、または符号の後に「E」を付して詳述を省略する。
図9においては、他のコギング成分を低減するために、第1の構造体21Eのティース3Eを積層方向に分割してティース31、32とし、互いにずらして配置する構成としている。
FIG. 9 is a cross-sectional view showing a
In FIG. 9, in order to reduce other cogging components, the
この場合も、前述と同様に、コギングpf成分(pは自然数)を低減するためには、各ティース31、32のずらし量を「τ/2p」に設定すればよい。
これにより、可動子2Dの移動時におけるコギング力をさらに効果的に抑制することができる。
Also in this case, as described above, in order to reduce the cogging pf component (p is a natural number), the shift amount of each of the
Thereby, the cogging force at the time of movement of the needle | mover 2D can be suppressed more effectively.
また、図9では、ティース31に対して、ティース32の全体をずらして配置したが、図10のように、ティース32’の先端部30’のみをずらす構成としてもよい。
この場合、コギング力を効果的に抑制することが可能なうえ、ティース32’の巻線部がティース31の巻線部と同一の直線形状となることから、巻線作業も容易となる。
In FIG. 9, the
In this case, the cogging force can be effectively suppressed, and the winding portion of the
実施の形態8.
なお、上記各実施の形態1〜7(図1〜図10)では、可動子2、2A〜3Eを進行方向に2分割する場合について述べたが、図11に示すように、可動子2Fを進行方向に3分割してもよい。
In each of the first to seventh embodiments (FIGS. 1 to 10), the case where the
図11はこの発明の実施の形態8に係るリニアモータ100Fを示す断面図であり、前述と同様のものについては、前述と同一符号を付して、または符号の後に「F」を付して詳述を省略する。
FIG. 11 is a cross-sectional view showing a
図11において、可動子2Fは、進行方向に3分割されており、分割された第1および第2の構造体21F、22Fは、それぞれτ/3だけ離間配置されている。
また、第1の構造体21Fの各ティース3に巻回されたコイル4は、「U相、V相、W相」、「V相、W相、U相」、「W相、U相、V相」の順序で配置されている。
In FIG. 11, the
In addition, the
これにより、3分割された可動子2Fの各コギングの位相が120°ずれるので、前述と同様に、コギング1f成分を低減することが可能となる。
また、コイル4の配置を、「U相、V相、W相」、「V相、W相、U相」、「W相、U相、V相」としたので、効率のよい駆動が可能となる。
As a result, each cogging phase of the
Moreover, since the arrangement of the
さらに、図11のコイル配置によれば、3相コイルが端部および中央部にわたってバランスよく配置されているので、前述の2分割配置と比較して、3相アンバランスが生じにくくなり、さらに効率のよい駆動が可能となる。 Furthermore, according to the coil arrangement of FIG. 11, since the three-phase coil is arranged in a balanced manner across the end and the center, a three-phase imbalance is less likely to occur compared to the two-part arrangement described above, and further efficiency is improved. Can be driven well.
なお、上記各実施の形態1〜8では、第1の構造体のティースを、磁極ピッチτと同一ピッチで配列し、ティースの数と対向磁極数とを一致させた場合を示したが、第1の構造体のティースを、磁極ピッチτとは異なるピッチで配列してもよい。
この場合、低減すべきコギング成分が前述とは異なるが、リニアモータの設計構造に応じて、第1および第2の構造体の分割部の離間距離を適切に設定することにより、コギングを低減することができる。
In the first to eighth embodiments, the case where the teeth of the first structure are arranged at the same pitch as the magnetic pole pitch τ and the number of teeth and the number of opposed magnetic poles are matched is shown. The teeth of one structure may be arranged at a pitch different from the magnetic pole pitch τ.
In this case, although the cogging component to be reduced is different from that described above, cogging is reduced by appropriately setting the separation distance between the divided portions of the first and second structures according to the design structure of the linear motor. be able to.
また、上記各実施の形態1〜8では、それぞれ代表的な構成例について説明したが、各実施の形態の構成を任意に重複して適用することも可能であり、その場合、それぞれの作用効果を重複して得られることは言うまでもない。 Further, in each of the above-described first to eighth embodiments, typical configuration examples have been described. However, it is also possible to apply the configurations of the respective embodiments in an arbitrarily overlapping manner, and in that case, the respective effects are provided. Needless to say, it can be obtained in duplicate.
1 固定子、2、2A、2B、2C、2D、2E、2E’、2F 可動子、3、3C、3E、3E’ ティース、4 コイル、5、5A、5B、5D 永久磁石、6 コア、7 スペーサ、11 磁極、21、21C、21E、21E’、21F 第1の構造体、22、22A、22B、22D、22F 第2の構造体、30、30’ ティースの先端部、31、32、32’ 分割されたティース、51、52 分割された永久磁石、100、100A、100B、100C、100D、100E、100E’、100F リニアモータ、G1、G2 ギャップ、L1、L2 進行方向幅、τ 磁極ピッチ。 1 Stator, 2, 2A, 2B, 2C, 2D, 2E, 2E ′, 2F Mover, 3, 3C, 3E, 3E ′ Teeth, 4 Coil, 5, 5A, 5B, 5D Permanent Magnet, 6 Core, 7 Spacer, 11 Magnetic pole, 21, 21C, 21E, 21E ', 21F First structure, 22, 22A, 22B, 22D, 22F Second structure, 30, 30' Teeth tip, 31, 32, 32 'Divided teeth, 51, 52 Divided permanent magnets, 100, 100A, 100B, 100C, 100D, 100E, 100E', 100F Linear motor, G1, G2 gap, L1, L2 Traveling direction width, τ Magnetic pole pitch.
Claims (8)
前記固定子は、前記可動子の進行方向に沿って一定の磁極ピッチで配列された複数の軟磁性体の磁極により構成され、
前記可動子は、前記固定子の両面に対して所定のギャップを隔てて対向配置された第1および第2の構造体からなり、
前記第1の構造体は、前記固定子の一方の面に対向配置された複数のティースと、前記複数のティースの各々に巻回されたコイルとからなり、
前記第2の構造体は、前記固定子の他方の面に対向配置された複数の永久磁石と、前記永久磁石を位置決め固定するコアとからなり、
前記複数の永久磁石は、隣り合う磁極が互いに異極となるように配置されたリニアモータであって、
前記第1および第2の構造体は、進行方向にn分割(nは自然数)され、前記第1および第2の構造体の分割部の離間距離は、前記磁極ピッチτに対して、τ/n+m・τ(mは0以上の整数)に設定され、
前記第1および第2の構造体は前記進行方向に2分割され、
前記2分割された第1の構造体のうち、一方のコイル配置は、U相、V相、W相、・・・の順に設定され、他方のコイル配置は、Uの逆相、Vの逆相、Wの逆相、・・・の順に設定されたことを特徴とするリニアモータ。 A stator, and a mover arranged to be movable relative to the stator,
The stator is configured by a plurality of soft magnetic poles arranged at a constant magnetic pole pitch along the moving direction of the mover,
The mover is composed of first and second structures disposed opposite to each other with a predetermined gap on both surfaces of the stator.
The first structure includes a plurality of teeth disposed opposite to one surface of the stator, and a coil wound around each of the plurality of teeth.
The second structure includes a plurality of permanent magnets arranged opposite to the other surface of the stator, and a core for positioning and fixing the permanent magnets.
The plurality of permanent magnets are linear motors arranged such that adjacent magnetic poles are different from each other,
The first and second structures are divided into n in the traveling direction (n is a natural number), and the separation distance between the divided portions of the first and second structures is τ / n + m · τ (m is an integer of 0 or more) is set to,
The first and second structures are divided into two in the traveling direction;
Among the two divided first structures, one coil arrangement is set in the order of U phase, V phase, W phase,..., And the other coil arrangement is U reverse phase, V reverse. A linear motor characterized by being set in the order of phase, reverse phase of W ,.
前記固定子は、前記可動子の進行方向に沿って一定の磁極ピッチで配列された複数の軟磁性体の磁極により構成され、
前記可動子は、前記固定子の両面に対して所定のギャップを隔てて対向配置された第1および第2の構造体からなり、
前記第1の構造体は、前記固定子の一方の面に対向配置された複数のティースと、前記複数のティースの各々に巻回されたコイルとからなり、
前記第2の構造体は、前記固定子の他方の面に対向配置された複数の永久磁石と、前記永久磁石を位置決め固定するコアとからなり、
前記複数の永久磁石は、隣り合う磁極が互いに異極となるように配置されたリニアモータであって、
前記第1および第2の構造体は、進行方向にn分割(nは自然数)され、前記第1および第2の構造体の分割部の離間距離は、前記磁極ピッチτに対して、τ/n+m・τ(mは0以上の整数)に設定され、
前記第1および第2の構造体は前記進行方向に3分割され、
前記3分割された第1の構造体の各々のコイル配置は、U相、V相、W相、・・・、V相、W相、U相、・・・、W相、U相、V相、・・・の順に設定されたことを特徴とするリニアモータ。 A stator, and a mover arranged to be movable relative to the stator,
The stator is configured by a plurality of soft magnetic poles arranged at a constant magnetic pole pitch along the moving direction of the mover,
The mover is composed of first and second structures disposed opposite to each other with a predetermined gap on both surfaces of the stator.
The first structure includes a plurality of teeth disposed opposite to one surface of the stator, and a coil wound around each of the plurality of teeth.
The second structure includes a plurality of permanent magnets arranged opposite to the other surface of the stator, and a core for positioning and fixing the permanent magnets.
The plurality of permanent magnets are linear motors arranged such that adjacent magnetic poles are different from each other,
The first and second structures are divided into n in the traveling direction (n is a natural number), and the separation distance between the divided portions of the first and second structures is τ / n + m · τ (m is an integer of 0 or more)
The first and second structures are divided into three in the traveling direction,
The coil arrangement of each of the three divided first structures is U phase, V phase, W phase, ..., V phase, W phase, U phase, ..., W phase, U phase, V A linear motor characterized by being set in the order of phase ,.
前記固定子は、前記可動子の進行方向に沿って一定の磁極ピッチで配列された複数の軟磁性体の磁極により構成され、
前記可動子は、前記固定子の両面に対して所定のギャップを隔てて対向配置された第1および第2の構造体からなり、
前記第1の構造体は、前記固定子の一方の面に対向配置された複数のティースと、前記複数のティースの各々に巻回されたコイルとからなり、
前記第2の構造体は、前記固定子の他方の面に対向配置された複数の永久磁石と、前記永久磁石を位置決め固定するコアとからなり、
前記複数の永久磁石は、隣り合う磁極が互いに異極となるように配置されたリニアモータであって、
前記第1および第2の構造体は、進行方向にn分割(nは自然数)され、前記第1および第2の構造体の分割部の離間距離は、前記磁極ピッチτに対して、τ/n+m・τ(mは0以上の整数)に設定され、
分割された第2の構造体の両端に位置する永久磁石の進行方向幅は、他の永久磁石の進行方向幅よりも大きい値に設定されたことを特徴とするリニアモータ。 A stator, and a mover arranged to be movable relative to the stator,
The stator is configured by a plurality of soft magnetic poles arranged at a constant magnetic pole pitch along the moving direction of the mover,
The mover is composed of first and second structures disposed opposite to each other with a predetermined gap on both surfaces of the stator.
The first structure includes a plurality of teeth disposed opposite to one surface of the stator, and a coil wound around each of the plurality of teeth.
The second structure includes a plurality of permanent magnets arranged opposite to the other surface of the stator, and a core for positioning and fixing the permanent magnets.
The plurality of permanent magnets are linear motors arranged such that adjacent magnetic poles are different from each other,
The first and second structures are divided into n in the traveling direction (n is a natural number), and the separation distance between the divided portions of the first and second structures is τ / n + m · τ (m is an integer of 0 or more)
A linear motor characterized in that the traveling direction widths of the permanent magnets positioned at both ends of the divided second structure are set to be larger than the traveling direction widths of the other permanent magnets .
前記固定子は、前記可動子の進行方向に沿って一定の磁極ピッチで配列された複数の軟磁性体の磁極により構成され、
前記可動子は、前記固定子の両面に対して所定のギャップを隔てて対向配置された第1および第2の構造体からなり、
前記第1の構造体は、前記固定子の一方の面に対向配置された複数のティースと、前記複数のティースの各々に巻回されたコイルとからなり、
前記第2の構造体は、前記固定子の他方の面に対向配置された複数の永久磁石と、前記永久磁石を位置決め固定するコアとからなり、
前記複数の永久磁石は、隣り合う磁極が互いに異極となるように配置されたリニアモータであって、
前記第1および第2の構造体は、進行方向にn分割(nは自然数)され、前記第1および第2の構造体の分割部の離間距離は、前記磁極ピッチτに対して、τ/n+m・τ(mは0以上の整数)に設定され、
分割された第2の構造体の両端に位置する永久磁石の残留磁束密度は、他の永久磁石の残留磁束密度よりも大きい値に設定されたことを特徴とするリニアモータ。 A stator, and a mover arranged to be movable relative to the stator,
The stator is configured by a plurality of soft magnetic poles arranged at a constant magnetic pole pitch along the moving direction of the mover,
The mover is composed of first and second structures disposed opposite to each other with a predetermined gap on both surfaces of the stator.
The first structure includes a plurality of teeth disposed opposite to one surface of the stator, and a coil wound around each of the plurality of teeth.
The second structure includes a plurality of permanent magnets arranged opposite to the other surface of the stator, and a core for positioning and fixing the permanent magnets.
The plurality of permanent magnets are linear motors arranged such that adjacent magnetic poles are different from each other,
The first and second structures are divided into n in the traveling direction (n is a natural number), and the separation distance between the divided portions of the first and second structures is τ / n + m · τ (m is an integer of 0 or more)
A linear motor characterized in that the residual magnetic flux density of the permanent magnets located at both ends of the divided second structure is set to a value larger than the residual magnetic flux density of other permanent magnets .
積層方向に分割された各永久磁石は、前記磁極ピッチτよりも小さい範囲内で互いにずらして配置されたことを特徴とする請求項1から請求項6までのいずれか1項に記載のリニアモータ。 The permanent magnets of the second structure are each divided in the stacking direction,
The linear motor according to any one of claims 1 to 6 , wherein the permanent magnets divided in the stacking direction are arranged to be shifted from each other within a range smaller than the magnetic pole pitch τ. .
積層方向に分割された各ティースは、前記磁極ピッチτよりも小さい範囲内で互いにずらして配置されたことを特徴とする請求項1から請求項7までのいずれか1項に記載のリニアモータ。 The teeth of the first structure are each divided in the stacking direction,
8. The linear motor according to claim 1 , wherein the teeth divided in the stacking direction are arranged so as to be shifted from each other within a range smaller than the magnetic pole pitch τ.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011041787A JP5511713B2 (en) | 2011-02-28 | 2011-02-28 | Linear motor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011041787A JP5511713B2 (en) | 2011-02-28 | 2011-02-28 | Linear motor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012178955A JP2012178955A (en) | 2012-09-13 |
JP5511713B2 true JP5511713B2 (en) | 2014-06-04 |
Family
ID=46980420
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011041787A Active JP5511713B2 (en) | 2011-02-28 | 2011-02-28 | Linear motor |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5511713B2 (en) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6373023B2 (en) * | 2014-03-12 | 2018-08-15 | 独立行政法人国立高等専門学校機構 | Linear motor |
CN104201859B (en) * | 2014-08-28 | 2016-08-17 | 浙江大学 | A kind of asymmetric double-flanged end composite excitation linear synchronized motor |
CN105356718A (en) * | 2015-11-03 | 2016-02-24 | 西南交通大学 | Middle-low-speed normal conducting maglev vehicle motor stator winding multi-segment distribution structure |
CN108886317B (en) * | 2016-03-29 | 2020-03-31 | 三菱电机株式会社 | Synchronous linear motor |
CN109842264B (en) * | 2017-11-24 | 2020-09-01 | 哈尔滨工业大学 | Bilateral plate permanent magnet linear motor |
CN108512393B (en) * | 2018-05-17 | 2019-09-03 | 浙江大学 | A kind of novel four sides type linear motor |
EP3621188B1 (en) * | 2018-08-17 | 2022-10-05 | Schneider Electric Industries SAS | Linear motor system |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4522192B2 (en) * | 2003-08-29 | 2010-08-11 | 山洋電気株式会社 | Linear motor |
JP4916933B2 (en) * | 2007-03-29 | 2012-04-18 | 川崎重工業株式会社 | Permanent magnet fixing structure of direct acting motor |
DE112008002686T5 (en) * | 2007-10-04 | 2010-08-19 | Mitsubishi Electric Corp. | linear motor |
JP2009171638A (en) * | 2008-01-10 | 2009-07-30 | Mitsubishi Electric Corp | Linear motor |
JP4747184B2 (en) * | 2008-04-14 | 2011-08-17 | 本田技研工業株式会社 | Electric motor |
-
2011
- 2011-02-28 JP JP2011041787A patent/JP5511713B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012178955A (en) | 2012-09-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5511713B2 (en) | Linear motor | |
JP5477126B2 (en) | Linear motor | |
JP5313333B2 (en) | Linear motor | |
JPWO2019045017A1 (en) | Electromagnetic device | |
WO2010084940A1 (en) | Moving member and linear motor | |
JP5434917B2 (en) | Armature and linear motor | |
US20180069464A1 (en) | Linear Motor | |
JP5289799B2 (en) | Linear motor | |
KR20120049168A (en) | Stepping motor able to create small increments | |
JP5462877B2 (en) | Permanent magnet type stepping motor | |
KR101308154B1 (en) | Permanent magnet linear and rotating type synchronous motor | |
JP2004364374A (en) | Linear motor | |
JP2004343903A (en) | Rotary linear synchronous motor | |
JP5386925B2 (en) | Cylindrical linear motor | |
TWI609556B (en) | Synchronous linear motor | |
JP2004297977A (en) | Linear motor | |
JP5678025B2 (en) | Thrust generating mechanism | |
JP4577491B2 (en) | Moving coil linear motor | |
JP2002101636A (en) | Linear motor | |
WO2018167970A1 (en) | Linear motor | |
JP4402948B2 (en) | Linear motor | |
JP6036221B2 (en) | Linear motor | |
JP3824060B2 (en) | Linear motor | |
JP4352439B2 (en) | Linear motor | |
JP2012205364A (en) | Positioning device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121004 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131015 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131016 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131212 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140225 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140325 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5511713 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |