JP5492633B2 - Inkjet coating apparatus and method - Google Patents

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Description

本発明は、平滑な部材に対するインクジェット方式による材料の塗布に係り、特に、紫外線硬化(以下、UV硬化ともという)作用をもつ材料の塗布を安定して行なうインクジェット塗布する装置及び方法に関する。   The present invention relates to the application of a material by an ink jet method to a smooth member, and more particularly to an ink jet application apparatus and method for stably applying a material having an ultraviolet curing (hereinafter also referred to as UV curing) action.

インクジェット方式とは、塗布ヘッドとしての気泡または圧電素子を利用したインクジェット塗布ヘッドから少量のインク液滴を高精度に吐出する方式である。このインク液滴の高精度な吐出によって対象とする部材にインク液滴を塗布する処理を装置化したものが、インクジェット塗布装置である。インクの高精細な塗布を実現できる装置として近年注目されてきており、紙への印刷に限らず、あらゆる産業分野でその適用可能性が探られており、既に、実用化されているものもある。   The ink jet method is a method for ejecting a small amount of ink droplets with high accuracy from an ink jet coating head using bubbles or piezoelectric elements as a coating head. An ink jet coating apparatus is a device that applies a process for applying ink droplets to a target member by highly accurate ejection of the ink droplets. In recent years, it has been attracting attention as a device that can realize high-definition ink application, and its applicability is being explored not only for printing on paper but also in all industrial fields, and some have already been put into practical use. .

ノズル真空吸引手段については、塗布ヘッドを覆い、吸引手段によって塗布ヘッドの内部を適度な負圧に設定することにより、塗布ヘッドの内部の気泡を除去し、インクを安定して吐出できる状態にする技術が提案されている(例えば、特許文献1参照)。   As for the nozzle vacuum suction means, the application head is covered and the inside of the application head is set to an appropriate negative pressure by the suction means, thereby removing bubbles inside the application head so that ink can be stably ejected. A technique has been proposed (see, for example, Patent Document 1).

UV硬化作用を持つインク液種類(UV硬化型塗布材料のインク液。以下、UV硬化型塗布材という)への対応としては、インク液を着弾前に硬化させず、着弾後に速やかに硬化させるために、主走査方向に移動するキヤリッジに取り付けられた塗布ヘッドとUV光源と各UV光源に被さったカバーを備えた技術が知られている(例えば、特許文献2参照)。   In order to cope with the type of ink liquid having UV curing action (ink liquid of UV curable coating material; hereinafter referred to as UV curable coating material), the ink liquid is not cured before landing, but is quickly cured after landing. In addition, a technique is known that includes a coating head attached to a carriage that moves in the main scanning direction, a UV light source, and a cover that covers each UV light source (see, for example, Patent Document 2).

このカバーの側面は、塗布ヘッドの下面より、更に、下方に延出して塗布ヘッドとUV光源の間に配置され、このカバーの側面の下端には、弾道に向かって延出するつばが設けられている。   The side surface of the cover extends further downward from the lower surface of the coating head and is disposed between the coating head and the UV light source, and a flange extending toward the trajectory is provided at the lower end of the side surface of the cover. ing.

かかる構成によると、UV光源からの紫外線がカバーの側面で遮蔽され、これにより、塗布ヘッド及び塗布ヘッドから吐出されたUV硬化型塗布材のインク滴の軌道に紫外線が至らないし、また、記録媒体で反射した紫外線がつばに遮蔽され、この反射した紫外線がヘッド及び弾道に至らないものである。   According to such a configuration, the ultraviolet rays from the UV light source are shielded by the side surface of the cover, whereby the ultraviolet rays do not reach the trajectory of the ink droplets of the UV curable coating material ejected from the coating head and the coating head, and the recording medium The reflected ultraviolet rays are shielded by the collar, and the reflected ultraviolet rays do not reach the head and the trajectory.

これにより、ヘッドによって吐出されてから記録媒体に着弾するまでのUV硬化型塗布材のインク滴の弾道への活性光線の入射が遮蔽部材によって低減できるから、ヘッドから吐出されたこのインク滴が、記録媒体に着弾する前に、活性光線に曝露されて硬化する恐れを軽減することができ、高画質の画像を記録することができるというものである。   Thereby, since the incident of the active light to the trajectory of the ink droplet of the UV curable coating material from the time when the ink is ejected by the head to the landing on the recording medium can be reduced by the shielding member, this ink droplet ejected from the head Before landing on the recording medium, the risk of curing by exposure to actinic rays can be reduced, and high-quality images can be recorded.

また、このような遮蔽部材が設けられているため、活性光線源をより一層ヘッドに近づけて設置することができて、UV硬化型塗布材のインク滴は記録媒体に着弾してから速やかに活性光線源から発した活性光線に曝露するようにでき、従って、かかるインク滴は、記録媒体に着弾後、速やかに硬化する。このため、かかるインク滴は記録媒体上で必要以上に広がらず、滲まないようにすることが可能となるものである。   Further, since such a shielding member is provided, the actinic ray source can be set closer to the head, and the ink droplets of the UV curable coating material are activated immediately after landing on the recording medium. The ink droplets can be exposed to actinic rays emitted from a light source, and thus such ink droplets are cured rapidly after landing on the recording medium. For this reason, it is possible to prevent such ink droplets from spreading more than necessary on the recording medium and from bleeding.

また、活性光線源から発した活性光線がUV硬化型塗布材のインク滴の弾道の基点に入射することが遮蔽部材によって防止可能となるため、塗布ヘッドのインク吐出口に存するUV硬化型塗布材のインク液が増粘したり、硬化したりすることを抑制でき、長期にわたってかかるインク液の吐出不良を防止することができるものである。   Further, since the shielding member can prevent the actinic rays emitted from the actinic ray source from entering the base of the trajectory of the ink droplet of the UV curable coating material, the UV curable coating material existing at the ink discharge port of the coating head It is possible to prevent the ink liquid from being thickened or cured, and to prevent the ink liquid from being discharged over a long period of time.

特開2008−272996号公報JP 2008-272996 A 特開2004−314304号公報JP 2004-314304 A

これまで、インクジェット塗布に用いるUV硬化型塗布材の塗布においては、硬化の可否を考慮する状態として、塗布ヘッド内に蓄えられている吐出前の段階と、塗布ヘッドから吐出されて対象基板に到達する前の吐出中の段階(上記特許文献2での「弾道」に沿って移動することに相当する段階)と、吐出されたUV硬化型塗布材が対象基板に到達した後の段階との3つの段階を挙げている。前者の2つの段階では、UV硬化型塗布材が硬化しない方が良く、最後のUV硬化型塗布材の滴が基板に到達した段階では、即硬化した方が良いものである。 Up to now, in the application of UV curable coating materials used for ink jet coating, the state before discharge stored in the coating head and the state of being discharged from the coating head and reaching the target substrate are taken into consideration as to whether curing is possible or not. 3 of a stage during ejection (a stage corresponding to movement along the “ballistic trajectory” in Patent Document 2) and a stage after the ejected UV curable coating material reaches the target substrate. Cite two stages. In two stages of the former, it is better that UV-curable coating material is not cured, in the last stage of droplets of UV-curable coating material reaches the substrate, but it is better to immediately cured.

しかしながら、UV硬化型塗布材が硬化しないことを望むのは、塗布ヘッドの内部と塗布ヘッドからの吐出中だけではない。塗布ヘッドの内部には、UV硬化型塗布材が充填されているが、連続して塗布を繰り返すことによって、時間の経過とともに、次第に塗布ヘッドの内部に気泡が混入してしまう問題が発生するので、かかる問題への対処も必要である。   However, it is not only the inside of the coating head and during ejection from the coating head that the UV curable coating material is desired not to be cured. The inside of the coating head is filled with a UV curable coating material. However, by repeating the coating continuously, there is a problem that bubbles gradually mix inside the coating head as time passes. It is also necessary to deal with such problems.

一旦塗布ヘッドの内部に気泡が発生すると、UV硬化型塗布材を吐出させるために、各ノズル内でピエゾ等でこのUV硬化型塗布材を押し出したつもりが、気泡だけを圧縮することとなる。UV硬化型塗布材の安定した吐出ができなくなることを防止するためには、塗布ヘッド内からの気泡の除去が必要となる。また、塗布ヘッド内のUV硬化型塗布材を全て消費した場合、あるいは段取り替えなどで塗布ヘッド内を異なる塗布材へ交換する必要がある場合にも、気泡の混入をなくしながら、塗布材を充填させる必要がある。   Once the bubbles are generated inside the coating head, the intention to push the UV curable coating material by piezo or the like in each nozzle in order to discharge the UV curable coating material is to compress only the bubbles. In order to prevent the stable discharge of the UV curable coating material, it is necessary to remove bubbles from the coating head. In addition, when all UV curable coating material in the coating head is consumed, or when it is necessary to replace the coating head with a different coating material by changing the setup, etc., the coating material is filled while eliminating air bubbles. It is necessary to let

既に混入した気泡を除去する際、あるいは気泡の混入を抑制しながら塗布ヘッド内へ塗布材を充填する際には、ノズル真空吸引手段を使って真空吸引することにより、ノズル吐出口から吸引する手法を用いている。   A method of sucking from the nozzle discharge port by vacuum suction using the nozzle vacuum suction means when removing the already mixed bubbles or filling the coating material into the coating head while suppressing the mixing of bubbles. Is used.

この吸引作業では、通常、UV硬化型塗布材の一部が飛散して、ノズルの真空吸引手段の内部の壁面や真空配管内に付着する。一方、塗布ヘッドには、UV光源を備えており、そのUV光がこの内部の壁面や真空配管内に付着したUV硬化型塗布材を硬化させてしまう。さらに、ノズルの真空吸引手手段、塗布処理時間の低下を防ぐために、塗布対象とするフィルムなどを固定するテーブルに近い位置に設置されていると、UV光源が照射状態で近傍を通過するたびに、UV光がノズルの真空吸引手段の内部壁面や真空配管内に付着したUV硬化型塗布材を硬化させてしまう。このため、ノズルの真空吸引手段の配管に目詰まりが生じて、UV硬化型塗布材の塗布ヘッドへの吸引不良が発生する。ひいては、塗布ヘッド内への気泡の混入を招き、吐出不良の発生によって製造する製品の品質を低下させるという問題がある。   In this suction operation, a part of the UV curable coating material usually scatters and adheres to the inner wall surface of the vacuum suction means of the nozzle or the vacuum pipe. On the other hand, the coating head is provided with a UV light source, and the UV light cures the UV curable coating material adhering to the inner wall surface or the vacuum pipe. Furthermore, in order to prevent the vacuum suction means of the nozzle and the coating processing time from being lowered, when the UV light source passes through the vicinity in the irradiation state when it is installed at a position close to the table for fixing the film to be coated, etc. UV light will harden the UV curable coating material adhering to the inner wall surface of the vacuum suction means of the nozzle and the vacuum pipe. For this reason, clogging occurs in the piping of the vacuum suction means of the nozzle, resulting in poor suction of the UV curable coating material to the coating head. As a result, there is a problem that bubbles are mixed into the coating head, and the quality of a product to be manufactured is deteriorated due to the occurrence of ejection failure.

本発明の目的は、かかる問題を解消し、塗布処理時間を低下させることなく、インクジェット塗布ヘッドのノズル孔から確実にUV硬化型塗布材を射出(塗布)することにより、塗布対象への塗布品質を高めることができるようにしたインクジェット塗布装置及び方法を提供することにある。   The object of the present invention is to eliminate such problems and reliably inject (apply) a UV curable coating material from a nozzle hole of an ink jet coating head without reducing the coating processing time, so that the coating quality to the coating target is improved. It is an object of the present invention to provide an ink jet coating apparatus and method capable of enhancing the above.

上記目的を達成するために、本発明は、ロール状のフィルムを巻き出して搬送する上流側のガイドロールと、巻き出された該フィルムを吸着保持する吸着テーブルと、該吸着テーブルに吸着保持された該フィルム表面に液状のUV硬化型塗布材を塗布する塗布ヘッドと、該塗布ヘッドを該フィルムの上方位置でXY軸の平面内を移動可能にするガントリ構造体と、該塗布ヘッドの上下動を可能にするZ軸駆動手段と、該塗布ヘッドと一体にXYZ軸方向に移動可能な紫外線光源と、からなるインクジェット塗布装置において、該フィルムを搬送する範囲の外側に配置されて、該位置に移動した該塗布ヘッドが下降して接触する吸口を有し、該吸口から該塗布ヘッドのノズルを吸引する真空吸引手段と、該真空吸引手段の内部への該紫外線光源から紫外線光の入射を遮蔽する遮光手段とを備え、前記遮光手段は、固定された遮光板であり、該真空吸引手段での該紫外線光の遮蔽と該遮蔽の解除とを選択可能に構成し、前記真空吸引手段は、直線式駆動手段によって、前記フィルム側の前記遮光板の下面を外れた第1の位置と、前記遮光板の下面の下側の第2の位置と、前記フィルムとは反対側の前記遮光板の下面を外れた第3の位置との3つの位置で位置決め可能に往復動することを特徴とする。 In order to achieve the above object, the present invention provides an upstream guide roll for unwinding and transporting a roll film, an adsorption table for adsorbing and holding the unwound film, and adsorbing and holding on the adsorption table. Further, a coating head for coating a liquid UV curable coating material on the surface of the film, a gantry structure that allows the coating head to move within the plane of the XY axis at a position above the film, and vertical movement of the coating head In an ink jet coating apparatus comprising a Z-axis driving means that enables movement and an ultraviolet light source that is movable in the X, Y, and Z directions integrally with the coating head, the film is disposed outside the range for transporting the film, has aspirate port moved coating head is contacted lowered, the vacuum suction means for sucking the nozzles of the coating head from suction pull port, the ultraviolet rays into the interior of the vacuum suction means Comprising a light shielding means for shielding incident UV light from a source, wherein the light shielding means is a fixed shielding plate, selectably the release of the ultraviolet light shielding and the shielding in the vacuum suction means The vacuum suction means includes a first position where the lower surface of the light shielding plate on the film side is removed by a linear drive means, a second position below the lower surface of the light shielding plate, and the film. And reciprocating so as to be positionable at three positions including a third position off the lower surface of the light shielding plate on the opposite side .

また、本発明は、上流側のガイドロールでロール状のフィルムを巻き出して搬送し、吸着テーブルで巻き出された該フィルムを吸着保持し、塗布ヘッドで該吸着テーブルに吸着保持された該フィルムの表面に液状のUV硬化型塗布材を塗布し、ガントリ構造体によって該塗布ヘッドを該フィルムの上方位置でXY軸の平面内を移動可能にし、Z軸駆動手段によって該塗布ヘッドの上下動を可能にし、紫外線光源は該塗布ヘッドと一体にXYZ軸方向に移動可能としたインクジェット塗布方法において、遮光手段は、固定された遮光板であり、真空吸引手段の内部への該紫外線光源から紫外線光の入射を遮蔽し、該紫外線光の遮蔽と遮蔽の解除とを選択でき該真空吸引手段は、該フィルムを搬送する範囲の外側の第1の位置に配置されて、該第1の位置に移動した該塗布ヘッドを下降させることによって吸引口に接触させて該塗布ヘッドのノズルから吸引し、直線式駆動手段によって、該第1の位置と、前記遮光板の下面の下側の第2の位置と、前記フィルムとは反対側の該遮光板の下面を外れた第3の位置との3つの位置で位置決め可能に往復動することを特徴とする。 Also, the present invention unwinds and conveys a roll film with an upstream guide roll, sucks and holds the film unwound on a suction table, and sucks and holds the film on the suction table with a coating head. A liquid UV curable coating material is applied to the surface of the film, the gantry structure enables the coating head to move in the plane of the XY axis at a position above the film, and the Z-axis driving means moves the coating head up and down. In the inkjet coating method in which the ultraviolet light source is movable in the XYZ axial directions integrally with the coating head, the light shielding means is a fixed light shielding plate, and ultraviolet light from the ultraviolet light source to the inside of the vacuum suction means shields the incident, can choose to cancel the shielding and the shielding of the ultraviolet light, vacuum suction means is disposed in a first position outside the range for conveying the film, the Contacting the suction port by lowering the coating head which has moved to the first position by the suction from the nozzle of the coating head, the linear equation driving means, and the first position, under a lower surface of the light shielding plate The second position and the third position where the lower surface of the light shielding plate opposite to the film is removed are reciprocally moved so as to be positionable .

本発明によれば、ノズルの真空吸引手段の内部に付着したUV硬化型塗布材の硬化を防止でき、ノズルからのUV硬化型塗布材の安定した真空吸引が可能となり、塗布品質が向上する。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, hardening of the UV curable coating material adhering to the inside of the vacuum suction means of a nozzle can be prevented, the stable vacuum suction of the UV curable coating material from a nozzle is attained, and coating quality improves.

本発明によるインクジェット塗布装置及び方法の第1の実施形態の概略構成を示す斜視図である。1 is a perspective view showing a schematic configuration of a first embodiment of an inkjet coating apparatus and method according to the present invention. 図1に示す第1の実施形態の概略構成を示す上面図である。It is a top view which shows schematic structure of 1st Embodiment shown in FIG. 図1,図2での1つの塗布ヘッドの部分を拡大して示す斜視図である。It is a perspective view which expands and shows the part of one coating head in FIG. 1, FIG. 図1における真空吸引部のUV遮光の機能を持つインクジェット塗布の制御部の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the control part of the inkjet application | coating which has the function of UV shielding of the vacuum suction part in FIG. 図3に示す真空吸引部の真空吸引の動作の一具体例をフローチャートである。It is a flowchart of an example of the operation | movement of the vacuum suction of the vacuum suction part shown in FIG. 本発明によるインクジェット塗布装置及び方法の第2の実施形態の要部の概略構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows schematic structure of the principal part of 2nd Embodiment of the inkjet coating apparatus and method by this invention.

以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

なお、以下に説明する実施形態では、塗布対象の一例として、非シリコン系の半導体材料(例えば、CIGS薄膜)が施された太陽電池フィルム上に、インクジェット方式の塗布ヘッドで電極材や絶縁材を塗布することにより、電極や絶縁膜などの膜形成を行なうものとする。なお、CIGS薄膜は、Cu(銅),In(インジウム),Ga(ガリウム)、Se(セレン)から成る半導体材料の薄膜であって、「CIGS」はこれら素材の頭文字を配列したものである。   In the embodiment described below, as an example of the application target, an electrode material or an insulating material is applied to a solar cell film on which a non-silicon-based semiconductor material (for example, a CIGS thin film) is applied by an inkjet application head. By coating, a film such as an electrode or an insulating film is formed. The CIGS thin film is a thin film of a semiconductor material made of Cu (copper), In (indium), Ga (gallium), and Se (selenium), and “CIGS” is an arrangement of initials of these materials. .

絶縁膜の膜形成では、塗布材料としてUV硬化樹脂の液(UV硬化型塗布材)を塗布ヘッド内に充填し、これを吐出して塗布する。UV硬化樹脂は、一般的に、モノマーやオリゴマー,光硬化開始剤と添加剤で構成されている。UV光の照射を受けると、光重合反応により、この光硬化開始剤がモノマー(液体)状態からポリマー(固体)状態に短時間で転換されていく。   In forming the insulating film, a liquid of UV curable resin (UV curable coating material) is filled in the coating head as a coating material, and this is discharged and applied. The UV curable resin is generally composed of monomers, oligomers, photocuring initiators and additives. When irradiated with UV light, this photocuring initiator is converted from a monomer (liquid) state to a polymer (solid) state in a short time by a photopolymerization reaction.

図1は本発明によるインクジェット塗布装置及び方法の第1の実施形態での概略構成を示す斜視図であって、1は太陽電池用積層フィルム(以下、単にフィルムという)、2は巻出側フィルムロール、3は巻取側フィルムロール、4,5はガイドロール、6,7は昇降ガイドロール、8,9は吸着バー、10は吸着テーブル、11は巻出側軸モータ、12は巻取側軸モータ、13,14はフィルム押えバー、15は塗布ヘッド、16は巻出部、17は塗布部、18は巻取部、19は撮像カメラ、20はUV光源、21は真空吸引部、22はUVシャッタ、23はエアシリンダである。   FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration in a first embodiment of an ink jet coating apparatus and method according to the present invention, wherein 1 is a laminated film for solar cells (hereinafter simply referred to as a film), and 2 is an unwinding side film. Rolls, 3 is a take-up film roll, 4 and 5 are guide rolls, 6 and 7 are elevating guide rolls, 8 and 9 are suction bars, 10 is a suction table, 11 is an unwinding side shaft motor, and 12 is a take-up side Axis motor, 13 and 14 are film press bars, 15 is a coating head, 16 is an unwinding section, 17 is a coating section, 18 is a winding section, 19 is an imaging camera, 20 is a UV light source, 21 is a vacuum suction section, 22 Is a UV shutter, and 23 is an air cylinder.

同図において、フィルム1の長手方向(移動方向)に沿うX軸方向の空間が巻出部16と塗布部17と巻取部18とに区分されており、巻出部16には、巻出側軸モータ11によって回転駆動される巻出側フィルムロール2や上流側のガイドロール4,昇降ガイドロール6,吸着バー8がX軸方向に順次配列して設けられ、巻取部18には、下流側の吸着バー9や昇降ガイドロール7,ガイドロール5,巻取側フィルムロール3がX軸方向に順次配列して設けられている。また、塗布部17には、吸着テーブル10や塗布ヘッド15、フィルム押えバー13,14が設けられている。吸着バー8,9や吸着テーブル10では、図示しないが、真空ポンプを真空源として、真空バルブでフィルム1の吸着固定や固定解除が行なわれる。   In the drawing, the space in the X-axis direction along the longitudinal direction (movement direction) of the film 1 is divided into an unwinding portion 16, an application portion 17, and a winding portion 18. The unwinding side film roll 2, which is rotationally driven by the side shaft motor 11, the upstream side guide roll 4, the lifting guide roll 6, and the suction bar 8 are sequentially arranged in the X-axis direction. A suction bar 9 on the downstream side, a lifting guide roll 7, a guide roll 5, and a take-up film roll 3 are sequentially arranged in the X-axis direction. The application unit 17 is provided with a suction table 10, an application head 15, and film pressing bars 13 and 14. Although not shown, the suction bars 8 and 9 and the suction table 10 use the vacuum pump as a vacuum source to suck and fix the film 1 by a vacuum valve.

巻出部16では、巻出側フィルムロール2に塗布部17で電極材や絶縁材の塗布対象となるフィルム1がロール状に巻き付けられている。また、このフィルム1は、この巻出側フィルムロール2から巻き出されて塗布部17を通り、巻取部18で巻取側フィルムロール3に巻き取られている。ここで、フィルム1の長さ方向(移動方向)をX軸方向、その幅方向をY軸方向、その面に垂直な方向をZ軸方向とする。   In the unwinding part 16, the film 1 used as the application | coating object of an electrode material or an insulating material by the application part 17 is wound around the unwinding side film roll 2 at roll shape. The film 1 is unwound from the unwinding film roll 2, passes through the coating unit 17, and is wound on the winding side film roll 3 by the winding unit 18. Here, the length direction (movement direction) of the film 1 is the X-axis direction, the width direction is the Y-axis direction, and the direction perpendicular to the surface is the Z-axis direction.

塗布部17では、フィルム1が、吸着テーブル10上に、真空吸着により、位置固定される。また、インクジェット式の塗布ヘッド15が複数(ここでは、4個)設けられており、夫々の塗布ヘッド15は、図示しないZ軸駆動手段によってその高さを個別に変えられる。また、塗布ヘッド15は、撮像カメラ19やUV光源20と一体に構成され、図示しないX軸駆動手段によってX軸方向に移動できる構成をなしている。   In the application unit 17, the position of the film 1 is fixed on the suction table 10 by vacuum suction. A plurality (four in this case) of ink jet type coating heads 15 are provided, and the height of each coating head 15 can be individually changed by a Z-axis driving unit (not shown). The coating head 15 is configured integrally with the imaging camera 19 and the UV light source 20, and is configured to be movable in the X-axis direction by an X-axis driving unit (not shown).

なお、撮像カメラ19やUV光源20と一体の塗布ヘッド15は、ここでは、4個設けられているものとするが、1個であってもよいし、また、4個以外の複数個であってもよいが、処理速度を向上させるためには、複数個設ける。   Here, four coating heads 15 integrated with the imaging camera 19 and the UV light source 20 are provided here, but may be one, or a plurality other than four. However, in order to improve the processing speed, a plurality of them are provided.

また、テーブル10の外側には、塗布ヘッド15毎にそのノズル内を吸引する真空吸引部21が設けられており、また、夫々の真空吸引部21には、エアシリンダ23で往復移動(スライド)可能なUVシャッタ22が設けられている。このUVシャッタ22は、真空吸引部21の吸引口の蓋状となるものであって、塗布ヘッド15のノズル内を真空吸引するときには、エアシリンダ23によってUVシャッタ22が真空吸引部21の吸引口から外されてこの吸引口を開放し、塗布ヘッド15のノズル内を真空吸引しないときには、エアシリンダ23によってUVシャッタ22が移動して真空吸引部21の吸引口に被され、この吸引口を閉じる。   In addition, a vacuum suction unit 21 that sucks the inside of the nozzle for each coating head 15 is provided on the outside of the table 10, and each vacuum suction unit 21 is reciprocated (slided) by an air cylinder 23. A possible UV shutter 22 is provided. The UV shutter 22 is a lid of the suction port of the vacuum suction unit 21, and when the inside of the nozzle of the coating head 15 is vacuum suctioned, the UV shutter 22 is moved by the air cylinder 23 to the suction port of the vacuum suction unit 21. When the suction port is opened and the nozzle of the coating head 15 is not vacuum-sucked, the UV shutter 22 is moved by the air cylinder 23 to be covered by the suction port of the vacuum suction unit 21, and the suction port is closed. .

図2は図1に示す第1の実施形態の概略構成を示す上面図であって、24はX軸駆動手段、25はZ軸駆動手段、26はY軸駆動手段、27はガントリ、28a,28bはY軸ステージ、29は真空ポンプ、30は真空バルブ、31は加圧エア源,32はバルブユニット、33は真空配管、34は配管であり、図1に対応する部分には同一符号を付けて重複する説明を省略する。   2 is a top view showing a schematic configuration of the first embodiment shown in FIG. 1, wherein 24 is an X-axis drive means, 25 is a Z-axis drive means, 26 is a Y-axis drive means, 27 is a gantry, 28a, 28b is a Y-axis stage, 29 is a vacuum pump, 30 is a vacuum valve, 31 is a pressurized air source, 32 is a valve unit, 33 is a vacuum pipe, 34 is a pipe, and parts corresponding to FIG. In addition, overlapping explanation is omitted.

同図において、4個の塗布ヘッド15はX軸方向、即ち、フィルム1の長手方向に沿って配列されており、これら塗布ヘッド15の配列全体を挟み、かつフィルム1を跨いで2個のY軸ステージ28a,28bがY軸方向に互いに平行に設けられており、これらY軸ステージ28a,28b間を跨いでこれらY軸ステージ28a,28bにガントリ27がX軸に平行に設けられている。このガントリ27のその長手方向の側面に4個の塗布ヘッド15が取り付けられている。ガントリ27は、サーボモータやリニアモータなどによる図示しない駆動手段により、Y軸ステージ28a,28b上をY軸方向に移動可能であって、これにより、これらY軸ステージ28a,28bとガントリ27とは、塗布ヘッド15をY軸方向に移動させるY軸駆動手段26をなしている。   In the figure, four coating heads 15 are arranged along the X-axis direction, that is, along the longitudinal direction of the film 1, sandwiching the entire array of these coating heads 15 and straddling the film 1, two Y The axis stages 28a and 28b are provided in parallel to each other in the Y axis direction, and the gantry 27 is provided in parallel to the Y axis on these Y axis stages 28a and 28b across the Y axis stages 28a and 28b. Four coating heads 15 are attached to the side surface of the gantry 27 in the longitudinal direction. The gantry 27 can be moved in the Y-axis direction on the Y-axis stages 28a and 28b by a drive means (not shown) such as a servo motor or a linear motor. Thus, the Y-axis stages 28a and 28b and the gantry 27 are separated from each other. The Y-axis driving means 26 for moving the coating head 15 in the Y-axis direction is provided.

また、各塗布ヘッド15には、それをガントリ27に沿ってX軸方向に移動させるX軸駆動手段24と、ガントリ27の上記側面に沿って上下方向(紙面に垂直なZ軸方向)に移動させるZ軸駆動手段25とが設けられている。   Each coating head 15 is moved in the X-axis direction along the gantry 27 and in the vertical direction (Z-axis direction perpendicular to the paper surface) along the side surface of the gantry 27. Z-axis driving means 25 is provided.

このように、各塗布ヘッド15は、X軸駆動手段24とY軸駆動手段26とによってフィルム1の面に平行なX,Y軸方向に移動し、Z軸駆動手段25によってフィルム1の面に垂直なZ軸方向に移動する。   Thus, each coating head 15 is moved in the X and Y axis directions parallel to the surface of the film 1 by the X-axis driving means 24 and the Y-axis driving means 26, and is applied to the surface of the film 1 by the Z-axis driving means 25. Move in the vertical Z-axis direction.

各真空吸引部21は真空配管33が接続されており、これら真空配管33は真空バルブ30を介して真空ポンプ29に接続されている。真空ポンプ29が作動し、かかる状態で真空パルブ30が開くと、各真空吸引部21で吸引が行なわれる。   Each vacuum suction section 21 is connected to a vacuum pipe 33, and these vacuum pipes 33 are connected to a vacuum pump 29 via a vacuum valve 30. When the vacuum pump 29 is activated and the vacuum valve 30 is opened in such a state, suction is performed in each vacuum suction section 21.

また、各エアシリンダ23は配管34に接続されており、これら配管34はバルブユニット32を介してシリンダ駆動部としての加圧エア源31に接続されている。通常、UVシャッタ22は、通常、バネなどによってこの真空吸引部21の吸引口を塞ぐように、真空吸引部21上に位置付けられており、塗布ヘッド15のノズルの内部を吸引するときには、加圧エア源31が動作するとともにバルブユニット32が開き、これによってエアシリンダ23が動作してUVシャッタ22が移動して真空吸引部21から外れる。これにより、この真空吸引部21の吸引口が開放される。これとともに、真空ポンプ29が作動して真空パルブ30が開き、真空吸引部21で吸引が行なわれる。この吸引が終了し、バルブユニット32が閉じて加圧エア源31が動作を停止すると、エアシリンダ23の動作も停止し、バネなどの作用によってUVシャッタ22が真空吸引部21上に移動し、真空吸引部21の吸引口が閉じる。 Each air cylinder 23 is connected to a pipe 34, and these pipes 34 are connected to a pressurized air source 31 as a cylinder driving unit via a valve unit 32. Normally, the UV shutter 22 is normally positioned on the vacuum suction unit 21 so as to block the suction port of the vacuum suction unit 21 with a spring or the like. The air source 31 is operated and the valve unit 32 is opened, whereby the air cylinder 23 is operated and the UV shutter 22 is moved and detached from the vacuum suction part 21. Thereby, the suction port of this vacuum suction part 21 is opened. At the same time, the vacuum pump 29 is operated to open the vacuum valve 30, and suction is performed by the vacuum suction unit 21. When this suction is finished and the valve unit 32 is closed and the pressurized air source 31 stops operating, the operation of the air cylinder 23 also stops, and the UV shutter 22 moves onto the vacuum suction unit 21 by the action of a spring or the like, The suction port of the vacuum suction unit 21 is closed.

以上のように、X軸駆動手段24やY軸駆動手段26によってインクジェット式の塗布ヘッド15がフィルム1上をX,Y軸方向に移動しながらノズルから液状の電極材や絶縁材など(以下、これらをまとめて「塗布材」という)を吐出することにより、塗布材がフィルム1上に塗布されて電極や絶縁膜を形成していく。   As described above, while the ink jet coating head 15 is moved on the film 1 in the X and Y axis directions by the X axis driving means 24 and the Y axis driving means 26, the liquid electrode material, the insulating material, etc. These are collectively referred to as “coating material”), whereby the coating material is applied onto the film 1 to form an electrode or an insulating film.

この実施形態では、塗布材として、UV硬化型の塗布材、即ち、UV硬化型塗布材を用いるものであり、次に、UV硬化型の塗布材の取り扱いについて説明する。   In this embodiment, a UV curable coating material, that is, a UV curable coating material is used as the coating material. Next, handling of the UV curable coating material will be described.

図1,図2において、塗布部17でフィルム1の所定の塗布対象エリアでの塗布材の塗布が終了すると、巻出側フィルムロール2からフィルム1が巻き出され、また、巻取側フィルムロール3にこのフィルム1が巻き取られ、塗布部17で次々に連続したフィルム1に塗布材の塗布を繰り返す。このフィルム1の次の塗布対象エリアが塗布部17で塗布材の塗布ができる位置に配置できるように、フィルム1が巻出側フィルムロール2側から巻取側フィルムロール3側に搬送される。このときには、巻出部16において、巻出側軸モータ11によって回転駆動される巻出側フィルムロール2から巻き出されたフィルム1は、ガイドローラ4と昇降ガイドローラ6とによって支持されるが、このとき、昇降ガイドローラ6が吸着テーブル10の吸着面よりも高い位置に上昇しており、また、巻取部18では、フィルム1が昇降ガイドローラ7とガイトローラ5とで支持されて巻取側フィルムロール3に巻き取られるが、このとき、昇降ガイドローラ7が吸着テーブル10の吸着面よりも高い位置に上昇している。これにより、塗布部17では、フィルム1は持ち上げられて、吸着バー8,9や吸着テーブル10に接触することなく、X軸方向に移動する。 1 and 2, when application of the coating material in a predetermined application target area of the film 1 is completed in the application unit 17, the film 1 is unwound from the unwinding side film roll 2, and the winding side film roll 3, the film 1 is wound up, and coating of the coating material is repeated on the continuous film 1 in the coating unit 17. The film 1 is conveyed from the unwinding side film roll 2 side to the winding side film roll 3 side so that the next application target area of the film 1 can be arranged at a position where the coating material 17 can apply the coating material. At this time, the film 1 unwound from the unwinding-side film roll 2 that is rotationally driven by the unwinding-side shaft motor 11 at the unwinding portion 16 is supported by the guide roller 4 and the lifting guide roller 6. At this time, the lifting guide roller 6 is raised to a position higher than the suction surface of the suction table 10, and the film 1 is supported by the lifting guide roller 7 and the guide roller 5 in the winding unit 18 and is on the winding side. The film is wound around the film roll 3, and at this time, the lifting guide roller 7 is raised to a position higher than the suction surface of the suction table 10. Thereby, in the application part 17, the film 1 is lifted and moves in the X-axis direction without contacting the suction bars 8, 9 and the suction table 10.

このようにして、フィルム1が巻出部16側から巻取部18側に移送されるときには、昇降ガイドローラ6,7によってフィルム1が持ち上げられることになり、フィルム1が吸着テーブル10に接触することなく搬送されて、フィルム1の裏面に擦り傷が付くのを防止できるようにしている。   Thus, when the film 1 is transferred from the unwinding part 16 side to the winding part 18 side, the film 1 is lifted by the lifting guide rollers 6 and 7, and the film 1 comes into contact with the suction table 10. The film 1 is conveyed without being scratched on the back surface of the film 1.

このように、フィルム1が昇降ガイドローラ6,7によって吸着バー8,9や吸着テーブル10に接触しない状態で搬送され、フィルム1の次の塗布対象エリアが塗布部17に達すると、フィルム1の搬送が終了し、この塗布対象エリアの塗布部17のX軸方向の位置決めがなされ(この位置決めは、まず、巻取側フィルムロール3の巻取量を監視して行なわれる)、粗く位置調整する。   As described above, when the film 1 is conveyed by the lifting guide rollers 6 and 7 without being in contact with the suction bars 8 and 9 and the suction table 10, and the next application target area of the film 1 reaches the application unit 17, The conveyance is finished, and the coating portion 17 in this coating target area is positioned in the X-axis direction (this positioning is first performed by monitoring the winding amount of the winding-side film roll 3), and the position is roughly adjusted. .

このとき、巻取側軸モータ12にブレーキを掛けてフィルム1の巻取部18側を固定した状態にし、これとともに、巻出側軸モータ11をフィルム1の巻き出しの回転方向とは逆回転方向にトルクを負荷した状態にし、フィルム1に一定の張力を付加した状態にする。   At this time, the winding side shaft motor 12 is braked so that the winding portion 18 side of the film 1 is fixed, and at the same time, the winding side shaft motor 11 rotates in the direction opposite to the unwinding rotation direction of the film 1. A state in which a torque is applied in the direction and a certain tension is applied to the film 1 is set.

これにより、フィルム1の搬送が終了しても、このフィルム1は、その長手方向(即ち、それが搬送されるX軸方向)にテンションが掛った状態に保持されることになり、フィルム1に弛みが生じない。かかる状態で、塗布部17では、フィルム1の下面を吸着保持する吸着バー8,9により、フィルム1は吸着テーブル10に吸着保持される。   Thereby, even if the conveyance of the film 1 is finished, the film 1 is held in a state where a tension is applied in the longitudinal direction (that is, the X-axis direction in which the film 1 is conveyed). There is no slack. In this state, in the coating unit 17, the film 1 is sucked and held on the suction table 10 by the suction bars 8 and 9 that suck and hold the lower surface of the film 1.

図3は図1,図2での1つの塗布ヘッド15の部分を拡大して示す斜視図であって、35はUV硬化型塗布材、36はUV光であり、図1,図2に対応する部分には同一符号を付けて重複する説明を省略する。   FIG. 3 is an enlarged perspective view showing a portion of one coating head 15 in FIGS. 1 and 2, wherein 35 is a UV curable coating material, and 36 is UV light, corresponding to FIGS. The same reference numerals are given to the parts to be repeated, and the duplicate description will be omitted.

同図において、塗布ヘッド15の下面には、フィルム1に向いたノズル孔(図示せず)が250個程度設けられており、各ノズル孔内でピエゾ駆動によって塗布材35の液滴が押し出されてフィルム1上に点状に射出される。塗布ヘッド15の前後(Y軸方向)には、UV光源20が設置されており、夫々のUV光源20の下面からフィルム1上にUV光36が照射される。   In the drawing, about 250 nozzle holes (not shown) facing the film 1 are provided on the lower surface of the coating head 15, and droplets of the coating material 35 are pushed out by piezo driving in each nozzle hole. Then, it is ejected onto the film 1 in the form of dots. UV light sources 20 are installed before and after the coating head 15 (in the Y-axis direction), and UV light 36 is irradiated onto the film 1 from the lower surface of each UV light source 20.

塗布ヘッド15は、撮像カメラ19と紫外線の光源であるUV光源20とともに、Z軸駆動手段25によってZ軸方向(高さ方向)の移動動作が可能である。Z軸方向の移動動作が可能な構成手段の全ては、X軸駆動手段24に取り付けられ、更に、複数のX軸駆動手段24が共通のガントリ構造体をなすY軸駆動手段26のガントリ27に取り付けられており、全ての塗布ヘッド15がXY軸平面内で移動動作が可能である。これにより、図2でも説明したように、塗布ヘッド15のノズルがXY軸平面内を移動し、さらに、Z軸方向の移動動作をし、個別に塗布材35を射出することにより、フィルム1の塗布面にあらゆるパターンで塗布材35を精細に塗布することが可能となる。 The coating head 15 can be moved in the Z-axis direction (height direction) by the Z-axis driving means 25 together with the imaging camera 19 and the UV light source 20 which is an ultraviolet light source. All of the constituent means capable of moving in the Z-axis direction are attached to the X-axis drive means 24. Furthermore, a plurality of X-axis drive means 24 are attached to the gantry 27 of the Y-axis drive means 26 forming a common gantry structure. All the coating heads 15 can be moved in the XY axis plane. Thereby, as described in FIG. 2, the nozzle of the coating head 15 moves in the XY axis plane, further moves in the Z axis direction, and individually injects the coating material 35. It is possible to finely apply the coating material 35 in any pattern on the coating surface.

ここで、塗布ヘッド15の内部へ気泡が混入すると、塗布材料の射出塗布不良となることから、大きな問題となる。このため、極力塗布ヘッド15の内部への気泡の混入を避ける必要がある。塗布ヘッド15の内部へ気泡が混入する可能性のある現象としては、大まかに2つの現象がある。まず第1に、塗布材料の消耗によって塗布ヘッド15へ新たにUV硬化型塗布材を充填する場合であり、第2に、長時間の連続塗布によって塗布ヘッド15の内部に微小な気泡が発生する場合である。   Here, if air bubbles are mixed into the inside of the coating head 15, the coating material is poorly injected and coated, which is a serious problem. For this reason, it is necessary to avoid mixing bubbles into the inside of the coating head 15 as much as possible. There are roughly two phenomena that may cause bubbles to be mixed into the coating head 15. First, the UV curable coating material is newly filled into the coating head 15 due to the consumption of the coating material. Second, minute bubbles are generated inside the coating head 15 by continuous coating for a long time. Is the case.

この塗布ヘッド15の内部への気泡混入を防ぐためには、塗布ヘッド15内をノズル側から真空吸引することが有効である。短時間で真空吸引を行なうために、各塗布ヘッド15の配置は該当する真空吸引部21の配置とも合致させており、X軸駆動手段24,Y軸駆動手段26(図2)によって夫々の塗布ヘッド15をそのノズルが該当する真空吸引部21の上部に位置するまで同時に移動させ、次いで、Z軸駆動手段25によって夫々塗布ヘッド15を降下させてそのノズルの先端が真空吸引部21の吸引口内に入り込むようにし、かかる状態で真空吸引部21がノズルの吐出口から同時に夫々の塗布ヘッド15の真空吸引を行なう。   In order to prevent air bubbles from entering the inside of the coating head 15, it is effective to vacuum the inside of the coating head 15 from the nozzle side. In order to perform vacuum suction in a short time, the arrangement of each application head 15 is matched with the arrangement of the corresponding vacuum suction section 21, and each application is performed by the X-axis drive means 24 and the Y-axis drive means 26 (FIG. 2). The head 15 is simultaneously moved until the nozzle is positioned above the corresponding vacuum suction unit 21, and then the coating head 15 is lowered by the Z-axis driving means 25 so that the tip of the nozzle is in the suction port of the vacuum suction unit 21. In this state, the vacuum suction unit 21 performs vacuum suction of the respective coating heads 15 simultaneously from the nozzle outlet.

塗布部17でフィルム1の所定の塗布対象エリアでの塗布材35の塗布が終了すると、巻出側フィルムロール2(図1,図2)からのフィルム1の巻き出しと巻取側フィルムロール3(図1,図2)のフィルム1の巻き取りとが行なわれ、次々に連続したフィルム1に対して、塗布ヘッド15により、塗布部17で塗布動作が繰り返される。   When application of the coating material 35 in the predetermined application target area of the film 1 is completed in the application unit 17, the unwinding of the film 1 from the unwinding side film roll 2 (FIGS. 1 and 2) and the winding side film roll 3. The film 1 shown in FIGS. 1 and 2 is wound, and the coating operation is repeated by the coating head 15 on the successive films 1 by the coating head 15.

真空吸引部21で塗布ヘッド15のノズルからの塗布ヘッド15の真空吸引をした場合には、塗布ヘッド15の内部のUV硬化型塗布材の一部が飛散する場合があり、真空吸引部21の内壁面や真空配管33の内面に徐々にUV硬化型塗布材の付着物の量も多くなっていく。一方で、通常の塗布後には、塗布ヘッド15の脇でUV光源20がUV光36を照射するので、そのままでは、真空吸引部21内に付着してUV硬化型塗布材が硬化し始める。このために、真空配管33などの真空吸引の通路を塞いでしまうという問題が発生する。   When the vacuum suction unit 21 performs vacuum suction of the coating head 15 from the nozzle of the coating head 15, a part of the UV curable coating material inside the coating head 15 may be scattered. The amount of deposits of the UV curable coating material gradually increases on the inner wall surface and the inner surface of the vacuum pipe 33. On the other hand, after the normal application, the UV light source 20 irradiates the UV light 36 on the side of the application head 15, so that the UV curable coating material starts to cure by adhering to the inside of the vacuum suction portion 21. For this reason, there arises a problem that a vacuum suction passage such as the vacuum pipe 33 is blocked.

この対策としては、真空吸引部をUV光源から遠く離れた位置に設置する手法が過去に提案されているが、塗布ヘッドの真空吸引部への移動時間が多く掛かることから、処理タクトの低下を招いてしまう。また、別の提案として、真空吸引ではなく、塗布ヘッドの材料供給系統に加圧系統を追加する加圧充填法も提案されているが、これでは、余分な空間が必要となるし、切替バルブによる圧力の変動が発生するため、精密さを要求される射出状態に悪影響が出て高品質の塗布が困難になってしまう。   As a countermeasure against this, a method has been proposed in the past in which the vacuum suction unit is installed at a position far away from the UV light source. However, it takes a lot of time to move the coating head to the vacuum suction unit. I will invite you. As another proposal, there is also proposed a pressure filling method in which a pressure system is added to the material supply system of the coating head instead of vacuum suction. However, this requires an extra space and a switching valve. As a result, the injection state that requires high precision is adversely affected and high quality coating becomes difficult.

上記のような問題点を解消するために、この第1の実施形態は、塗布ヘッド15の内部への気泡混入を防ぐために設けた真空吸引部21内での塗布材35の硬化による真空吸引機能の低下を防止するために、真空吸引部21にUVシャッタ22を設けたものである。   In order to solve the above problems, the first embodiment is a vacuum suction function by curing the coating material 35 in the vacuum suction section 21 provided to prevent bubbles from entering the coating head 15. In order to prevent this deterioration, the vacuum shutter 21 is provided with a UV shutter 22.

即ち、図3において、搬送されたフィルム1は吸着テーブル10で位置決め固定されるが、吸着テーブル10の近傍であって、搬送方向とは直角方向にあたる外側位置に真空吸引部21が設置されている。真空吸引部21の上面では、真空ポンプ29に連結された真空配管33を通して真空吸引されている。この開放可能な真空吸引部21の上面で、真空吸引部21よりもさらに外側からフィルム1の搬送方向とは直角方向にシャッタ駆動用のエアシリンダ23によって駆動されてUVシャッタ22がスライド移動できる。ここで、UVシャッタ22の駆動源をエアシリンダとしたが、他のモータやソレノイド等の直線運動による移動を可能にするものであってもよい。 That is, in FIG. 3, the conveyed film 1 is positioned and fixed by the suction table 10, but the vacuum suction unit 21 is installed in the vicinity of the suction table 10 and at an outer position that is perpendicular to the transport direction. . On the upper surface of the vacuum suction unit 21, vacuum suction is performed through a vacuum pipe 33 connected to a vacuum pump 29. On the upper surface of the openable vacuum suction section 21, the UV shutter 22 can be slid by being driven by an air cylinder 23 for driving the shutter in a direction perpendicular to the transport direction of the film 1 from the outside of the vacuum suction section 21. Here, although the drive source of the UV shutter 22 is an air cylinder, it may be moved by a linear motion such as another motor or solenoid.

図4は図1における真空吸引部21のUV遮光の機能を持つインクジェット塗布の制御部の構成を示すブロック図であって、24hxはX軸ドライバ、24hyはY軸ドライバ、24hzはZ軸ドライバ、37は制御ユニット、37aはマイクロコンピュータ、37bは外部インターフェース、37cは塗布ヘッドコントローラ、37dは画像処理コントローラ、37eはモータコントローラ、37fはデータ通信バス、38はUSBメモリ、39はハードディスク、40はモニタ、41はキーボード、42はレギュレータである。   FIG. 4 is a block diagram showing a configuration of an ink jet coating control unit having a UV light shielding function of the vacuum suction unit 21 in FIG. 1, where 24 hx is an X axis driver, 24 hy is a Y axis driver, 24 hz is a Z axis driver, 37 is a control unit, 37a is a microcomputer, 37b is an external interface, 37c is a coating head controller, 37d is an image processing controller, 37e is a motor controller, 37f is a data communication bus, 38 is a USB memory, 39 is a hard disk, and 40 is a monitor. , 41 is a keyboard, and 42 is a regulator.

同図において、制御ユニット37は、マイクロコンピュータ37aと、これにデータ通信バス37fを介して接続された外部インターフェース37bと塗布ヘッドコントローラ37cと画像処理コントローラ37dとモータコントローラ37eとから構成されている。これらはこれに接続された各部を、マイクロコンピュータ37aの制御のもとに、制御する。また、マイクロコンピュータ37aの外部メモリとしてのUSBメモリ38やハードディスク39、データ出力部としてのモニタ40、操作部としてのキーボード41が外部インターフェース37bに接続されている。   In the figure, the control unit 37 comprises a microcomputer 37a, an external interface 37b, a coating head controller 37c, an image processing controller 37d, and a motor controller 37e connected to the microcomputer 37a via a data communication bus 37f. These control each unit connected thereto under the control of the microcomputer 37a. Further, a USB memory 38 and a hard disk 39 as an external memory of the microcomputer 37a, a monitor 40 as a data output unit, and a keyboard 41 as an operation unit are connected to the external interface 37b.

また、外部インターフェース37bは、エアシリンダ23などのエア駆動機器、巻出側軸モータ11や巻取側軸モータ12,他のロール用モータをマイクロコンピュータ37aが接続され、マイクロコンピュータ37aの制御のもとに、これらを駆動制御するし、吸着バー8,9や吸着テーブル10でフィルム1を真空吸着する際の真空源となる真空ポンプ29やこれからの切り替えを行なう真空バルブ部30が接続され、マイクロコンピュータ37aの制御のもとに、これらを駆動制御するし、加圧エア源31やバルブユニット32の入切,レギュレータ42、UV光源20の照射の入切についても、同様に、マイクロコンピュータ37aの制御のもとに、これらを制御する。   The external interface 37b is connected to an air drive device such as the air cylinder 23, the unwinding-side shaft motor 11, the winding-side shaft motor 12, and other roll motors, and the microcomputer 37a is connected to control the microcomputer 37a. In addition, these are driven and controlled, and a vacuum pump 29 serving as a vacuum source when the film 1 is vacuum-sucked by the suction bars 8 and 9 and the suction table 10 and a vacuum valve unit 30 for switching from the vacuum pump 29 are connected. These are driven and controlled under the control of the computer 37a, and the ON / OFF of the pressurized air source 31 and the valve unit 32 and the ON / OFF of the irradiation of the regulator 42 and the UV light source 20 are similarly controlled by the microcomputer 37a. These are controlled under control.

塗布ヘッドコントローラ37cは、マイクロコンピュータ37aの制御のもとに、塗布ヘッド15の各ノズルの射出口からの塗布材35(図3)の吐出の有無やタイミングを制御している。   The application head controller 37c controls whether or not the application material 35 (FIG. 3) is ejected from the ejection port of each nozzle of the application head 15 under the control of the microcomputer 37a.

画像処理コントローラ37dは、マイクロコンピュータ37aの制御のもとに、フィルム1に施されたスクライブや位置決めマークを撮像して撮像カメラ19の視野内位置を画像処理によって算出するものである。   The image processing controller 37d calculates the position in the visual field of the imaging camera 19 by image processing under the control of the microcomputer 37a and images the scribe and positioning marks applied to the film 1.

モータコントローラ37eは、マイクロコンピュータ37aの制御のもとに、塗布ヘッド15を取り付けたX軸駆動手段24(図2)のX軸駆動モータを駆動するX軸ドライバ24hxやZ軸駆動手段25(図2)のZ軸駆動モータを駆動するZ軸ドライバ25hzを駆動制御し、また、Y軸駆動手段26のリニアモータあるいは駆動モータを駆動するY軸ドライバ26hyを駆動制御する。 The motor controller 37e controls the X-axis driver 24hx and the Z-axis drive means 25 (see FIG. 2) for driving the X-axis drive motor of the X-axis drive means 24 (FIG. 2) to which the coating head 15 is attached under the control of the microcomputer 37a. 2) Drive control of the Z-axis driver 25hz for driving the Z-axis drive motor of 2), and drive control of the Y-axis driver 26hy for driving the linear motor of the Y-axis drive means 26 or the drive motor.

UV光源20と一体に移動する塗布ヘッド15のXY軸方向の移動制御は、モータコントローラ37eを介してマイクロコンピュータ37aで行なっており、UV光源20の現在位置と次の移動先位置を把握している。さらに、動作シーケンスの管理から、マイクロコンピュータ37aでは、UV光源20の照射、非照射のタイミングも把握している。   The movement control in the XY-axis direction of the coating head 15 that moves integrally with the UV light source 20 is performed by the microcomputer 37a via the motor controller 37e, and the current position of the UV light source 20 and the next destination position are grasped. Yes. Furthermore, from the management of the operation sequence, the microcomputer 37a also knows the timing of irradiation and non-irradiation of the UV light source 20.

なお、この実施形態では、スライドするUVシャッタ22とその駆動源となるシャッタ駆動用のエアシリンダ23は、塗布ヘッド15毎に個別に設置しているが、複数の塗布ヘッド15に共通に一組のUVシャッタ22とシャッタ駆動用のエアシリンダ23を設置するようにしてもよい。   In this embodiment, the sliding UV shutter 22 and the shutter driving air cylinder 23 serving as a driving source thereof are individually installed for each coating head 15. The UV shutter 22 and the air cylinder 23 for driving the shutter may be installed.

真空吸引部21で塗布ヘッド15の真空吸引が稀であるか、頻繁であるかの実行頻度によって、動作は異なる。真空吸引部21で稀に塗布ヘッド15を真空吸引する使い方では、通常はUVシャッタ22が真空吸引部21の上部を覆って真空吸引部21の内部を遮光しており、必要なタイミングでのみUVシャッタ22が開いて真空吸引部21の吸引口が開放状態となる。この真空吸引の動作の一具体例を、以下、図5に示すフローチャートで説明する。   The operation differs depending on whether the vacuum suction of the coating head 15 is rare or frequent in the vacuum suction unit 21. In the rare use of vacuum suction of the coating head 15 by the vacuum suction part 21, the UV shutter 22 usually covers the upper part of the vacuum suction part 21 and shields the inside of the vacuum suction part 21, and UV is emitted only when necessary. The shutter 22 is opened and the suction port of the vacuum suction unit 21 is opened. A specific example of this vacuum suction operation will be described below with reference to the flowchart shown in FIG.

全ての塗布エリアでの塗布が完了していない場合(ステップ110,120)、UVシャッタ22を開いて塗布ヘッド15の真空吸引を行なう必要があるタイミングは3種類があって、夫々UV硬化型塗布材などの塗布ヘッド15への材料充填時(ステップ130の“Y”)、同じ位置で停止していた時間が設定した時間以上となったとき(ステップ140の“Y”)、及び手動動作で塗布ヘッド15を真空吸引するとき(ステップ150の“Y”)である。これらのいずれでもないときには、ステップ110,120の“N”,130の“N”,140の“N”,150の“N”の動作が繰り返されてUV硬化型塗布材の塗布が行なわれ、塗布ヘッド15の真空吸引は行なわれない。   When the coating in all the coating areas is not completed (steps 110 and 120), there are three types of timing at which the UV shutter 22 needs to be opened and the coating head 15 needs to be vacuum-sucked. When filling the coating head 15 with a material or the like ("Y" in step 130), when the time stopped at the same position is longer than the set time ("Y" in step 140), and in manual operation This is when the coating head 15 is vacuumed (“Y” in step 150). If none of these is selected, the operations of “N” in steps 110 and 120, “N” in 130, “N” in 140, and “N” in 150 are repeated to apply the UV curable coating material, The vacuum suction of the coating head 15 is not performed.

この3種類のいずれかの条件が成立すると、先ず、UVシャッタ22を移動させて真空吸引部21の吸引口を開放して(ステップ160)、真空吸引部21の吸引口の上方には何も光学的な遮蔽物が無い状態にする。次に、X軸駆動手段24やY軸駆動手段26(図2)によって塗布ヘッド15を真空吸引部21の上方位置まで移動させて、真空吸引部21の吸引口の開放完了を確認した上で、Z軸駆動手段25(図2)によって塗布ヘッド15を下降させる(ステップ170)。次に、真空ポンプ29(図2)を駆動して、真空吸引部21の上面の吸引口に押し当てた塗布ヘッド15をそのノズルの吐出口から真空吸引し、塗布ヘッド15内を脱泡する(ステップ180)。脱泡が終了すると、Z軸駆動手段25(図2)によって塗布ヘッド15を上昇させ、塗布ヘッド15を吸着テーブル10側の次の動作目標位置へ移動させる(ステップ190)。最後に、塗布ヘッド15の上昇を確認した上で、UVシャッタ22で真空吸引部21の吸引口を閉じて真空吸引部21の内部にUV光36が照射しないように、光学的に真空吸引部21の吸引口を遮蔽する(ステップ200)。   If any of these three conditions is satisfied, first, the UV shutter 22 is moved to open the suction port of the vacuum suction unit 21 (step 160), and nothing is above the suction port of the vacuum suction unit 21. Make sure there is no optical shielding. Next, the application head 15 is moved to a position above the vacuum suction unit 21 by the X-axis drive unit 24 and the Y-axis drive unit 26 (FIG. 2), and it is confirmed that the suction port of the vacuum suction unit 21 has been opened. Then, the coating head 15 is lowered by the Z-axis driving means 25 (FIG. 2) (step 170). Next, the vacuum pump 29 (FIG. 2) is driven, and the coating head 15 pressed against the suction port on the upper surface of the vacuum suction unit 21 is vacuum-sucked from the discharge port of the nozzle to degas the inside of the coating head 15. (Step 180). When the defoaming is completed, the coating head 15 is raised by the Z-axis drive means 25 (FIG. 2), and the coating head 15 is moved to the next operation target position on the suction table 10 side (step 190). Finally, after confirming the rising of the coating head 15, the vacuum suction unit is optically controlled so that the UV shutter 22 closes the suction port of the vacuum suction unit 21 and the UV light 36 is not irradiated inside the vacuum suction unit 21. The suction port 21 is shielded (step 200).

一方、頻繁に真空吸引部21で塗布ヘッド15を真空吸引する使い方では、UV光源20と一体の塗布ヘッド15が真空吸引部21から一定範囲内に入ってきたら、UVシャッタ22がスライド移動して真空吸引部21の吸引口を閉じ、真空吸引部21の内部を光学的に遮光し、範囲外となったらUVシャッタ22が開く動作を行なうようにしており、図5のステップ160とステップ200のUVシャッタ22の開閉タイミングとは異なるが、他の個別の動作は図5と同様である。 On the other hand, in the method of vacuum suction of the coating head 15 by the vacuum suction unit 21, when the coating head 15 integrated with the UV light source 20 enters the certain range from the vacuum suction unit 21, the UV shutter 22 slides and moves. The suction port of the vacuum suction unit 21 is closed, the inside of the vacuum suction unit 21 is optically shielded, and the UV shutter 22 is opened when it is out of range, and steps 160 and 200 in FIG. Although different from the opening / closing timing of the UV shutter 22, other individual operations are the same as those in FIG.

図6は本発明によるインクジェット塗布装置及び方法の第2の実施形態の要部の概略構成を示す斜視図であって、43は真空吸引部、44は真空吸引部駆動用のエアシリンダ、45はUV遮光板であり、図3に対応する部分には同一符号を付けて重複する説明を省略する。   FIG. 6 is a perspective view showing a schematic configuration of a main part of the second embodiment of the ink jet coating apparatus and method according to the present invention, in which 43 is a vacuum suction unit, 44 is an air cylinder for driving the vacuum suction unit, and 45 is The portions corresponding to those in FIG. 3 are the same as those in FIG.

この第2の実施形態も、塗布ヘッド15の内部の気泡を除去するために、塗布ヘッド15の内部の吸引によって真空吸引部ないに飛散したUV硬化型塗布材がUV光に曝されることを防止するものである。   In the second embodiment, in order to remove bubbles inside the coating head 15, the UV curable coating material scattered by the suction inside the coating head 15 without being exposed to the vacuum suction portion is exposed to UV light. It is to prevent.

第2の実施形態は、図6に示すように、真空吸引部43が真空吸引部駆動用のエアシリンダ44によってフィルム1の幅方向であるY軸方向に往復移動(スライド)可能とし、また、吸着テーブル10からY軸方向に所定間隔離してUV遮光板45が固定した位置に設けられているものである。これ以外の構成は、図3に示す第1の実施形態と同様である。   In the second embodiment, as shown in FIG. 6, the vacuum suction portion 43 can be reciprocated (slided) in the Y-axis direction which is the width direction of the film 1 by the air cylinder 44 for driving the vacuum suction portion. The UV light shielding plate 45 is provided at a position where it is separated from the suction table 10 by a predetermined distance in the Y-axis direction. The other configuration is the same as that of the first embodiment shown in FIG.

かかる構成において、真空吸引部43は、通常使用されないときには、UV遮光板45の下側にあって、その吸引口がUV遮光板45で塞がれた状態にあるが、塗布ヘッド15での吸引が必要な場合には、エアシリンダ44によって真空吸引部43がUV遮光板45の下側の位置からスライドしてフィルム1側に押し出される。これにより、真空吸引部43の上面の吸引口が開放状態となり、塗布ヘッド15をこの真空吸引部43へ移動させてこの吸引口に押し当てることにより、塗布ヘッド15内の真空吸引が可能となる。かかる吸引が終了すると、吸引部駆動用のエアシリンダ44によって真空吸引部43が吸着テーブル10からはなれる方向にスライドして引き込み、UV遮光板52aの下側に入り込ませる。これにより、真空吸引部43は、UV光36からの遮光状態とすることができる。   In such a configuration, when the vacuum suction unit 43 is not normally used, the vacuum suction unit 43 is under the UV light shielding plate 45 and the suction port is closed by the UV light shielding plate 45. Is required, the vacuum suction part 43 is slid from the lower position of the UV light shielding plate 45 by the air cylinder 44 and pushed out to the film 1 side. As a result, the suction port on the upper surface of the vacuum suction unit 43 is opened, and vacuum suction in the coating head 15 can be performed by moving the coating head 15 to the vacuum suction unit 43 and pressing it against the suction port. . When this suction is completed, the vacuum suction part 43 is slid in the direction away from the suction table 10 by the air cylinder 44 for driving the suction part and is drawn into the lower side of the UV light shielding plate 52a. Thereby, the vacuum suction part 43 can be in a light shielding state from the UV light 36.

このようにして、この第2の実施形態においても、第1の実施形態と同様、真空吸引部43へのUV光36の照射による真空吸引部43内に吸引したUV硬化型塗布材の硬化を抑制することができ、塗布ヘッド15を良好な状態でフィルム1へのかかる材料の塗布を行なうことができる。   Thus, also in the second embodiment, the UV curable coating material sucked into the vacuum suction portion 43 by the irradiation of the UV light 36 to the vacuum suction portion 43 is cured as in the first embodiment. The material can be applied to the film 1 with the coating head 15 in a good state.

ここで、真空吸引部駆動用のエアシリンダ44により、真空吸引部43はUV遮光板52aの下側の第1の位置とこれより吸着テーブル10側の塗布ヘッド15の真空吸引が可能な第2の位置との間を往復移動するものとしたが、さらに、必要に応じて(例えば、操作者の操作により)UV遮光板45の下側の位置からさらに吸着テーブル10から離れた第3の位置に移動させることができるようにすることもできる。この第3の位置では、真空吸引部43はUV遮光板45から外れ、真空吸引部43の吸引口は開放された状態になるが、塗布ヘッド15から、従って、UV光源20から充分離れているので、真空吸引部43の吸引口にこのUV光源20からUV光36が照射されることがない。このことからして、真空吸引部43を第3の位置に位置付けることにより、UV光36を受光することも少なく、塗布作業中の稼動状態で真空吸引部21の清掃作業が可能となり、製造タクトを低下させず安定した塗布を実現できる。   Here, by the air cylinder 44 for driving the vacuum suction unit, the vacuum suction unit 43 can perform vacuum suction of the first position below the UV light shielding plate 52a and the application head 15 on the suction table 10 side. The third position further away from the suction table 10 from the lower position of the UV light shielding plate 45 as required (for example, by the operation of the operator). It can also be made to be able to be moved. In this third position, the vacuum suction part 43 is detached from the UV light shielding plate 45 and the suction port of the vacuum suction part 43 is opened, but is sufficiently away from the coating head 15 and accordingly from the UV light source 20. Therefore, the UV light 36 is not irradiated from the UV light source 20 to the suction port of the vacuum suction unit 43. Therefore, by positioning the vacuum suction portion 43 at the third position, the UV light 36 is hardly received, and the vacuum suction portion 21 can be cleaned in the operating state during the coating operation. Stable coating can be realized without lowering.

以上のように、上記各実施形態では、UV硬化型塗布材を塗布する塗布ヘッド15内部の気泡を除去するのに、真空吸引部21でノズルを吸引するが、吸引しないときは遮光手段を用いることによって、過去の吸引によって飛散したUV硬化型塗布材がUV光36に曝されることが極端に少なくなり、真空吸引部21内が閉塞することがなくなり、安定した塗布動作を維持できる。 As described above, in the above embodiments, for removing the coating head 15 inside the bubbles of applying a UV-curable coating material, although the suction nozzle at the vacuum suction unit 21, using the light shielding unit when not sucked Accordingly, the UV curable coating material scattered by the past suction is extremely less exposed to the UV light 36, the inside of the vacuum suction portion 21 is not blocked, and a stable coating operation can be maintained.

1 太陽電池用積層フィルム(フィルム)
2 巻出側フィルムロール
3 巻取側フィルムロール
4,5 ガイドロール
6,7 昇降ガイドロール
8,9 吸着バー
10 吸着テーブル
11 巻出側軸モータ
12 巻取側軸モータ
13,14 フィルム押えバー
15 塗布ヘッド
16 巻出部
17 塗布部
18 巻取部
19 撮像カメラ
20 UV光源
21 真空吸引部
22 UVシャッタ
23 エアシリンダ
24 X軸駆動手段
25 Z軸駆動手段
26 Y軸駆動手段
27 ガントリ
28a,28b Y軸ステージ
29 真空ポンプ
30 真空バルブ
31 加圧エア源,32 バルブユニット
33 真空配管
34 配管
35 UV硬化型塗布材
36 UV光
43 真空吸引部
44 真空吸引部駆動用のエアシリンダ
45 UV遮光板
1 Solar cell laminated film (film)
2 Unwinding side film roll 3 Rewinding side film roll 4,5 Guide roll 6,7 Elevating guide roll 8,9 Suction bar 10 Suction table 11 Unwinding side shaft motor 12 Unwinding side shaft motor 13,14 Film presser bar 15 Coating head 16 Unwinding unit 17 Coating unit 18 Winding unit 19 Imaging camera 20 UV light source 21 Vacuum suction unit 22 UV shutter 23 Air cylinder 24 X-axis driving unit 25 Z-axis driving unit 26 Y-axis driving unit 27 Gantry 28a, 28b Y Axis stage 29 Vacuum pump 30 Vacuum valve 31 Pressurized air source, 32 Valve unit 33 Vacuum pipe 34 Pipe 35 UV curable coating material 36 UV light 43 Vacuum suction part 44 Air cylinder 45 for driving vacuum suction part 45 UV light shielding plate

Claims (5)

ロール状のフィルムを巻き出して搬送する上流側のガイドロールと、巻き出された該フィルムを吸着保持する吸着テーブルと、該吸着テーブルに吸着保持された該フィルム表面に液状のUV硬化型塗布材を塗布する塗布ヘッドと、該塗布ヘッドを該フィルムの上方位置でXY軸の平面内を移動可能にするガントリ構造体と、該塗布ヘッドの上下動を可能にするZ軸駆動手段と、該塗布ヘッドと一体にXYZ軸方向に移動可能な紫外線光源と、からなるインクジェット塗布装置において、
該フィルムを搬送する範囲の外側に配置されて、該位置に移動した該塗布ヘッドが下降して接触する吸口を有し、該吸口から該塗布ヘッドのノズルを吸引する真空吸引手段と、該真空吸引手段の内部への該紫外線光源から紫外線光の入射を遮蔽する遮光手段と を備え、
前記遮光手段は、固定された遮光板であり、該真空吸引手段での該紫外線光の遮蔽と該遮蔽の解除とを選択可能に構成し、
前記真空吸引手段は、直線式駆動手段によって、前記フィルム側の前記遮光板の下面を外れた第1の位置と、前記遮光板の下面の下側の第2の位置と、前記フィルムとは反対側の前記遮光板の下面を外れた第3の位置との3つの位置で位置決め可能往復動することを特徴とするインクジェット塗布装置。
An upstream guide roll for unwinding and transporting a roll-shaped film, an adsorption table for adsorbing and holding the unwound film, and a liquid UV curable coating material on the surface of the film adsorbed and held on the adsorption table A coating head for coating the coating head, a gantry structure that allows the coating head to move in the plane of the XY axes at a position above the film, a Z-axis driving unit that allows the coating head to move up and down, and the coating In an inkjet coating apparatus comprising an ultraviolet light source that is movable in the XYZ axial directions integrally with the head,
Are arranged outside the range for conveying the film has a Aspirate port on which the coating head is moved to the position to contact descends, vacuum suction means for sucking the nozzles of the coating head from suction pull port If, comprising a shielding means for shielding incident UV light from the UV light source to the interior of the vacuum suction means, the,
The light shielding means is a fixed light shielding plate, and is configured to be able to select between shielding the ultraviolet light by the vacuum suction means and releasing the shielding,
The vacuum suction means is opposite to the film by a linear drive means, a first position where the lower surface of the light shielding plate on the film side is removed, a second position below the lower surface of the light shielding plate, and the film. An ink jet coating apparatus which reciprocates so as to be positionable at three positions including a third position off the lower surface of the light shielding plate on the side.
請求項1に記載のインクジェット塗布装置において、
前記塗布ヘッドは複数設けられ、
前記塗布ヘッド毎に、前記塗布ヘッドとの配置関係を同じくして前記真空吸引手段を設けたことを特徴とするインクジェット塗布装置。
The inkjet coating apparatus according to claim 1, wherein
A plurality of the coating heads are provided,
An inkjet coating apparatus, wherein the vacuum suction means is provided for each of the coating heads in the same positional relationship with the coating head.
請求項1に記載のインクジェット塗布装置において、
前記真空吸引手段は、前記遮光手段によって前記紫外線光の入射が遮蔽され、前記真空吸引手段を使って前記塗布ヘッドの塗布材吐出ノズルを吸引するときには、前記遮光手段による遮蔽を解除することを特徴とするインクジェット塗布装置。
The inkjet coating apparatus according to claim 1, wherein
It said vacuum suction means, the incidence of the UV light by the previous SL shielding means is shielded, when sucking the coating material discharge nozzle of the application head with said vacuum suction means to release the shielding by the shielding means An ink jet coating apparatus.
請求項1に記載のインクジェット塗布装置において、
前記真空吸引手段は、前記遮光手段によって前記紫外線光の入射が遮蔽され、前記塗布ヘッドの現在位置情報を取得して、真空吸引手段との距離が予め設定した範囲に入ったときに、前記遮光手段による前記紫外線光の入射の遮蔽を解除することを特徴とするインクジェット塗布装置。
The inkjet coating apparatus according to claim 1, wherein
Said vacuum suction means, the incidence of the UV light by the previous SL shielding means is shielded, to obtain the current position information of the coating head, when a distance between the vacuum suction means enters the range set in advance, the An inkjet coating apparatus, wherein the shielding of the incidence of the ultraviolet light by the light shielding means is released.
上流側のガイドロールでロール状のフィルムを巻き出して搬送し、吸着テーブルで巻き出された該フィルムを吸着保持し、塗布ヘッドで該吸着テーブルに吸着保持された該フィルムの表面に液状のUV硬化型塗布材を塗布し、ガントリ構造体によって該塗布ヘッドを該フィルムの上方位置でXY軸の平面内を移動可能にし、Z軸駆動手段によって該塗布ヘッドの上下動を可能にし、紫外線光源は該塗布ヘッドと一体にXYZ軸方向に移動可能としたインクジェット塗布方法において、
遮光手段は、固定された遮光板であり、真空吸引手段の内部への該紫外線光源から紫外線光の入射を遮蔽し、該紫外線光の遮蔽と遮蔽の解除とを選択でき
該真空吸引手段は、該フィルムを搬送する範囲の外側の第1の位置に配置されて、該第1の位置に移動した該塗布ヘッドを下降させることによって吸引口に接触させて該塗布ヘッドのノズルから吸引し、直線式駆動手段によって、該第1の位置と、前記遮光板の下面の下側の第2の位置と、前記フィルムとは反対側の該遮光板の下面を外れた第3の位置との3つの位置で位置決め可能に往復動することを特徴とするインクジェット塗布方法。
A roll-shaped film is unwound and conveyed by an upstream guide roll, the film unwound by an adsorption table is sucked and held, and a liquid UV is applied to the surface of the film sucked and held by the suction table by a coating head. A curable coating material is applied, the coating head can be moved in the plane of the XY axis at a position above the film by a gantry structure, and the coating head can be moved up and down by a Z-axis driving means. In an inkjet coating method that is movable in the XYZ axial directions integrally with the coating head,
The light shielding means is a fixed light shielding plate, shields the incidence of ultraviolet light from the ultraviolet light source to the inside of the vacuum suction means, and can select between shielding the ultraviolet light and releasing the shielding ,
Vacuum suction means is disposed in a first position outside the range for conveying the film, said contacting to the suction port by lowering the moved coating head to the first position of the coating head The first position, the second position on the lower side of the lower surface of the light shielding plate, and the lower surface of the light shielding plate on the opposite side of the film are removed by the linear drive means by suction from the nozzle . And an ink jet coating method characterized by reciprocating so as to be positioned at three positions .
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