JP5499452B2 - 光学特性測定方法および装置 - Google Patents
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Description
(第1の実施形態)
図1は、本発明の光学特性測定装置の第1の実施形態を示している。
複数のピンホール15aの間隔Dを、被検レンズLによる複数の点像Tが、撮像素子17
の画素17aの異なる位置に位置するようにしたので、点像Tに対する分解能を簡易に向
上することができる。
(第2の実施形態)
以下、本発明の光学特性測定装置の第2の実施形態を説明する。なお、この実施形態において第1の実施形態と同一の要素には同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
(実施形態の補足事項)
以上、本発明を上述した実施形態によって説明してきたが、本発明の技術的範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下のような形態でも良い。
Claims (6)
- 拡散された照明光を複数のピンホールが形成されたマスク部材に照射する照射工程と、
前記複数のピンホールを通過し、且つ前記マスク部材の下流側に配置される被検光学系を透過した前記照明光に基づいた複数の点像を撮像素子により取得する取得工程と、
前記取得工程にて取得された前記複数の点像を用いて、点像強度分布を求める画像処理工程と、
を備え、
前記複数のピンホールは、前記マスク部材に対して、前記複数の点像の間隔が前記撮像素子に配列される画素のピッチの整数倍とは異なる間隔となり、且つ前記複数の点像のそれぞれにおける像高が同一と見なせる位置にそれぞれ形成されることを特徴とする光学特性測定方法。 - 請求項1に記載の光学特性測定方法において、
前記複数の点像は、少なくとも第1暗環より内側が重ならないことを特徴とする光学特性測定方法。 - 請求項1又は請求項2に記載の光学特性測定方法において、
前記撮像素子は、赤色、緑色及び青色の各色成分からなる複数の画素がベイヤー配列により配置された撮像面を有する撮像素子であり、
前記画像処理工程は、前記撮像素子の画素に跨って結像された前記複数の点像を色成分毎に合成することで、前記赤色、前記緑色及び前記青色の各色成分の点像を取得することを特徴とする光学特性測定方法。 - 拡散された照明光を複数のピンホールが形成されたマスク部材と、
前記複数のピンホールを通過し、且つ前記マスク部材の下流側に配置される被検光学系を透過した前記照明光に基づいた複数の点像を取得する撮像素子と、
取得された前記複数の点像を用いて、点像強度分布を求める画像処理部と、
を備え、
前記複数のピンホールは、前記マスク部材に対して、前記複数の点像の間隔が前記撮像素子に配列される画素のピッチの整数倍とは異なる間隔となり、且つ前記複数の点像のそれぞれにおける像高が同一と見なせる位置にそれぞれ形成されることを特徴とする光学特性測定装置。 - 請求項4に記載の光学特性測定装置において、
前記複数の点像は、少なくとも第1暗環より内側が重ならないことを特徴とする光学特性測定装置。 - 請求項4又は請求項5に記載の光学特性測定装置において、
前記撮像素子は、赤色、緑色及び青色の各色成分からなる複数の画素がベイヤー配列により配置された撮像面を有する撮像素子であり、
前記画像処理部は、前記撮像素子の画素に跨って結像された前記複数の点像を色成分毎に合成することで、前記赤色、前記緑色及び前記青色の各色成分の点像を取得することを特徴とする光学特性測定装置。
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