JP5504104B2

JP5504104B2 - Ｍｏコリメータおよびそれを用いたＸ線検出器並びにＣＴ装置

Info

Publication number: JP5504104B2
Application number: JP2010195044A
Authority: JP
Inventors: 誠笠本
Original assignee: Toshiba Corp; Toshiba Materials Co Ltd
Current assignee: Toshiba Corp; Toshiba Materials Co Ltd
Priority date: 2010-08-31
Filing date: 2010-08-31
Publication date: 2014-05-28
Anticipated expiration: 2030-08-31
Also published as: JP2012052890A

Description

本発明は、Ｍｏコリメータおよびそれを用いたＸ線検出器並びにＣＴ装置に関する。

医療診断や工業用非破壊検査などの分野においては、Ｘ線断層写真撮影装置（Ｘ線ＣＴ
装置）などの放射線検査装置が用いられている。Ｘ線ＣＴ装置は、扇状のファンビームＸ
線を照射するＸ線管（Ｘ線源）と、多数のＸ線検出素子を並列配置したＸ線検出器とを、
被検体の断層面が中央にくるように対抗配置した構造を有している。Ｘ線ＣＴ装置におい
ては、被検体に対してＸ線管からファンビームＸ線を照射し、被検体を透過したＸ線吸収
データをＸ線検出器で収集した後、これらＸ線吸収データをコンピュータで解析（断層面
の個々の位置におけるＸ線吸収率の算出、およびＸ線吸収率に応じた画像の再構成）する
ことによって、被検体の断層を再生している。
Ｘ線検出器には、被検体を透過したＸ線を検知するシンチレータが配置されているが、
その前方に散乱線を防止することを目的としたコリメータが配置されている。現行はシン
チレータに対して垂直に並べたスリット形状でチャンネル方向のみの散乱線除去をしてい
るが、それを格子状にすることでチャンネル方向だけでなくスライス方向の散乱線も除去
できることから画像の解像度をあげることが出来る。よって、現在はスリット形状から格
子状への設計変更が求められている。
これまで格子状のコリメータについては、例えば特許第２７３１１６２号公報（特許文
献１）の図２３に示されたように櫛歯状の板を交差させて組み立てていた。鉛板のように
比較的軟らかい金属であれば櫛歯状板を加工し易いが、鉛は環境問題からできれば使いた
くない材料である。これに代わってＭｏ板を使うことも考えられるが、Ｍｏ板は硬い材料
であることから櫛歯状への加工は煩雑である。また、櫛歯状の板は厚さ０．１〜０．２ｍ
ｍ程度と薄いことからきちんと組むのは大変である。このため、特開２００７−３５２１
号公報（特許文献２）では、穴の開いた板材を積層し支持部材で止める方法や、特開２０
０８−１６８１２５号公報（特許文献３）では板材同士の間にスペーサを設けた積層構造
が提案されている。
いずれも支持部材やスペーサといった別部材を使った構造であるため、製造工程の煩雑
さやコストの高騰を抑制できずにいた。

特許第２７３１１６２号公報特開２００７−３５２１号公報特開２００８−１６８１２５号公報

このように従来の格子状コリメータは、組立工程が煩雑であった。また、支持部材やス
ペーサなどの取り付け部品が別途必要でありコストダウンも十分に行えていなかった。
本発明は、このような課題を解決するためのもので、組立工程を簡素化して歩留まりを
向上できるＭｏコリメータを提供するためのものである。

本発明のＭｏコリメータは、板厚０．０２〜０．３ｍｍのＭｏ板を積層した積層体構造
を有するＭｏコリメータにおいて、Ｍｏ板には短辺または直径が０．１〜１．０ｍｍの穴
部が複数個設けられており、個々の穴部は積層体の上面から下面まで貫通穴を形成すると
共に、上面穴部と下面穴部の開口面積が面積率で９０〜１００％重なる領域と、面積率３
０〜６０％で重なるズレ領域とを具備することを特徴とするものである。
また、Ｍｏ板の積層枚数が１０〜３００枚であることが好ましい。また、コリメータの
厚さが１０ｍｍ以上であることが好ましい。また、重なり領域がＭｏコリメータの中心領
域、ズレ領域がＭｏコリメータの端部領域に存在することが好ましい。また、Ｍｏコリメ
ータの側面には、段差を有する側面が少なくとも１つ以上存在することが好ましい。また
、Ｒ形状を有していることが好ましい。また、溶接または接着剤による固定により一体化
された積層体構造であることが好ましい。
また、このようなＭｏコリメータを用いたことを特徴とするＸ線検出器。また、Ｍｏコリ
メータを複数個用いたＸ線検査装置にも好適である。さらに本発明のＸ線検出器を用いた
ＣＴ装置にも好適である。

本発明は、Ｍｏ板を積層した積層構造を用いていることから組立工程を簡素化できるた
め歩留まりを向上させることができる。また、支持部材やスペーサなどの別部品も使わな
いことからコストダウンをも可能とするものである。

本発明のＭｏコリメータの一例を示す図である。本発明のＭｏコリメータの他の一例を示す図である。本発明のＭｏコリメータの他の一例を示す図である。Ｍｏ板の一例を示す図である。Ｍｏ板の他の一例を示す図である。貫通穴の一例を示す図である。重なり領域の一例を示す図である。重なり領域の他の一例を示す図である。

本発明のＭｏコリメータは、板厚０．０２〜０．３ｍｍのＭｏ板を積層した積層体構造
を有するＭｏコリメータにおいて、Ｍｏ板には短辺または直径が０．１〜１．０ｍｍの穴
部が複数個設けられており、個々の穴部は積層体の上面から下面まで貫通穴を形成すると
共に、上面穴部と下面穴部の開口面積が面積率で９０〜１００％重なる重なり領域と、面
積率４０〜７０％重なるズレ領域とを具備することを特徴とするものである。
Ｍｏ板は純度９９．９ｗｔ％以上の純Ｍｏや、ＭｏにＲｅ、Ｔｉ、Ｚｒなどを１〜３０
ｗｔ％添加したＭｏ合金であってもよい。
Ｍｏ板の板厚は０．０２〜０．３ｍｍである。板厚が０．０２ｍｍ未満と薄いＭｏ板は
加工するが困難であり、反ってコストアップの要因となる。一方、０．３ｍｍより厚いと
後述するＲ形状に加工した場合にスプリングバックにより形状を維持するのが困難である
。従って、Ｍｏ板の板厚は０．０２〜０．３ｍｍ、好ましくは０．１〜０．２ｍｍである
。
図４および図５にＭｏ板の一例を示した。図中、２はＭｏ板、５は穴部、６はねじ止め
部、ＬはＭｏ板の長辺長さ、ＷはＭｏ板の短辺長さである。

Ｍｏ板には、短辺または直径が０．１〜１．０ｍｍの穴部が複数個設けられている。穴
部サイズが、０．１〜１．０ｍｍ、さらには０．４〜０．７ｍｍであることが好ましい。
穴部の形状は、四角形（正方形、長方形）や六角形などの多角形、円形など特に限定され
るものではないが、重なり領域の調整には四角形が好ましい。穴部の短辺または直径が０
．１ｍｍ未満では穴が小さすぎて製造するのが困難である。一方、１．０ｍｍを越えると
コリメータとしての性能が低下する。また、穴部の数は特に限定されるものではないが、
実質的にメッシュ状となるように複数個設けられていることが好ましい。

また、図５ではねじ止め部を設けた構造としたが、Ｍｏ板の長さＬはあくまで穴部が設
けられた領域の長さを示すものであり、このねじ止め部は長さＬには含まれないものとす
る。
このようなＭｏ板を積層した積層体構造を有する。Ｍｏ板の積層枚数は１０〜３００枚
であることが好ましい。積層枚数が１０枚未満では、コリメータの厚さ方向が足りず、３
００枚を超えるとコリメータが重くなりすぎてＸ線検出器への搭載に悪影響がでるおそれ
がある。好ましくは１００〜２５０枚の積層体である。
図１にＭｏコリメータの一例を示した。図中、１はＭｏコリメータ、２はＭｏ板、３は
端部領域、４は中心領域、ＬはＭｏ板の長さ、ＨはＭｏコリメータの厚さである。なお、
ＬはＭｏ板をそのまま積層した構造とした場合は、Ｍｏ板の長さＬがそのままＭｏコリメ
ータの長さＬとなる。

本発明では、Ｍｏ板の積層体構造において、穴部が上面から下面まで貫通穴を形成して
いる。これは上面の穴部がそれぞれ下面の穴部まで貫通穴となっていることを意味してい
る。これにより、それぞれの穴部がコリメートする役割を持つのである。図６に貫通穴の
一例を示した。
このようなＭｏ板の積層体からなるコリメータにおいて、上面穴部と下面穴部の開口面
積が面積率で９０〜１００％重なる重なり領域と、面積率４０〜７０％重なるズレ領域を
具備するものである。図７は上面穴部と下面穴部の開口面積の重なり方の一例を示す図で
ある。図中、２−１は上面Ｍｏ板、２−２は下面Ｍｏ板、aが重なり部である。また、図
８は上面穴部と下面穴部を重ねて示した図である。図中、２−１は上面Ｍｏ板、２−２は
下面Ｍｏ板、aが重なり部、ｘ１が上面穴部の横辺長さ、ｘ２が下面穴部の横辺長さ、ｙ
が穴部の縦辺長さである。Ｍｏ板に設けられた穴部のサイズは、同じであることが好まし
い。また、同じ穴部を設けたＭｏ板を積層することが好ましい。同じ穴部を設けたＭｏ板
を使えば、大きなＭｏ板から所定サイズのＭｏ板を切り出すなどの多数個取りを行い易く
量産性を向上させることができる。

例えば、図８においては、正方形の穴部を設けたＭｏ板を積層した場合、ｘ１＝ｘ２＝
ｙとなる。上面穴部と下面穴部の重なり面積は長さａ×ｙとなり、これをｘ１×ｙで割る
ことにより、開口面積の重なりを面積率で求めることができる。求め方は［（ａ×ｙ）／
（ｘ１×ｙ）］×１００（％）の式で表される。
本発明では、この開口面積の重なりが９０〜１００％の重なり領域と、４０〜７０％の
ズレ領域の両方を具備していることが特徴となる。開口面積の重なりが１００％とは、上
面穴部と下面穴部が全くずれていないことを示す。開口面積の重なりの下限値は４０％で
ある。重なり部が面積率で４０％未満であるとコリメータとしての機能が低下し、Ｘ線を
十分にコリメートできなくなる。また、本発明では開口面積の重なりが４０〜７０％のズ
レ領域を具備するが、その途中の７０〜９０％の準ズレ領域が存在していても良い。
また、重なり領域がＭｏコリメータの中心領域、ズレ領域がＭｏコリメータの端部領域
に存在することが好ましい。端部領域３とは、図１に示したようにコリメータ１の長手方
向の端部側であり、中心領域４とはコリメータ１の長手方向の中心部である。端部側とは
、長さＬを１００としたときの０〜１０、９０〜１００である。中心部とは、長さＬを１
００としたときの４５〜５５である。

重なり領域は、上面穴部と下面穴部が実質的に一つの貫通穴となった状態である。また
、ズレ領域は、上面穴部と下面穴部が所定の範囲でズレている状態である。このズレてい
る状態は上面から下面に行くに従い段階的にズレた状態であることが好ましい。段階的な
ズレであればコリメート機能に不具合はない。

また、積層体構造とすることにより、コリメータ厚さＨは、１０ｍｍ以上と厚いものを
形成し易くなる。例えば、ＣＴ装置では被検体の映像を立体的に検出する。そのため、穴
部を縦×横に並べるだけでなく、厚さ方向もコリメートすることが必要である。
また、Ｍｏコリメータの側面には、段差を有する側面が少なくとも１つ以上存在するこ
とが好ましい。Ｘ線検査装置においてコリメータを複数個並べて配置する場合、特にＣＴ
装置のようにＸ線検査装置が被検体の周囲を回転する構造の場合はコリメータに所定のＲ
形状を付与することが求められる。図２にＲ形状を有するコリメータの一例を示した。図
２のＲ形状はＭｏ板の積層構造を有するコリメータに応力を付加または予め応力を付加し
てＲ形状としたＭｏ板を積層してＲ形状としたものである。同じ長さＬを有するＭｏ板を
積層したコリメータをＲ形状にした場合、下面側が少し出っ張る形状となり、上面から下
面に向けて小さな段差ができる。このような側面に段差を設けることにより、上面と下面
の方向性を目視により確認することができる。また、側面の表面積が上がることから放熱
性も向上する。応力を付加してＲ形状とすることから、Ｍｏ板の板厚が０．０２〜０．２
ｍｍと薄いものに効果的である。

応力付加してＲ形状とした場合、コリメータの端部領域に所定のズレ領域が形成される
。
一方、中心領域はほとんどズレが発生しない。
また、図３にはコリメータの別の一例を示した。Ｍｏ板は剛性の強い材料であることか
ら、Ｒ形状がきつい場合、Ｍｏ板厚が比較的厚い場合（例えばＭｏ板の板厚が０．２ｍｍ
以上）、Ｍｏ板が長い場合は、Ｍｏ板のスプリングバックが強くＲ形状を維持するには図
５に示したようなねじ止めが必須になる。そのため、Ｍｏ板の長さＬを徐々に短くしたも
のを積層構造とし、実質的なＲ形状を付与することも効果的である。長さＬが徐々に短い
Ｍｏ板を積層していることから、その側面には小さな段差ができる。このとき、コリメー
タに応力付加によりＲ形状を付与しないので、穴部サイズを徐々に小さくしていき、ズレ
領域を形成する。

また、Ｍｏ板の積層構造体は、その側面を溶接または接着剤による固定により一体化さ
れたものであることが好ましい。穴部が貫通穴を形成した上で、所定のズレ領域を維持す
るには積層構造体を一体化しておくことが好ましい。特に、ＣＴ装置のようにＸ線検査装
置が被検体の周囲を回転するものではコリメータ自体の強度も必要である。
溶接は、ガス溶接、アーク溶接、電気抵抗溶接、電子ビーム溶接など特に限定されるも
のではないが、溶接個所をできるだけ小さくした方が良いので電子ビーム溶接が好ましい
。溶接個所は、特に限定されるものではないが、上面から下面までその側面を一直線に溶
接することが好ましい。また、Ｍｏ板の長さＬが３ｃｍに一か所程度の溶接を行うことが
好ましい。

また、接着剤による固定は、側面に接着剤を塗布し、一体化するものである。用いる接
着剤は、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂などの熱硬化性接着剤が好ましい。
以上のようなＭｏコリメータは、Ｘ線検出器に好適である。本発明のＭｏコリメータは
、Ｘ線管側、検出器側のどちらに用いてもよいが、Ｒ形状（図３のような実質的なＲ形状
も含む）を有したものは検出器側（被検体を透過したＸ線を検出する側）に有効である。
ＣＴ装置は被検体の周囲をＸ線検出器が回転しながら、測定する装置である。そのため、
被検体を囲む円形状（ドーナツ状）の検出器においてはＭｏコリメータもＲ形状を具備す
ることが好ましい。また、円形状の検出器に合わせてコリメータを複数個搭載することが
好ましい。

次に、Ｍｏコリメータの製造方法について説明する。本発明のＭｏコリメータの製造方
法は特に限定されるものではないが歩留まり良く得るための製造方法は次の通りである。
まず、板厚０．０２〜０．３ｍｍのＭｏ板を用意する。Ｍｏ板は圧延により薄板に加工
する。また、必要であればエッチングによりさらに薄板に加工する方法を用いてもよい。
Ｍｏ板に穴部を設ける工程は、エッチング加工、プレス加工、レーザ加工、ワイヤカッ
ト加工などが挙げられる。板厚０．２ｍｍ以下のＭｏ板に図４に示したようなメッシュ状
の穴部を形成するにはエッチング加工が好ましい。一方、０．２ｍｍを超える板厚のＭｏ
板にメッシュ状の穴部を形成する場合はプレス加工が好ましい。また、必要に応じ、ねじ
止め部を設けたＭｏ板を調製する。
次に穴部を設けたＭｏ板を所定枚数積層する。ねじ止め部を設けない場合は、積層構造
体の側面を溶接または接着剤により一体化する。このとき、最外層の穴部にかかる部分だ
けを溶接または接着剤塗布するようにする。

この後、必要に応じ、応力を付加してＲ形状をつける。また、応力付加はプレス加工で
ある。積層構造体であれば、プレス加工によりＲ形状を付加したとしても穴部は貫通穴を
維持したまま所定のズレ領域を形成できる。Ｒ形状を付加するプレス圧力は１〜１００Ｍ
Ｐａが好ましく、より好ましくは３０〜８０ＭＰａである。また、４００〜６００℃の熱
間で行うことが好ましい。また、プレス加工後は７００〜９００℃で歪取り熱処理を行う
ことが好ましい。
また、Ｒ形状をつける場合は、予めＭｏ板に応力を付加してＲ形状を有するＭｏ板を
積層してもよい。また、１枚毎にＲ形状を付ける場合は、プレス圧力１〜８０ＭＰａ，好
ましくは１〜５０ＭＰａである。また、また、４００〜６００℃の熱間で行うことが好ま
しい。また、プレス加工後は７００〜９００℃で歪取り熱処理を行うことが好ましい。

Ｒ形状をつける場合は、同じＭｏ板を積層することにより、所定のズレ領域を形成する
ことができる。特に端部領域にズレ領域が形成される。言い換えると、端部領域にズレ領
域があり、中心領域は重なり領域が存在するコリメータは、同じ穴部を有するＭｏ板を積
層し、Ｒ形状を付与することで形成できる。そのため、同じ穴部を有するＭｏ板を使える
ので量産性はよい。このようなＲ形状を設ける場合はＭｏ板の長さＬが９０ｍｍ以上の大
きなコリメータを形成するのに有効である。

また、Ｒ形状を設けない場合は、予め穴部サイズを変えたＭｏ板または穴部の位置を変
えたＭｏ板を用意して積層構造体とする。Ｒ形状を設けない場合は、Ｍｏ板の長さＬが９
０ｍｍ未満の小さなコリメータを形成するのに有効である。Ｘ線管からのファンビームＸ
線を効率よくコリメートするにはファンビームの中心（Ｘ線照射源）に向けたＲ形状であ
ることが好ましい。Ｒ形状を形成しない場合は、Ｍｏ板の長さＬを９０ｍｍ未満と小さく
したものを複数個並べることにより、実質的なＲ形状を形成することができる。
また、予め穴部サイズを変えたＭｏ板または穴部の位置を変えたＭｏ板としては目的と
する積層構造体が得られれば特にサイズや位置は限定されるものではないが、例えば、短
辺または直径が０．１〜１．０ｍｍの穴部を複数個設けたメッシュ状のＭｏ板を用意した
とき、１０〜２０枚毎に０．００５〜０．１ｍｍずつ穴のサイズを小さくする方法または
長さＬを０．００５〜０．１ｍｍずつ小さくする（Ｍｏ板を徐々に縮小した形状とする）
して穴部の位置を変える方法がある。

また、積層構造体は溶接または接着剤塗布により一体化することが好ましい。溶接又は
接着剤塗布による一体化を行わない場合は、図５のようなねじ止め部を端部に設けること
が好ましい。
Ｍｏ板の積層構造体を用いていることから、個々の穴部の位置合わせが容易であり、歩
留まりがよい。従来のような櫛歯状の板を噛み合わせるものでは、すべての櫛歯がきちん
と噛み合わないと不良品となってしまう。それに対し、積層構造であれば位置合わせが容
易である。また側面を溶接または接着剤塗布により一体化することにより、スペーサや支
持部材などの余分な部品を使用しないで済む。

以上のように本発明のＭｏコリメータであれば、穴部の位置合わせが容易であるので製
造歩留まりが非常に高い。また、側面を溶接または接着剤塗布により一体化することによ
りコリメータの強度を向上させることができる。このようなコリメータであれば、ＣＴ装
置のようにＸ線検出器が回転移動するような装置に用いたとしても形状が維持され、型崩
れといった不具合が発生しない。その結果、信頼性の高いＸ線検出器またはそれを用いた
ＣＴ装置を提供することができる。

［実施例］
（実施例１〜５）
Ｍｏ板サイズ、穴部サイズを表１に示したものをエッチング加工により製造した。これ
を表１に示した枚数の積層構造体を形成した。これをＲ１０６０のＲ形状にプレス加工し
てＲ形状とした。その後、側面を溶接して一体化したＭｏコリメータを製造した。なお、
Ｍｏ板は純度９９．９ｗｔ％以上のものを用いた。また、穴部はいずれもメッシュ状に複
数個設けたものである。
得られたＭｏコリメータの歩留まりを調べた。また、端部領域、中心領域の穴部の重な
りを調べた。また、耐久性として振動試験を行った。なお、端部領域、中心領域の穴部の
重なりは、上面Ｍｏ板の穴部と下面Ｍｏ板の穴部の重なりを面積率で調べた。また、耐久
性は、５０ｃｍ間を１分間に５０往復させ、型崩れのしたものを「×」、型崩れしないも
のを「○」で表示した。また、歩留まりは良品のできる割合である。その結果を表２に示
す。
また、比較例１として、Ｍｏ板を用いて櫛歯状のものを用いて格子状に組んだこと以外
は実施例１と同じサイズのものを用意した。比較例１についても同様の測定を行った。

本実施例にかかるＭｏコリメータは積層構造を有していることからその歩留まりは１０
０％であり、耐久性も優れていた。また、プレス加工によりＲ形状を付けたため短辺側の
側面にはＭｏ板厚に基づく段差が形成されていた。また、端部領域は上面と下面の穴の重
なりが４０〜７０％のズレ領域を形成していた。また、中心領域は上面と下面の穴の重な
りが９５〜１００％となる重なり領域を形成していた。
一方、比較例１の櫛歯状のものを噛み合わせたものは上面と下面の穴部の重なりは無か
ったが、厚さ０．０７ｍｍの薄い櫛歯状のＭｏ板を噛み合わせるのは大変であり、歩留ま
りはかなり悪かった。

（実施例６〜９）
上面Ｍｏ板サイズ、下面Ｍｏ板サイズを表３に示すようなものとし、その途中を徐々に
下面Ｍｏ板サイズになるように小さくなるようなＭｏ板を用意し積層体を構成した。なお
、穴部は、３０〜５０枚単位で徐々に小さくしていき上面Ｍｏ板に設けた穴部がすべて貫
通穴になるようにエッチング処理によりメッシュ状のＭｏ板を設けた。積層構造体は、い
ずれも側面を接着材塗布で固めたものである。
各Ｍｏコリメータについて実施例１と同様の測定を行った。その結果を表４に示す。

実施例６〜９は図３に示したような構造である。このような構造であっても歩留まりお
よび耐久性は優れていた。また、Ｍｏ板を積層した構造なので短辺側の側面は段差が形成
されていた。

（実施例１Ａ〜９Ａ、比較例１Ａ）
実施例１〜９および比較例１のＭｏコリメータを用い、ＣＴ装置用Ｘ線検出器の被検体
検出側にセットした。それぞれ、ＣＴ画像を検出したところ、いずれもきれいに３次元画
像を検出することができた。これにより、本実施例にかかるＭｏコリメータは、従来品と
同等のコリメータ性能を具備した上で、歩留まりおよび強度の高いコリメータとなってい
ることが分かった。言い換えれば、本実施例にかかる穴部のズレはＣＴ画像を撮影するに
あたり問題がないことが確認できた。
また、実施例にかかるＭｏコリメータは、短辺側の側面に段差があり、どちらが上面で
どちらが下面か目視により分かるのでＸ線検査装置への装着の際の方向性の判別が容易で
あった。また、スペーサや支持部材などの特別な部品を使わなくても貫通穴を維持できる
ため、この点からもコストダウンが可能である。

１…Ｍｏコリメータ
２…Ｍｏ板
２−１…上面Ｍｏ板
２−２…下面Ｍｏ板
３…端部領域
４…中心領域
５…穴部
６…ねじ止め部

Claims

板厚０．０２〜０．３ｍｍのＭｏ板を積層した積層体構造を有するＭｏコリメータにおいて、Ｍｏ板には短辺または直径が０．１〜１．０ｍｍの放射線を透過させるための穴部が複数個設けられており、個々の穴部は積層体の上面から下面まで貫通穴を形成すると共に、上面穴部と下面穴部の開口面積が面積率で９０〜１００％重なる重なり領域がＭｏコリメータの中心領域に存在し、面積率４０〜７０％重なるズレ領域がＭｏコリメータの端部領域に存在することを特徴とするＭｏコリメータ。
Ｍｏ板の積層枚数が１０〜３００枚であることを特徴とする請求項１記載のＭｏコリメータ。
コリメータの厚さが１０ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１または請求項２のいずれか１項に記載のＭｏコリメータ。
Ｍｏコリメータの側面には、段差を有する側面が少なくとも１つ以上存在することを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載のＭｏコリメータ。
Ｒ形状を有していることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載のＭｏコリメータ。
溶接または接着剤による固定により一体化された積層体構造であることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載のＭｏコリメータ。
請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載のＭｏコリメータを用いたことを特徴とするＸ線検出器。
請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載のＭｏコリメータを複数個用いたことを特徴とするＸ線検出器。
請求項７または請求項８のいずか１項に記載のＸ線検出器を用いたことを特徴とするＣＴ装置。