JP5493256B2

JP5493256B2 - カラーフィルタ外観検査装置における欠陥検出機能の点検治具

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Publication number: JP5493256B2
Application number: JP2007235198A
Authority: JP
Inventors: 良太増田; 俊介山中
Original assignee: Toppan Inc
Current assignee: Toppan Inc
Priority date: 2007-09-11
Filing date: 2007-09-11
Publication date: 2014-05-14
Anticipated expiration: 2027-09-11
Also published as: JP2009068889A

Description

本発明は、カラーフィルタの外観検査に関するものであり、特に、外観検査装置に対する、欠陥を検出する機能の点検作業を簡便・容易な作業とすることのできるカラーフィルタ外観検査装置における欠陥検出機能の点検治具に関する。

液晶表示装置に用いられるカラーフィルタは、印刷法、フォトリソグラフィ法、インクジェット法などの方法により製造される。図１０は、フォトリソグラフィ法により製造されたカラーフィルタの一例を模式的に示した平面図である。また、図１１は、図１０に示すカラーフィルタのＸ−Ｘ’線における断面図である。
図１０、及び図１１に示すように、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタ（４）は、ガラス基板（４０）上にブラックマトリックス（４１）、着色画素（４２）、及び透明導電膜（４３）が順次に形成されたものである。
図１０、及び図１１はカラーフィルタを模式的に示したものであり着色画素の形状を正方形としている。また、着色画素（４２）は１２個表されているが、実際のカラーフィルタにおいては、例えば、対角１７インチの画面に数百μｍ程度の着色画素が多数個配列されている。

液晶表示装置の多くに用いられている、上記構造のカラーフィルタの製造方法としては、先ず、ガラス基板上にブラックマトリックスを形成してブラックマトリックス基板とし、次に、このブラックマトリックス基板上のブラックマトリックスのパターンに位置合わせして着色画素を形成し、更に透明導電膜を位置合わせして形成するといった方法が広く用いられている。
ブラックマトリックス（４１）は、遮光性を有するマトリックス状のものであり、着色画素（４２）は、例えば、赤色、緑色、青色のフィルタ機能を有するものであり、透明導電膜（４３）は、透明な電極として設けられたものである。

ブラックマトリックス（４１）は、着色画素（４２）間のマトリックス部（４１Ａ）と、着色画素（４２）が形成された領域（表示部）の周辺部を囲む額縁部（４１Ｂ）とで構成されている。
ブラックマトリックスは、カラーフィルタの着色画素の位置を定め、大きさを均一なものとし、また、表示装置に用いられた際に、好ましくない光を遮蔽し、表示装置の画像をムラのない均一な、且つコントラストを向上させた画像にする機能を有している。

このブラックマトリックス基板の製造は、例えば、ブラックマトリックス形成用の黒色感光性樹脂を用い、フォトリソグラフィ法によってガラス基板（４０）上にブラックマトリックス（４１）を形成するといった方法がとられている。
また、着色画素（４２）の形成は、このブラックマトリックス基板上に、例えば、顔料などの色素を分散させたネガ型のフォトレジストを用いて塗布膜を設け、この塗布膜への露光、現像によって着色画素を形成するといった方法がとられている。
また、透明導電膜（４３）の形成は、着色画素が形成されたブラックマトリックス基板上に、例えば、ＩＴＯ（ＩｎｄｉｕｍＴｉｎＯｘｉｄｅ）を用いスパッタ法によって透明導電膜を形成するといった方法がとられている。

このカラーフィルタの製造工程で発生する外観上の欠陥は、その大きさ（範囲）によって、広域欠陥と狭域（点）欠陥とに２分される。
広域欠陥は色ムラで代表され、色ムラはカラーフィルタ上の広い範囲に及ぶ色濃度の不良
である。色ムラは微妙に変化する色の濃淡であり、広い範囲に及んでいるため、目視では確認しやすく、検査装置では検出しにくい。

また、狭域（点）欠陥は、その大きさが微小であるため、検査装置では検出しやすく、目視では確認しにくい。
点欠陥としては、着色画素の白抜け（ピンホール）や、異物（異物付着）などがあげられる。図１２は、赤色の着色画素（２２Ｒ）に発生した白抜け（Ｄ１）、及び青色の着色画素（２２Ｂ）に発生した異物（Ｄ２）を例示したものである。
これら点欠陥の大きさは、５μｍφ〜５００μｍφ程度のものである。

上記検査は、透過光によるカラーフィルタの透過検査と反射光による反射検査の２種の検査で構成されている。透過検査による方が欠陥を検出し、良否を識別することが正確、容易な欠陥には透過検査が行われる。また、反射検査による方が欠陥を検出し、良否を識別することが正確、容易な欠陥には反射検査が行われる。すなわち、各欠陥の性状により透過検査又は／及び反射検査が行われる。
尚、上記検査においては、検査する欠陥項目、良否を識別する水準などは、品目によって適宜に設定して行われる。

図１は、自動外観検査装置の一例における反射検査が行われる部分の概略を示す側面図である。また、図２は、その平面図である。図１及び図２に示すように、この自動外観検査装置は、定盤（１１）、搬送ステージ（１２）、反射用光源（１３）、反射用検査カメラ（１４）、画像処理装置（１５）、及び制御装置（１６）で構成されている。
検査ステージ（１２）に載置されたカラーフィルタ（被検査体）（１０）は、図１中、白太矢印で示すように、Ｘ軸方向に水平に搬送されながら検査を受ける。
図１中、点線（Ｘ₁）は、カラーフィルタ（被検査体）（１０）が搬送されるパスラインであり、カラーフィルタ（被検査体）（１０）の上面の位置で表している。

反射用光源（１３）は、射出された検査光を搬送されてきたカラーフィルタ（被検査体）（１０）の表面に斜め上方から照射する。カラーフィルタ（１０）の表面で反射した反射光を反射用検査カメラ（１４）で受光させ、その信号を画像処理装置（１５）へと伝送する。画像処理装置（１５）では、伝送された信号を処理し、欠陥を識別する。

図２に示すように、この一例における反射用検査カメラ（１４）は、例えば、反射用検査カメラ（１）（１４（１））〜反射用検査カメラ（８）（１４（８））の８個の反射用検査カメラで構成されており、これらは、カラーフィルタ（１０）の搬送方向（Ｘ軸方向）と直角に、すなわち、カラーフィルタ（１０）の幅方向（Ｙ軸方向）に一列に順次に配列されている。
また、反射用光源（１３）は、反射用光源（１）（１３（１））〜反射用光源（８）（１３（８））の８個の反射用光源で構成されており、上記反射用検査カメラ（１）（１４（１））〜反射用検査カメラ（８）（１４（８））の配列に対応し、Ｙ軸方向に一列に順次に配列されている。

図２中、鎖線（Ｙ₁）は、上記パスライン（Ｘ₁）と直交する検査ラインである。反射用検査カメラ（１４）の光軸（ラインセンサーの配列軸）及び反射用光源（１３）の光軸は検査ライン（Ｙ₁）と交わり、一致している。また、図１に示す符号（Ｚ₁）は、検査ライン（Ｙ₁）でのパスライン（Ｘ₁）に対する垂線である。
尚、図１及び図２において、Ｘ軸とパスライン（Ｘ₁）、Ｙ軸と検査ライン（Ｙ₁）、Ｚ軸と垂線（Ｚ₁）は、各々が平行の関係にある。

図３は、カラーフィルタ（被検査体）（１０）上における、反射用検査カメラによる走
査領域を説明する平面図である。図３に示すカラーフィルタ（１０）のサイズは、例えば、幅（Ｗ）１５００ｍｍ×長さ（Ｌ）１８００ｍｍ程度のものである。図１及び図２に示すように、反射用検査カメラ（１４）は固定されており、カラーフィルタ（１０）は搬送ステージ（１２）上を、白太矢印で示すように、図３中、左方から右方へ水平に移動し、カラーフィルタ（被検査体）（１０）面が走査される。

符号（Ｓｒ（１））は、反射用検査カメラ（１）（１４（１））の走査領域を表している。同様に、符号（Ｓｒ（２））〜符号（Ｓｒ（８））は、各々、反射用検査カメラ（２）（１４（２））〜反射用検査カメラ（８）（１４（８））の走査領域を表している。

反射用検査カメラ（１４）のイメージセンサーとしては、例えば、ラインセンサーが用いられることが多い。
図３に示す例は、反射用検査カメラ（１４（１）〜１４（８））の各々が、対応したカラーフィルタ（被検査体）（１０）上の走査領域（Ｓｒ（１）〜Ｓｒ（８））を、図３中、右方から左方への１走査で撮像を終了する例である。
例えば、撮像の解像度を高めるために、１走査領域を図３中、上下に２分割した２走査を、或いは上下に４分割した４走査を行う場合もある。

さて、上記のような自動外観検査装置においては、例えば、反射用光源の経時による強度の減衰など、装置に起因する様々な要因によって、欠陥を検出する機能の低下が懸念される。検出する機能の低下は、検査作業に支障をきたすことになるので、実際の作業においては日常的に、１）欠陥検出の可否、２）最小検出サイズなど、欠陥を検出する機能の点検を行っている。

１）欠陥検出の可否は、前記異物、白抜けなどの欠陥項目を検出することが出来るか否かの確認であり、また、２）最小検出サイズは、検出される欠陥の最小サイズの確認である。この日常的な点検により不具合と確認された箇所は、調整・修復され、検査装置を正常な状態に維持・管理するようにしている。
尚、検出した欠陥の良否の判定は、前記のように、品目により適宜に設定するようにしている。

図４は、このような点検に用いられる点検用基板（２０）の一例を示す平面図である。この点検用基板（２０）は、実際に製造されたカラーフィルタであり、サイズは、例えば、前記カラーフィルタ（被検査体）（１０）と同一サイズの幅（Ｗ）１５００ｍｍ×長さ（Ｌ）１８００ｍｍ程度のものである。
この実際に製造されたカラーフィルタは、液晶表示装置としての仕上がりサイズが対角１７インチ程度の画面の、仕上がりカラーフィルタ（２０Ａ）が２４面付けで製造された例であり、実際の製造において各種の欠陥が発生した、欠陥付きカラーフィルタを点検用基板としている。

しかし、日常的に行われる点検作業にて、サイズ１５００ｍｍ×長さ（Ｌ）１８００ｍｍの点検用基板（２０）を用いるとなると、その取り扱いは容易なものではない。また、点検用基板（２０）を保存することも容易なものとはいえないといった問題を抱えている。

図９は、その取り扱い、及び保存が容易な技法として考案された搬送ホルダーの説明図である。図９（ａ）、（ｂ）に、平面、及び断面を示すように、この技法は、搬送ホルダー（２３）に小型点検用基板（２４）を載置し、小型点検用基板（２４）が載置された搬送ホルダー（２３）を搬送ステージ（１２）上で移動させる方法である。小型点検用基板（２４）のサイズは、１００ｍｍ×１００ｍｍ程度のものであり、上記点検用基板（２０）と比較し、著しく小さなものである。この小型点検用基板（２４）としては、例えば、実際の製造において各種の欠陥が発生した、欠陥付きカラーフィルタ（幅（Ｗ）１５００ｍｍ×長さ（Ｌ）１８００ｍｍ程度）を大きさ１００ｍｍ角程度に切断したものを用いる。

しかし、この搬送ホルダー（２３）を用いる方法は、外観検査装置の機構上、採用することが困難な場合があり、全ての機種に適用できるものではない。従って、上記幅（Ｗ）１５００ｍｍ×長さ（Ｌ）１８００ｍｍ程度の点検用基板（２０）を用いるといった不便さは残されている。
特願２００６−１５６８９６号公報

本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、カラーフィルタの外観検査において、日常的に行われる自動外観検査装置に対する、欠陥を検出する機能の点検作業を簡便・容易な作業とすることのできる、すなわち、幅（Ｗ）１５００ｍｍ×長さ（Ｌ）１８００ｍｍ程度といった大きな点検用基板を用いることなく、また、外観検査装置の機種による制約のない、カラーフィルタ外観検査装置における欠陥検出機能の点検治具を提供することを課題とするものである。

本発明は、カラーフィルタ外観検査装置に設置し、該外観検査装置における欠陥検出機能の点検に用いる点検治具であって、カラーフィルタよりも小型の点検用基板を基板載置部に載置した後、検査開始位置を外観検査装置の検査ラインに移動させる位置出し機構と、該位置出し機構を外観検査装置のパスラインと平行に、かつ、カラーフィルタが搬送される速度と等速で移動させて該点検用基板を点検作業に供する搬送機構とで構成されることを特徴とするカラーフィルタ外観検査装置における欠陥検出機能の点検治具において、Ａ）前記位置出し機構は少なくとも、
１）点検用基板を載置する枠状の基板載置部、
２）該基板載置部を一端で保持し、外観検査装置のパスラインと平行な方向への基板載置部の水平移動を案内するＺ型アングル板、
３）該Ｚ型アングル板を介し、基板載置部を上記パスラインと平行な方向へ水平移動させる第一エアシリンダ、
４）該第一エアシリンダを上面で保持し、上記パスラインと垂直な方向への第一エアシリンダの垂直移動を案内するＬ型アングル板、
５）該Ｌ型アングル板を介し、第一エアシリンダを上記パスラインと垂直な方向へ垂直移動させる第二エアシリンダ、で構成され、
Ｂ）前記搬送機構は少なくとも、
１）上記パスラインと直角方向の両側部に右角部及び左角部が設けられており、上記位置出し機構を上面中央部に配設するサドル（横送り台）、
２）該サドルを両側部に設けられた右角部及び左角部で載架し、上記パスラインと平行な方向へのサドルの水平移動を案内する右ガイドレール及び左ガイドレール、
３）該右ガイドレール又は左ガイドレールと隣接して平行に設けられ、サドルを上記パスラインと平行な方向へ水平移動させる送りねじ、
４）該送りねじを駆動する駆動モータ、及び送りねじの軸受け、
５）上記右ガイドレール及び左ガイドレール、駆動モータ、及び送りねじの軸受けを配設する点検治具定盤、で構成されることを特徴とするカラーフィルタ外観検査装置における欠陥検出機能の点検治具である。

本発明は、カラーフィルタの外観検査装置に設置し、該外観検査装置における欠陥検出機能の点検に用いる点検治具であって、基板載置部に載置された点検用基板の検査開始位置を外観検査装置の検査ラインに移動させる位置出し機構と、該位置出し機構を外観検査装置のパスラインと平行に移動し点検用基板を点検作業に供する搬送機構とで構成されるカラーフィルタ外観検査装置における欠陥検出機能の点検治具であるので、幅（Ｗ）１５００ｍｍ×長さ（Ｌ）１８００ｍｍ程度といった大きな点検用基板を用いることなく、また、外観検査装置の機種による制約のない、つまり、欠陥を検出する機能の点検作業を簡便・容易な作業とすることのできる、カラーフィルタ外観検査装置における欠陥検出機能の点検治具となる。

以下に本発明の実施の形態を詳細に説明する。
図５は、本発明によるカラーフィルタ外観検査装置における欠陥検出機能の点検治具の一例の側面図である。また、図６は、その平面図である。図５及び図６は、本発明による点検治具の構成と動作を説明するものである。後述するように、本発明による点検治具は、カラーフィルタ外観検査装置に設置して欠陥検出機能の点検に用いられる。

図５及び図６に示すように、本発明による点検治具（７０）は、基板載置部（３１）に載置された点検用基板（２５）の検査開始位置を外観検査装置の検査ライン（Ｙ₁）に移動させる位置出し機構（３０）と、この位置出し機構（３０）を外観検査装置のパスライン（Ｘ₁）と平行に移動し点検用基板（２５）を点検作業に供する搬送機構（５０）とで構成されている。
尚、図５及び図６において、Ｘ軸とパスライン（Ｘ₁）、Ｙ軸と検査ライン（Ｙ₁）、Ｚ軸と垂線（Ｚ₁）は、各々が平行の関係にある。

位置出し機構（３０）は、基板載置部（３１）、Ｚ型アングル板（３２）、第一エアシリンダ（３３）、Ｌ型アングル板（３４）、及び第二エアシリンダ（３５）で構成されている。
基板載置部（３１）は、点検用基板（２５）を載置するもので、周縁部以外は開口した枠状である。前記図１及び図２は、反射検査が行われる際の概略を示したものであるが、透過検査における欠陥検出機能を点検する際には、点検用基板の下方の透過用光源からの検査光を垂直に照射し、点検用基板を透過した検査光を点検用基板の上方にある透過用検査カメラに受光させるためである（図示せず）。

基板載置部（３１）の平面形状は、例えば、正方形である。大きさは、５〜１０ｃｍ角程度の点検用基板を載置する大きさである。すなわち、本発明による点検治具（７０）においては、点検用基板は、前記図４に示す幅（Ｗ）１５００ｍｍ×長さ（Ｌ）１８００ｍｍ程度の点検用基板（２０）と比較し、著しく小さな点検用基板（２５）を用いる。本発明における点検用基板（２５）としては、例えば、実際の製造において各種の欠陥が発生した、欠陥付きカラーフィルタ（幅（Ｗ）１５００ｍｍ×長さ（Ｌ）１８００ｍｍ程度）を大きさ５〜１０ｃｍ角程度に切断したものを用いる。

Ｚ型アングル板（３２）は、その一端で基板載置部（３１）を保持している。
また、Ｚ型アングル板（３２）は、本発明による点検治具（７０）を外観検査装置に設置した際、外観検査装置のパスライン（Ｘ₁）と平行な方向への基板載置部（３１）の水平移動を案内するものである。
従って、図５に符号（ａ）にて示す部位でのＺ型アングル板（３２）下面には、案内する機構として、例えば、直線状Ｖアリ（凸部）を設け、対向する第一エアシリンダ（３３）上面には、直線状Ｖ溝（凹部）を設けることが好ましい。

第一エアシリンダ（３３）は、シリンダ軸（３３Ａ）の作動により、Ｚ型アングル板（３２）を介し、基板載置部（３１）を上記パスライン（Ｘ₁）と平行な方向へ水平移動させるものである。この水平移動によって、点検用基板（２５）の検査開始位置を外観検査装置の検査ライン（Ｙ₁）の水平位置まで移動させる。

Ｌ型アングル板（３４）は、その上面で第一エアシリンダ（３３）を保持している。また、Ｌ型アングル板（３４）は、上記パスライン（Ｘ₁）と垂直な方向（Ｚ₁）への第一エアシリンダ（３３）の垂直移動を案内するものである。
従って、図５に符号（ｂ）にて示す部位でのＬ型アングル板（３４）側面には、案内する機構として、例えば、直線状Ｖアリ（凸部）を設け、対向する第二エアシリンダ（３５）側面には、直線状Ｖ溝（凹部）を設けることが好ましい。

第二エアシリンダ（３５）は、シリンダ軸（３５Ａ）の作動により、Ｌ型アングル板（３４）を介し、第一エアシリンダ（３３）を上記パスライン（Ｘ₁）と垂直な方向（Ｚ₁）へ垂直移動させるものである。この垂直移動によって、点検用基板（２５）の検査開始位置を外観検査装置の検査ライン（Ｙ₁）の垂直位置まで移動させる。

一方、搬送機構（５０）は、サドル（横送り台）（５１）、右ガイドレール（５２Ｒ）及び左ガイドレール（５２Ｌ）、送りねじ（５３）、駆動モータ（５４）、送りねじの軸受け（５５）、及び点検治具定盤（５６）で構成されている。
サドル（横送り台）（５１）は、上記位置出し機構（３０）を上面中央部に配設している。サドル（横送り台）（５１）には、上記パスライン（Ｘ₁）と直角方向の両側部に右角部（５９Ｒ）及び左角部（５９Ｌ）が設けられている。

右ガイドレール（５２Ｒ）及び左ガイドレール（５２Ｌ）は、サドル（横送り台）（５１）をその両側部に設けられた右角部（５９Ｒ）及び左角部（５９Ｌ）で載架している。また、上記パスライン（Ｘ₁）と平行な方向へのサドル（横送り台）（５１）の水平移動を案内している。
右ガイドレール（５２Ｒ）及び左ガイドレール（５２Ｌ）の上面には、直線状Ｖ溝（凹部）が設けられており、対向する、符号（ｃ）で示す右角部（５９Ｒ）及び左角部（５９Ｌ）の下面には直線状Ｖアリ（凸部）（５７Ｒ、５７Ｌ）が設けられている。

送りねじ（５３）は、右ガイドレール（５２Ｒ）と隣接して平行に設けられ、サドル（横送り台）（５１）を上記パスライン（Ｘ₁）と平行な方向へ水平移動させる。右角部（５９Ｒ）の送りねじ（５３）に対応した部位には、ボールねじ（５８）が埋設されている。

駆動モータ（５４）としては、例えば、サーボモータ、或いはステッピングモータが用いられる。駆動モータ（５４）の作動により、サドル（横送り台）（５１）、位置出し機構（３０）を介し、基板載置部（３１）に載置された点検用基板（２５）は、上記パスライン（Ｘ₁）と平行な方向へ水平搬送される。
上記位置出し機構（３０）によって、その検査開始位置を外観検査装置の検査ライン（Ｙ₁）に移動された点検用基板（２５）は、この搬送機構（５０）によって、上記パスライン（Ｘ₁）上を検査開始位置から検査終了位置まで水平搬送され、欠陥検出機能の点検作業に供される。
この水平搬送の速度は、前記図１に示すカラーフィルタ（被検査体）（１０）が水平に搬送される速度と等速である。
尚、本発明による点検治具（７０）の制御は、前記制御装置（１６）によって行われる。

図７は、本発明による点検治具（７０）を外観検査装置に設置した一例を示す側面図である。図７は、前記図１に示す自動外観検査装置に、図５に示す点検治具（７０）を設置した例である。図７に示す本発明による点検治具（７０）は、図５に示すパスライン（Ｘ₁）、検査ライン（Ｙ₁）、垂線（Ｚ₁）を、図７に示す自動外観検査装置上のパスライン（Ｘ₁）、検査ライン（Ｙ₁）、垂線（Ｚ₁）に各々一致させ、図７中、垂線（Ｚ₁）の左方、パスライン（Ｘ₁）の下方の定盤（１１）上に設置されている。

尚、図７は、説明上、第一エアシリンダ（３３）及び第二エアシリンダをＸ軸方向及びＺ軸方向に少々作動させた状態の、図５に示す点検治具（７０）をそのまま自動外観検査装置にした例である。
後述するように、第一エアシリンダ（３３）、第二エアシリンダ（３５）、及び駆動モータ（５４）を作動させない待機状態では、図７中のように、点検治具（７０）の基板載置部（３１）の一部が垂線（Ｚ₁）の右方、Ｚ型アングル板（３２）の一部がパスライン（Ｘ₁）の上方に位置することはない。

図８は、本発明による点検治具（７０）を外観検査装置に設置した一例の平面図である。図８に示すように、点検治具（７０）は、点検治具（１）（７０（１））〜点検治具（８）（７０（８））の８個の点検治具で構成されており、反射用検査カメラ（１）（１４（１））〜反射用検査カメラ（８）（１４（８））の配列に対応し、Ｙ軸方向に一列に順次に配列されている。

図１３〜図１５は、日常的に行われる欠陥検出機能の点検作業での点検治具（７０）の動作の一例を説明する側面図である。図１３は、外観検査装置の定盤（１１）上に設置された点検治具（７０）が、欠陥検出機能の点検に用いられずに待機している状態（待機位置）を示す側面図である。
図１３に示すように、サドル（横送り台）（５１）は送りねじ（５３）の図１３中、左右中央（Ｚ₀）より左方に位置している。第一エアシリンダ（３３）及び第二エアシリンダ（３５）は、作動していない状態である。符号（ｈ）は、点検用基板（２５）上の検査開始位置、符号（ｉ）は、点検用基板（２５）上の検査終了位置を表している。

前記カラーフィルタ（被検査体）（１０）の検査は、点検治具（７０）をこの状態に保ち、白太矢印で示すように、パスライン（Ｘ₁）上を水平に搬送されながら行われる。
一方、日常的に行われる欠陥検出機能の点検作業は、例えば、カラーフィルタ（被検査体）（１０）の検査を開始する前に、或いは、検査を中断して行われる。

図１４は、点検作業が開始され、点検用基板（２５）の検査開始位置（ｈ）を検査ライン（Ｙ₁）に移動させる位置出し行われた段階を示す側面図である。
先づ、位置出し機構（３０）の第一エアシリンダ（３３）及び第二エアシリンダ（３５）を作動させて、基板載置部（３１）をパスライン（Ｘ₁）と平行な方向へ水平移動し、また、基板載置部（３１）を垂線（Ｚ₁）と平行な方向へ垂直移動し、点検用基板（２５）の検査開始位置（ｈ）を検査ライン（Ｙ₁）へと位置出しを行う。
図１４は、位置出しが完了した段階を表しており、また、この段階から点検用基板（２５）をパスライン（Ｘ₁）上で水平搬送させる搬送が開始される。

次に、第一エアシリンダ（３３）及び第二エアシリンダ（３５）は作動させず、搬送機構（５０）の駆動モータ（５４）を作動させて、点検用基板（２５）をパスライン（Ｘ₁）上で図中、右方向へ検査終了位置（ｉ）が検査ライン（Ｙ₁）に至るまで水平搬送させる。点検用基板（２５）は、この水平搬送の間に欠陥検出機能の点検に供される。
図１５は、この水平搬送が終了した段階（搬送終了位置）を示す側面図である。上記一連の動作が終了すると、点検治具（７０）は、図１３に示す待機している状態（待機位置）
へと戻る。

上記のように、本発明による点検治具（７０）においては、位置出し機構（３０）が点検用基板（２５）の位置出しを行い、搬送機構（５０）が点検用基板（２５）の水平搬送を行うものであるが、位置出し機構（３０）の第一エアシリンダ（３３）を作動させずに点検用基板（２５）を点検に供することもある。

例えば、外観検査装置の機種によっては機構上、図１５に符号（ｊ）で示す、軸受け（５５）と垂線（Ｚ₁）との距離を小さくして設置することができる場合、或いは、例えば、点検用基板（２５）のサイズが、５０ｍｍ×５０ｍｍといった小さな場合などには、第一エアシリンダ（３３）を作動させず、すなわち、第二エアシリンダ（３５）と駆動モータ（５４）の作動により、点検用基板（２５）を点検に供することも可能である。

自動外観検査装置の一例の反射検査が行われる部分の概略を示す側面図である。図１に示す自動外観検査装置の平面図である。被検査体カラーフィルタ上における、反射用検査カメラによる走査領域を説明する平面図である。点検に用いられる点検用基板の一例を示す平面図である。本発明による欠陥検出機能の点検治具の一例の側面図である。図５に示す欠陥検出機能の点検治具の一例の平面図である。本発明による点検治具を外観検査装置に設置した一例を示す側面図である。本発明による点検治具を外観検査装置に設置した一例の平面図である。その取り扱い及び保存が容易な搬送ホルダーの説明図である。液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を模式的に示した平面図である。図１０に示すカラーフィルタのＸ−Ｘ’線における断面図である。赤色の着色画素に発生した白抜け、及び青色の着色画素に発生した異物を例示した説明図である。点検治具が、欠陥検出機能の点検に用いられずに待機している状態（待機位置）を示す側面図である。点検用基板の検査開始位置を検査ラインに移動させる位置出し行われた段階を示す側面図である。水平搬送が終了した段階（搬送終了位置）を示す側面図である。

符号の説明

４・・・カラーフィルタ
１０・・・被検査体カラーフィルタ
１１・・・定盤
１２・・・搬送ステージ
１３・・・反射用光源
１３（１）〜（８）・・・反射用光源（１）〜反射用光源（８）
１４・・・反射用検査カメラ
１４（１）〜（８）・・・反射用検査カメラ（１）〜反射用検査カメラ（８）
１５・・・画像処理装置
１６・・・制御装置
２０・・・点検用基板
２０Ａ・・・仕上がりカラーフィルタ
２１、４１・・・ブラックマトリックス
２２、４２・・・着色画素
２２Ｒ・・・赤色の着色画素
２２Ｇ・・・緑色の着色画素
２２Ｂ・・・青色の着色画素
２３・・・搬送ホルダー
２４・・・小型点検用基板
２５・・・点検用基板
３０・・・位置出し機構
３１・・・基板載置部
３２・・・Ｚ型アングル板
３３・・・第一エアシリンダ
３３Ａ、３５Ａ・・・シリンダ軸
３４・・・Ｌ型アングル板
３５・・・第二エアシリンダ
４０・・・ガラス基板
４３・・・透明導電膜
５０・・・搬送機構
５１・・・サドル（横送り台）
５２Ｒ、５２Ｌ・・・右ガイドレール、左ガイドレール
５３・・・送りねじ
５４・・・駆動モータ
５５・・・送りねじの軸受け
５６・・・点検治具定盤
５７Ｒ、５７Ｌ・・・直線状Ｖアリ（凸部）
５８・・・ボールねじ
５９Ｒ、５９Ｌ・・・右角部、左角部
７０・・・本発明による点検治具
７０（１）〜（８）・・・点検治具（１）〜点検治具（８）
Ｄ１・・・白抜け
Ｄ２・・・異物
Ｌ・・・カラーフィルタの長さ
Ｓｒ・・・反射用検査カメラの走査領域
Ｓｒ（１）〜（８）・・・反射用検査カメラ（１）〜（８）の走査領域
Ｗ・・・カラーフィルタの幅
Ｘ₁・・・カラーフィルタが搬送されるパスライン
Ｙ₁・・・検査ライン
Ｚ₁・・・パスラインに対する垂線
ｈ・・・点検用基板上の検査開始位置
ｉ・・・点検用基板上の検査終了位置

Claims

カラーフィルタ外観検査装置に設置し、該外観検査装置における欠陥検出機能の点検に用いる点検治具であって、カラーフィルタよりも小型の点検用基板を基板載置部に載置した後、検査開始位置を外観検査装置の検査ラインに移動させる位置出し機構と、該位置出し機構を外観検査装置のパスラインと平行に、かつ、カラーフィルタが搬送される速度と等速で移動させて該点検用基板を点検作業に供する搬送機構とで構成されることを特徴とするカラーフィルタ外観検査装置における欠陥検出機能の点検治具において、
Ａ）前記位置出し機構は少なくとも、
１）点検用基板を載置する枠状の基板載置部、
２）該基板載置部を一端で保持し、外観検査装置のパスラインと平行な方向への基板載置部の水平移動を案内するＺ型アングル板、
３）該Ｚ型アングル板を介し、基板載置部を上記パスラインと平行な方向へ水平移動させる第一エアシリンダ、
４）該第一エアシリンダを上面で保持し、上記パスラインと垂直な方向への第一エアシリンダの垂直移動を案内するＬ型アングル板、
５）該Ｌ型アングル板を介し、第一エアシリンダを上記パスラインと垂直な方向へ垂直移動させる第二エアシリンダ、で構成され、
Ｂ）前記搬送機構は少なくとも、
１）上記パスラインと直角方向の両側部に右角部及び左角部が設けられており、上記位置出し機構を上面中央部に配設するサドル（横送り台）、
２）該サドルを両側部に設けられた右角部及び左角部で載架し、上記パスラインと平行な方向へのサドルの水平移動を案内する右ガイドレール及び左ガイドレール、
３）該右ガイドレール又は左ガイドレールと隣接して平行に設けられ、サドルを上記パスラインと平行な方向へ水平移動させる送りねじ、
４）該送りねじを駆動する駆動モータ、及び送りねじの軸受け、
５）上記右ガイドレール及び左ガイドレール、駆動モータ、及び送りねじの軸受けを配設する点検治具定盤、で構成されることを特徴とするカラーフィルタ外観検査装置における欠陥検出機能の点検治具。