JP5480837B2 - グリーンシートクリーニング装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態に係るグリーンシートクリーニング装置(以下、単にクリーニング装置とも称する)100の構成を概略的に示す図である。図2は、図1のA−A’断面(yz断面)図である。
次に、上述のような構成を有するクリーニング装置1において行う、グリーンシートSのクリーニングのプロセスについて説明する。図3ないし図8は、係るクリーニングプロセスの途中の様子を順次に示す図である。
上述の実施の形態においては、グリーンシートSを往復搬送し、逆方向への搬送に際しても第1粘着ローラ51における異物等の粘着除去を行うようにしているが、このことは、クリーニング装置1において順方向への搬送のみでクリーニング処理を完結する態様を除外するものではない。順方向のみの搬送で充分に異物等が除去可能である場合には、図6に示すように、第3搬送部30にて収容ボックス2の外へグリーンシートSが搬送された時点で、クリーニング処理を終了するようにしてもよい。
本実施例においては、ヒータ151を形成用の印刷パターンが形成された、ジルコニアをセラミックス主成分とするグリーンシートを対象に、従来のクリーニング装置と上述の実施の形態に係るクリーニング装置1とによって順次にクリーニングを行った。
本実施例においては、上述の実施の形態に係るクリーニング装置1における異物等の除去効果の安定性を調べた。具体的には、一のグリーンシートに対して相異なる印刷パターンでの印刷を4回行うとともに、各回の印刷が終わるごとにクリーニング装置1によるクリーニング処理を行って、それぞれのクリーニング処理ごとの異物等の除去率を評価した。また、比較例として、ブラシローラのみを備えた従来のクリーニング装置についても同様の評価を行った。
図10(a)や図10(b)に示すような異物等、特に繊維状の異物が付着したままのグリーンシートをヒータ151の形成に用いてセンサ素子101を作製してしまうと、素子表面と絶縁層152とを連通する欠陥(連通欠陥)が形成される。連通欠陥が存在すると、絶縁層152の絶縁状態が良好に保たれなくなるため、連通欠陥が形成されたセンサ素子は不良と判断される。
2 収容部
3 搬送経路
10 第1搬送部
11、21、31 第1ローラ
12、22、32 第2ローラ
13、23、33 無端ベルト
13a、23a、33a 搬送面
14 第1ガイド
15(15a、15b) 厚み検知手段
20 第2搬送部
30 第3搬送部
40 第1クリーニング部
41(41a、41b) ブラシローラ
42(42a、42b) 吸引機構
43 集塵手段
50 第2クリーニング部
50A 上側ローラ群
50B 下側ローラ群
51(51a、51b、51c、51d、51e、51f) 第1粘着ローラ
52(52a、52b、52c、52d) 第2粘着ローラ
101 センサ素子
141 外部ポンプ電極
142 内部ポンプ電極
143 補助ポンプ電極
144 保護層
145 測定電極
147 基準電極
151 ヒータ
152 絶縁層
BR ブラシ
LB レーザ光
S グリーンシート
Claims (6)
- セラミックグリーンシートをクリーニングするクリーニング装置であって、
それぞれが長手方向に延在する第1の回転軸を回転中心として回転自在に設けられてなるとともに、外周部分にブラシが設けられた1対のブラシローラが、前記セラミックグリーンシートの搬送経路を挟んで対向配置されてなる第1クリーニング部と、
それぞれが長手方向に延在する第2の回転軸を回転中心として回転自在に設けられてなるとともに、外周面が粘着面とされてなる複数の第1粘着ローラからなる1対の第1粘着ローラ群が、前記搬送経路を挟んで対向配置されてなる第2クリーニング部と、
を備え、
前記第1クリーニング部においては、前記1対のブラシローラのそれぞれを前記第1の回転軸周りに回転させつつ、前記搬送経路を第1の搬送方向に搬送されてなる前記セラミックグリーンシートに前記ブラシを接触させることによって、前記セラミックグリーンシートをクリーニングする第1クリーニング処理を行い、
前記第2クリーニング部においては、前記第1クリーニング部における前記第1クリーニング処理に続いて、前記1対の第1粘着ローラ群をなす前記複数の第1粘着ローラのそれぞれを前記第2の回転軸周りに回転させながら、前記搬送経路を前記第1の搬送方向に搬送されてなる前記セラミックグリーンシートに前記粘着面を接触させることによって、前記セラミックグリーンシートをクリーニングする第2クリーニング処理を行うようになっているとともに、
クリーニングの対象となる前記セラミックグリーンシートの厚みを検知する厚み検知手段、
をさらに備え、
前記1対のブラシローラが、前記搬送経路に対し接近および離反自在に設けられてなり、
前記1対の第1粘着ローラ群が、前記搬送経路に対し接近および離反自在に設けられてなり、
前記1対のブラシローラの配置間隔が、前記厚み検知手段における検知結果に基づいて特定された前記セラミックグリーンシートの厚みに応じて設定される、
ことを特徴とするセラミックグリーンシートのクリーニング装置。 - 請求項1に記載のクリーニング装置であって、
前記複数の第1粘着ローラはそれぞれ、相反する2方向である第1の方向と第2の方向との双方に回転自在とされてなり、
前記第1クリーニング処理を終えた後、前記搬送経路を前記第1の搬送方向に搬送されてきた一の前記セラミックグリーンシートに対し、前記複数の第1粘着ローラをそれぞれの前記第1の方向に回転させることによって、前記第1のクリーニング処理に連続する1度目の前記第2クリーニング処理を行った後、前記第1の搬送方向の反対方向である第2の搬送方向に搬送されてなる前記一の前記セラミックグリーンシートに対し、前記複数の第1粘着ローラをそれぞれの前記第2の方向に回転させることによって2度目の前記第2クリーニング処理を行う、
ことを特徴とするセラミックグリーンシートのクリーニング装置。 - 請求項2に記載のクリーニング装置であって、
前記1対のブラシローラが、前記搬送経路に対し接近および離反自在に設けられてなり、
前記1対のブラシローラの配置間隔は、前記第1クリーニング処理に際しては、前記ブラシが前記セラミックグリーンシートに接触するように設定され、前記第2クリーニング処理が行われた後、前記一の前記セラミックグリーンシートが前記第2の搬送方向に搬送されて前記1対のブラシローラの間を通過する際には、前記ブラシが前記セラミックグリーンシートに接触しないように設定される、
ことを特徴とするセラミックグリーンシートのクリーニング装置。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかに記載のクリーニング装置であって、
前記第2クリーニング部が、
それぞれが長手方向に延在する第3の回転軸を回転中心として回転自在に設けられてなるとともに、外周面が粘着面とされてなる複数の第2粘着ローラからなる1対の第2粘着ローラ群、
をさらに備え、
前記1対の第2粘着ローラ群は、前記搬送経路および前記1対の第1粘着ローラ群を挟んで対向配置されてなるとともに、
前記複数の第2粘着ローラのそれぞれの粘着面は、前記複数の第1粘着ローラのそれぞれの粘着面よりも強い粘着性を備えており、
前記第2クリーニング処理に際しては、前記1対の第2粘着ローラ群をなす前記複数の第2粘着ローラのそれぞれを前記第3の回転軸周りに回転させながら、連続的または断続的に、前記複数の第2粘着ローラのそれぞれを前記複数の第1粘着ローラのうち隣り合う前記第1粘着ローラに接触させる、
ことを特徴とするセラミックグリーンシートのクリーニング装置。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載のクリーニング装置であって、
前記クリーニングの対象となる前記セラミックグリーンシートを前記第1クリーニング部へと搬送する搬送手段が、複数の線状の無端ベルトを離間配置させることによって形成された搬送面を備え、
前記厚み検知手段が、1対のレーザ式の厚み検知手段であり、
1対のレーザ式の厚み検知手段が、出射したレーザ光が前記線状の無端ベルトの間を通過するように、前記搬送手段を挟んで対向配置されてなる、
ことを特徴とするセラミックグリーンシートのクリーニング装置。 - 請求項1ないし請求項5のいずれかに記載のクリーニング装置であって、
前記搬送経路および前記1対のブラシローラを挟んで対向配置されてなるとともに、前記1対のブラシローラのそれぞれに隣接配置され、前記1対のブラシローラの近傍の空気を吸引する吸引手段、
をさらに備えることを特徴とするセラミックグリーンシートのクリーニング装置。
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