JP5484407B2 - 噴出孔片及びそれを使用する霧化モジュール - Google Patents

Description

本発明は、霧化器の分野に属し、特に、噴出孔片の中央部には幾何学的形状の模様を持つように輻射状或いは環状に配列された多曲面構造を有している噴出孔片及びそれを使用する霧化モジュールに関するものである。

霧化器は、例えば、一般的に用いられる超音波霧化器では、主にジルコン酸チタン酸鉛材料から構成される圧電（ＰＺＴ）セラミックスに電圧が施された後、セラミックス本体及び金属付き裏面板が伸縮変形現象を起こし、またエネルギーは波動形態で伝達を行え、超音波の周波数で稼働させ、且つその振幅は約マイクロメータ範囲で、そして入力電圧によって制御するようにする。そこで、圧電材料を利用して起こした振動により、超音波を噴出孔片までに伝達し、噴出孔箇所に近接する液体はレーリー波（Ｒａｙｌｅｉｇｈ Ｗａｖｅ）或いは表面波の作用を受けて、噴出及び霧化に有利するよう液体を切断して微小な分子になるようにする。

図１及び図２を参照して、それらはそれぞれ従来技術の霧化装置の分解図及び作動を示す図が示されている。これらの図において、霧化装置１は、霧化モジュール１１及びキャビティ１２を備える。霧化モジュール１１は、圧電環片１１３と、噴出孔片１１２と、制動環片１１１と、を備える。噴出孔片１１２は円皿形を呈して、その上には複数個の噴出孔１１２１が設けられ、且つ噴出孔片１１２は、圧電環片１１３と制動環片１１１との間に挟設される。霧化モジュール１１では、キャビティ１２の一側に設けられる。圧電環片１１３が電圧を受けて駆動されて振動し始める時には、振動波を噴出孔片１１２までに伝達し、噴出孔１１２１に近接する液体を水分子になるようにさせる。

しかしながら、噴出孔片１１２が円形平面の形状であるため、以下の欠点が生じる。

１：圧電環片１１３が振動する場合、その時に起こした振動波は、その伝達方向では噴出孔片１１２の外縁部から中心部に伝達することにより、振動エネルビーが噴出孔片１１２の中心部に集中しすぎるため、噴出孔片１１２の中心領域の振幅が大きすぎとなり、応力が集中しすぎるがために亀裂・破損が生じてしまい、これらのようなことが原因による使用寿命が短縮してしまう。

２：振動エネルギーの全てが噴出孔片１１２の中心部に集中しているため、噴出孔片１１２の中心部付近しか霧化領域が形成されない。また、霧化領域は噴出孔片１１２の中心部のみに形成されているため、噴出孔片１１２の上において有効に使用される噴出孔１１２１を減少させてしまい、霧化量が好ましくない。

３：霧化過程において、霧化装置の内外圧力差のバランスを維持するように液体と気体を交換する必要があって、霧化領域が小さいすぎるため、噴霧状態が不安定になって、噴霧量が大きくなったり、小さくなったりする。

４：噴霧領域が中心領域に集中しすぎるため、霧化した液体分子の密度が集中しすぎとなり、液滴どうしが衝突させやすくなり、結合すると大粒径の液滴に形成されて、霧化効率が低下される。

図３、図４、図５及び図６を参照して、それらはそれぞれ従来技術の別のミスト発生器の分解図、断面図、作動を示す図及び霧化領域を示す図が示されている。従来技術の欠点を改善するために、中華民国特許第Ｉ３３１０５５号（特許文献１）には、ミスト発生器が開示されている。これらの図において、ミスト発生器２は、液体を霧化するために用いられ、且つ透孔を有する霧化装置に応用される。ミスト発生器２は、制動環片２１と、噴出孔片２２と、圧電環片２３と、キャビティ２４と、を備え、噴出孔片２２には複数個の噴出孔２２１が設けられ、そして制動環片２１と圧電環片２３との間に挟設されており、しかも噴出孔片２２の中心部には霧領域２２３が形成されている。また、噴出孔片２２の中心部には半球面の曲面構造２２２が形成される。

このような半球面の構造設計によって、理論上では従来技術に比べて霧化量を増加することができるとともに、噴出孔片２２の中心部に集中している応力を降下し、またより大きい霧化領域２２３が生成される。而して、上述したミスト発生器２は、実際に応用する時には、下記の欠点を有している。

１：このような半球面構造を有する噴出孔片２２に対して加工を行う時には、加工材料及び加工特性の関係によって、半球面の形状については、加工深度と半球面の曲率半径の大きさと反比例する問題点がある。上述した霧化量を増加する効果を達するために、噴出孔片２２の中心部の加工深度は一定の深度に達する必要がある。半球面の曲率半径が次第に小さくなるにつれてより容易に所要の深度に達する。
このような半球面の形状についての最適の霧化効能の深度に達するために、半球面の曲率半径を縮小しなければならない。しかしながら、有効に霧化する範囲が縮小されてしまう。有効に霧化する範囲を増大しようとすると、曲率半径を加工して増大する必要があって、加工深度が浅くなってしまい、霧化効能が劣らせる。同じ寸法においてより小さい曲率半径で加工できる深度に達することができる必要とする場合にて、噴出孔片２２に大きすぎる応力を受けやすくなり、構造の変形量がその制限を超えて亀裂・破損が生じてしまい、或いは降伏強度の降下によって振動は多次に亙って繰り返した後、亀裂・破損が生じてしまう。

２：噴出孔片２２の材料自体の特性によって、加工後の半球面の直径がより長くすれば、構造張力もそれにつれて低降するため、入力する力量が弱くなってしまい、抗低周波共振の能力もそれにつれて降下すると同時に、伴う騒音現象が起こりやすい。

３：このような霧化方式のパッケージ構造は、噴出孔片２２を安定に挟持するために、制動環片２１の内環径は通常では圧電環片２３の内環径より小さいとともに、大部分の振動エネルギーを噴出孔片２２に伝達させ、またその半球面の設計で有効に霧化できない外側の振動領域を削除することによって噴出孔片２２の一部の噴出孔２２１の使用率が降下られ、噴出孔片２２の上に霧化可能な領域及び霧化量を比較的に減少させる。また、圧電環片２１が作動する時には、圧電環片２１と、噴出孔片２２と、制動環片２３といった各層の間の粘着剤は、無効になりやすい。

従来技術の噴出孔片の半球面の構造設計は、その振動波エネルギーの伝達を経た後、大部分は依然として中心領域に集中しているので、中心部分に位置する微孔しか有効に作動できないとともに、外側領域の微孔は、振動エネルギーの不十分が原因による有効に使用することができないことから、霧化面積は本来の設計面積に達することができない。

台湾特許第Ｉ３３１０５５号明細書

本発明は、噴出孔片及びそれを使用する霧化モジュールを提供することを主な目的とし、噴出孔片の上に複数個の隆起部を形成することによって、霧化領域を拡大し、霧化過程の安定性を増加し、低周波振動を抑制し、または引張応力ための加工を減少するように、輻射状或いは環状に配列された多曲面構造が形成される。

上記目的を達成するため、本発明に係る噴出孔片は、複数個の噴出孔と、複数個の第１の隆起部と、を備えるよう構成される。第１の隆起部は、非円形を呈して、また、第１の隆起部は、噴出孔片の中心を基準とし、幾何学模様を形成するように配列される。

また、噴出孔片は、３個の第１の隆起部を有しており、３個の第１の隆起部は、楕円形を呈し、且つ楕円形の両端のうちの一端が噴出孔片の中心に向かいつつ、楕円形の両端のうちの他端が外向きに放射するように互いに等間隔に配列して形成される。

また、噴出孔片は、４個の第１の隆起部を有しており、４個の第１の隆起部は、楕円形を呈し、且つ楕円形の両端のうちの一端が噴出孔片の中心に向かいつつ、楕円形の両端のうちの他端が外向きに放射するように互いに等間隔に配列して形成される。

また、隆起部はそれぞれ所定の角度だけ傾斜し、且つ楕円形の両端のうちの一端で噴出孔片の中心に向かいつつ、楕円形の両端のうちの他端が外向きに放射するように互いに等間隔に配列して形成される。

また、噴出孔片は、３個の第１の隆起部を有しており、第１の隆起部は円弧形状を呈し、且つ、噴出孔片の中心に向って環状に配列して形成される。

また、噴出孔片は、９個の第１の隆起部を有しており、隣接する第１の隆起部は３個毎に互いに等間隔に放射状に形成される。

また、第１の隆起部の外形は、例えば、菱形、楕円形、三角形、矩形、砂時計形、三日月形またはハート形を呈することができる。

また、第１の隆起部の横断面は、例えば、三角錐面、単一の弧面、斜面または台形面である。

また、噴出孔片はさらに複数個の第２の隆起部を備え、複数個の第２の隆起部は、間隔をおいて複数個の第１の隆起部の間に形成され、且つ第２の隆起部の隆起する方向は第１の隆起部の隆起する方向と同一である。

また、第２の隆起部は、円弧形状を呈することができる。

また、噴出孔片は、３個の第２の隆起部を有しており、第２の隆起部は噴出孔片の中心に向って環状に配列して形成される。

また、第２の隆起部は、例えば、菱形、楕円形、三角形、砂時計形、三日月形またはハート形を呈することができる。

また、第２の隆起部の横断面は、例えば、三角錐面、単一の弧面、斜面または台形面である。

また、噴出孔片の厚さと第２の隆起部との比は約１：０．５〜１：２０の間である。

また、制動環片の内環径は圧電環片の内環径に等しい、また、制動環片の外環径は圧電環片の外環径より大きい。

また、噴出孔片の厚さと第１の隆起部との比は約１：０．５〜１：２０の間である。

上記目的を達成するため、本発明に係る霧化モジュールは、キャビティの一側に設置され、霧化モジュールは、圧電環片と、制動環片と、上記のような噴出孔片と、を備え、噴出孔片は圧電環片と制動環片との間に設置される。

また、制動環片の外環径は圧電環片の外環径より大きい。

また、制動環片がキャビティの一側に隣接して設置される時、第１の隆起部は圧電環片の方向に向って隆起する。

また、圧電環片がキャビティの一側に隣接して設置される時、第１の隆起部は制動環片の方向に向って隆起する。

従来技術の霧化装置の分解図である。 従来技術の霧化装置の作動を示す図である。 従来技術の別のミスト発生器の分解図である。 従来技術の別のミスト発生器の断面図である。 従来技術の別のミスト発生器の作動を示す図である。 従来技術の別のミスト発生器の霧化領域を示す図である。 本発明による噴出孔片及びそれを使用する霧化モジュールの第１の実施例の分解図である。 本発明による噴出孔片及びそれを使用する霧化モジュールにおいて、その噴出孔片を示す斜視図である。 本発明による噴出孔片及びそれを使用する霧化モジュールの第１の実施例の断面図である。 本発明による噴出孔片及びそれを使用する霧化モジュールの第１の実施例の噴出孔片を示す平面図である。 本発明による噴出孔片及びそれを使用する霧化モジュールの好ましい実施例の作動を示す図である。 本発明による噴出孔片及びそれを使用する霧化モジュールの好ましい実施例の霧化領域を示す図である。 本発明による噴出孔片及びそれを使用する霧化モジュールにおいて、噴出孔片の第２の実施例を示す図である。 本発明による噴出孔片及びそれを使用する霧化モジュールにおいて、噴出孔片の第３の実施例を示す図である。 本発明による噴出孔片及びそれを使用する霧化モジュールにおいて、噴出孔片の第４の実施例を示す図である。 本発明による噴出孔片及びそれを使用する霧化モジュールにおいて、噴出孔片の第５の実施例を示す図である。 本発明による噴出孔片及びそれを使用する霧化モジュールにおいて、噴出孔片の第６の実施例を示す図である。 本発明による噴出孔片及びそれを使用する霧化モジュールにおいて、噴出孔片の第７の実施例を示す図である。 本発明による噴出孔片及びそれを使用する霧化モジュールにおいて、噴出孔片の外形を示す図である。 本発明による噴出孔片及びそれを使用する霧化モジュールにおいて、噴出孔片の隆起部の横断面を示す図である。

本発明の内容をより完全に理解するために、以下、本発明の実施形態を添付図面を参照しながら説明する。

図７ａ、図７ｂ、図８、図９を参照して、それらはそれぞれ本発明による噴出孔片及びそれを使用する霧化モジュールの第１の実施例の分解図、噴出孔片を示す斜視図、断面図、噴出孔片を示す平面図が示されている。これらの図において、霧化モジュール３は、キャビティ３４の一側に設置され、圧電環片３１と、噴出孔片３２と、制動環片３３と、を備えるよう構成される。

圧電環片３１はジルコン酸チタン酸鉛材料から構成される壓電セラミックスで製造しても良いとともに、外環径３１１及び内環径３１２を有する。

制動環片３３は、金属材質の環片であり、外環径３３１及び内環径３３２を有するとともに、圧電環片３１の一側に設置される。本実施例において、制動環片３３の内環径３３２は圧電環片３１の内環径３１２に等しい、また、制動環片３３の外環径３３１は圧電環片３１の外環径３１１より大きい。

噴出孔片３２は皿体形状を呈し、その外径は圧電環片３１及び制動環片３３の内環径と外環径との間に介在するとともに、その中に挟設されるように供することができる。また、噴出孔片３２の上にはエキシマーレーザー或いは他の方式で間隔おきに複数個の噴出孔３２１が形成され、第１の隆起部３２２のいずれもは非平面状の曲面構造であり、しかも第１の隆起部３２２は、非円形を呈し、且つ噴出孔片３２の上にて、特定形状の幾何学模様に形成するように配列される。
第１の実施例において、第１の隆起部３２２は３個として実施され、且つ隆起部３２２の外形は楕円状を呈するとともに、一端で噴出孔片３２の中心に向って等間隔に放射状に配列して形成される。なお、断面から見れば、噴出孔片３２及び噴出孔片３２の上に形成された第１の隆起部３２２は、輻射状を呈する多曲面構造である。それに、噴出孔片３２と第１の隆起部３２２の高さの比は１：０．５〜１：２０の間であっても良いが、この限りではない、加工技術或いは実際須要に応じて増加或いは減少することができる。

霧化モジュール３を組み立てる時には、粘着剤（図示していない）により圧電環片３１と、噴出孔片３２と、制動環片３３と、を接合するとともに、霧化モジュール３の圧電環片３１或いは制動環片３３をキャビティ３４の一側に隣接して設置させる。圧電環片３１がキャビティ３４の一側に隣接して設置される時には、第１の隆起部３２２は制動環片３３の方向に向って隆起し、一方、制動環片３３がキャビティ３４の一側に隣接して設置される時には、第１の隆起部３２２は圧電環片３１の方向に向って隆起するように構成され、霧化効果を発揮させる。

図１０及び図１１を参照して、それらはそれぞれ本発明による霧化モジュールの好ましい実施例の作動を示す図、霧化領域を示す図が示されている。霧化モジュール３が稼働し始める時には、電圧を圧電環片３１までに入力することによって、圧電環片３１を繰り返しの伸縮変形を起こさせるとともに、振波形態でエネルギーを噴出孔片３２に伝達して噴出孔片３２を振動させる。
噴出孔片３２は、第１の隆起部３２２を形成することによって、噴出孔片３２が振動される時には、液体は第１の隆起部３２２に位置して形成された曲面領域及びその隣接する平面領域の噴出孔３２１により、レーリー波（または表面波と称する）の作用で衝撃を与えて微小な分子に形成されるとともに、霧化作用が生じるにより霧化領域３２４が形成され、即ち、第１の隆起部３２２及びその隣接部位で構成される曲面と平面領域であり、それにより、従来技術の霧化領域より大幅に大きい上、霧化量を増加するとともに、マイクロナノレベルで均一に分布された液滴が噴撃できるように、噴出孔片３２の上の噴出孔３２１を十分に使用することができる。

また、噴出孔片３２の上の隆起部の配列方式及び変化は上記の好ましい実施例に限定されるものではなく、下記のような実施形態であっても良い。

第２の実施例において、噴出孔片３２は、４個の第１の隆起部３２２を有し、第１の隆起部３２２の外形は楕円形を呈し、且つ一端で噴出孔片３２の中心に向って外向きに放射して互いに等間隔に配列して形成され、しかも噴出孔片３２の表面にはさらに噴出孔３２１を有しているよう構成されるように図１２が示されている。

第３の実施例において、第１の隆起部３２２は、４個の第１の隆起部３２２を有し、第１の隆起部３２２の外形は楕円形を呈し、それぞれ所定の角度を偏向し、且つ一端で噴出孔片３２の中心に向って外向きに放射して互いに等間隔に配列して形成され、しかも噴出孔片３２の表面にはさらに噴出孔３２１を有しているよう構成されるように図１３が示されている。

第４の実施例において、噴出孔片３２は、３個の第１の隆起部３２２を有し、第１の隆起部３２２の外形は円弧形状を呈し、且つ噴出孔片３２の中心に向って環状に配列して形成され、しかも噴出孔片３２の表面にはさらに噴出孔３２１を有しているよう構成されるように図１４が示されている。

第５の実施例において、噴出孔片３２は、３個の第１の隆起部３２２を有し、第１の隆起部３２２は一端が小さい、別の一端が大きい弧形形状を呈し、噴出孔片３２の中心に向って環状に配列して形成され、しかも噴出孔片３２の表面にはさらに噴出孔３２１を有しているよう構成されるように図１５が示されている。

第６の実施例において、噴出孔片３２は、９個の第１の隆起部３２２を有し、隣接する第１の隆起部は３個毎に１組の幾何学模様を呈することができるとともに、互いに等間隔に放射状に配列され、しかも噴出孔片３２の表面にはさらに噴出孔３２１を有しているよう構成されるように図１６が示されている。

第７の実施例において、噴出孔片３２は、第１の実施例に対応する図面に表示されるような第１の隆起部３２２を備えるのみならず、さらに３個の第２の隆起部３２３を備え、第２の隆起部３２３は第１の隆起部３２２の方向に隆起し、円弧形状を呈するとともに、間隔おきに対応する第１の隆起部の間に形成され、しかも噴出孔片３２の表面にはさらに噴出孔３２１を有しているよう構成されるように図１７が示されている。それに、噴出孔片３２の厚さと第２の隆起部３２３の比は１：０．５〜１：２０の間であっても良いが、この限りではない。

また、上述した各実施例において、第１の隆起部３２２及び第２の隆起部３２３の外形は上述したように示されるのみならず、例えば、菱形、楕円形、三角形、砂時計形、三日月形、ハート形または他の形状を呈することができるよう構成されるように図１８が示されている。そして、第１の隆起部３２２及び第２の隆起部３２３の数量及び配列方式も上記の実施方式に限定されるものではなく、任意の形状或いは数量で構成されても良い。

また、上述した各実施例において、第１の隆起部３２２及び第２の隆起部３２３の横断面は、例えば、三角錐面、単一の弧面、斜面台形面または任意の形式であるよう構成されるように図１９が示されている。

なお、霧化モジュール３は上記構造の噴出孔片３２を備えることから、さらに下記の利点を有している。

１：霧化面積を増大することによって、霧化過程の安定性を向上して噴霧量が大きくなったり、小さくなったりする現象を減少するように、液体と気体との交換速度を高めることができる。

２：従来技術の単一の半球面構造である噴出孔片２２と比較して、第１の隆起部３２２及び第２の隆起部３２３において、所要の加工深度は、霧化領域の拡大によって、その湾曲曲度を最適値までに調整することができるとともに、従来技術の半分程度のみの加工深度であれば良い。加工深度の縮減によって、噴出孔片を加工する時、応力が大きすぎて亀裂・破損するのを避けることができる。

３：第１の隆起部３２２及び第２の隆起部３２３により組合せて幾何学模様に形成するように配列され、噴出孔片３２において輻射状或いは環状に配列された多曲面構造が形成され、その上に伝達する振動波の進行方向を散らして変化することができるから、振動波などが噴出孔片３２の中心に向って集中する規則性を破壊し、それにより、従来技術の噴出孔片が中心領域の振幅値が大きすぎて、応力が集中して破壊されやすい欠点を改善することができる。

４：噴出孔片３２が形成された輻射状の曲面構造によって、抗低周波共振の能力を強化するように各曲面構造の構造張力を向上することできる。

５：制動環片３３の内環径３３２は圧電環片３１の内環径３１２に等しいため、パッケージする過程において、切り口を揃えるようにさせることができ、噴出孔片３２が密接にその間に挟持するのを確保することができ、それにより、圧電環片３１が作動する時、モーメントアームの長さが不揃いや、各層の間の粘着剤が無効になってしまうのを避けることができる。

６：噴出孔片３２が形成された輻射状の曲面構造によって、振波エネルギーを有効に伝達したり、均一に分散したりすることができることから、多曲面構造を有する噴出孔片を共振する霧化面積区間を生成させて非隆起部の他の位置に亙って広げられるので、従来技術と比較して、同じ単位面積の噴出孔片の霧化可能な領域がより多くなる。

７：噴出孔片が隆起部を配列して形成することによって多曲面構造が形成され、このような構造は、それと合致する圧電環片を単一の操作周波数に作動できず、僅かの量の偏位・ジッターが生じる場合にて、稼働時には依然として霧化量を有効に保持させ、従来技術と比較して、比常に高精度の圧電環片と駆動回路に合致しなければ有効に稼働するに比べて、より製造コストを低降することができる。

唯、以上に述べたことは、単に本発明の好適な実施例であり、本発明の実施範囲になんらの制限を加わるものではない。本発明の精神と範囲を逸脱しない限り、その等効果変更又は修正は、なお、本発明の特許範囲に含まれるものとする。

以上、説明したように本発明に係る霧化モジュールは、特許に基づいての発明性及び産業上の利用価値を具備することから、特許に値するものと確信しますので、出願人より、特許法の規定に従って、発明特許として特許庁に出願する。

１ 霧化装置
１１ 霧化モジュール
１１１ 制動環片
１１２ 噴出孔片
１１２１ 噴出孔
１１３ 圧電環片
１２ キャビティ
２ ミスト発生器
２１ 制動環片
２２ 噴出孔片
２２１ 噴出孔
２２２ 曲面構造
２２３ 霧化領域
２３ 圧電環片
２４ キャビティ
３ 霧化モジュール
３１ 圧電環片
３１１ 外環径
３１２ 内環径
３２ 噴出孔片
３２１ 噴出孔
３２２ 第１の隆起部
３２３ 第２の隆起部
３２４ 霧化領域
３３ 制動環片
３３１ 外環径
３３２ 内環径
３４ キャビティ

Claims (6)

1. 液体を霧化するための円片状を呈する噴出孔片であって、
   当該噴出孔片の表裏面を貫通するように形成される複数個の噴出孔と、
   非円形を呈して、当該噴出孔片の中心で間隔をおいて配列するように当該噴出孔片の表裏面の一方側から他方側に向かって複数個の隆起形状として形成される複数個の第１の隆起部と、
   を備え、
   前記複数個の第１の隆起部は、当該噴出孔片の中心を基準とし、幾何学模様を形成するように配列されるとともに、各々の表裏面を前記複数個の噴出孔のうちの１個以上の噴出孔が貫通する
   ことを特徴とする噴出孔片。
2. 前記複数個の第１の隆起部は３個の第１の隆起部であり、
   前記３個の第１の隆起部のそれぞれが呈する前記非円形は楕円形であり、
   前記３個の第１の隆起部は、前記楕円形の両端のうちの一端が当該噴出孔片の中心に向かいつつ、前記楕円形の両端のうちの他端が当該噴出孔片の中心から外向きに放射して互いに等間隔に配列するように形成される
   ことを特徴とする請求項１に記載の噴出孔片。
3. 複数個の第２の隆起部をさらに備え、
   前記複数個の第２の隆起部は、間隔をおいて配列する前記３個の第１の隆起部どうしの間に当該噴出孔片の隆起形状としてそれぞれ形成され、
   前記複数個の第２の隆起部の隆起する方向は前記３個の第１の隆起部の隆起する方向と同一である
   ことを特徴とする請求項２に記載の噴出孔片。
4. キャビティの一方側に設けられ当該キャビティの液体を霧化するための霧化モジュールであって、
   圧電環片と、前記圧電環片の一方側に設けられる制動環片と、円片状を呈し前記圧電環片と前記制動環片との間に設けられる噴出孔片と、を備え、
   前記噴出孔片は、
   当該噴出孔片の表裏面を貫通するように形成される複数個の噴出孔と、
   非円形を呈して、当該噴出孔片の中心で間隔をおいて配列するように当該噴出孔片の表裏面の一方側から他方側に向かって複数個の隆起形状として形成される複数個の第１の隆起部と、
   を備え、
   前記複数個の第１の隆起部は、当該噴出孔片の中心を基準とし、幾何学模様を形成するように配列されるとともに、各々の表裏面を前記複数個の噴出孔のうちの１個以上の噴出孔が貫通する
   ことを特徴とする霧化モジュール。
5. 前記制動環片が前記キャビティの一方側に隣接して設けられる場合、前記複数の第１の隆起部の各々は、前記圧電環片の側に隆起することを特徴とする請求項４に記載の霧化モジュール。
6. 前記圧電環片が前記キャビティの一方側に隣接して設けられる場合、前記複数の第１の隆起部の各々は、前記制動環片の側に隆起することを特徴とする請求項４に記載の霧化モジュール。

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