JP5505215B2 - Photosensitive polyimide resin composition, flexible printed wiring board and method for producing the same - Google Patents

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Description

本発明は、密着性及びメッキ耐性に優れた、フレキシブルプリント配線板に有用なカバーレイ層を与えることができる感光性ポリイミド樹脂組成物に関する。   The present invention relates to a photosensitive polyimide resin composition having excellent adhesion and plating resistance and capable of providing a coverlay layer useful for a flexible printed wiring board.

フレキシブルプリント配線板を製造する場合、銅パターンが形成されたポリイミドベースの銅パターン側面に、ポリイミド樹脂にナフトキノンジアジド系感光剤とエポキシ系架橋剤とを配合してなる感光性ポリイミド樹脂組成物を塗布し、得られた感光性樹脂組成物膜に対し、銅パターンの端子部が開口するように露光・現像処理を施し、更に加熱架橋処理を施すことにより、カバーレイ層を形成している。   When manufacturing a flexible printed wiring board, a photosensitive polyimide resin composition comprising a polyimide resin mixed with a naphthoquinone diazide-based photosensitive agent and an epoxy-based crosslinking agent is applied to the side of the polyimide-based copper pattern on which the copper pattern is formed. Then, the obtained photosensitive resin composition film is subjected to exposure / development treatment so that the terminal portion of the copper pattern is opened, and further subjected to heat crosslinking treatment, thereby forming a coverlay layer.

ところで、フレキシブルプリント配線板は、有機物や無機物の積層構造をとる。このとき、積層体を構成する材料によっては、基板の反りを生じる懸念がある。従って、これらの配線板の反りを防ぐための重要なアプローチの一つとして、カバーレイ層自体の弾性率を低下させることが考えられる。この観点から、ポリイミド樹脂を構成する複数のジアミン成分の一つとしてシロキサンジアミンを使用することが提案されている(特許文献1〜3)。   By the way, the flexible printed wiring board has a laminated structure of organic matter and inorganic matter. At this time, there is a concern that the substrate may be warped depending on the material constituting the laminate. Therefore, it is conceivable to reduce the elastic modulus of the coverlay layer itself as one of the important approaches for preventing the warpage of these wiring boards. From this viewpoint, it has been proposed to use siloxane diamine as one of a plurality of diamine components constituting the polyimide resin (Patent Documents 1 to 3).

特開2003−131371号公報JP 2003-131371 A 特開2008−216984号公報JP 2008-216984 A 特開2009−68002号公報JP 2009-68002 A

しかしながら、シロキサンポリイミド樹脂を使用した従来の感光性ポリイミド樹脂組成物を塗布することにより形成したカバーレイ層の場合、弾性率は低くなるものの、特に銅パターンに対する碁盤目試験などによる密着性評価が十分な場合であっても、銅パターンの端子部に対応するカバーレイ層の領域をフォトリソグラフ技術により開口し、露出した銅パターンに直に電解メッキにより金属を析出させると、開口部内底隅から銅パターンとカバーレイ層との境界にメッキ液が差し込み、意図しない部分に金属メッキが析出してしまうという問題があった。   However, in the case of a coverlay layer formed by applying a conventional photosensitive polyimide resin composition using a siloxane polyimide resin, although the elastic modulus is low, the adhesion evaluation by a cross-cut test especially for a copper pattern is sufficient. Even in such a case, when the area of the cover lay layer corresponding to the terminal portion of the copper pattern is opened by photolithography technology, and metal is deposited directly on the exposed copper pattern by electrolytic plating, the copper is formed from the bottom corner of the opening portion. There is a problem that the plating solution is inserted into the boundary between the pattern and the coverlay layer, and metal plating is deposited on an unintended portion.

本発明は、以上の従来の技術の問題を解決しようとするものであり、密着性及び電解直メッキ耐性に優れたカバーレイ層を、シロキサンポリイミド樹脂を使用した感光性ポリイミド樹脂組成物から塗布により形成できるようにすることを目的とする。   The present invention is intended to solve the above-described problems of the prior art, and by applying a coverlay layer excellent in adhesion and electrolytic direct plating resistance from a photosensitive polyimide resin composition using a siloxane polyimide resin. It aims to be able to form.

本発明者は、シロキサンポリイミド樹脂を含有する感光性ポリイミド組成物に、種々の複素環チオール化合物を配合することにより本願発明の目的を達成できるのではないかという仮定の下、種々の複素環チオール化合物をスクリーニングしたところ、電解直メッキ耐性を改善できないばかりか、メッキ前の密着性すら改善できない複素環チオール化合物がある中で、ビスムチオール(2,5−ジメルカプト−1,3,4−チアジアゾール)が上述の目的を達成できることを見出し、本発明を完成させるに至った。   Under the assumption that the object of the present invention can be achieved by blending various heterocyclic thiol compounds with a photosensitive polyimide composition containing a siloxane polyimide resin, the present inventor has various heterocyclic thiols. As a result of screening compounds, there is a heterocyclic thiol compound that can not only improve resistance to electrolytic direct plating but also adhesion before plating. Bismuthiol (2,5-dimercapto-1,3,4-thiadiazole) is The inventors have found that the above object can be achieved and have completed the present invention.

即ち、本発明は、シロキサンポリイミド樹脂と、感光剤と、架橋剤とを含有する感光性ポリイミド組成物であって、ビスムチオールを含有することを特徴とする感光性ポリイミド樹脂組成物を提供する。   That is, the present invention provides a photosensitive polyimide resin composition containing a siloxane polyimide resin, a photosensitive agent, and a crosslinking agent, wherein the photosensitive polyimide resin composition contains bismuth thiol.

また、本発明は、基材上にメッキ被膜で被覆された端子部を有する導体パターンが形成されてなる基板と、該端子部を除く基板上に形成されたカバーレイ層とを有するフレキシブルプリント配線板であって、該カバーレイ層が、前述の本発明の感光性ポリイミド樹脂組成物の層が架橋されたものであることを特徴とするフレキシブルプリント配線板を提供する。   The present invention also relates to a flexible printed wiring comprising a substrate on which a conductor pattern having a terminal portion coated with a plating film is formed on a base material, and a coverlay layer formed on the substrate excluding the terminal portion. Provided is a flexible printed wiring board, wherein the coverlay layer is obtained by crosslinking the layer of the above-described photosensitive polyimide resin composition of the present invention.

更に、本発明は、基材上にメッキ被膜で被覆された端子部を有する導体パターンが形成されてなる基板と、該端子部を除く基板上に形成されたカバーレイ層とを有するフレキシブルプリント配線板の製造方法において、以下の工程(a)〜(e):
(a)基材上に端子部を有する導体パターンを形成して基板を取得する工程;
(b)基板の、導体パターンが形成された側の面上に前述の本発明の感光性ポリイミド樹脂組成物からなる感光性樹脂層を形成する工程;
(c)感光性樹脂層に対しフォトリソグラフィ処理を施すことにより端子部を露出させる工程;
(d)感光性樹脂層を架橋処理して架橋剤を架橋させ、それにより感光性樹脂層をカバーレイ層とする工程; 及び
(e)露出した端子部をメッキ皮膜で被覆する工程
を有することを特徴とする製造方法を提供する。
Furthermore, the present invention relates to a flexible printed wiring comprising a substrate on which a conductor pattern having a terminal portion coated with a plating film is formed on a base material, and a coverlay layer formed on the substrate excluding the terminal portion. In the method for producing a plate, the following steps (a) to (e):
(A) A step of obtaining a substrate by forming a conductor pattern having a terminal portion on a substrate;
(B) forming a photosensitive resin layer comprising the above-described photosensitive polyimide resin composition of the present invention on the surface of the substrate on which the conductor pattern is formed;
(C) a step of exposing the terminal portion by subjecting the photosensitive resin layer to a photolithography process;
(D) cross-linking the photosensitive resin layer to cross-link the cross-linking agent, thereby forming the photosensitive resin layer as a coverlay layer; and (e) covering the exposed terminal portion with a plating film. A manufacturing method is provided.

本発明の感光性シロキサンポリイミド組成物は、ビスムチオールを含有する。このため、ポリイミドベースとその上に形成された導体パターンからなるフレキシブルプリント配線板に、塗布によりカバーレイ層を形成した場合に、カバーレイ層に対し、ポリイミドベース並びに導体パターンに対し良好な密着性を付与し、しかも、また、導体パターンの端子部に対応するカバーレイ層の領域をフォトリソグラフ技術により開口し、露出した導体パターンに直に電解メッキにより金属を析出させても、開口部内底隅から導体パターンとカバーレイ層との境界にメッキ液の差し込みを防止し、意図しない部分に金属メッキが析出してしまうことを防止することができる。   The photosensitive siloxane polyimide composition of the present invention contains bismuth thiol. For this reason, when a coverlay layer is formed by coating on a flexible printed wiring board comprising a polyimide base and a conductor pattern formed thereon, good adhesion to the polyimide base and the conductor pattern with respect to the coverlay layer In addition, even if the area of the cover lay layer corresponding to the terminal portion of the conductor pattern is opened by photolithography, and metal is deposited directly on the exposed conductor pattern by electrolytic plating, the inner bottom corner of the opening portion can be obtained. Therefore, it is possible to prevent the plating solution from being inserted into the boundary between the conductor pattern and the cover lay layer, and to prevent the metal plating from being deposited on unintended portions.

図1は、本発明のフレキシブルプリント配線板の断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view of the flexible printed wiring board of the present invention. 図2は、本発明のフレキシブルプリント配線板の製造方法の工程説明図である。FIG. 2 is a process explanatory diagram of the method for producing a flexible printed wiring board of the present invention. 図3は、本発明のフレキシブルプリント配線板の製造方法の工程説明図である。FIG. 3 is a process explanatory diagram of the method for producing a flexible printed wiring board of the present invention. 図4は、本発明のフレキシブルプリント配線板の製造方法の工程説明図である。FIG. 4 is a process explanatory diagram of the method for producing a flexible printed wiring board of the present invention. 図5は、本発明のフレキシブルプリント配線板の製造方法の工程説明図である。FIG. 5 is a process explanatory diagram of the method for producing a flexible printed wiring board of the present invention.

本発明の感光性ポリイミド樹脂組成物は、シロキサンポリイミド樹脂と、感光剤と、架橋剤とを含有し、更に、ビスムチオールを含有する。このため、この感光性ポリイミド樹脂組成物を塗布することにより形成されるカバーレイ層に、良好な密着性と電解直メッキ耐性を付与することができる。   The photosensitive polyimide resin composition of the present invention contains a siloxane polyimide resin, a photosensitive agent, and a crosslinking agent, and further contains bismuth thiol. For this reason, good adhesion and electrolytic direct plating resistance can be imparted to the coverlay layer formed by applying this photosensitive polyimide resin composition.

ビスムチオールの感光性ポリイミド樹脂組成物における含有量は、少なすぎると電解直メッキ耐性が不十分となり、多すぎると導体パターンが銅パターンである場合に硫化銅の生成による銅パターンの黒変の発生が懸念されるので、シロキサンポリイミド樹脂100質量部に対し、好ましくは0.1〜10質量部、より好ましくは0.1〜5質量部である。   If the content of the bismuthiol in the photosensitive polyimide resin composition is too small, the resistance to electrolytic direct plating becomes insufficient. If the content is too large, blackening of the copper pattern due to the formation of copper sulfide occurs when the conductor pattern is a copper pattern. Since there is concern, it is preferably 0.1 to 10 parts by mass, more preferably 0.1 to 5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the siloxane polyimide resin.

本発明の感光性ポリイミド樹脂組成物を構成するシロキサンポリイミド樹脂は、ポリイミドを構成するジアミン成分として種々のシロキサンジアミンを使用したものであり、例えば、前出の特許文献1〜3に記載のシロキサンポリイミド樹脂を好ましく使用することができる。中でも、以下に説明する、主鎖にアミド結合を有する特許文献3のシロキサンポリイミド樹脂を、銅パターンなどの導体パターンへの密着性を向上させることができる点で好ましく使用することができる。   The siloxane polyimide resin constituting the photosensitive polyimide resin composition of the present invention uses various siloxane diamines as the diamine component constituting the polyimide. For example, the siloxane polyimide described in Patent Documents 1 to 3 above. Resins can be preferably used. Especially, the siloxane polyimide resin of patent document 3 which has an amide bond in the principal chain demonstrated below can be preferably used at the point which can improve the adhesiveness to conductor patterns, such as a copper pattern.

このようなシロキサンポリイミド樹脂は、以下式(1)で表されるアミド基含有シロキサンジアミン化合物を含むジアミン成分と、ピロメリットテトラカルボン酸二無水物、3,3´,4,4´−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3´,4,4´−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、3,3´,4,4´−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、2,2´−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン酸二無水物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、4,4´−(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸二無水物、9,9−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)フルオレン酸二無水物、9,9−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]フルオレン酸二無水物、及び1,2,3,4−シクロブタン酸二無水物からなる群より選択される少なくとも一種の芳香族酸二無水物を含む酸二無水物成分とを、イミド化してなるものである。   Such a siloxane polyimide resin includes a diamine component containing an amide group-containing siloxane diamine compound represented by the following formula (1), pyromellitic tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenone tetra Carboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride, 2,2′-bis ( 3,4-dicarboxyphenyl) propanoic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 4,4 '-(hexafluoroisopropylidene) diphthalic dianhydride, 9,9 -Bis (3,4-dicarboxyphenyl) fluoric acid dianhydride, 9,9-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] fluoric acid dianhydride And an acid dianhydride component containing at least one aromatic acid dianhydride selected from the group consisting of 1,2,3,4-cyclobutanoic acid dianhydride.

ここで、シロキサンポリイミド樹脂の必須ジアミン成分であるアミド基含有シロキサンジアミン化合物は、式(1)の化学構造を有する。   Here, the amide group-containing siloxane diamine compound which is an essential diamine component of the siloxane polyimide resin has a chemical structure of the formula (1).

Figure 0005505215
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式(1)中、R及びRは、それぞれ独立的に置換されてもよいアルキレン基であるが、その具体例としては、メチレン基、エチレン基、トリメチレン基、テトラメチレン基、ペンタメチレン基、ヘキサメチレン基を挙げることができる。置換基としては、メチル基、エチル基等の低級アルキル基、フェニル基等のアリール基を挙げることができる。中でも、原材料の入手の容易さからトリメチレン基が望ましい。また、R及びRは同一であっても、互いに相違してもよいが、相違すると原材料の入手が困難になるため同一であることが望ましい。 In formula (1), R 1 and R 2 are each an alkylene group that may be independently substituted. Specific examples thereof include a methylene group, an ethylene group, a trimethylene group, a tetramethylene group, and a pentamethylene group. And hexamethylene group. Examples of the substituent include a lower alkyl group such as a methyl group and an ethyl group, and an aryl group such as a phenyl group. Among these, a trimethylene group is desirable because of the availability of raw materials. R 1 and R 2 may be the same or different from each other, but if they are different, it is difficult to obtain raw materials, and it is desirable that they are the same.

また、mは1〜30の整数であるが、好ましくは1〜20、より好ましくは2〜20の整数である。これは、mが0であると原材料の入手が困難となり、30を超えると反応溶媒に混ざらず分離するからである。一方、nは0〜20の整数であるが、好ましくは1〜20、より好ましくは1〜10の整数である。これは、nは1以上であると、難燃性に優れたジフェニルシロキサン単位が導入されることになり、導入されていない場合よりも難燃性が向上し、20を超えると低弾性への寄与が小さくなるからである。   Moreover, although m is an integer of 1-30, Preferably it is 1-20, More preferably, it is an integer of 2-20. This is because when m is 0, it is difficult to obtain raw materials, and when m exceeds 30, it is separated without being mixed with the reaction solvent. On the other hand, n is an integer of 0 to 20, preferably 1 to 20, more preferably an integer of 1 to 10. This is because when n is 1 or more, a diphenylsiloxane unit excellent in flame retardancy is introduced, the flame retardancy is improved as compared with the case where it is not introduced, and when it exceeds 20, the elasticity is lowered. This is because the contribution becomes small.

式(1)のアミド基含有シロキサンジアミン化合物の数平均分子量は、m、nの数により変動するが、好ましくは500〜3000、より好ましくは1000〜2000である。   The number average molecular weight of the amide group-containing siloxane diamine compound of the formula (1) varies depending on the number of m and n, but is preferably 500 to 3000, more preferably 1000 to 2000.

式(1)のアミド基含有シロキサンジアミン化合物は、分子の両末端部にアミド結合を有することから、それから調製されたシロキサンポリイミド樹脂にもアミド結合が引き継がれることになる。このため配線板の銅など導体部に対する、アミド基含有シロキサンジアミン化合物由来のポリイミド樹脂の接着性が向上する。   Since the amide group-containing siloxane diamine compound of the formula (1) has amide bonds at both ends of the molecule, the amide bonds are also succeeded to the siloxane polyimide resin prepared therefrom. For this reason, the adhesiveness of the polyimide resin derived from an amide group containing siloxane diamine compound with respect to conductor parts, such as copper of a wiring board, improves.

式(1)のアミド基含有シロキサンジアミン化合物は、以下の反応スキームに従って製造することができる。   The amide group-containing siloxane diamine compound of the formula (1) can be produced according to the following reaction scheme.

Figure 0005505215
Figure 0005505215

式(1)〜(4)中、R、R、m及びnは、式(1)において既に説明した通りであり、Xは塩素、臭素などのハロゲン原子である。 In formulas (1) to (4), R 1 , R 2 , m and n are as already described in formula (1), and X is a halogen atom such as chlorine or bromine.

式(1)のアミド基含有シロキサンジアミン化合物の製造方法においては、まず、式(2)のジアミン化合物と、式(3)のニトロベンゾイルハライドを求核置換反応させて式(4)のアミド基含有ジニトロ化合物を形成する。この場合、例えば、トリエチルアミンなどの塩基の存在下、トルエン等の溶媒中で式(2)の化合物と式(3)の化合物とを加熱混合することにより式(4)のジニトロ化合物を形成することができる(Organic Chemistry,第5版,283頁(Ed.Stanley H. Pine)参照)。   In the method for producing the amide group-containing siloxane diamine compound of the formula (1), first, the diamine group of the formula (4) and the nitrobenzoyl halide of the formula (3) are subjected to a nucleophilic substitution reaction to obtain an amide group of the formula (4). A containing dinitro compound is formed. In this case, for example, the dinitro compound of formula (4) is formed by heating and mixing the compound of formula (2) and the compound of formula (3) in a solvent such as toluene in the presence of a base such as triethylamine. (See Organic Chemistry, 5th edition, page 283 (Ed. Stanley H. Pine)).

次に、式(4)のジニトロ化合物のニトロ基をアミノ基に還元する。これにより式(1)の新規なアミド基含有シロキサンジアミン化合物が得られる。ニトロ基をアミノ基に変換して式(1)の化合物が得られる限り還元方法に制限はないが、例えば安息香酸エチルとエタノールとの混合溶媒中、パラジウムカーボン触媒の存在下で式(4)の化合物を過剰の水素と接触させる方法が挙げられる(Organic Chemistry,第5版,642頁(Ed.Stanley H. Pine)参照)。   Next, the nitro group of the dinitro compound of formula (4) is reduced to an amino group. Thereby, the novel amide group containing siloxane diamine compound of Formula (1) is obtained. The reduction method is not limited as long as the compound of formula (1) is obtained by converting the nitro group to an amino group. For example, in the mixed solvent of ethyl benzoate and ethanol, but in the presence of a palladium carbon catalyst, the formula (4) (See Organic Chemistry, 5th edition, page 642 (Ed. Stanley H. Pine)).

本発明で使用するシロキサンポリイミド樹脂を構成するジアミン成分中の式(1)で表されるアミド基含有シロキサンジアミン化合物の含有量は、少なすぎると無電解メッキ耐性が悪化し、多すぎると反りが大きくなるので、好ましくは0.1〜20モル%、より好ましくは0.1〜15モル%である。   If the content of the amide group-containing siloxane diamine compound represented by the formula (1) in the diamine component constituting the siloxane polyimide resin used in the present invention is too small, the electroless plating resistance is deteriorated, and if it is too large, warping occurs. Since it becomes large, Preferably it is 0.1-20 mol%, More preferably, it is 0.1-15 mol%.

ジアミン成分には、必須成分である式(1)のアミド基含有シロキサンジアミン化合物に加えて、反りを小さくするために式(2)のシロキサンジアミン化合物を含有させることができる。式(2)のシロキサンジアミン化合物の含有量は、少なすぎると反り防止の効果が十分でなく、多すぎると難燃性が低下するので、好ましくは40〜90モル%、より好ましくは50〜80モル%である。更に、ジアミン成分は、式(1)及び式(2)のジアミン化合物に加えて、ポジ型の感光性付与の基礎となるアルカリ溶解性を達成するために、3,3´−ジアミノ−4,4´−ジヒドロキシジフェニルスルホンを含有することができる。3,3´−ジアミノ−4,4´−ジヒドロキシジフェニルスルホンのジアミン成分中の含有量は、少なすぎるとアルカリ溶解性が得られず、多すぎるとアルカリ溶解性が高くなりすぎるので、好ましくは20〜50モル%、より好ましくは25〜45モル%である。   In addition to the amide group-containing siloxane diamine compound of formula (1), which is an essential component, the diamine component can contain a siloxane diamine compound of formula (2) in order to reduce warpage. If the content of the siloxane diamine compound of the formula (2) is too small, the effect of preventing warpage is not sufficient, and if it is too large, the flame retardancy decreases, so it is preferably 40 to 90 mol%, more preferably 50 to 80%. Mol%. Further, in addition to the diamine compounds of the formulas (1) and (2), the diamine component is 3,3′-diamino-4, in order to achieve alkali solubility as a basis for imparting positive photosensitivity. 4'-dihydroxydiphenyl sulfone can be contained. If the content of 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxydiphenylsulfone in the diamine component is too small, alkali solubility cannot be obtained, and if it is too large, alkali solubility becomes too high. It is -50 mol%, More preferably, it is 25-45 mol%.

Figure 0005505215
Figure 0005505215

式(2)中、R、R、m、nは、式(1)で説明したとおりである。 In formula (2), R 1 , R 2 , m, and n are as described in formula (1).

ジアミン成分として、式(2)及び3,3´−ジアミノ−4,4´−ジヒドロキシジフェニルスルホンに加えて、本発明の効果を損なわない範囲で、一般的なポリイミド樹脂のジアミン成分として使用されているものと同様のジアミン化合物(特許第3363600号明細書段落0008参照)を併用することができる。   As a diamine component, in addition to the formula (2) and 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxydiphenyl sulfone, it is used as a diamine component of a general polyimide resin as long as the effects of the present invention are not impaired. A diamine compound similar to the one described above (see Japanese Patent No. 3363600, paragraph 0008) can be used in combination.

シロキサンポリイミド樹脂を構成する酸二無水物成分としては、ピロメリットテトラカルボン酸二無水物、3,3´,4,4´−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3´,4,4´−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、3,3´,4,4´ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、2,2´−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン酸二無水物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、4,4´−(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸二無水物、9,9−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)フルオレン酸二無水物、9,9−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]フルオエレン酸二無水物、及び1,2,3,4−シクロブタン酸二無水物からなる群より選択される少なくとも一種の芳香族酸二無水物を含む酸二無水物成分を挙げることができる。中でも、ポジ型の感光性付与の基礎となるアルカリ溶解性を高める点から3,3´,4,4´−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物を使用することが好ましい。   Examples of the acid dianhydride component constituting the siloxane polyimide resin include pyromellitic tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4 ′. -Diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ', 4,4' diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride, 2,2'-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propanoic dianhydride, 1, 4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 4,4 '-(hexafluoroisopropylidene) diphthalic dianhydride, 9,9-bis (3,4-dicarboxyphenyl) fluorenic dianhydride , 9,9-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] fluorenoic dianhydride, and 1,2,3,4-cyclobutanoic dianhydride Mention may be made of acid dianhydride components comprising at least one aromatic dianhydride selected. Of these, 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride is preferably used from the viewpoint of enhancing alkali solubility, which is the basis for imparting positive photosensitivity.

酸二無水物成分として、上述した化合物に加えて、本発明の効果を損なわない範囲で、一般的なポリイミド樹脂の酸二無水物成分として使用されているものと同様の酸二無水物(特許第3363600号明細書段落0009参照)を併用することができる。   As an acid dianhydride component, in addition to the above-mentioned compounds, an acid dianhydride similar to that used as an acid dianhydride component of a general polyimide resin as long as the effects of the present invention are not impaired (patent No. 3363600, paragraph 0009) can be used in combination.

本発明で使用するシロキサンポリイミド樹脂は、上述した式(1)のアミド基含有シロキサンジアミン化合物を含有するジアミン成分と、酸二無水物成分とをイミド化することにより製造することができる。ここで、ジアミン成分1モルに対する酸二無水物成分のモル比は、通常、0.8〜1.2、好ましくは0.9〜1.1である。また、ポリイミド樹脂の分子末端を封止するために、必要に応じて、ジカルボン酸無水物やモノアミン化合物をイミド化の際に共存させることができる(特許第3363600号明細書段落0011参照)。   The siloxane polyimide resin used in the present invention can be produced by imidizing a diamine component containing the amide group-containing siloxane diamine compound of formula (1) described above and an acid dianhydride component. Here, the molar ratio of the acid dianhydride component to 1 mol of the diamine component is usually 0.8 to 1.2, preferably 0.9 to 1.1. Moreover, in order to seal the molecular terminal of a polyimide resin, if necessary, a dicarboxylic acid anhydride or a monoamine compound can be allowed to coexist during imidization (see Japanese Patent No. 3363600, paragraph 0011).

イミド化の条件としては、公知のイミド化条件の中から適宜採用することができる。この場合、ポリアミック酸などの中間体を形成し、続いてイミド化する条件も含まれる。例えば、公知の溶液イミド化条件、加熱イミド化条件、化学イミド化条件により行うことができる(次世代のエレクトロニクス・電子材料に向けた新しいポリイミドの開発と高機能付与技術、技術情報協会、2003、p42)。   As conditions for imidization, any of known imidization conditions can be appropriately employed. In this case, conditions for forming an intermediate such as polyamic acid and then imidizing are also included. For example, it can be carried out under known solution imidization conditions, heat imidization conditions, and chemical imidization conditions (development of new polyimides for next-generation electronics and electronic materials and technology for imparting high functionality, Technical Information Association, 2003, p42).

以上説明したシロキサンポリイミド樹脂の好ましい態様は、以下の構造式(a)で表されるポリイミド樹脂を必須成分として含有する。また、以下の構造式(b)と構造式(c)のポリイミド樹脂を更に含有することが好ましい。   The preferable aspect of the siloxane polyimide resin demonstrated above contains the polyimide resin represented by the following structural formula (a) as an essential component. Moreover, it is preferable to further contain the polyimide resin of the following structural formula (b) and structural formula (c).

Figure 0005505215
Figure 0005505215

本発明で使用する感光剤としては、従来よりポジ型レジスト組成物の感光剤として使用されているキノンジアジド系感光剤を好ましく使用することができ、例えば、ジアゾナフトキノン(DNQ)、1,2−ナフトキノン−2−ジアジド−5−スルホン酸または1,2−ナフトキノン−2−ジアジド−4−スルホン酸と、低分子芳香族ヒドロキシ化合物とのエステル化合物、例えば、2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノン、1,3,5−トリヒドロキシベンゼン、2,3,4,4´−テトラヒドロキシベンゾフェノン、2−及び4−メチルフェノール、4,4´−ヒドロキシプロパンとのエステル化合物などが挙げられるが、これらに限定されるものではない。特に好ましいキノンジアジド系感光剤としてはナフトキノンジアジド誘導体を好ましく挙げることができる。ここで、ナフトキノンジアジド誘導体の具体例としては、以下の化学構造式(F)、(G)、(H)で表されるナフトキノンジアジド誘導体等を挙げることができる。これらは二種以上を併用することができる。これらの中でも、高感度であるという点から化学構造式(G)のナフトキノンジアジド誘導体を好ましく使用することができる。   As the photosensitizer used in the present invention, quinonediazide photosensitizers conventionally used as photosensitizers for positive resist compositions can be preferably used. For example, diazonaphthoquinone (DNQ), 1,2-naphthoquinone. Esters of 2-diazide-5-sulfonic acid or 1,2-naphthoquinone-2-diazide-4-sulfonic acid and low-molecular aromatic hydroxy compounds, such as 2,3,4-trihydroxybenzophenone, 1 , 3,5-trihydroxybenzene, 2,3,4,4′-tetrahydroxybenzophenone, 2- and 4-methylphenol, ester compounds with 4,4′-hydroxypropane, and the like. Is not to be done. Particularly preferred examples of the quinonediazide photosensitizer include naphthoquinonediazide derivatives. Here, specific examples of the naphthoquinone diazide derivative include naphthoquinone diazide derivatives represented by the following chemical structural formulas (F), (G), and (H). Two or more of these can be used in combination. Among these, the naphthoquinone diazide derivative of the chemical structural formula (G) can be preferably used from the viewpoint of high sensitivity.

Figure 0005505215
Figure 0005505215

なお、これらの化学構造式(F)、(G)及び(H)のそれぞれにおいて、複数存在する置換基Rの全てがナフトキノンジアジドスルホニル基であることが好ましい。他方、すべてのRがHであることはない。   In each of these chemical structural formulas (F), (G), and (H), it is preferable that all of the plurality of substituents R are naphthoquinonediazidosulfonyl groups. On the other hand, not all R are H.

本発明の感光性ポリイミド樹脂組成物における感光剤の含有量は、少なすぎるとパターン形成が困難となるおそれがあり、多すぎると膜物性が低下するおそれがあるので、シロキサンポリイミド樹脂100質量部に対し、好ましくは5〜50質量部、より好ましくは10〜30質量部である。   If the content of the photosensitive agent in the photosensitive polyimide resin composition of the present invention is too small, pattern formation may be difficult, and if it is too large, film properties may be reduced. On the other hand, it is preferably 5 to 50 parts by mass, more preferably 10 to 30 parts by mass.

架橋剤としては、基本的にポリイミド樹脂の架橋剤として使用されているものを使用することができる。例えば、エポキシ樹脂類、ポリイソシアネート類、ベンゾオキサジン類、レゾール樹脂類などを挙げることができる。また、架橋剤の配合量は、少なすぎると膜物性が低下するおそれがあり、多すぎると感光性が低下するおそれがあるので、シロキサンポリイミド樹脂100質量部に対し、好ましくは0.1〜30質量部、より好ましくは1〜10質量部である。   As the crosslinking agent, those basically used as a crosslinking agent for polyimide resins can be used. For example, epoxy resins, polyisocyanates, benzoxazines, resol resins and the like can be mentioned. Moreover, since there exists a possibility that film | membrane physical property may fall when there are too few compounding quantities of a crosslinking agent, and there exists a possibility that photosensitivity may fall when there is too much, Preferably it is 0.1-30 with respect to 100 mass parts of siloxane polyimide resins. It is 1 part by mass, more preferably 1-10 parts by mass.

なお、架橋剤として広く使用されているエポキシ樹脂類やポリイソシアネート類の場合、ビスムチオールと反応し、樹脂組成物をゲル化させることが懸念されるので、主体的に用いることは避けることが好ましい。   In the case of epoxy resins and polyisocyanates that are widely used as crosslinking agents, it is preferable to avoid using them mainly because they react with bismuthiol and cause the resin composition to gel.

本発明の感光性ポリイミド樹脂組成物は、必要に応じて、トルエン、γ−ブチロラクトン、トリグライム、ジグライム、安息香酸メチル、安息香酸エチル、N−メチルピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド等の有機溶剤を含有することができる。中でも、印刷性が良好なγ−ブチロラクトン、トリグライムを好ましく使用することができる。なお、有機溶媒の使用量は、通常、シロキサンポリイミド樹脂100質量部に対し、好ましくは10〜1000質量部、より好ましくは20〜500質量部である。   If necessary, the photosensitive polyimide resin composition of the present invention may be toluene, γ-butyrolactone, triglyme, diglyme, methyl benzoate, ethyl benzoate, N-methylpyrrolidone, N, N-dimethylacetamide, N, N- An organic solvent such as dimethylformamide can be contained. Among these, γ-butyrolactone and triglyme having good printability can be preferably used. In addition, the usage-amount of an organic solvent is normally 10-1000 mass parts with respect to 100 mass parts of siloxane polyimide resins, More preferably, it is 20-500 mass parts.

本発明の感光性ポリイミド樹脂組成物は、シロキサンポリイミド樹脂と、感光剤と、架橋剤と、ビスムチオールと、必要に応じて有機溶剤、その他の添加剤、例えば、防錆剤等とを、常法により均一に混合することにより調製することができる。   The photosensitive polyimide resin composition of the present invention comprises a siloxane polyimide resin, a photosensitizer, a crosslinking agent, a bismuthiol, an organic solvent, and other additives such as a rust preventive agent as required. Can be prepared by mixing more uniformly.

以上説明した本発明の感光性ポリイミド樹脂組成物は、以下に説明するフレキシブルプリント配線板のカバーレイ層に好ましく適用することができる(図1参照)。   The photosensitive polyimide resin composition of the present invention described above can be preferably applied to a coverlay layer of a flexible printed wiring board described below (see FIG. 1).

このフレキシブルプリント配線板10は、基材1上にメッキ被膜2で被覆された端子部3を有する導体パターン4が形成されてなる基板5と、該端子部3を除く基板5上に形成されたカバーレイ層6とを有する。このカバーレイ層6は、本発明の感光性ポリイミド樹脂組成物の塗布層を架橋されたものである。   The flexible printed wiring board 10 is formed on a substrate 5 on which a conductor pattern 4 having a terminal portion 3 covered with a plating film 2 is formed on a base material 1 and a substrate 5 excluding the terminal portion 3. And a coverlay layer 6. This coverlay layer 6 is obtained by crosslinking a coating layer of the photosensitive polyimide resin composition of the present invention.

基板5を構成する基材1としては、従来よりフレキシブルプリント配線板の基材として使用されている樹脂フィルムを使用することができ、例えば銅箔との線熱膨張係数が近似するポリイミドフィルムを好ましく使用することできる。このような樹脂フィルムの厚みは通常12.5〜25μmである。   As the base material 1 constituting the substrate 5, a resin film that has been conventionally used as a base material for flexible printed wiring boards can be used. For example, a polyimide film having a linear thermal expansion coefficient approximate to that of a copper foil is preferable. Can be used. The thickness of such a resin film is usually 12.5 to 25 μm.

基板5を構成する導体パターン4は、基材1上に積層された9〜35μm厚の銅箔等をフォトリソグラフ技術等の公知のパターニング技術で形成されたものである。   The conductive pattern 4 constituting the substrate 5 is formed by forming a 9 to 35 μm thick copper foil or the like laminated on the base material 1 by a known patterning technique such as a photolithographic technique.

メッキ被膜2として、導体パターン4の端子部3に無電解メッキを施すことにより形成された無電解メッキ被膜(例えば、無電解ニッケルメッキ被膜、無電解金メッキ被膜)、そのような無電解メッキ被膜に更に電解メッキ被膜を積層した積層メッキ被膜(例えば、無電解メッキ被膜に電解金メッキ被膜を積層したもの)、導体パターン4の端子部3に直に電解メッキを施すことにより形成された電解直メッキ被膜(例えば、電解直金メッキ被膜)を挙げることができる。中でも、電解直メッキ耐性という本発明の効果の点から、電解直メッキ被膜を好ましく適用することができる。なお、端子部3は、フレキシブルプリント配線板10の使用目的等に応じ、導体パターン4において端子として指定された領域を意味する。   As the plating film 2, an electroless plating film (for example, an electroless nickel plating film or an electroless gold plating film) formed by performing electroless plating on the terminal portion 3 of the conductor pattern 4, such an electroless plating film is used. Further, a laminated plating film in which an electrolytic plating film is laminated (for example, an electrolytic gold plating film laminated on an electroless plating film), and an electrolytic direct plating film formed by directly performing electrolytic plating on the terminal portion 3 of the conductor pattern 4 (For example, electrolytic direct gold plating film). Among these, an electrolytic direct plating film can be preferably applied from the viewpoint of the effect of the present invention that is resistance to electrolytic direct plating. In addition, the terminal part 3 means the area | region designated as a terminal in the conductor pattern 4 according to the intended purpose etc. of the flexible printed wiring board 10. FIG.

カバーレイ層6は、既に説明した本発明の感光性ポリイミド樹脂組成物の塗布層を、樹脂組成物に含有されている架橋剤の作用により架橋したものである。塗布層の形成は、公知の塗布技術を使用して行うことができる。また、架橋は、架橋剤の種類等に応じ、加熱処理、光照射などにより行うことができる。   The coverlay layer 6 is obtained by crosslinking the already described coating layer of the photosensitive polyimide resin composition of the present invention by the action of a crosslinking agent contained in the resin composition. Formation of a coating layer can be performed using a well-known coating technique. Further, the crosslinking can be performed by heat treatment, light irradiation, or the like depending on the type of the crosslinking agent.

このようなフレキシブルプリント配線板は、以下の工程(a)〜(e)を実施することにより製造することができる。工程毎に説明する。   Such a flexible printed wiring board can be manufactured by performing the following steps (a) to (e). It demonstrates for every process.

工程(a)
基材1上に、端子部3を有する導体パターン4を常法に従って形成して基板5を取得する(図2)。この場合、ポリイミドフィルム基材に銅箔が積層された銅張積層板を原反として使用することが好ましい。
Step (a)
A conductor pattern 4 having terminal portions 3 is formed on a base material 1 according to a conventional method to obtain a substrate 5 (FIG. 2). In this case, it is preferable to use the copper clad laminated board by which the copper foil was laminated | stacked on the polyimide film base material as an original fabric.

工程(b)
基板5の、導体パターン4が形成された側の面上に本発明の感光性ポリイミド樹脂組成物を、公知の塗布法により塗布して感光性樹脂層6´を形成する(図3)。
Step (b)
The photosensitive polyimide resin composition of the present invention is applied to the surface of the substrate 5 on the side where the conductor pattern 4 is formed by a known coating method to form a photosensitive resin layer 6 '(FIG. 3).

工程(c)
得られた感光性樹脂層6´に対しフォトリソグラフィ処理を施すことにより端子部3を露出させる(図4)。具体的には、感光性樹脂層6´上に、端子部3に相当する部分が開口したレジストマスクを形成し、露光し、アルカリ液で現像することにより、導体パターン4の端子部3を露出させる。
Step (c)
The terminal part 3 is exposed by performing a photolithography process with respect to the obtained photosensitive resin layer 6 '(FIG. 4). Specifically, a resist mask having an opening corresponding to the terminal portion 3 is formed on the photosensitive resin layer 6 ′, exposed, and developed with an alkaline solution to expose the terminal portion 3 of the conductor pattern 4. Let

工程(d)
次に、感光性樹脂層6´を架橋処理して架橋剤を架橋させ、それにより感光性樹脂層をカバーレイ層6とする(図5)。架橋処理としては、架橋剤の種類等に応じて加熱処理や光照射処理が挙げられるが、好ましくはビスムチオールの分解点(156℃)を超えない温度で加熱処理することが好ましい。
Step (d)
Next, the photosensitive resin layer 6 ′ is subjected to a crosslinking treatment to crosslink the crosslinking agent, whereby the photosensitive resin layer is used as the coverlay layer 6 (FIG. 5). Examples of the cross-linking treatment include heat treatment and light irradiation treatment depending on the type of the cross-linking agent, and it is preferable to perform heat treatment at a temperature not exceeding the decomposition point of bismuththiol (156 ° C.).

工程(e)
次に、露出した端子部を、無電解メッキ及び/又は電解メッキ処理によりメッキ被膜2で被覆する。好ましくは電解直メッキ処理によりメッキ被膜2で被覆する。これにより、図1に記載のフレキシブルプリント配線板が得られる。
Step (e)
Next, the exposed terminal portion is covered with the plating film 2 by electroless plating and / or electrolytic plating. Preferably, the plating film 2 is coated by electrolytic direct plating. Thereby, the flexible printed wiring board shown in FIG. 1 is obtained.

以下、発明を実施例により具体的に説明する。   Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to examples.

参考例1(シロキサンポリイミド樹脂の調製)
(1)シロキサンジアミンの調整
冷却機、温度計、滴下ロート及び撹拌機を備えた2リットルの反応器に、トルエン500g、式(2)のシロキサンジアミン(R、R=トリメチレン; 商品名 X−22−9409、信越化学工業)200g(0.148mmol)、及びトリエチルアミン30g(0.297mol)を投入した。次いで、p−ニトロベンゾイルクロライド54.7g(0.295mol)をトルエン300gに溶解させた溶液を滴下ロートに投入した。反応器内を撹拌しながら50℃まで昇温した後、滴下ロート内の溶液を1時間かけて滴下した。滴下終了後、昇温させ撹拌を6時間行い、還流下で反応させた。反応終了後、30℃に冷却し、800gの水を加えて強撹拌した後、分液ロートに移液し、静置分液した。5%水酸化ナトリウム水溶液300gでの洗浄を3回行い、飽和塩化ナトリウム水溶液300gでの洗浄を2回行った。有機層を硫酸マグネシウムで乾燥、トルエン溶媒を加熱減圧溜去し、濃縮後、60℃で1日減圧乾燥した。得られたα−(p−ニトロベンゾイルイミノプロピルジメチルシロキシ)−ω(p−ニトロベンゾイルイミノプロピルジメチルシリル)オリゴ(ジメチルシロキサン−co−ジフェニルシロキサン)(以下、ジニトロ体)を、収量235g(収率96%)で得た。ジニトロ体は淡黄色のオイル状であった。
Reference Example 1 (Preparation of siloxane polyimide resin)
(1) Preparation of siloxane diamine To a 2-liter reactor equipped with a cooler, thermometer, dropping funnel and stirrer, 500 g of toluene, siloxane diamine of formula (2) (R 1 , R 2 = trimethylene; trade name X -22-9409, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) 200 g (0.148 mmol) and triethylamine 30 g (0.297 mol) were added. Subsequently, a solution in which 54.7 g (0.295 mol) of p-nitrobenzoyl chloride was dissolved in 300 g of toluene was charged into the dropping funnel. The temperature in the reactor was increased to 50 ° C. while stirring, and then the solution in the dropping funnel was added dropwise over 1 hour. After completion of the dropwise addition, the temperature was raised and the mixture was stirred for 6 hours and reacted under reflux. After completion of the reaction, the mixture was cooled to 30 ° C., 800 g of water was added, and the mixture was vigorously stirred. Washing with 300 g of 5% aqueous sodium hydroxide was performed 3 times, and washing with 300 g of saturated aqueous sodium chloride was performed twice. The organic layer was dried over magnesium sulfate, the toluene solvent was distilled off under reduced pressure, concentrated, and dried under reduced pressure at 60 ° C. for 1 day. The obtained α- (p-nitrobenzoyliminopropyldimethylsiloxy) -ω (p-nitrobenzoyliminopropyldimethylsilyl) oligo (dimethylsiloxane-co-diphenylsiloxane) (hereinafter, dinitro form) was obtained in a yield of 235 g (yield). 96%). The dinitro product was a pale yellow oil.

得られたジニトロ体112g(0.068mol)を、撹拌子、水素導入管及び水素球を備えた1リットルの反応器に、酢酸エチル180g、エタノール320g、及び2%パラジウム−炭素20g(含水率50%)を共に投入した。反応器内を水素ガス雰囲気下に置換した後、水素球圧力下に室温で撹拌を2日続けた。反応混合液から触媒をろ過除去し、反応液を減圧加熱下に濃縮した後、減圧下で60℃で乾燥を2日行い、淡黄色のオイルとしてα−(p−アミノベンゾイルイミノプロピルジメチルシロキシ)−ω−(アミノベンゾイルイミノプロピルジメチルシリル)オリゴ(ジメチルシロキサン−co−ジフェニルシロキサン)(本発明で使用するアミド基含有シロキサンジアミン化合物)を、収量102g(収率95%)得た。得られたアミド基含有シロキサンジアミン化合物のアミン価は69.96KOHmg/gであり、アミノ基当量は802g/molであった。なお、アミン価は、電位差自動滴定装置(AT−500、京都電子工業株式会社製)を用いて測定した。アミノ基当量は56.106/(アミン価)×1000により算出した。   112 g (0.068 mol) of the obtained dinitro compound was placed in a 1 liter reactor equipped with a stirrer, a hydrogen introduction tube and a hydrogen bulb, 180 g of ethyl acetate, 320 g of ethanol, and 20 g of 2% palladium-carbon (water content 50). %). After replacing the inside of the reactor with a hydrogen gas atmosphere, stirring was continued for 2 days at room temperature under hydrogen bulb pressure. The catalyst was removed by filtration from the reaction mixture, and the reaction mixture was concentrated under reduced pressure and then dried at 60 ° C. under reduced pressure for 2 days. Α- (p-aminobenzoyliminopropyldimethylsiloxy) was obtained as a pale yellow oil. A yield of 102 g (yield: 95%) of -ω- (aminobenzoyliminopropyldimethylsilyl) oligo (dimethylsiloxane-co-diphenylsiloxane) (amide group-containing siloxane diamine compound used in the present invention) was obtained. The amine value of the obtained amide group-containing siloxane diamine compound was 69.96 KOHmg / g, and the amino group equivalent was 802 g / mol. The amine value was measured using an automatic potentiometric titrator (AT-500, manufactured by Kyoto Electronics Industry Co., Ltd.). The amino group equivalent was calculated by 56.106 / (amine value) × 1000.

また、得られたアミド基含有シロキサンジアミン化合物について赤外吸収スペクトルと1H−NMRスペクトルを測定した結果、目的物を得たことを確認できた。なお、赤外吸収スペクトルは、フーリエ変換赤外分光光度計(FT−IR420、日本分光株式会社製)を用いて、透過法にて測定した。また、1H−NMRスペクトルは、NMR分光光度計(MERCURY VX−300、バリアン・テクノロジーズ・ジャパン・リミテッド)を用いて、重クロロホルム中で測定した。これらの結果を以下に示す。   Moreover, as a result of measuring an infrared absorption spectrum and 1H-NMR spectrum about the obtained amide group containing siloxane diamine compound, it has confirmed that the target object was obtained. The infrared absorption spectrum was measured by a transmission method using a Fourier transform infrared spectrophotometer (FT-IR420, manufactured by JASCO Corporation). The 1H-NMR spectrum was measured in deuterated chloroform using an NMR spectrophotometer (MERCURY VX-300, Varian Technologies Japan Limited). These results are shown below.

IRスペクトル:
3450cm−1(νN−H)、3370cm−1(νN−H)、3340cm−1(νN−H)、3222cm−1(νN−H)、1623cm−1(νC=O)、1260cm−1(νCH)、1000〜1100cm−1(νsi−o
1H−NMR(CDCl,δ):
−0.2〜0.2(m、メチル)、0.4〜0.6(m、4H、メチレン)、1.4〜1.8(m、4H、メチレン)、3.2〜3.5(m、4H、メチレン)、3.9(bs、4H、アミノ基水素)、5.8〜6.3(m、2H、アミド基水素)、6.4(m、4H、アミノ基隣接芳香環水素)、7.1〜7.7(m、芳香環水素)
IR spectrum:
3450 cm −1N—H ), 3370 cm −1N—H ), 3340 cm −1N—H ), 3222 cm −1N—H ), 1623 cm −1C═O ), 1260 cm −1 (νCH 3 ), 1000 to 1100 cm −1si-o )
1H-NMR (CDCl 3 , δ):
-0.2 to 0.2 (m, methyl), 0.4 to 0.6 (m, 4H, methylene), 1.4 to 1.8 (m, 4H, methylene), 3.2 to 3. 5 (m, 4H, methylene), 3.9 (bs, 4H, amino group hydrogen), 5.8 to 6.3 (m, 2H, amide group hydrogen), 6.4 (m, 4H, amino group adjacent) Aromatic ring hydrogen), 7.1-7.7 (m, aromatic ring hydrogen)

(2)シロキサンポリイミド樹脂の調製(式(1)のアミド基含有シロキサンジアミン化合物を全ジアミン成分中に1mol%含有する例)
窒素導入管、撹拌機、及びディーン・スターク・トラップを備えた20リットル反応容器に、シロキサンジアミン化合物(X−22−9409、信越化学工業株式会社)4460.6g(3.30mol)と、3,3´,4,4´−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物(DSDA、新日本理化株式会社、純度99.70%)1912.7g(5.34mol)と、γ−ブチロラクトン287gと、参考例1で得たアミド基含有シロキサンジアミン化合物89.0g(54.3mmol、純度97.10%)との混合液、及びトリグライム2870gを投入し、その混合液を撹拌した。更に、トルエン1100gを投入した後、混合液を185℃で2時間加熱還流させ、続いて減圧脱水およびトルエン除去を行い、酸無水物末端オリゴイミドの溶液を得た。
(2) Preparation of siloxane polyimide resin (example in which 1 mol% of amide group-containing siloxane diamine compound of formula (1) is contained in all diamine components)
In a 20 liter reaction vessel equipped with a nitrogen inlet tube, a stirrer, and a Dean-Stark trap, 4460.6 g (3.30 mol) of a siloxane diamine compound (X-22-9409, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) and 3, 1912.7 g (5.34 mol) of 3 ′, 4,4′-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride (DSDA, Shin Nippon Rika Co., Ltd., purity 99.70%), 287 g of γ-butyrolactone, Reference Example 1 A mixed solution with 89.0 g (54.3 mmol, purity 97.10%) of the amide group-containing siloxane diamine compound obtained in 1 above and 2870 g of triglyme were added, and the mixed solution was stirred. Further, 1100 g of toluene was added, and then the mixture was heated to reflux at 185 ° C. for 2 hours, followed by dehydration under reduced pressure and toluene removal to obtain an acid anhydride-terminated oligoimide solution.

得られた酸無水物末端オリゴイミド溶液を80℃に冷却し、それにトリグライム3431gとγ−ブチロラクトン413gと3,3´−ジアミノ−4,4´−ジヒドロキシジフェニルスルホン(BSDA、小西化学工業株式会社、純度99.70%)537.80g(1.92mol)とからなる分散液を加え、80℃で2時間撹拌した。そこへ溶剤量の調整のため524gのトリグライムを加え、185℃で2時間加熱還流させた。得られた反応混合物を室温まで冷却した後、トラップに溜まったトルエン及び水を除去した。以上の操作により、アミド基を有するシロキサンポリイミド樹脂を合成した。得られたシロキサンポリイミド樹脂の実測固形分は47.5%であった。また、GPC(ゲル浸透クロマトグラフィー)によるポリスチレン換算分子量は、重量平均分子量として63000であった。   The obtained acid anhydride-terminated oligoimide solution was cooled to 80 ° C., and 3431 g of triglyme, 413 g of γ-butyrolactone, 3,3′-diamino-4,4′-dihydroxydiphenyl sulfone (BSDA, Konishi Chemical Industries, Ltd., purity) 99.70%) and a dispersion consisting of 537.80 g (1.92 mol) were added and stirred at 80 ° C. for 2 hours. 524 g of triglyme was added thereto for adjusting the amount of solvent, and the mixture was heated to reflux at 185 ° C. for 2 hours. After cooling the obtained reaction mixture to room temperature, toluene and water accumulated in the trap were removed. Through the above operation, a siloxane polyimide resin having an amide group was synthesized. The measured solid content of the obtained siloxane polyimide resin was 47.5%. Moreover, the polystyrene conversion molecular weight by GPC (gel permeation chromatography) was 63000 as a weight average molecular weight.

得られたシロキサンポリイミド樹脂を、トリグライムとγ−ブチロラクトンとの混合溶媒(質量比9:1)で、樹脂固形分が50質量%となるように希釈し、シロキサンポリイミドワニスとした。   The obtained siloxane polyimide resin was diluted with a mixed solvent of triglyme and γ-butyrolactone (mass ratio 9: 1) so that the resin solid content was 50% by mass to obtain a siloxane polyimide varnish.

実施例1〜3、比較例1〜5
参考例1のシロキサンポリイミドワニスに、表1の配合表に従って、芳香族チオール化合物、ナフトキノンジアジド(4−NT−300、東洋合成工業(株))、防錆剤(CDA−10、(株)ADEKA)、ベンゾオキサジン架橋剤(BF−BXZ、小西化学(株))、レゾール樹脂架橋剤(BRL274、昭和高分子(株))を混合し、感光性シロキサンポリイミド樹脂組成物を調製した。
Examples 1-3, Comparative Examples 1-5
To the siloxane polyimide varnish of Reference Example 1, an aromatic thiol compound, naphthoquinonediazide (4-NT-300, Toyo Gosei Kogyo Co., Ltd.), rust preventive (CDA-10, ADEKA Co., Ltd.) according to the recipe in Table ), A benzoxazine crosslinking agent (BF-BXZ, Konishi Chemical Co., Ltd.) and a resol resin crosslinking agent (BRL274, Showa High Polymer Co., Ltd.) were mixed to prepare a photosensitive siloxane polyimide resin composition.

得られた感光性シロキサンポリイミド樹脂組成物を、ポリイミドフィルムベースの銅張積層板(エスパネックス、新日鉄化学(株))の銅箔面に、乾燥厚で10μmとなるように塗布して感光性樹脂組成物層を形成した。この感光性樹脂組成物層に対し、フォトリソグラフ技術により、銅箔に達する開口部(0.3mm角)が形成されるように、高圧水銀灯から100mW/cmの光量で、積算光量1500mJ/cmで露光し、40℃の水酸化ナトリウム水溶液を用いてディッピング法で現像を行い、更に、200℃で60分のポストベークを行うことにより感光性樹脂組成物層を架橋処理してカバーレイ層とし、図5の構造の電解メッキ前サンプルを得た。 The obtained photosensitive siloxane polyimide resin composition is applied to a copper foil surface of a polyimide film-based copper-clad laminate (Espanex, Nippon Steel Chemical Co., Ltd.) so as to have a dry thickness of 10 μm. A composition layer was formed. With respect to this photosensitive resin composition layer, an integrated light amount of 1500 mJ / cm at a light amount of 100 mW / cm 2 from a high-pressure mercury lamp so that an opening (0.3 mm square) reaching the copper foil is formed by photolithography technology. 2 and developing by a dipping method using an aqueous sodium hydroxide solution at 40 ° C., and further post-baking at 200 ° C. for 60 minutes to crosslink the photosensitive resin composition layer to coverlay layer A sample before electrolytic plating having the structure of FIG. 5 was obtained.

<密着性評価>
電解メッキ前サンプルのカバーレイ層に対し、1mm間隔で縦10マス×横10マスの碁盤目上にカットする。この碁盤目を覆うように18mm巾の粘着テープ(ニチバン(株))を貼り、引き剥がした場合に、碁盤目の全100マスのうち、残存するマスの数が80以上である場合を「G」、80未満である場合を「NG」と判定した。得られた結果を表1に示す。
<Adhesion evaluation>
The coverlay layer of the sample before electrolytic plating is cut on a grid of 10 squares × 10 squares at 1 mm intervals. When an 18 mm wide adhesive tape (Nichiban Co., Ltd.) is applied and peeled off so as to cover this grid, the number of remaining squares out of all 100 squares is 80 or more. ", The case of less than 80 was determined as" NG ". The obtained results are shown in Table 1.

<電解直メッキ耐性>
(イ)電解メッキ前サンプルの露出した銅箔に対し、シアン化金メッキ液(テンペレジストFX、日本高純度化学(株))を使用し、電流密度0.2〜0.4A/dmで0.3μm厚の電解直金メッキ被膜を形成した。銅箔とカバーレイ層との境界にメッキの差し込みが発生したか否か、目視にて観察した。発生しなかった場合を「G」、発生した場合を「NG」と評価した。得られた結果を表1に示す。
<Electrolytic plating resistance>
(A) A gold cyanide plating solution (Tempe Resist FX, Nippon High Purity Chemical Co., Ltd.) is used for the exposed copper foil of the sample before electrolytic plating, and 0 at a current density of 0.2 to 0.4 A / dm 2 . An electrolytic direct gold plating film having a thickness of 3 μm was formed. It was visually observed whether or not plating insertion occurred at the boundary between the copper foil and the coverlay layer. The case where it did not occur was evaluated as “G”, and the case where it occurred was evaluated as “NG”. The obtained results are shown in Table 1.

(ロ)開口部周縁のカバーレイ層に18mm巾の粘着テープ(ニチバン(株))を貼り、引き剥がした場合に、カバーレイ層の剥がれが発生したか否かを目視にて観察した。発生しなかった場合を「G」、発生した場合を「NG」と評価した。得られた結果を表1に示す。 (B) When an 18 mm wide adhesive tape (Nichiban Co., Ltd.) was applied to the cover lay layer at the periphery of the opening and peeled off, it was visually observed whether or not the cover lay layer was peeled off. The case where it did not occur was evaluated as “G”, and the case where it occurred was evaluated as “NG”. The obtained results are shown in Table 1.

Figure 0005505215
Figure 0005505215

表1から分かるように、シロキサンポリイミド樹脂100質量部に対し、ビスムチオールを0.25〜1.0質量部の割合で含有させた実施例1〜3の感光性シロキサンポリイミド樹脂組成物の場合、電解直メッキの前における密着性に優れており、電解直メッキ耐性にも優れていた。   As can be seen from Table 1, in the case of the photosensitive siloxane polyimide resin compositions of Examples 1 to 3, in which bismuthiol was contained at a ratio of 0.25 to 1.0 part by mass with respect to 100 parts by mass of the siloxane polyimide resin, Excellent adhesion before direct plating, and excellent resistance to electrolytic direct plating.

それに対し、ビスムチオールを始めとする芳香族チオール化合物を配合していない比較例1の場合、電解直メッキ前の密着性は良好なものの、電解直メッキ耐性に問題があった。ビスムチオールに類似するモノメチルビスムチオールを配合した比較例2の場合も、電解直メッキ前の密着性は良好なものの、電解直メッキ耐性に問題があった。   On the other hand, in the case of Comparative Example 1 in which an aromatic thiol compound such as bismuthiol was not blended, the adhesion before electrolytic direct plating was good, but there was a problem in electrolytic direct plating resistance. In Comparative Example 2 in which monomethylbismuthiol similar to bismuthiol was blended, the adhesion before electrolytic direct plating was good, but there was a problem with electrolytic direct plating resistance.

また、ビスムチオールと異なる他の芳香族チオール化合物を配合した比較例3〜5の場合、電解直メッキ耐性のみならず、電解直メッキ前の密着性にも問題があった。   Moreover, in the case of Comparative Examples 3-5 which mix | blended the other aromatic thiol compound different from bismuthiol, there existed a problem not only in the electrolytic direct plating tolerance but in the adhesiveness before electrolytic direct plating.

本発明の感光性シロキサンポリイミド樹脂組成物は、ビスムチオールを含有する。このため、カバーレイ層に対し、ポリイミドベース並びに導体パターンに対し良好な密着性を付与し、しかも、また、導体パターンの端子部に対応するカバーレイ層の領域をフォトリソグラフ技術により開口し、露出した導体パターンに直に電解メッキにより金属を析出させても、開口部内底隅から導体パターンとカバーレイ層との境界にメッキ液の差し込みを防止し、意図しない部分に金属メッキが析出してしまうことを防止することができる。よって、本発明の感光性シロキサンポリイミド樹脂組成物は、フレキシブルプリント配線板に有用である。   The photosensitive siloxane polyimide resin composition of the present invention contains bismuth thiol. For this reason, the cover lay layer is given good adhesion to the polyimide base and the conductor pattern, and the area of the cover lay layer corresponding to the terminal portion of the conductor pattern is opened and exposed by photolithography technology. Even if the metal is deposited directly on the conductor pattern by electrolytic plating, the plating solution is prevented from being inserted from the inner bottom corner of the opening to the boundary between the conductor pattern and the coverlay layer, and the metal plating is deposited on an unintended portion. This can be prevented. Therefore, the photosensitive siloxane polyimide resin composition of the present invention is useful for flexible printed wiring boards.

1 基材
2 メッキ被膜
3 端子部
4 導体パターン
5 基板
6 カバーレイ層
6´ 感光性樹脂層
10 フレキシブルプリント配線板
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Base material 2 Plating film 3 Terminal part 4 Conductor pattern 5 Board | substrate 6 Coverlay layer 6 'Photosensitive resin layer 10 Flexible printed wiring board

Claims (7)

シロキサンポリイミド樹脂と、感光剤と、架橋剤とを含有する感光性ポリイミド組成物であって、ビスムチオールを含有することを特徴とする感光性ポリイミド樹脂組成物。   A photosensitive polyimide resin composition comprising a siloxane polyimide resin, a photosensitive agent, and a crosslinking agent, wherein the photosensitive polyimide resin composition contains bismuth thiol. ビスムチオールを、シロキサンポリイミド樹脂100質量部に対し、0.1〜10質量部含有する請求項1記載の感光性ポリイミド樹脂組成物。   The photosensitive polyimide resin composition of Claim 1 which contains 0.1-10 mass parts of bismuthiol with respect to 100 mass parts of siloxane polyimide resins. シロキサンポリイミド樹脂が、式(1)で表されるアミド基含有シロキサンジアミン化合物を含むジアミン成分と、ピロメリットテトラカルボン酸二無水物、3,3´,4,4´−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3´,4,4´−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、3,3´,4,4´−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、2,2´−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン酸二無水物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、4,4´−(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸二無水物、9,9−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)フルオレン酸二無水物、9,9−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]フルオレン酸二無水物、及び1,2,3,4−シクロブタン酸二無水物からなる群より選択される少なくとも一種の芳香族酸二無水物を含む酸二無水物成分とを、イミド化してなるものである請求項1又は2記載の感光性ポリイミド樹脂組成物。
Figure 0005505215
(式(1)中、R及びRは、それぞれ独立的に置換されてもよいアルキレン基であり、mは1〜30の整数であり、nは0〜20の整数である。)
A siloxane polyimide resin is a diamine component containing an amide group-containing siloxane diamine compound represented by the formula (1), pyromellitic tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride 3,3 ′, 4,4′-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride, 2,2′-bis (3,4 Dicarboxyphenyl) propanoic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 4,4 ′-(hexafluoroisopropylidene) diphthalic dianhydride, 9,9-bis (3 , 4-dicarboxyphenyl) fluoric dianhydride, 9,9-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] fluoric dianhydride, and 1,2 The acid dianhydride component containing at least one aromatic acid dianhydride selected from the group consisting of 1,3,4-cyclobutanoic acid dianhydride is formed by imidization. Photosensitive polyimide resin composition.
Figure 0005505215
(In formula (1), R 1 and R 2 are each an alkylene group that may be independently substituted, m is an integer of 1-30, and n is an integer of 0-20.)
感光剤が、以下の化学構造式で表されるナフトキノンジアジド誘導体の少なくとも一種である請求項1〜3のいずれかに記載の感光性ポリイミド樹脂組成物。
Figure 0005505215
The photosensitive polyimide resin composition according to claim 1, wherein the photosensitive agent is at least one of naphthoquinonediazide derivatives represented by the following chemical structural formula.
Figure 0005505215
架橋剤が、ベンゾオキサジン類又はレゾール類である請求項1〜4のいずれかに記載の感光性ポリイミド樹脂組成物。   The photosensitive polyimide resin composition according to claim 1, wherein the crosslinking agent is a benzoxazine or a resole. 基材上にメッキ被膜で被覆された端子部を有する導体パターンが形成されてなる基板と、該端子部を除く基板上に形成されたカバーレイ層とを有するフレキシブルプリント配線板であって、該カバーレイ層が、請求項1〜5のいずれかに記載の感光性ポリイミド樹脂組成物の層が架橋されたものであることを特徴とするフレキシブルプリント配線板。   A flexible printed wiring board having a substrate on which a conductor pattern having a terminal portion coated with a plating film is formed on a substrate, and a coverlay layer formed on the substrate excluding the terminal portion, A flexible printed wiring board, wherein the cover lay layer is obtained by crosslinking a layer of the photosensitive polyimide resin composition according to any one of claims 1 to 5. 基材上にメッキ被膜で被覆された端子部を有する導体パターンが形成されてなる基板と、該端子部を除く基板上に形成されたカバーレイ層とを有するフレキシブルプリント配線板の製造方法において、以下の工程(a)〜(e):
(a)基材上に端子部を有する導体パターンを形成して基板を取得する工程;
(b)基板の、導体パターンが形成された側の面上に請求項1〜5のいずれかに記載の感光性ポリイミド樹脂組成物からなる感光性樹脂層を形成する工程;
(c)感光性樹脂層に対しフォトリソグラフィ処理を施すことにより端子部を露出させる工程;
(d)感光性樹脂層を架橋処理して架橋剤を架橋させ、それにより感光性樹脂層をカバーレイ層とする工程; 及び
(e)露出した端子部をメッキ皮膜で被覆する工程
を有することを特徴とする製造方法。
In a method of manufacturing a flexible printed wiring board having a substrate formed with a conductor pattern having a terminal portion coated with a plating film on a substrate, and a coverlay layer formed on the substrate excluding the terminal portion, The following steps (a) to (e):
(A) A step of obtaining a substrate by forming a conductor pattern having a terminal portion on a substrate;
(B) The process of forming the photosensitive resin layer which consists of the photosensitive polyimide resin composition in any one of Claims 1-5 on the surface by which the conductor pattern was formed of the board | substrate;
(C) a step of exposing the terminal portion by subjecting the photosensitive resin layer to a photolithography process;
(D) cross-linking the photosensitive resin layer to cross-link the cross-linking agent, thereby forming the photosensitive resin layer as a coverlay layer; and (e) covering the exposed terminal portion with a plating film. The manufacturing method characterized by this.
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