JP5485327B2 - プラズマ密度調整部材 - Google Patents
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Description
円筒状の胴部、この胴部の上部を閉塞する天板、及び胴部の底部を閉塞する底板からなり、該胴部内の上部領域に設定されたプラズマ生成空間、及びこのプラズマ生成空間の下方に設定された処理空間を有するチャンバと、
前記チャンバの、前記プラズマ生成空間に対応する部分の外方に、これを捲回するように配設されたコイルと、
前記チャンバ内の処理空間に配設され、処理対象の基板を載置する基台と、
前記チャンバ内のプラズマ生成空間に処理ガスを供給する処理ガス供給手段と、
前記コイルに高周波電力を供給するコイル電力供給手段と、
前記基台に高周波電力を供給する基台電力供給手段とを備えるとともに、前記プラズマ生成空間を形成する胴部の内径は、前記基板外径よりも大径に形成されているプラズマエッチング装置、に設けられるプラズマ密度調整部材であって、
上部及び下部が開口し、その上端部が、前記プラズマ生成空間と前記基台との間の、前記チャンバ内壁に固設され、前記プラズマ生成空間で生成されたプラズマの平面内密度を調整して前記基台上の基板に導くとともに、接地された導電性の材料から構成され、その下端部の内径が、その上端部の内径及び前記プラズマ生成空間を形成する胴部内径よりも小径となった漏斗状に形成されてなるプラズマ密度調整部材である。
2 チャンバ
3 下胴部
4 底板
5 中間板
6 処理空間
7 上胴部
8 天板
9 プラズマ生成空間
10 基台
13 高周波電源
15 芯部材
16 コイル
17 高周波電源
19 エッチングガス供給源
20 プラズマ密度調整部材
Claims (2)
- 円筒状の胴部、この胴部の上部を閉塞する天板、及び胴部の底部を閉塞する底板からなり、該胴部内の上部領域に設定されたプラズマ生成空間、及びこのプラズマ生成空間の下方に設定された処理空間を有するチャンバと、
前記チャンバの、前記プラズマ生成空間に対応する部分の外方に、これを捲回するように配設されたコイルと、
前記チャンバ内の処理空間に配設され、処理対象の基板を載置する基台と、
前記チャンバ内のプラズマ生成空間に処理ガスを供給する処理ガス供給手段と、
前記コイルに高周波電力を供給するコイル電力供給手段と、
前記基台に高周波電力を供給する基台電力供給手段とを備えるとともに、前記プラズマ生成空間を形成する胴部の内径は、前記基板外径よりも大径に形成されているプラズマエッチング装置、に設けられるプラズマ密度調整部材であって、
上部及び下部が開口し、その上端部が、前記プラズマ生成空間と前記基台との間の、前記チャンバ内壁に固設され、前記プラズマ生成空間で生成されたプラズマの平面内密度を調整して前記基台上の基板に導くとともに、接地された導電性の材料から構成され、その下端部の内径が、その上端部の内径及び前記プラズマ生成空間を形成する胴部内径よりも小径となった漏斗状に形成されてなり、
前記上端部からなる平面と前記下端部からなる平面とは略平行となっており、これら平面と前記漏斗状の部材面とのなす角度は、59度から81度までの値であることを特徴とするプラズマ密度調整部材。 - 円筒状の胴部、この胴部の上部を閉塞する天板、及び胴部の底部を閉塞する底板からなり、該胴部内の上部領域に設定されたプラズマ生成空間、及びこのプラズマ生成空間の下方に設定された処理空間を有するチャンバと、
前記チャンバの、前記プラズマ生成空間に対応する部分の外方に、これを捲回するように配設されたコイルと、
前記チャンバ内の処理空間に配設され、処理対象の基板を載置する基台と、
前記チャンバ内のプラズマ生成空間に処理ガスを供給する処理ガス供給手段と、
前記コイルに高周波電力を供給するコイル電力供給手段と、
前記基台に高周波電力を供給する基台電力供給手段とを備えるとともに、前記プラズマ生成空間を形成する胴部の内径は、前記基板外径よりも大径に形成されているプラズマエッチング装置、に設けられるプラズマ密度調整部材であって、
上部及び下部が開口し、その上端部が、前記プラズマ生成空間と前記基台との間の、前記チャンバ内壁に固設され、前記プラズマ生成空間で生成されたプラズマの平面内密度を調整して前記基台上の基板に導くとともに、接地された導電性の材料から構成され、その下端部の内径が、その上端部の内径及び前記プラズマ生成空間を形成する胴部内径よりも小径となった漏斗状に形成されてなり、
前記上端部の内径は270mmであり、前記下端部の内径は165mmから242mmまでの間の値であり、上端と下端との間の高さが86mmから106mmであることを特徴とするプラズマ密度調整部材。
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JP2012093087A JP5485327B2 (ja) | 2012-04-16 | 2012-04-16 | プラズマ密度調整部材 |
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