JP5507487B2 - Inspection jig - Google Patents

Inspection jig Download PDF

Info

Publication number
JP5507487B2
JP5507487B2 JP2011059295A JP2011059295A JP5507487B2 JP 5507487 B2 JP5507487 B2 JP 5507487B2 JP 2011059295 A JP2011059295 A JP 2011059295A JP 2011059295 A JP2011059295 A JP 2011059295A JP 5507487 B2 JP5507487 B2 JP 5507487B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sensor sheet
pusher
contact surface
inspection
inspection jig
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2011059295A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2012194874A (en
Inventor
章司 山崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shin Etsu Polymer Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Polymer Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shin Etsu Polymer Co Ltd filed Critical Shin Etsu Polymer Co Ltd
Priority to JP2011059295A priority Critical patent/JP5507487B2/en
Publication of JP2012194874A publication Critical patent/JP2012194874A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5507487B2 publication Critical patent/JP5507487B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Switch Cases, Indication, And Locking (AREA)

Description

本発明は、静電容量センサーシートの検査装置に適用される検査治具に関する。   The present invention relates to an inspection jig applied to an inspection device for a capacitance sensor sheet.

従来、表示画面と重ねて設置され、ユーザが直感的に操作できるタッチパネルが知られている。タッチパネルには、ユーザの指などが近接することを検出するための検出電極を有する静電容量センサーシート(以下、単に「センサーシート」と称する。)が設けられている。   2. Description of the Related Art Conventionally, a touch panel that is installed so as to overlap with a display screen and can be operated intuitively by a user is known. The touch panel is provided with a capacitance sensor sheet (hereinafter simply referred to as “sensor sheet”) having detection electrodes for detecting the proximity of a user's finger or the like.

センサーシートが仕様通りの性能を発揮できるか検査するための一方法として、静電容量の変化を検出する検出回路にセンサーシートを接続し、ユーザの指などの入力体の代替となる電極を、センサーシートの検出電極に近接させることが知られている。   As a method for inspecting whether the sensor sheet can perform as specified, connect the sensor sheet to a detection circuit that detects a change in capacitance, and use an electrode as a substitute for an input body such as a user's finger. It is known to make it close to the detection electrode of the sensor sheet.

センサーシートの検査装置の例として、例えば特許文献1には、入力体の代替となる複数の電極(検査電極)を有する検査治具を備えた検査装置が開示されている。特許文献1に記載の検査装置では、センサーシート(センサーモジュール)の検出電極(センサ電極)に検査治具の検査電極が一定の間隔を開けて対向するように、センサーシートに検査治具が取り付けられる。   As an example of a sensor sheet inspection apparatus, for example, Patent Document 1 discloses an inspection apparatus including an inspection jig having a plurality of electrodes (inspection electrodes) serving as an alternative to an input body. In the inspection apparatus described in Patent Document 1, the inspection jig is attached to the sensor sheet so that the inspection electrode of the inspection jig is opposed to the detection electrode (sensor electrode) of the sensor sheet (sensor module) with a certain interval. It is done.

特開2010−86026号公報JP 2010-86026 A

センサーシートは、樹脂やガラスなどからなる硬質な筐体に接着されたり、インサート成形などによって樹脂等からなる硬質なパネルと一体成形されたりする場合がある。この場合、センサーシート使用時に、センサーシートの厚さ方向の一方の面が空気に触れた状態となっていることがある。また、センサーシートの使用時には、センサーシートが突起によって支持され、センサーシートの厚さ方向の両面が空気に触れた状態となっていることもある。
しかしながら、特許文献1に記載の検査装置では、検査されるセンサーシートが、平坦な台やベルトコンベア上に載置されるようになっており、厚さ方向の一方の面が空気に触れる状態とは異なる状態で検査が行われる。このため、センサーシートが実際に使用される条件とは異なる条件下での検査となり、検査結果の信頼性が低下するおそれがある。
The sensor sheet may be adhered to a hard casing made of resin or glass, or may be integrally formed with a hard panel made of resin or the like by insert molding or the like. In this case, when using the sensor sheet, one surface in the thickness direction of the sensor sheet may be in contact with air. Further, when the sensor sheet is used, the sensor sheet may be supported by the protrusions, and both sides in the thickness direction of the sensor sheet may be in contact with the air.
However, in the inspection apparatus described in Patent Document 1, the sensor sheet to be inspected is placed on a flat table or a belt conveyor, and one surface in the thickness direction is in contact with air. Are tested in different states. For this reason, the inspection is performed under conditions different from the conditions in which the sensor sheet is actually used, and the reliability of the inspection result may be reduced.

本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、その目的は、信頼性が高い検査結果を得ることができる検査治具を提供することである。   The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and an object thereof is to provide an inspection jig capable of obtaining a highly reliable inspection result.

上記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。
本発明の検査治具は、検出電極を有する静電容量センサーシートの検査をするために前記検出電極に接続される検査装置に適用される検査治具であって、前記静電容量センサーシートとの間に空気層を生じさせる凹部を有し前記静電容量センサーシートが載置される載置台と、前記凹部内に設けられ、前記載置台に載置された前記静電容量センサーシートの厚さ方向からみたときに前記検出電極と重なる位置で前記静電容量センサーシートを支持する柱状部と、前記検査装置と電気的に接続され前記柱状部との間に前記検出電極が挟まれるように前記静電容量センサーシートに押し当てられる押し子と、を備えることを特徴とする検査治具である。
In order to solve the above problems, the present invention proposes the following means.
An inspection jig according to the present invention is an inspection jig applied to an inspection apparatus connected to the detection electrode in order to inspect a capacitance sensor sheet having a detection electrode. A mounting table that has a recess for generating an air layer between the capacitor sensor sheet and a thickness of the capacitance sensor sheet that is provided in the recess and mounted on the mounting table. The detection electrode is sandwiched between the columnar portion that supports the capacitance sensor sheet at a position overlapping the detection electrode when viewed from the side, and the columnar portion that is electrically connected to the inspection apparatus. An inspection jig comprising a pusher pressed against the capacitance sensor sheet.

また、前記柱状部は、前記静電容量センサーシートの厚さ方向の一方の表面に密着するように前記一方の表面の形状に倣って形成された柱状部側密着面を有することが好ましい。   Moreover, it is preferable that the said columnar part has the columnar part side contact surface formed according to the shape of said one surface so that it may closely_contact | adhere to one surface of the thickness direction of the said capacitance sensor sheet.

また、前記押し子は、前記静電容量センサーシートの厚さ方向の一方の表面に対する他方の表面に密着するように前記他方の表面の形状に倣って形成された押し子側密着面を有することが好ましい。   Further, the pusher has a pusher-side contact surface that is formed following the shape of the other surface so as to be in close contact with the other surface with respect to one surface in the thickness direction of the capacitance sensor sheet. Is preferred.

また、前記押し子側密着面は直径が5mm以上20mm以下の円形に形成され、前記柱状部側密着面は前記押し子側密着面の直径よりも大きい直径を有する円形に形成されていることが好ましい。   The pusher-side contact surface is formed in a circle having a diameter of 5 mm or more and 20 mm or less, and the columnar portion-side contact surface is formed in a circle having a diameter larger than the diameter of the pusher-side contact surface. preferable.

また、本発明の検査治具は、前記載置台に着脱可能に取り付けられ前記押し子を前記柱状部へ向けて案内するガイド部材を有し、前記ガイド部材には、前記柱状部の中心軸と同軸状に前記ガイド部材を貫通する貫通孔が形成され、前記貫通孔の内寸は、前記押し子が進退自在に挿通されるとともに前記押し子の中心軸が前記柱状部の中心軸と略同軸となるように前記押し子を支持可能な内寸であり、前記柱状部側密着面の外寸は、前記貫通孔の内寸と略等しいことが好ましい。   The inspection jig according to the present invention further includes a guide member that is detachably attached to the mounting table and guides the pusher toward the columnar portion. The guide member includes a central axis of the columnar portion. A through hole penetrating the guide member is formed coaxially, and the inner dimension of the through hole is such that the pusher is inserted in a freely reciprocating manner and the central axis of the pusher is substantially coaxial with the central axis of the columnar portion. It is preferable that the inner dimension is such that the pusher can be supported, and the outer dimension of the columnar portion-side contact surface is substantially equal to the inner dimension of the through hole.

また、前記押し子は、前記検査装置と電気的に接続され前記押し子側密着面が形成された押し子本体と、前記押し子本体に対して着脱可能であり前記他方の表面の形状に倣って形成された押し子側第二密着面を有し押し子側密着面と前記静電容量センサーシートとの間に所定の隙間を生じさせるスペーサと、を有し、前記スペーサの誘電率は、前記静電容量センサーシートの使用時に前記静電容量センサーシートの厚さ方向に重ねられるパネルの誘電率と略同じであり、前記所定の厚さは、前記パネルの厚さと略等しいことが好ましい。   The pusher is electrically connected to the inspection device and has a pusher-side contact surface formed thereon, and is attachable to and detachable from the pusher body and follows the shape of the other surface. A spacer that has a presser-side second contact surface formed and creates a predetermined gap between the presser-side contact surface and the capacitance sensor sheet, and the dielectric constant of the spacer is: It is preferable that the dielectric constant of the panel stacked in the thickness direction of the capacitance sensor sheet when the capacitance sensor sheet is used is substantially the same, and the predetermined thickness is substantially equal to the thickness of the panel.

本発明の検査治具によれば、センサーシートに空気層が接する状態としつつ検出電極が位置する部分に押し子を確実に接触させることができ、信頼性が高い検査結果を得ることができる。   According to the inspection jig of the present invention, the presser can be reliably brought into contact with the portion where the detection electrode is positioned while the air layer is in contact with the sensor sheet, and a highly reliable inspection result can be obtained.

本発明の一実施形態の検査治具を備える検査装置およびセンサーシートを示すブロック図である。It is a block diagram showing an inspection device provided with an inspection jig of one embodiment of the present invention, and a sensor sheet. 同検査治具を示す平面図である。It is a top view which shows the same inspection jig. 同検査治具を示す側面図である。It is a side view showing the inspection jig. 同検査治具における載置台を示す平面図である。It is a top view which shows the mounting base in the inspection jig | tool. 図2のA−A線における断面図である。It is sectional drawing in the AA of FIG. 検査治具の部分断面図である。It is a fragmentary sectional view of an inspection jig. 同実施形態の変形例の検査治具の構成を示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view showing the composition of the inspection jig of the modification of the embodiment. 同実施形態の他の変形例の検査治具を図2のA−A線と同様の断面で示す断面図である。It is sectional drawing which shows the test jig | tool of the other modification of the embodiment with the cross section similar to the AA line of FIG. 同実施形態のさらに他の変形例の検査治具を図2のA−A線と同様の断面で示す断面図である。It is sectional drawing which shows the test | inspection jig | tool of the further another modification of the embodiment with the cross section similar to the AA line of FIG.

本発明の一実施形態の検査治具10について、検査治具10を備える検査装置1を例に説明する。図1は、検査装置1およびセンサーシート100を示すブロック図である。
図1に示すように、検査装置1は、静電容量の変化を検出するための静電容量センサーシート100(以下、単に「センサーシート100」と称する。)を検査する装置である。本実施形態で検査装置1によって検査されるセンサーシート100は、板状、シート状、あるいはフィルム状に形成された絶縁体からなる基板101と、基板101上に形成された検出電極102と、検出電極102に一端が接続された配線103とを有している。配線103の他端は、基板101の周縁部に配置されており、静電容量を検出する検出回路に接続するための端子となっている。
検査装置1は、センサーシート100を保持する検査治具10と、センサーシート100の端子に接続される検査回路30と、検査回路30による検査結果を表示する表示部40とを備える。
An inspection jig 10 according to an embodiment of the present invention will be described using an inspection apparatus 1 including the inspection jig 10 as an example. FIG. 1 is a block diagram showing an inspection apparatus 1 and a sensor sheet 100.
As shown in FIG. 1, the inspection apparatus 1 is an apparatus that inspects a capacitance sensor sheet 100 (hereinafter simply referred to as “sensor sheet 100”) for detecting a change in capacitance. The sensor sheet 100 inspected by the inspection apparatus 1 in this embodiment includes a substrate 101 made of an insulator formed in a plate shape, a sheet shape, or a film shape, a detection electrode 102 formed on the substrate 101, and a detection The wiring 103 has one end connected to the electrode 102. The other end of the wiring 103 is disposed on the peripheral edge of the substrate 101 and serves as a terminal for connecting to a detection circuit that detects electrostatic capacitance.
The inspection apparatus 1 includes an inspection jig 10 that holds the sensor sheet 100, an inspection circuit 30 that is connected to a terminal of the sensor sheet 100, and a display unit 40 that displays an inspection result by the inspection circuit 30.

図2は、検査治具10を示す平面図である。図3は、検査治具10を示す側面図である。図4は、検査治具10における載置台11を示す平面図である。図5は、図2のA−A線における断面図である。
図2、図3、および図4に示すように、検査治具10は、載置台11と、柱状部15と、押し子17と、ガイド部材20とを備える。
図3および図4に示すように、載置台11は、センサーシート100が載置される台であり、センサーシート100が載置される載置面12を有する略直方体形状に形成されている。
図4および図5に示すように、載置台11には、平面視でセンサーシート100の周縁より僅かに内側に輪郭が位置する凹部13と、載置面12に直交する方向へ載置面12から突出した凸部14とが形成されている。
FIG. 2 is a plan view showing the inspection jig 10. FIG. 3 is a side view showing the inspection jig 10. FIG. 4 is a plan view showing the mounting table 11 in the inspection jig 10. FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG.
As shown in FIGS. 2, 3, and 4, the inspection jig 10 includes a mounting table 11, a columnar portion 15, a pusher 17, and a guide member 20.
As shown in FIGS. 3 and 4, the mounting table 11 is a table on which the sensor sheet 100 is mounted, and is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape having a mounting surface 12 on which the sensor sheet 100 is mounted.
As shown in FIGS. 4 and 5, the mounting table 11 has a recess 13 whose contour is positioned slightly inward from the periphery of the sensor sheet 100 in a plan view, and a mounting surface 12 in a direction orthogonal to the mounting surface 12. Convex part 14 which protruded from is formed.

図5に示すように、凹部13は、載置面12に直交する方向へ載置面12から窪んで形成されており、凹部13の底面には、複数の柱状部15が固定されている。図4および図5に示すように、載置面12にセンサーシート100が載置されたときに、凹部13は少なくともセンサーシート100において検査対象となる検出電極102のすべてを囲むように開口されている。なお、凹部13の開口の形状は、センサーシート100の検出電極102が検査対象であるか否かによらず全ての検出電極102を囲む形状であってもよい。   As shown in FIG. 5, the recess 13 is formed to be recessed from the placement surface 12 in a direction orthogonal to the placement surface 12, and a plurality of columnar portions 15 are fixed to the bottom surface of the recess 13. As shown in FIGS. 4 and 5, when the sensor sheet 100 is placed on the placement surface 12, the recess 13 is opened so as to surround at least all the detection electrodes 102 to be inspected in the sensor sheet 100. Yes. In addition, the shape of the opening of the recessed part 13 may be a shape surrounding all the detection electrodes 102 regardless of whether or not the detection electrodes 102 of the sensor sheet 100 are inspection targets.

図5に示すように、凹部13の深さ寸法dは、センサーシート100が電子機器等に組み込まれて実際に使用される状態でセンサーシート100との間に生じる隙間(空気層)の厚さを考慮して設定される。例えば、凹部13の深さ寸法dは、例えば3mm以上13mm以下、具体的には3mm、5mm、13mmなどに設定される。これにより、凹部13は、載置面12上にセンサーシート100が載置されたときに、センサーシート100との間に所定の厚さの空気層を生じさせる。なお、凹部13の深さ寸法dが大きくなるほど、凹部13の底部がセンサーシート100における検出感度に与える影響が軽減される。このため、センサーシート100における検出感度への検査治具10による影響を軽減するという観点からは、凹部13の深さ寸法dは大きい方が好ましい。   As shown in FIG. 5, the depth dimension d of the recess 13 is the thickness of a gap (air layer) generated between the sensor sheet 100 and the sensor sheet 100 when the sensor sheet 100 is actually used after being incorporated in an electronic device or the like. Is set in consideration of For example, the depth d of the recess 13 is set to, for example, 3 mm or more and 13 mm or less, specifically, 3 mm, 5 mm, 13 mm, or the like. Thereby, the recessed part 13 produces an air layer with a predetermined thickness between the sensor sheet 100 and the sensor sheet 100 when the sensor sheet 100 is placed on the placement surface 12. In addition, the influence which the bottom part of the recessed part 13 has on the detection sensitivity in the sensor sheet 100 is reduced, so that the depth dimension d of the recessed part 13 becomes large. For this reason, from the viewpoint of reducing the influence of the inspection jig 10 on the detection sensitivity in the sensor sheet 100, it is preferable that the depth dimension d of the recess 13 is large.

凸部14は、載置面12とガイド部材20との間に隙間を空け、センサーシート100とガイド部材20との間に空気層を生じさせる。凸部14の突出量は、凹部13の深さ寸法dの設定方法と同様に、センサーシート100の検出感度への検査治具10による影響を考慮して設定される。これにより、凸部14は、載置面12上にセンサーシート100が載置されたときに、センサーシート100との間に所定の厚さの空気層を生じさせる。凸部14と上述の凹部13とがともに載置台11に形成されている場合、センサーシート100の厚さ方向の両面は空気層に接している。   The convex portion 14 creates a gap between the placement surface 12 and the guide member 20 and creates an air layer between the sensor sheet 100 and the guide member 20. The protrusion amount of the convex portion 14 is set in consideration of the influence of the inspection jig 10 on the detection sensitivity of the sensor sheet 100 as in the method of setting the depth dimension d of the concave portion 13. Thereby, the convex part 14 produces the air layer of predetermined thickness between the sensor sheet 100, when the sensor sheet 100 is mounted on the mounting surface 12. FIG. When both the convex part 14 and the above-mentioned recessed part 13 are formed in the mounting base 11, both surfaces of the thickness direction of the sensor sheet 100 are in contact with the air layer.

なお、センサーシート100の使用時に、センサーシート100の厚さ方向の両面のうち検査治具10の載置面12に接する表面(本明細書では、「センサーシート100の一方の表面100a」と称する。)と反対側の表面(本明細書では、「センサーシート100の他方の表面100b」と称する。)が樹脂等のパネルに密着した状態となる場合には、検査治具10は凸部14を有していなくてもよい。   In addition, when the sensor sheet 100 is used, the surface in contact with the mounting surface 12 of the inspection jig 10 out of both surfaces in the thickness direction of the sensor sheet 100 (referred to as “one surface 100a of the sensor sheet 100” in this specification). When the surface opposite to the surface (referred to as “the other surface 100b of the sensor sheet 100” in this specification) is in close contact with a panel made of resin or the like, the inspection jig 10 has the protrusion 14. May not be included.

図4および図5に示すように、柱状部15は、載置面12にセンサーシート100が載置されたときに平面視でセンサーシート100の検出電極102と重なる位置に配置された柱状の部材である。本実施形態では、柱状部15は、円柱形状に形成されており、凹部13の底に固定された側と反対側の端面は、センサーシート100の表面の形状に倣って形成された柱状部側密着面16となっている。本実施形態では、センサーシート100は平坦な板状、シート状、あるいはフィルム状であるので、本実施形態における柱状部側密着面16は、センサーシート100の外面に倣って平坦な面となっている。これにより、柱状部側密着面16は、センサーシート100の厚さ方向の一方の表面100aに密着する。
柱状部15の中心軸線方向における柱状部側密着面16の位置は、載置面12と面一となっている。これにより、柱状部15は、載置面12上に載置されたセンサーシート100を載置面12に沿って支持することができる。
As shown in FIGS. 4 and 5, the columnar portion 15 is a columnar member arranged at a position overlapping the detection electrode 102 of the sensor sheet 100 in plan view when the sensor sheet 100 is placed on the placement surface 12. It is. In the present embodiment, the columnar portion 15 is formed in a columnar shape, and the end surface opposite to the side fixed to the bottom of the recess 13 has a columnar portion side formed in accordance with the shape of the surface of the sensor sheet 100. The contact surface 16 is formed. In the present embodiment, the sensor sheet 100 has a flat plate shape, a sheet shape, or a film shape. Therefore, the columnar portion-side contact surface 16 in the present embodiment is a flat surface that follows the outer surface of the sensor sheet 100. Yes. Thereby, the columnar portion-side contact surface 16 is in close contact with one surface 100 a in the thickness direction of the sensor sheet 100.
The position of the columnar portion side contact surface 16 in the central axis direction of the columnar portion 15 is flush with the placement surface 12. Thereby, the columnar portion 15 can support the sensor sheet 100 placed on the placement surface 12 along the placement surface 12.

載置台11を平面視したときの柱状部側密着面16の位置は、載置面12にセンサーシート100が載置されたときに、検出電極102内で検査を行う位置に設定されている。たとえば、センサーシート100を平面視したときの検出電極102の中央に対して検査を行う場合には、柱状部側密着面16は、検出電極102の中央と重なる位置に配置される。   The position of the columnar portion-side contact surface 16 when the mounting table 11 is viewed in plan is set to a position where inspection is performed within the detection electrode 102 when the sensor sheet 100 is mounted on the mounting surface 12. For example, when the inspection is performed on the center of the detection electrode 102 when the sensor sheet 100 is viewed in plan, the columnar portion-side contact surface 16 is disposed at a position overlapping the center of the detection electrode 102.

柱状部側密着面16は、後述する押し子17に形成された押し子側密着面18の直径と等しいか僅かに大きく形成されている。また、柱状部側密着面16の形状は、押し子17の押し子側密着面18の形状と同形であることが好ましく、本実施形態では、押し子側密着面18の形状に倣った円形に形成されている。   The columnar portion-side contact surface 16 is formed to be equal to or slightly larger than the diameter of the pusher-side contact surface 18 formed on the pusher 17 described later. Further, the shape of the columnar portion side contact surface 16 is preferably the same shape as the shape of the pusher side contact surface 18 of the pusher 17. In this embodiment, the shape is a circle that follows the shape of the presser side contact surface 18. Is formed.

本実施形態では、柱状部15は、載置台11と一体成形されている。載置台11および柱状部15の材質は、検査装置1において不要な静電容量が検出されるのを防ぐ目的で、誘電率の低い材質が採用されている。本実施形態では、載置台11および柱状部15の材質としては、フッ素樹脂、発泡スチロール、あるいはスポンジなどを採用することができる。   In the present embodiment, the columnar portion 15 is integrally formed with the mounting table 11. As the material for the mounting table 11 and the columnar part 15, a material having a low dielectric constant is employed for the purpose of preventing unnecessary capacitance from being detected in the inspection apparatus 1. In the present embodiment, as the material for the mounting table 11 and the columnar portion 15, fluororesin, polystyrene foam, sponge, or the like can be employed.

図1に示すように、押し子17は、検査装置1と電気的に接続された誘電体からなる部材である。押し子17は、センサーシート100に対して入力を行う指やスタイラスペンを模した部材であり、センサーシート100の検出電極102に対する検査のための入力操作をする目的で設けられている。   As shown in FIG. 1, the pusher 17 is a member made of a dielectric that is electrically connected to the inspection apparatus 1. The pusher 17 is a member simulating a finger or a stylus pen for inputting to the sensor sheet 100, and is provided for the purpose of performing an input operation for inspection on the detection electrode 102 of the sensor sheet 100.

図5に示すように、押し子17は、センサーシート100の他方の表面100bの形状に倣って形成された押し子側密着面18を有する。押し子側密着面18は、センサーシート100の他方の表面100bに密着する面であり、たとえばセンサーシート100を使用するユーザの指の太さに基づいて寸法が設定されている。具体的には、押し子側密着面18は、センサーシート100にユーザの指が接触する接触面積と略同程度の面積となる直径が5mm以上20mm以下の円形に形成される。   As shown in FIG. 5, the pusher 17 has a pusher-side contact surface 18 formed following the shape of the other surface 100 b of the sensor sheet 100. The pusher-side contact surface 18 is a surface that is in close contact with the other surface 100b of the sensor sheet 100, and has dimensions set based on, for example, the thickness of the finger of the user who uses the sensor sheet 100. Specifically, the pusher-side contact surface 18 is formed in a circular shape with a diameter of 5 mm or more and 20 mm or less that is approximately the same area as the contact area where the user's finger contacts the sensor sheet 100.

押し子17の位置は、後述するガイド部材20によってガイドされ、柱状部15との間に検出電極102が挟まれるように押し子側密着面18がセンサーシート100に押し当てられる。
押し子17における押し子側密着面18と反対側の端面には、検査装置1の検査回路30と電気的に接続するためのコードが取り付けられている。本実施形態では、押し子17は、検査装置1の検査回路30におけるグランドに接続される。
The position of the pusher 17 is guided by a guide member 20 described later, and the pusher-side contact surface 18 is pressed against the sensor sheet 100 so that the detection electrode 102 is sandwiched between the pusher 17 and the columnar part 15.
A cord for electrically connecting to the inspection circuit 30 of the inspection apparatus 1 is attached to the end surface of the pusher 17 opposite to the pusher-side contact surface 18. In the present embodiment, the pusher 17 is connected to the ground in the inspection circuit 30 of the inspection device 1.

図3および図5に示すように、ガイド部材20は、載置台11に着脱可能に取り付けられる板状の部材であり、柱状部15へ向けて押し子17を案内するための貫通孔21を有する。
図3に示すように、ガイド部材20は、載置台11の凸部14によって、載置台11の載置面12との間に隙間が空けられた状態で支持される。
As shown in FIGS. 3 and 5, the guide member 20 is a plate-like member that is detachably attached to the mounting table 11, and has a through hole 21 for guiding the pusher 17 toward the columnar portion 15. .
As shown in FIG. 3, the guide member 20 is supported by the convex portion 14 of the mounting table 11 in a state where a gap is left between the mounting surface 11 and the mounting surface 12.

図5に示すように、ガイド部材20に形成された貫通孔21は、柱状部15の中心軸と同軸状にガイド部材20を貫通している。貫通孔21の内寸は、押し子17が進退自在に挿通される内寸であり、且つ、押し子17の中心軸が柱状部15の中心軸と略同軸となるように押し子17を支持可能な内寸となっている。さらに、貫通孔21の内寸と柱状部側密着面16の外寸とは略等しい。   As shown in FIG. 5, the through hole 21 formed in the guide member 20 passes through the guide member 20 coaxially with the central axis of the columnar portion 15. The inner dimension of the through hole 21 is an inner dimension through which the pusher 17 is inserted so as to be able to advance and retreat, and supports the pusher 17 so that the central axis of the pusher 17 is substantially coaxial with the central axis of the columnar portion 15. The inner dimensions are possible. Furthermore, the inner dimension of the through hole 21 and the outer dimension of the columnar portion-side contact surface 16 are substantially equal.

ガイド部材20は、載置面12にセンサーシート100が載置されたときに、検出電極102内で検査を行う位置へと押し子側密着面18を案内する。たとえば、センサーシート100を平面視したときの検出電極102の中央に対して検査を行う場合には、ガイド部材20は、検出電極102の中央と重なり柱状部側密着面16と対向する位置に押し子側密着面18を案内する。   When the sensor sheet 100 is placed on the placement surface 12, the guide member 20 guides the pusher-side contact surface 18 to a position for inspection within the detection electrode 102. For example, when the inspection is performed on the center of the detection electrode 102 when the sensor sheet 100 is viewed in plan, the guide member 20 is pushed to a position that overlaps the center of the detection electrode 102 and faces the columnar portion-side contact surface 16. The child side contact surface 18 is guided.

なお、ガイド部材20に形成された貫通孔21は、押し子17との間に適切なクリアランスを有していることが好ましい。適切なクリアランスの大きさは、押し子側密着面18がセンサーシート100の他方の表面100bに密着するように押し子17が貫通孔21内で僅かに傾くことを許容できる大きさである。   The through hole 21 formed in the guide member 20 preferably has an appropriate clearance between the pusher 17. The appropriate clearance is a size that allows the pusher 17 to be slightly inclined in the through hole 21 so that the pusher-side contact surface 18 is in close contact with the other surface 100 b of the sensor sheet 100.

以上に説明した構成の検査治具10の作用について説明する。図6は、検査治具10の部分断面図である。
検査治具10は、静電容量の変化を検出する検査回路30を備えた検査装置1とともに使用される。なお、以下では、検査装置1が自己容量方式のセンサーシート100の検査を行う場合を例にして説明する。
The operation of the inspection jig 10 having the above-described configuration will be described. FIG. 6 is a partial cross-sectional view of the inspection jig 10.
The inspection jig 10 is used together with the inspection apparatus 1 including an inspection circuit 30 that detects a change in capacitance. Hereinafter, a case where the inspection apparatus 1 inspects the self-capacitance type sensor sheet 100 will be described as an example.

検査装置1の使用時には、まず、センサーシート100を検査治具10に取り付けるとともにセンサーシート100の端子を検査回路30に接続し、検査治具10の押し子17を検査回路30に接続する(図1参照)。これにより、検査回路30においては、センサーシート100の検出電極102に押し子17を近接させることによって検出電極102における静電容量の変化を検出することができる。   When the inspection apparatus 1 is used, first, the sensor sheet 100 is attached to the inspection jig 10, the terminals of the sensor sheet 100 are connected to the inspection circuit 30, and the pusher 17 of the inspection jig 10 is connected to the inspection circuit 30 (FIG. 1). Thereby, in the inspection circuit 30, the change in the electrostatic capacitance in the detection electrode 102 can be detected by bringing the pusher 17 close to the detection electrode 102 of the sensor sheet 100.

図6に示すように、検査治具10へセンサーシート100を取り付けるためには、まず、センサーシート100を載置面12に載置する。このとき、センサーシート100の外縁が平面視で凹部13の開口の僅かに外側に位置し、センサーシート100において検査する検出電極102が平面視で凹部13内に位置するように、センサーシート100を載置する。
図5に示すように、センサーシート100の外縁は、載置面12によって支持される。さらに、センサーシート100の検出電極102は、柱状部15の柱状部側密着面16によって支持される。センサーシート100の一方の表面100aは、凹部13によって生じる空気層と接している。
As shown in FIG. 6, in order to attach the sensor sheet 100 to the inspection jig 10, first, the sensor sheet 100 is placed on the placement surface 12. At this time, the sensor sheet 100 is placed so that the outer edge of the sensor sheet 100 is positioned slightly outside the opening of the recess 13 in plan view, and the detection electrode 102 to be inspected in the sensor sheet 100 is positioned in the recess 13 in plan view. Place.
As shown in FIG. 5, the outer edge of the sensor sheet 100 is supported by the placement surface 12. Further, the detection electrode 102 of the sensor sheet 100 is supported by the columnar portion side contact surface 16 of the columnar portion 15. One surface 100 a of the sensor sheet 100 is in contact with an air layer generated by the recess 13.

続いて、載置台11にガイド部材20を取り付け、その後、検査装置1の検査回路30によって各検出電極102における静電容量の検出を開始する。ガイド部材20に押し子17が挿入されていない状態は、検出電極102に対する入力操作がされていない状態に対応する。   Subsequently, the guide member 20 is attached to the mounting table 11, and thereafter, the detection of the electrostatic capacitance in each detection electrode 102 is started by the inspection circuit 30 of the inspection apparatus 1. The state where the pusher 17 is not inserted into the guide member 20 corresponds to the state where the input operation to the detection electrode 102 is not performed.

続いて、図6に示すように、ガイド部材20に形成された貫通孔21に押し子17を挿入する。ガイド部材20の貫通孔21に押し子17を挿入する動作は、手作業によって行ってもよいし、図示しないマニピュレータ等を用いて行ってもよい。
センサーシート100の1つの検出電極102のみを検査するときには、押し子17を貫通孔21に1つだけ挿入する。また、センサーシート100の複数の検出電極102を検査するときには、検査する部位に対応する貫通孔21に押し子17をそれぞれ挿入する。さらに、1つの検出電極102の複数の位置への同時入力を検査する場合には、検査対象となる位置に対応する貫通孔21にそれぞれ押し子17を挿入する。
Subsequently, as shown in FIG. 6, the pusher 17 is inserted into the through hole 21 formed in the guide member 20. The operation of inserting the pusher 17 into the through hole 21 of the guide member 20 may be performed manually or using a manipulator (not shown).
When inspecting only one detection electrode 102 of the sensor sheet 100, only one pusher 17 is inserted into the through hole 21. Further, when inspecting the plurality of detection electrodes 102 of the sensor sheet 100, the pushers 17 are respectively inserted into the through holes 21 corresponding to the parts to be inspected. Furthermore, when inspecting simultaneous input to a plurality of positions of one detection electrode 102, the pushers 17 are inserted into the through holes 21 corresponding to the positions to be inspected.

ガイド部材20の貫通孔21に挿入された押し子17は、押し子17に形成された押し子側密着面18がセンサーシート100の他方の表面100bへと案内される。これにより、センサーシート100の検出電極102は、押し子側密着面18と柱状部側密着面16とによってはさまれた状態となる。   In the pusher 17 inserted into the through hole 21 of the guide member 20, the pusher-side contact surface 18 formed on the pusher 17 is guided to the other surface 100 b of the sensor sheet 100. As a result, the detection electrode 102 of the sensor sheet 100 is sandwiched between the pusher-side contact surface 18 and the columnar portion-side contact surface 16.

検査回路30のグランドに押し子17が接続されているので、検出回路は、押し子側密着面18がセンサーシート100に密着したことによる検出電極102の静電容量の変化を検出する。検査回路30は、静電容量の変化量が仕様で定められた範囲内にあるか否かを判定し、検査結果をたとえば表示部40に出力する。   Since the pusher 17 is connected to the ground of the inspection circuit 30, the detection circuit detects a change in the capacitance of the detection electrode 102 due to the pusher-side contact surface 18 being in close contact with the sensor sheet 100. The inspection circuit 30 determines whether or not the amount of change in capacitance is within a range determined by the specifications, and outputs the inspection result to the display unit 40, for example.

検査対象となる検出電極102のすべてに対して、押し子17を密着させて静電容量の変化を検出し、検査結果を出力して検査は終了する。
検査が終了したら、押し子17およびガイド部材20を取り外し、センサーシート100を載置台11および検査回路30から取り外して一連の作業を終了する。
The pusher 17 is brought into intimate contact with all the detection electrodes 102 to be inspected to detect a change in capacitance, and the inspection result is output to end the inspection.
When the inspection is completed, the pusher 17 and the guide member 20 are removed, the sensor sheet 100 is removed from the mounting table 11 and the inspection circuit 30, and the series of operations is completed.

以上説明したように、本実施形態の検査治具10によれば、静電容量センサーシート100の実際の使用態様に近い条件で静電容量センサーシート100の検査をすることができる。   As described above, according to the inspection jig 10 of the present embodiment, the capacitance sensor sheet 100 can be inspected under conditions close to the actual usage of the capacitance sensor sheet 100.

また、静電容量センサーシート100の表面の形状に倣った形状の柱状部側密着面16が柱状部15に形成されているので、静電容量センサーシート100と柱状部15との間に隙間は生じない。これにより、静電容量の変化を精度よく検査回路30に測定させることができる。   In addition, since the columnar portion side contact surface 16 having a shape following the surface shape of the capacitance sensor sheet 100 is formed on the columnar portion 15, there is no gap between the capacitance sensor sheet 100 and the columnar portion 15. Does not occur. Thereby, the change in electrostatic capacitance can be accurately measured by the inspection circuit 30.

また、静電容量センサーシート100の表面の形状に倣った形状の押し子側密着面18が押し子17に形成されているので、静電容量センサーシート100に押し子17を隙間なく接触させることができる。これにより、静電容量の変化を精度よく検査回路30に測定させることができる。   Further, since the pusher-side contact surface 18 having a shape following the shape of the surface of the capacitance sensor sheet 100 is formed on the pusher 17, the pusher 17 is brought into contact with the capacitance sensor sheet 100 without a gap. Can do. Thereby, the change in electrostatic capacitance can be accurately measured by the inspection circuit 30.

また、押し子側密着面18が直径が5mm以上20mm以下の円形に形成されているので、人の指をセンサーシート100に接触させた場合に近い条件でセンサーシート100の検査をすることができる。これにより、センサーシート100の検査においてセンサーシート100がユーザによって使用されている状況を再現することができる。   Further, since the pusher-side contact surface 18 is formed in a circular shape having a diameter of 5 mm or more and 20 mm or less, the sensor sheet 100 can be inspected under a condition close to that when a human finger is brought into contact with the sensor sheet 100. . Thereby, it is possible to reproduce the situation where the sensor sheet 100 is used by the user in the inspection of the sensor sheet 100.

また、ガイド部材20が設けられていない場合には、検出電極102に対して押し子17を押し付ける位置が検査ごとに異なってしまう場合がある。本実施形態では、ガイド部材20によって押し子17を柱状部15へと案内することができるので、検出電極102に対して押し子17を押し付ける位置の精度が高い。これにより、センサーシート100ごとに検出電極102への押し子17の押し付け位置が異なってしまう場合と比較して、検査の精度を高めることができる。   When the guide member 20 is not provided, the position where the pusher 17 is pressed against the detection electrode 102 may be different for each inspection. In this embodiment, since the pusher 17 can be guided to the columnar portion 15 by the guide member 20, the accuracy of the position where the pusher 17 is pressed against the detection electrode 102 is high. Thereby, compared with the case where the pressing position of the pusher 17 to the detection electrode 102 differs for every sensor sheet 100, the precision of a test | inspection can be improved.

(変形例1)
次に、上述の実施形態で説明した検査治具10の変形例について説明する。図7は、本変形例の検査治具を示す部分断面図である。
本変形例の検査治具10Aは、押し子17に代えて押し子17Aを備え、ガイド部材20に代えてガイド部材20Aを備える点で上述の検査治具10と構成が異なっている。
(Modification 1)
Next, a modified example of the inspection jig 10 described in the above embodiment will be described. FIG. 7 is a partial cross-sectional view showing an inspection jig of this modification.
The inspection jig 10 </ b> A of the present modification is different from the above-described inspection jig 10 in that it includes a pusher 17 </ b> A instead of the pusher 17 and a guide member 20 </ b> A instead of the guide member 20.

押し子17Aは、検査装置1と電気的に接続された押し子本体17A1と、押し子本体17A1に対して着脱可能なスペーサ19とを有する。
押し子本体17A1は、円柱形状に形成された軸部と、軸部の直径よりも細くガイド部材20Aの貫通孔21Aに挿入される円柱形状の挿入部とを備える。押し子本体17A1の挿入部の端面は、上述の押し子側密着面18と同様の押し子側密着面18が形成されている。
The pusher 17A includes a pusher main body 17A1 electrically connected to the inspection apparatus 1, and a spacer 19 that can be attached to and detached from the pusher main body 17A1.
The pusher main body 17A1 includes a shaft portion formed in a columnar shape and a columnar insertion portion that is inserted into the through hole 21A of the guide member 20A that is thinner than the diameter of the shaft portion. A pusher-side contact surface 18 similar to the above-described pusher-side contact surface 18 is formed on the end surface of the insertion portion of the presser body 17A1.

スペーサ19は、一方が閉じられた筒状に形成されている。本変形例では、スペーサ19は、押し子本体17A1の先端部が挿入可能な断面円形の開口19aを有する。スペーサ19の開口には、スペーサ19の径方向へ広がって形成された円環状のフランジ19bが形成されている。
さらに、スペーサ19には、押し子本体17A1の押し子側密着面18と密着するスペーサ内密着面19cと、センサーシート100の他方の表面100bの形状に倣って形成された押し子側第二密着面19dとが形成されている。
The spacer 19 is formed in a cylindrical shape with one side closed. In the present modification, the spacer 19 has an opening 19a having a circular cross section into which the tip of the pusher body 17A1 can be inserted. An annular flange 19 b is formed in the opening of the spacer 19 so as to expand in the radial direction of the spacer 19.
Further, the spacer 19 has a presser side second close contact formed by following the shape of the spacer inner contact surface 19c that is in close contact with the presser side close contact surface 18 of the presser body 17A1 and the other surface 100b of the sensor sheet 100. A surface 19d is formed.

スペーサ内密着面19cと押し子側第二密着面19dとは互いに平行な平面となっており、いずれも平滑な表面状態を有している。押し子側第二密着面19dは、上述の押し子17に形成された押し子側密着面18と同様に静電容量センサーシート100の表面に密着することにより、静電容量の変化を精度よく検査回路30に検出させることができる。   The in-spacer contact surface 19c and the pusher side second contact surface 19d are parallel to each other, and both have a smooth surface state. The pusher-side second contact surface 19d is in close contact with the surface of the capacitance sensor sheet 100 in the same manner as the pusher-side contact surface 18 formed on the above-described pusher 17, thereby accurately changing the capacitance. The inspection circuit 30 can detect it.

スペーサ19の誘電率は、静電容量センサーシート100の使用時に静電容量センサーシート100の厚さ方向に重ねられるパネルの誘電率と略同じである。スペーサ19の誘電率をパネルの誘電率と略同じとするためには、スペーサ19が、パネルの材料と同じ材料によって形成されていればよい。また、パネルの材料と異なる材料を用いてスペーサ19を形成する場合には、スペーサ19の厚さを調整したり、複数の材料を混合してスペーサ19の材料としたりすることにより、スペーサ19の誘電率をパネルの誘電率に近づけることができる。   The dielectric constant of the spacer 19 is substantially the same as the dielectric constant of the panel stacked in the thickness direction of the capacitance sensor sheet 100 when the capacitance sensor sheet 100 is used. In order to make the dielectric constant of the spacer 19 substantially the same as the dielectric constant of the panel, the spacer 19 may be made of the same material as that of the panel. Further, when the spacer 19 is formed using a material different from the material of the panel, the thickness of the spacer 19 is adjusted, or a plurality of materials are mixed to make the spacer 19 material. The dielectric constant can be close to the dielectric constant of the panel.

押し子本体17A1に取り付けられたスペーサ19によって、押し子側密着面18と静電容量センサーシート100との間に所定の隙間が生じる。所定の隙間の大きさは、パネルの厚さと略等しくなっている。   The spacer 19 attached to the pusher main body 17A1 creates a predetermined gap between the pusher-side contact surface 18 and the capacitance sensor sheet 100. The size of the predetermined gap is substantially equal to the thickness of the panel.

ガイド部材20Aには、上述の実施形態で説明したガイド部材20の貫通孔21とは異なる形状の貫通孔21Aが形成されている。
貫通孔21Aは、スペーサ19を係止するための係止部22を有する。係止部22は、ガイド部材20Aの上面側においてフランジ19bの外寸より大きく、ガイド部材20Aの下面側においてフランジ19bの外寸より小さくなるように貫通孔21Aの内面に形成された段差からなる。
係止部22にスペーサ19が係止された状態では、押し子側第二密着面19dは、柱状部側密着面16と接触可能な程度までガイド部材20Aの下面よりも突出する。これにより、スペーサ19が押し子17に取り付けられた状態ではスペーサ19がガイド部材20Aと載置台11との間に落ち込むことなく押し子側第二密着面19dをセンサーシート100に押し付けることができる。
The guide member 20A is formed with a through hole 21A having a shape different from that of the through hole 21 of the guide member 20 described in the above embodiment.
The through hole 21 </ b> A has a locking portion 22 for locking the spacer 19. The locking portion 22 includes a step formed on the inner surface of the through hole 21A so as to be larger than the outer dimension of the flange 19b on the upper surface side of the guide member 20A and smaller than the outer dimension of the flange 19b on the lower surface side of the guide member 20A. .
In a state where the spacer 19 is locked to the locking portion 22, the pusher side second contact surface 19 d protrudes from the lower surface of the guide member 20 </ b> A to the extent that it can come into contact with the columnar portion side contact surface 16. Thereby, in the state where the spacer 19 is attached to the pusher 17, the spacer 19 can be pressed against the sensor sheet 100 without the spacer 19 falling between the guide member 20 </ b> A and the mounting table 11.

本変形例では、スペーサ19を有していることによって、センサーシート100がパネルに固定されて使用されている状況を再現し、パネルを介して操作入力が行われた場合における検出電極102の機能を検査することができる。   In this modification, the spacer 19 is provided to reproduce the situation where the sensor sheet 100 is fixed to the panel and used, and the function of the detection electrode 102 when an operation input is performed through the panel. Can be inspected.

なお、本変形例の押し子17Aは、スペーサ19が取り付けられていない状態でも使用することができる。これにより、パネルを設けない条件の下で静電容量センサーシート100の検査をすることもできる。   Note that the pusher 17A of the present modification can be used even when the spacer 19 is not attached. Thereby, the test | inspection of the electrostatic capacitance sensor sheet 100 can also be carried out on the conditions which do not provide a panel.

(変形例2)
次に、上述の実施形態の他の変形例について説明する。図8は、本変形例の検査治具を図2のA−A線と同様の断面で示す断面図である。
本変形例の検査治具10Bは、載置面12上に、センサーシート100を位置決めするための位置決め部材11Bが設けられている点が上述の検査治具10と異なっている。
位置決め部材11Bは、たとえば載置台11に形成された凹部13の開口の周囲に沿って所定の間隔を開けて複数設けられた突起状に形成されている。位置決め部材11Bによって囲まれる領域内にセンサーシート100を入れ込むことにより、載置面12上でセンサーシート100を位置決めすることができる。
(Modification 2)
Next, another modification of the above-described embodiment will be described. FIG. 8 is a cross-sectional view showing the inspection jig of this modification in the same cross section as the AA line of FIG.
The inspection jig 10B of this modification is different from the above-described inspection jig 10 in that a positioning member 11B for positioning the sensor sheet 100 is provided on the placement surface 12.
The positioning member 11B is formed in the shape of a plurality of protrusions provided at predetermined intervals along the periphery of the opening of the recess 13 formed in the mounting table 11, for example. The sensor sheet 100 can be positioned on the placement surface 12 by inserting the sensor sheet 100 into a region surrounded by the positioning member 11B.

(変形例3)
次に、上述の実施形態のさらに他の変形例について説明する。図9は、本変形例の検査治具を図2のA−A線と同様の断面で示す断面図である。
図9に示すように、本変形例の検査治具10Cは、センサーシート100の位置決めをすることができるとともに凹部13の底部とセンサーシート100との距離を調整できる点が上述の検査治具10と異なっている。
本変形例では、凹部13は、センサーシート100を内部に収容できる形状に開口されている。また、柱状部15に加えて、センサーシート100の外縁を支持する支持部材11Cをさらに備える。
また、柱状部15と支持部材11Cとは、載置台11に対して着脱自在であり、中心軸線方向の長さが異なる複数種類が用意されている。
本変形例では、中心軸線方向の長さが異なる柱状部15および支持部材11Cから1種類を選択して載置台11に取り付ける。これにより、柱状部15の上端は一平面上に揃い、センサーシート100を支持するための載置面12Aが生じる。また、支持部材11Cによって、センサーシート100における検出電極102の位置は位置決めされる。載置面12Aにセンサーシート100を載置することによって、上述の実施形態および変形例と同様にセンサーシート100の検出電極102に対する検査を行うことができる。
(Modification 3)
Next, still another modification of the above-described embodiment will be described. FIG. 9 is a cross-sectional view showing the inspection jig of this modification in the same cross section as the AA line of FIG.
As shown in FIG. 9, the inspection jig 10 </ b> C according to the present modification can position the sensor sheet 100 and can adjust the distance between the bottom of the recess 13 and the sensor sheet 100. Is different.
In this modification, the recess 13 is opened in a shape that can accommodate the sensor sheet 100 therein. In addition to the columnar portion 15, a support member 11 </ b> C that supports the outer edge of the sensor sheet 100 is further provided.
The columnar portion 15 and the support member 11C are detachable from the mounting table 11, and a plurality of types having different lengths in the central axis direction are prepared.
In the present modification, one type is selected from the columnar portion 15 and the support member 11 </ b> C having different lengths in the central axis direction and attached to the mounting table 11. Thereby, the upper ends of the columnar portions 15 are aligned on one plane, and a placement surface 12A for supporting the sensor sheet 100 is generated. Further, the position of the detection electrode 102 in the sensor sheet 100 is positioned by the support member 11C. By mounting the sensor sheet 100 on the mounting surface 12A, it is possible to inspect the detection electrode 102 of the sensor sheet 100 in the same manner as in the above-described embodiment and modification.

以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
たとえば、上述の変形例では、スペーサ内密着面および押し子側第二密着面が平坦な平面である例を示したが、スペーサ内密着面および押し子側第二密着面を、センサーシートの形状に倣う立体形状とすることもできる。これにより、立体的に成形されたセンサーシートにおいても精度よく検査を行うことができる。
また、上述の実施形態および変形例において示した構成要素は適宜に組み合わせて構成することが可能である。
As mentioned above, although embodiment of this invention was explained in full detail with reference to drawings, the concrete structure is not restricted to this embodiment, The design change etc. of the range which does not deviate from the summary of this invention are included.
For example, in the above-described modification, an example in which the spacer inner contact surface and the pusher side second contact surface are flat surfaces has been shown. However, the spacer inner contact surface and the pusher side second contact surface are formed in the shape of the sensor sheet. It can also be a three-dimensional shape following the above. Thereby, it can test | inspect with high precision also in the sensor sheet shape | molded in three dimensions.
Further, the constituent elements shown in the above-described embodiments and modifications can be combined as appropriate.

1 検査装置
10、10A、10B、10C 検査治具
11 載置台
12、12A 載置面
13 凹部
14 凸部
15 柱状部
16 柱状部側密着面
17、17A 押し子
17A1 押し子本体
18 押し子側密着面
19 スペーサ
19d 押し子側第二密着面
20、20A ガイド部材
21、21A 貫通孔
22 係止部
30 検査回路
40 表示部
100 センサーシート(静電容量センサーシート)
100a 一方の表面
100b 他方の表面
102 検出電極
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Inspection apparatus 10, 10A, 10B, 10C Inspection jig 11 Mounting base 12, 12A Mounting surface 13 Concave part 14 Convex part 15 Columnar part 16 Columnar part side contact surface 17, 17A Pusher 17A1 Pusher main body 18 Pusher side contact | adherence Surface 19 Spacer 19d Pusher side second contact surface 20, 20A Guide member 21, 21A Through hole 22 Locking portion 30 Inspection circuit 40 Display portion 100 Sensor sheet (capacitance sensor sheet)
100a One surface 100b The other surface 102 Detection electrode

Claims (6)

検出電極を有する静電容量センサーシートの検査をするために前記検出電極に接続される検査装置に適用される検査治具であって、
前記静電容量センサーシートとの間に空気層を生じさせる凹部を有し前記静電容量センサーシートが載置される載置台と、
前記凹部内に設けられ、前記載置台に載置された前記静電容量センサーシートの厚さ方向からみたときに前記検出電極と重なる位置で前記静電容量センサーシートを支持する柱状部と、
前記検査装置と電気的に接続され前記柱状部との間に前記検出電極が挟まれるように前記静電容量センサーシートに押し当てられる押し子と、
を備えることを特徴とする検査治具。
An inspection jig applied to an inspection apparatus connected to the detection electrode in order to inspect a capacitance sensor sheet having the detection electrode,
A mounting table on which the capacitance sensor sheet is mounted, having a recess that creates an air layer between the capacitance sensor sheet and
A columnar portion that is provided in the recess and supports the capacitance sensor sheet at a position overlapping the detection electrode when viewed from the thickness direction of the capacitance sensor sheet placed on the mounting table;
A pusher that is pressed against the capacitance sensor sheet so that the detection electrode is sandwiched between the columnar part and electrically connected to the inspection device;
An inspection jig comprising:
請求項1に記載の検査治具であって、
前記柱状部は、前記静電容量センサーシートの厚さ方向の一方の表面に密着するように前記一方の表面の形状に倣って形成された柱状部側密着面を有することを特徴とする検査治具。
The inspection jig according to claim 1,
The columnar portion has a columnar portion-side contact surface formed so as to follow the shape of the one surface so as to be in close contact with one surface in the thickness direction of the capacitance sensor sheet. Ingredients.
請求項1または2に記載の検査治具であって、前記押し子は、前記静電容量センサーシートの厚さ方向の一方の表面に対する他方の表面に密着するように前記他方の表面の形状に倣って形成された押し子側密着面を有することを特徴とする検査治具。   The inspection jig according to claim 1 or 2, wherein the pusher has a shape of the other surface so as to be in close contact with the other surface with respect to the one surface in the thickness direction of the capacitance sensor sheet. An inspection jig having a pusher-side contact surface formed by copying. 請求項3に記載の検査治具であって、
前記押し子側密着面は直径が5mm以上20mm以下の円形に形成され、
前記柱状部側密着面は前記押し子側密着面の直径よりも大きい直径を有する円形に形成されている
ことを特徴とする検査治具。
The inspection jig according to claim 3,
The pusher-side contact surface is formed in a circular shape having a diameter of 5 mm to 20 mm,
The columnar part-side contact surface is formed in a circular shape having a diameter larger than the diameter of the pusher-side contact surface.
請求項4に記載の検査治具であって、
前記載置台に着脱可能に取り付けられ前記押し子を前記柱状部へ向けて案内するガイド部材を有し、
前記ガイド部材には、前記柱状部の中心軸と同軸状に前記ガイド部材を貫通する貫通孔が形成され、
前記貫通孔の内寸は、前記押し子が進退自在に挿通されるとともに前記押し子の中心軸が前記柱状部の中心軸と略同軸となるように前記押し子を支持可能な内寸であり、
前記柱状部側密着面の外寸は、前記貫通孔の内寸と略等しい
ことを特徴とする検査治具。
The inspection jig according to claim 4,
A guide member that is detachably attached to the mounting table and guides the pusher toward the columnar part,
The guide member is formed with a through-hole penetrating the guide member coaxially with the central axis of the columnar portion,
The inner dimension of the through hole is an inner dimension capable of supporting the pusher so that the pusher is inserted in a freely movable manner and the central axis of the pusher is substantially coaxial with the central axis of the columnar portion. ,
The inspection jig characterized in that an outer dimension of the columnar part-side contact surface is substantially equal to an inner dimension of the through hole.
請求項3から5のいずれか一項に記載の検査治具であって、
前記押し子は、
前記検査装置と電気的に接続され前記押し子側密着面が形成された押し子本体と、
前記押し子本体に対して着脱可能であり前記他方の表面の形状に倣って形成された押し子側第二密着面を有し押し子側密着面と前記静電容量センサーシートとの間に所定の隙間を生じさせるスペーサと、
を有し、
前記スペーサの誘電率は、前記静電容量センサーシートの使用時に前記静電容量センサーシートの厚さ方向に重ねられるパネルの誘電率と略同じであり、
前記所定の隙間の大きさは、前記パネルの厚さと略等しい
ことを特徴とする検査治具。
The inspection jig according to any one of claims 3 to 5,
The pusher is
A pusher body electrically connected to the inspection device and formed with the pusher-side contact surface;
A pusher-side second contact surface that is detachably attached to the presser body and is formed following the shape of the other surface, and is predetermined between the presser-side contact surface and the capacitance sensor sheet. A spacer that creates a gap between
Have
The dielectric constant of the spacer is substantially the same as the dielectric constant of the panel stacked in the thickness direction of the capacitance sensor sheet when the capacitance sensor sheet is used.
The size of the predetermined gap is substantially equal to the thickness of the panel.
JP2011059295A 2011-03-17 2011-03-17 Inspection jig Active JP5507487B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011059295A JP5507487B2 (en) 2011-03-17 2011-03-17 Inspection jig

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011059295A JP5507487B2 (en) 2011-03-17 2011-03-17 Inspection jig

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2012194874A JP2012194874A (en) 2012-10-11
JP5507487B2 true JP5507487B2 (en) 2014-05-28

Family

ID=47086681

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011059295A Active JP5507487B2 (en) 2011-03-17 2011-03-17 Inspection jig

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5507487B2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5507526B2 (en) * 2011-11-10 2014-05-28 信越ポリマー株式会社 Inspection jig

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001196425A (en) * 1999-10-25 2001-07-19 Ibiden Co Ltd Wafer prober and ceramic board used for the same
JP2001296325A (en) * 2000-04-18 2001-10-26 Hioki Ee Corp Method and apparatus for inspection of circuit board
JP2005292090A (en) * 2004-04-05 2005-10-20 Sony Corp Inspection device, test jig, and test method
JP2010044730A (en) * 2008-07-17 2010-02-25 Nec Corp Touch panel inspection device and touch panel inspection method
JP2011090358A (en) * 2009-10-20 2011-05-06 Aitesu:Kk Inspection device of capacitive touch panel, and inspection method
JP2011108510A (en) * 2009-11-18 2011-06-02 Victor Co Of Japan Ltd Electrostatic capacity type switch inspection device

Also Published As

Publication number Publication date
JP2012194874A (en) 2012-10-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI775836B (en) Inspection jig and board inspection device
KR20150053232A (en) Inspection jig
JPWO2018021140A1 (en) Inspection jig, substrate inspection apparatus provided with the same, and manufacturing method of inspection jig
JP5822042B1 (en) Inspection jig, substrate inspection apparatus, and manufacturing method of inspection jig
JP2007057439A (en) Probe device and adjustment method for contact pressure between object to be inspected and probe
WO2006030573A1 (en) Circuit board inspecting apparatus
CN106415292B (en) Radio frequency test seat
JP5507487B2 (en) Inspection jig
KR101570215B1 (en) Inspecting Apparatus for Electronic Device
JP5098339B2 (en) Manufacturing method of substrate inspection jig
US9817030B2 (en) Testing device for testing an under-test object
CN103123363A (en) Printed circuit board testing device
JP5507526B2 (en) Inspection jig
KR101550743B1 (en) Probe Card
CN210347814U (en) Test fixture
KR101966895B1 (en) Touch sensor inspecting apparatus and method
CN111308237A (en) Survey value needle, survey value needle structure and automatic value measuring machine
JP2013073287A (en) Touch panel inspection device
CN201867430U (en) Positioning structure of test bench
JPS63302377A (en) Apparatus for inspecting circuit board
US10184978B2 (en) Probe card and method for producing a probe card
TW201407149A (en) Device for detecting shaft and method therefor
JPH05264654A (en) Burn-in board inspecting device
JP2010066031A (en) Circuit board inspection apparatus
JP2016211857A (en) Substrate for sensor, non-contact sensor of substrate inspection device, and manufacturing method of the same

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20130812

TRDD Decision of grant or rejection written
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20140212

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20140218

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20140319

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5507487

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250