JP5451245B2

JP5451245B2 - 切断ブレード

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Publication number: JP5451245B2
Application number: JP2009185766A
Authority: JP
Inventors: 正人中村
Original assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Current assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Priority date: 2009-08-10
Filing date: 2009-08-10
Publication date: 2014-03-26
Anticipated expiration: 2029-08-10
Also published as: JP2011036945A

Description

本発明は、例えば水晶や石英等の硬脆材料の精密切断加工に使用される切断ブレードに関するものである。

従来、半導体製品などに用いられる水晶や石英等の硬脆材料（被切断材）に溝加工を施したり、切断することによって個片化したりする加工には、高精度が要求されており、このような溝加工や切断加工等（以下「切断加工」と省略する）には、円形薄板状の切断ブレードが使用されている。とりわけ、被切断材として、水晶等のようにチッピングの生じやすい硬脆材料を精密切断加工する場合には、被切断材に及ぼされる加工負荷の衝撃を緩和するため、弾性のある樹脂相内にダイヤモンド砥粒を分散したレジンボンド砥石からなる切断ブレードを用いて、チッピングを抑制させている。

また、近年では、半導体部品の製品歩留まりの向上を目的として、このような切断ブレードを極薄刃に形成することが要求されている。しかしながら、レジンボンド砥石からなる切断ブレードを単に極薄刃に形成した場合、その剛性を確保することが難しく、加工中に切断ブレードが折損することがある。

一方、特許文献１に記載の複合砥石においては、砥石体の長手方向に沿って無機質繊維群を配置し、ダイヤモンド砥粒を混入した合成樹脂を該無機質繊維群に含浸させて固化することで、砥石体の剛性を確保している。

特開２０００−２６３４４８号公報

しかしながら、切断ブレードの剛性を確保するために、例えば、前述の特許文献１のような構成を用いた場合、下記の課題が生じる。
すなわち、特許文献１の複合砥石のように、無機質繊維群が砥石体の長手方向に沿って配置されている場合、この長手方向に沿う方向の機械的強度はある程度確保されるものの、長手方向に交差する方向の機械的強度は充分に確保できない。このように、機械的強度が向きにより安定しない構成では、切断ブレードのように、回転駆動によって被切断材に切断加工を施すものには適用できなかった。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、刃の厚さを極薄に形成しても剛性を充分に確保でき、安定して被切断材を切断加工できる切断ブレードを提供することを目的としている。

前記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提案している。
すなわち本発明は、砥粒が樹脂相に分散されてなる円形薄板状の基材と、前記基材の外周縁部に形成された切刃と、を有し、前記基材が軸周りに回転されるとともに、前記切刃で被切断材を切断加工する切断ブレードであって、前記基材の厚さ方向の中央部には、前記樹脂相以上の強度を有する網状部材を含む第１クロス層が形成され、前記基材の厚さ方向の端面には、前記樹脂相以上の硬度を有する網状部材を含む第２クロス層が、前記切刃に対応して形成され、前記第１クロス層の網状部材の目開きが、前記砥粒の平均粒径以上に設定され、前記第２クロス層の網状部材の目開きが、前記砥粒の平均粒径以上に設定されていることを特徴とする。

本発明に係る切断ブレードによれば、基材の厚さ方向の中央部に、樹脂相以上の強度の網状部材を含む第１クロス層が形成されているので、基材の剛性が充分に高められている。また、このような第１クロス層が設けられていることにより、基材の靭性が確保されている。すなわち、第１クロス層を有する基材は、その周方向、径方向及び厚さ方向に沿う機械的強度が夫々高められているとともに、加工時の衝撃等に対する破損が確実に防止されるようになっている。従って、この切断ブレードは、刃の厚さを極薄に形成しても剛性を充分に確保でき、安定して被切断材を切断加工できる。

また、基材の厚さ方向の端面に、樹脂相以上の硬度の網状部材を含む第２クロス層が、切刃に対応して形成されているので、切刃の耐摩耗性が向上する。

すなわち、従来では、基材の厚さ方向の端面において切刃に対応する位置には、樹脂相が露出していたので、切断ブレードの切刃の耐摩耗性が充分とは言えず、切断加工を進めるうちに、切刃の厚さが該切断ブレードの径方向内側から外側に向かうに連れて漸次薄くなるように摩耗する現象、所謂「刃痩せ」が生じて、加工精度が確保できなかった。一方、本発明では、前記端面に第２クロス層が設けられていることで、このような切刃の刃痩せが抑制されることから、長期に亘り安定して精度の高い切断加工が行える。

また、第２クロス層の網状部材の目開きが、砥粒の平均粒径以上に設定されているので、砥粒が、該網状部材の網目内に配置されやすくなるとともに、第２クロス層の外面に露出される。このように、基材の第２クロス層の外面に砥粒が露出することにより、該第２クロス層の偏摩耗が防止される。詳しくは、第２クロス層の外面における刃痩せ等が防止される。従って、この切断ブレードで切断加工された製品の精度が充分に確保されるとともに、製品歩留まりが向上する。

また、本発明に係る切断ブレードにおいて、前記第１、第２クロス層が、ガラスクロスからなることとしてもよい。
また、本発明に係る切断ブレードにおいて、前記第１クロス層の厚さ寸法Ｔ１の、前記基材の厚さ寸法Ｔに対する比（Ｔ１／Ｔ）が、１／１０〜１／３．３の範囲内に設定されていることとしてもよい。
また、本発明に係る切断ブレードにおいて、前記第１クロス層の硬度が、前記樹脂相の硬度以上とされ、前記第１クロス層の硬度の、前記樹脂相の硬度に対する比（第１クロス層の硬度／樹脂相の硬度）が、１．０１４〜１．４の範囲内に設定されていることとしてもよい。

本発明に係る切断ブレードによれば、刃の厚さを極薄に形成しても剛性を充分に確保でき、安定して被切断材を切断加工できる。

本発明の一実施形態に係る切断ブレードを示す平面図である。図１のＡ−Ａ断面を示す側断面図である。図２のＢ部を拡大して示す部分側断面図である。本発明の一実施形態に係る切断ブレードの製造手順を説明する図である。切断ブレードで溝入れ加工を施したカーボン素材において、溝の断面形状を拡大して説明する断面図である。

本実施形態の切断ブレード１０は、例えば、水晶や石英等の硬脆材料からなる被切断材の精密切断加工に用いられる。図１〜図３に示すように、切断ブレード１０は、円形薄板状の基材１からなり、この基材１の中央には円形状の取付孔２が形成されている。切断ブレード１０は、この取付孔２を用いて不図示の切断加工装置の主軸に装着されるようになっている。そして、切断ブレード１０は、その中心軸（以下「軸」）Ｏ周りに回転されつつ軸Ｏに垂直な方向に送り出されることにより、基材１の外周縁部の切刃１Ａを被切断材に切り込んで、切断加工する。

詳しくは、この切断ブレード１０は、例えば、外径が５８ｍｍ程度、取付孔２の内径が４０ｍｍ程度とされ、軸Ｏ方向に沿う厚さ寸法Ｔが５０〜１０００μｍの範囲内に設定されている。

基材１は、フェノール樹脂やエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂（樹脂材料）が固化し形成された樹脂相からなり、この樹脂相には、ダイヤモンド砥粒（砥粒）３が分散されている。ダイヤモンド砥粒３は、例えば、その平均粒径が３７μｍ〜５１３μｍ（粒度＃４００〜＃３０）の範囲内に設定されている。

また、基材１の樹脂相は、例えば、そのヤング率（縦弾性係数）が２０００〜６０００ＭＰａの範囲内に設定されている。
また、基材１の樹脂相のロックウェル硬さは、５０〜７０ＨＲＣの範囲内に設定されている。

また、基材１の厚さ方向の中央部には、前述した樹脂相以上の強度を有する網状部材を含む第１クロス層４が形成されている。第１クロス層４は、その平面視の外形が、基材１の平面視における外形と同一に設定されている。詳しくは、基材１の径方向に沿う取付孔２から切刃１Ａまでの距離（径方向に沿う幅寸法）Ｗと、第１クロス層４の径方向の内方を向く端面から径方向の外方を向く端面までの距離Ｗ１は、同一に設定されている。

また、第１クロス層４の前記網状部材は、ＳｉＯ_２のガラスクロス４Ａからなり、このガラスクロス４Ａは、例えば複数のガラス素線を平網状に編むように形成されている。ガラスクロス４Ａは、その網目が矩形状又は正方形状に夫々形成されていて、前記ガラス素線のうち同一方向に延びるようにして隣り合うガラス素線同士の内寸、すなわち所謂「目開き」は、例えば、４０μｍ〜５５０μｍの範囲内に設定されている。

詳しくは、第１クロス層４のガラスクロス４Ａの目開きは、ダイヤモンド砥粒３の平均粒径以上に設定されている。このような目開きの設定により、第１クロス層４のガラスクロス４Ａの網目内には、樹脂相が充填されているとともにダイヤモンド砥粒３が配置されている。

また、第１クロス層４の厚さ寸法Ｔ１は、ダイヤモンド砥粒３の平均粒径以下に設定されている。詳しくは、第１クロス層４の厚さ寸法Ｔ１は、例えば、１０〜３３０μｍの範囲内に設定されており、前記厚さ寸法Ｔ１と基材１の厚さ寸法Ｔとの比が、Ｔ１／Ｔ＝１／１０〜１／３．３の範囲内に設定されている。

また、第１クロス層４は、例えば、そのヤング率が４０００〜１００００ＭＰａの範囲内に設定されている。詳しくは、第１クロス層４におけるヤング率及び剛性率は、基材１の樹脂相におけるヤング率及び剛性率以上に夫々設定されていて、第１クロス層４の機械的強度は、前記樹脂相の機械的強度以上とされている。

また、第１クロス層４は、例えば、そのロックウェル硬さが、７１〜９５ＨＲＣの範囲内に設定されている。詳しくは、第１クロス層４の硬度は、基材１の樹脂相の硬度以上とされており、第１クロス層４の硬度／基材１の樹脂相の硬度＝１．０１４〜１．４の範囲内に設定されている。

また、基材１の厚さ方向の両端面には、前述した樹脂相以上の硬度を有する網状部材を含む第２クロス層５が、前記切刃１Ａに対応して夫々形成されている。これらの第２クロス層５は、その平面視の外形が、基材１の外周縁部に対応する円環形状とされている。また、第２クロス層５の径方向の内方には、基材１の樹脂相が配置されている。第２クロス層５の厚さ方向の外方を向く面（以下「外面」とする）は、該第２クロス層５の径方向内方に配置された樹脂相の外面に面一とされている。

また、第２クロス層５の径方向の内方を向く端面から径方向の外方を向く端面までの距離（径方向に沿う幅寸法）Ｗ２は、基材１の径方向に沿う幅寸法Ｗに対して、Ｗ２／Ｗ＝１／６〜６／５の範囲内に設定されている。

また、第２クロス層５の前記網状部材は、ＳｉＯ_２のガラスクロス５Ａからなり、このガラスクロス５Ａは、例えば複数のガラス素線を平網状に編むようにして形成されている。本実施形態では、第２クロス層５に用いられるガラスクロス５Ａと、第１クロス層４に用いられるガラスクロス４Ａとが、同一部材からなる。

第２クロス層５のガラスクロス５Ａの目開きは、例えば、４０μｍ〜５５０μｍの範囲内に設定されている。詳しくは、第２クロス層５のガラスクロス５Ａの目開きは、ダイヤモンド砥粒３の平均粒径以上に設定されている。このような目開きの設定により、第２クロス層５のガラスクロス５Ａの網目内には、樹脂相が充填されているとともにダイヤモンド砥粒３が配置されている。

また、第２クロス層５の厚さ寸法Ｔ２は、例えば、１０〜３３０μｍの範囲内に設定されている。詳しくは、厚さ寸法Ｔ２は、ダイヤモンド砥粒３の平均粒径の１／２以下に設定されている。

また、第２クロス層５は、例えば、そのロックウェル硬さが、７１〜９５ＨＲＣの範囲内に設定されている。詳しくは、第２クロス層５の硬度は、基材１の樹脂相の硬度以上とされており、第２クロス層５の硬度／基材１の樹脂相の硬度＝１．０１４〜１．４の範囲内に設定されている。

次に、切断ブレード１０を製造する手順について説明する。
まず、図４（ａ）に示すように、第１クロス層４となるガラスクロス４Ａと、第２クロス層５となるガラスクロス５Ａと、樹脂相となるシート部材１１と、を用意する。尚、ガラスクロス５Ａ及びシート部材１１は、夫々一対ずつ用意する。

ガラスクロス４Ａ及びガラスクロス５Ａとしては、公知のガラスクロス（ＪＩＳＲ３４１４）等を用いることができる。ガラスクロス４Ａは、平面視で円形状に形成されている。また、ガラスクロス５Ａは、平面視で円環形状に形成されている。

また、シート部材１１は樹脂材料からなり、予め次のように形成されている。
すなわち、まず、シート部材１１の原料となる粉状又は粒状の熱硬化性樹脂（樹脂材料）に、前述の平均粒径に設定されたダイヤモンド砥粒３からなるダイヤモンド粉末、及び、有機溶剤を混ぜて泥漿（スラリー）を作り、このスラリー内にダイヤモンド砥粒３が均一に分散されるように混合する。
次いで、このスラリーを、ドクターブレード法を用いて厚さ調整し、フィルム状に成形する。

次に、フィルム状とされたスラリー内の有機溶剤を熱風等により気化させ、乾燥させた後、平面視で円形状になるように成形する。このようにして、ダイヤモンド砥粒３を分散した樹脂材料からなるシート部材１１が形成される。尚、この状態において、シート部材１１は固化してはいない。

次いで、前述のように用意したガラスクロス４Ａ、５Ａ、及び、シート部材１１を、ホットプレス装置（不図示）の金型内に配置する。詳しくは、この金型内に、図４（ａ）に示すように、下から上へ向けてガラスクロス５Ａ、シート部材１１、ガラスクロス４Ａ、シート部材１１、ガラスクロス５Ａの順となるように、ガラスクロス４Ａ、５Ａ及びシート部材１１を積層させて配置する。すなわち、厚さ方向の最も外側に一対のガラスクロス５Ａが夫々配置され、これらのガラスクロス５Ａの厚さ方向の内側に隣接してシート部材１１が夫々配置され、これらのシート部材１１の間にガラスクロス４Ａが配置されるように積層する。

この状態で、ホットプレスによる熱間成型を行う。詳しくは、ガラスクロス４Ａ、５Ａ及びシート部材１１を厚さ方向に圧縮するとともに、シート部材１１のダイヤモンド砥粒３及び前記樹脂材料をガラスクロス４Ａ、５Ａの網目内に充填させ、加熱により前記樹脂材料を固化して樹脂相を形成する。このように樹脂材料が焼き固められることで、樹脂相にダイヤモンド砥粒３及びガラスクロス４Ａ、５Ａが一体化されてなる基材１が作製される。

次いで、図４（ｂ）に示すように、基材１の外周縁部に研削・研磨加工を施して該基材１の外形を形成するとともに、切刃１Ａを形成する。また、基材１の平面視中央部に、取付孔２を形成する。
このようにして、切断ブレード１０が製造される。

尚、切断ブレード１０の製造方法は、前述したものに限定されない。すなわち、前述の製造手順においては、予めドクターブレード法を用いて成形したシート部材１１と、ガラスクロス４Ａ、５Ａとを別々に用意して、これらを積層させた状態で厚さ方向に圧縮することで、ガラスクロス４Ａ、５Ａの網目内に樹脂材料及びダイヤモンド砥粒３を充填させることとしたが、これに限定されるものではない。詳しくは、例えば、ガラスクロス４Ａ、５Ａ上に予め前記スラリーを載せた後、ドクターブレード法を用いてこれらをフィルム状に成形することで、ガラスクロス４Ａ、５Ａの網目内に樹脂材料及びダイヤモンド砥粒３を押し込んで充填させて、前述した熱間成型を行うこととしてもよい。

以上説明したように、本実施形態に係る切断ブレード１０によれば、基材１の厚さ方向の中央部に、樹脂相以上の強度のガラスクロス４Ａを含む第１クロス層４が形成されているので、基材１の剛性が充分に高められている。また、このような第１クロス層４が設けられていることにより、基材１の靭性が確保されている。

すなわち、第１クロス層４を有する基材１は、その周方向、径方向及び厚さ方向に沿う機械的強度が夫々高められているとともに、加工時の衝撃等に対する破損が確実に防止されるようになっている。従って、この切断ブレード１０は、刃の厚さを極薄に形成しても剛性を充分に確保でき、安定して被切断材を切断加工できる。

また、第１クロス層４の厚さ寸法Ｔ１と基材１の厚さ寸法Ｔとの比が、Ｔ１／Ｔ＝１／１０〜１／３．３の範囲内に設定されているので、前述の機械的強度が充分に確保されつつも自生発刃の作用が活発となり、安定した切断加工が行える。すなわち、前記Ｔ１／Ｔが、１／１０よりも小さく設定された場合には、基材１の機械的強度が充分に確保できないことがある。また、前記Ｔ１／Ｔが、１／３．３を超えて設定された場合には、切刃１Ａに露出する樹脂相の部分が少なくなり、自生発刃の作用が活発に行われないことがある。この場合、摩耗したダイヤモンド砥粒３が刃先に保持されたままの状態で切断加工が行われることになり、安定した加工を行うことが難しくなる。

また、第１クロス層４の硬度が、基材１の樹脂相の硬度以上に設定され、第１クロス層４の硬度と基材１の樹脂相の硬度との比が、第１クロス層４の硬度／基材１の樹脂相の硬度＝１．０１４〜１．４の範囲内に設定されているので、切刃１Ａの前記厚さ方向に沿う偏摩耗が防止される。

すなわち、前記第１クロス層４の硬度／基材１の樹脂相の硬度の値が、１．０１４よりも小さく設定された場合には、基材１の剛性が充分に確保できないことがある。また、前記第１クロス層４の硬度／基材１の樹脂相の硬度の値が、１．４を超えて設定された場合には、前記樹脂相に比べて第１クロス層４が摩耗しづらくなり、切刃１Ａの前記厚さ方向に沿う中央部が他の部分よりも径方向外方へ向けて突出することになる。このように、切刃１Ａに凹凸差（偏摩耗）が生じて、切断加工が安定しなくなる。

また、この切断ブレード１０は、基材１の厚さ方向の両端面に、樹脂相以上の硬度のガラスクロス５Ａを含む第２クロス層５が、切刃１Ａに対応して夫々形成されているので、切刃１Ａの耐摩耗性が向上する。

すなわち、従来では、基材の厚さ方向の両端面において切刃に対応する位置には、樹脂相が夫々露出していたので、切断ブレードの切刃の耐摩耗性が充分とは言えず、切断加工を進めるうちに、切刃の厚さが該切断ブレードの径方向内側から外側に向かうに連れて漸次薄くなるように摩耗する現象、所謂「刃痩せ」が生じて、加工精度が確保できなかった。一方、本実施形態の切断ブレード１０によれば、基材１の前記両端面に第２クロス層５が夫々設けられていることで、このような切刃１Ａの刃痩せが抑制されることから、長期に亘り安定して精度の高い切断加工が行える。

また、第２クロス層５のガラスクロス５Ａの目開きが、ダイヤモンド砥粒３の平均粒径以上に設定されているので、ダイヤモンド砥粒３が、該ガラスクロス５Ａの網目内に配置されやすくなるとともに、第２クロス層５の外面に露出される。このように、基材１の第２クロス層５の外面にダイヤモンド砥粒３が露出することにより、該第２クロス層５の偏摩耗が防止される。詳しくは、第２クロス層５の外面における刃痩せ等が防止される。従って、この切断ブレード１０で切断加工されたチップ等の製品の精度が確保されるとともに、製品歩留まりが向上する。

また、第２クロス層５の硬度と基材１の樹脂相の硬度との比が、第２クロス層５の硬度／基材１の樹脂相の硬度＝１．０１４〜１．４の範囲内に設定されているので、切刃１Ａの前記厚さ方向に沿う偏摩耗が防止される。

すなわち、前記第２クロス層５の硬度／基材１の樹脂相の硬度の値が、１．０１４よりも小さく設定された場合には、第２クロス層５の耐摩耗性が充分に確保できず、刃痩せが生じることがある。また、前記第２クロス層５の硬度／基材１の樹脂相の硬度の値が、１．４を超えて設定された場合には、前記樹脂相に比べて第２クロス層５が摩耗しづらくなり、切刃１Ａの前記厚さ方向に沿う両端部が他の部分よりも径方向外方へ向けて突出することになる。このように、切刃１Ａに凹凸差（偏摩耗）が生じて、切断加工が安定しなくなる。

また、前述した切断ブレード１０の製造方法を用いることにより、このような作用効果を奏する切断ブレード１０を比較的簡便に製造することができる。

尚、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、本実施形態では、砥粒としてダイヤモンド砥粒３を用いたが、これに限定されるものではなく、例えば、ダイヤモンド砥粒３以外のｃＢＮ砥粒等を用いても構わない。

また、第１、第２クロス層４、５の各網状部材が、夫々ガラスクロス４Ａ、５Ａからなることとしたが、これに限定されるものではない。すなわち、第１、第２クロス層４、５の各網状部材として、例えば、ガラスクロス４Ａ、５Ａ以外のセラミックスクロス４Ａ、５Ａ等を用いても構わない。
また、ガラスクロス４Ａ、５Ａが同一部材からなることとして説明したが、ガラスクロス４Ａ、５Ａは、互いに材質、目開き等が異なる別部材同士であってもよい。

また、ガラスクロス４Ａ、５Ａは、複数のガラス素線を平網状に編むように（すなわち平織網状に）夫々形成されていることとしたが、これに限定されるものではなく、例えば、ガラスクロス４Ａ、５Ａが、複数のガラス素線を平織網状以外の綾織網状や平畳織網状等に編むように夫々形成されていてもよい。
また、ガラスクロス４Ａ、５Ａの網目が、矩形状又は正方形状に夫々形成されていることとしたが、それ以外の多角形状や円形状等に夫々形成されていても構わない。

以下、本発明を実施例により具体的に説明する。ただし本発明はこの実施例に限定されるものではない。

[実施例１]
実施例１として、基材１の直径（外径）は５８ｍｍ、取付孔２の内径は４０ｍｍ、基材１の厚さ寸法Ｔが３００μｍに設定された切断ブレード１０を用意した。

尚、この切断ブレード１０の製造は、下記のようにして行った。
原料には、基材１の樹脂相となる樹脂材料として、フェノール樹脂（昭和高分子株式会社製：ＢＲＰ５４１７）を用い、ダイヤモンド砥粒３として、平均粒径６２μｍ（粒度＃２３０）に設定されたダイヤモンド粉末を用いた。そして、フェノール樹脂とダイヤモンド粉末とが、体積比でフェノール樹脂：ダイヤモンド粉末＝３：１となるように秤量し、これらに有機溶剤としてＩＰＡ（イソプロパノール）溶媒７ｍｌを加え前記フェノール樹脂を溶解させた。このようにして、樹脂材料、ダイヤモンド砥粒３及び有機溶剤からなるスラリーを作製し、該スラリー内においてダイヤモンド砥粒３が均一に分散するように混合した。

次いで、ドクターブレード法を用いて、このスラリーを狙い厚さ０．３ｍｍのフィルム状に形成し熱風を当て乾燥した後、φ７０ｍｍの円板状にくり抜いて、シート部材１１を形成した。尚、乾燥後のシート部材１１の厚さ寸法は１８０μｍであった。

一方、ガラスクロス４Ａ、５Ａとしては、ガラス素線径φ３５μｍ、目開き１００μｍ、厚さ寸法７０μｍに設定されたガラスクロス素材を用いた。そして、このガラスクロス素材を、平面視で円形状に形成してガラスクロス４Ａとした。また、ガラスクロス素材を、平面視で円環形状に形成してガラスクロス５Ａとした。尚、ガラスクロス４Ａ、５Ａの外径はともにφ７０ｍｍとした。

次いで、ガラスクロス４Ａ、５Ａ、及び、シート部材１１を、ホットプレス装置の金型内に図４（ａ）に示すように配置した。詳しくは、厚さ方向（図４における上下方向）の最も外側に一対のガラスクロス５Ａを夫々配置し、これらのガラスクロス５Ａの厚さ方向の内側に隣接してシート部材１１を夫々配置し、これらのシート部材１１の間にガラスクロス４Ａを配置して積層した。

この状態で、ホットプレスによる熱間成型を行った。詳しくは、圧力（荷重）：９．８Ｍｐａ、加熱温度：１８０℃（熱板温度：２００℃）、加熱時間：３０分の条件で熱間成型を行い、ガラスクロス４Ａ、５Ａ、及び、シート部材１１を厚さ方向に圧縮して一体化させるとともに焼き固めた。尚、ガラスクロス４Ａ、５Ａ、及び、シート部材１１をこのように熱間成型して得られた円板体の厚さ寸法が、基材１の厚さ寸法Ｔ：３００μｍとされる。
最後に、この円板体の内外周に研削・研磨加工を施して、基材１の形状を得た。

次いで、この切断ブレード１０を切断加工装置に装着し、被切断材として、銅配線及び樹脂を配設したガラスエポキシ樹脂基板を用い、該ガラスエポキシ樹脂基板を連続して切断加工して、チップを作製した。尚、この切断加工は、フランジ：φ５２ｍｍ、主軸回転数：２００００ｍｉｎ^−１、送り速度：５０ｍｍ／ｓｅｃの条件下で行った。

そして、切断加工の切断長が、１００ｍ、５００ｍ、１０００ｍに達した時点において、切断後のチップにおける上下差（刃痩せ）を夫々測定した。結果を、表１として示す。また、前記切断長が、１００ｍ、５００ｍ、１０００ｍに達した夫々の時点において、図５に示すように、この切断ブレード１０を用いカーボン素材Ｃに溝入れ加工を行って、形成された溝Ｓの断面形状を観察し、該溝Ｓの底面における凹凸差Ｌ（切刃１Ａの偏摩耗量）を確認した。結果を表２として示す。
また、これらの結果に対する評価を、ダイヤモンド砥粒３の平均粒径、ガラスクロス４Ａ、５Ａの目開きの設定とともに、表３として示す。

[実施例２]
また、実施例２として、ガラスクロス４Ａに目開き１００μｍのガラスクロス素材を用い、ガラスクロス５Ａに目開き８０μｍのガラスクロス素材を用いて切断ブレード１０を製造した。それ以外は実施例１と同様の条件として、前述の各試験を行った。

[参考例３]
また、参考例３として、ガラスクロス４Ａに目開き１００μｍのガラスクロス素材を用い、ガラスクロス５Ａに目開き６０μｍのガラスクロス素材を用いて切断ブレード１０を製造した。それ以外は実施例１と同様の条件として、前述の各試験を行った。

[参考例４]
また、参考例４として、ガラスクロス４Ａに目開き１００μｍのガラスクロス素材を用い、ガラスクロス５Ａに目開き４０μｍのガラスクロス素材を用いて切断ブレード１０を製造した。それ以外は実施例１と同様の条件として、前述の各試験を行った。

[実施例５]
また、実施例５として、ガラスクロス４Ａに目開き８０μｍのガラスクロス素材を用い、ガラスクロス５Ａに目開き１００μｍのガラスクロス素材を用いて切断ブレード１０を製造した。それ以外は実施例１と同様の条件として、前述の各試験を行った。

[実施例６]
また、実施例６として、ガラスクロス４Ａに目開き８０μｍのガラスクロス素材を用い、ガラスクロス５Ａに目開き８０μｍのガラスクロス素材を用いて切断ブレード１０を製造した。それ以外は実施例１と同様の条件として、前述の各試験を行った。

[参考例７]
また、参考例７として、ガラスクロス４Ａに目開き８０μｍのガラスクロス素材を用い、ガラスクロス５Ａに目開き６０μｍのガラスクロス素材を用いて切断ブレード１０を製造した。それ以外は実施例１と同様の条件として、前述の各試験を行った。

[参考例８]
また、参考例８として、ガラスクロス４Ａに目開き８０μｍのガラスクロス素材を用い、ガラスクロス５Ａに目開き４０μｍのガラスクロス素材を用いて切断ブレード１０を製造した。それ以外は実施例１と同様の条件として、前述の各試験を行った。

[参考例９]
また、参考例９として、ガラスクロス４Ａに目開き６０μｍのガラスクロス素材を用い、ガラスクロス５Ａに目開き１００μｍのガラスクロス素材を用いて切断ブレード１０を製造した。それ以外は実施例１と同様の条件として、前述の各試験を行った。

[参考例１０]
また、参考例１０として、ガラスクロス４Ａに目開き６０μｍのガラスクロス素材を用い、ガラスクロス５Ａに目開き８０μｍのガラスクロス素材を用いて切断ブレード１０を製造した。それ以外は実施例１と同様の条件として、前述の各試験を行った。

[参考例１１]
また、参考例１１として、ガラスクロス４Ａに目開き６０μｍのガラスクロス素材を用い、ガラスクロス５Ａに目開き６０μｍのガラスクロス素材を用いて切断ブレード１０を製造した。それ以外は実施例１と同様の条件として、前述の各試験を行った。

[参考例１２]
また、参考例１２として、ガラスクロス４Ａに目開き６０μｍのガラスクロス素材を用い、ガラスクロス５Ａに目開き４０μｍのガラスクロス素材を用いて切断ブレード１０を製造した。それ以外は実施例１と同様の条件として、前述の各試験を行った。

[参考例１３]
また、参考例１３として、ガラスクロス４Ａに目開き４０μｍのガラスクロス素材を用い、ガラスクロス５Ａに目開き１００μｍのガラスクロス素材を用いて切断ブレード１０を製造した。それ以外は実施例１と同様の条件として、前述の各試験を行った。

[参考例１４]
また、参考例１４として、ガラスクロス４Ａに目開き４０μｍのガラスクロス素材を用い、ガラスクロス５Ａに目開き８０μｍのガラスクロス素材を用いて切断ブレード１０を製造した。それ以外は実施例１と同様の条件として、前述の各試験を行った。

[参考例１５]
また、参考例１５として、ガラスクロス４Ａに目開き４０μｍのガラスクロス素材を用い、ガラスクロス５Ａに目開き６０μｍのガラスクロス素材を用いて切断ブレード１０を製造した。それ以外は実施例１と同様の条件として、前述の各試験を行った。

[参考例１６]
また、参考例１６として、ガラスクロス４Ａに目開き４０μｍのガラスクロス素材を用い、ガラスクロス５Ａに目開き４０μｍのガラスクロス素材を用いて切断ブレード１０を製造した。それ以外は実施例１と同様の条件として、前述の各試験を行った。

[比較例１]
一方、比較例１として、ガラスクロス４Ａ、５Ａを用いずに切断ブレードを製造した。すなわち、基材の樹脂相にダイヤモンド砥粒３を分散させた公知のレジンボンド砥石からなる切断ブレードを用意した。それ以外は実施例１と同様の条件として、前述の各試験を行った。

[比較例２]
また、比較例２として、ガラスクロス４Ａ、５Ａを用いる代わりに、前記特許文献１（特開２０００−２６３４４８号公報）に記載された無機質繊維（グラスファイバー）を基材の樹脂相内に分散させた切断ブレードを用意した。すなわち、基材のグラスファイバーが、所定の方向を向くように樹脂相内に並列に配置されたものを用いた。それ以外は実施例１と同様の条件として、前述の各試験を行った。

表１及び表３に示すように、実施例１、２、５、６及び参考例３、４、７〜１６では、切断長：１０００ｍの時点における刃痩せが３０μｍ以下に抑制されて、切断後のチップの品質が確保されることがわかった。特に、ガラスクロス５Ａの目開きがダイヤモンド砥粒３の平均粒径よりも大きく設定された実施例１、２、５、６、及び参考例９、１０、１３、１４については、切断長：１０００ｍの時点における刃痩せが１６μｍ以下に抑えられて、切断加工の精度が大幅に向上することがわかった。また、ガラスクロス５Ａの目開きがダイヤモンド砥粒３の平均粒径に略等しい設定とされた参考例３、７、１１、１５についても、切断長：１０００ｍの時点における刃痩せが２５μｍ以下に抑えられて、切断加工の精度が充分に確保された。
一方、比較例１、２では、切断長：１０００ｍの時点における刃痩せが３０μｍを超えて、切断後のチップの品質が確保できなかった。

また、表２及び表３に示すように、実施例１、２、５、６及び参考例３、４、７〜１２では、切断長：１０００ｍの時点における切刃１Ａの偏摩耗量が４μｍ以下に抑制されて、溝Ｓの底面の加工精度も充分に確保されることがわかった。
一方、参考例１３〜１６及び比較例１、２では、切断長：１０００ｍの時点における前記偏摩耗量が４μｍを超えることがわかった。

１基材
１Ａ切刃
３ダイヤモンド砥粒（砥粒）
４第１クロス層
４Ａガラスクロス（網状部材）
５第２クロス層
５Ａガラスクロス（網状部材）
１０切断ブレード
Ｏ中心軸（軸）
Ｔ基材の厚さ寸法
Ｔ１第１クロス層の厚さ寸法

Claims

砥粒が樹脂相に分散されてなる円形薄板状の基材と、前記基材の外周縁部に形成された切刃と、を有し、
前記基材が軸周りに回転されるとともに、前記切刃で被切断材を切断加工する切断ブレードであって、
前記基材の厚さ方向の中央部には、前記樹脂相以上の強度を有する網状部材を含む第１クロス層が形成され、
前記基材の厚さ方向の端面には、前記樹脂相以上の硬度を有する網状部材を含む第２クロス層が、前記切刃に対応して形成され、
前記第１クロス層の網状部材の目開きが、前記砥粒の平均粒径以上に設定され、
前記第２クロス層の網状部材の目開きが、前記砥粒の平均粒径以上に設定されていることを特徴とする切断ブレード。
請求項１に記載の切断ブレードであって、
前記第１、第２クロス層が、ガラスクロスからなることを特徴とする切断ブレード。
請求項１又は２に記載の切断ブレードであって、
前記第１クロス層の厚さ寸法Ｔ１の、前記基材の厚さ寸法Ｔに対する比（Ｔ１／Ｔ）が、１／１０〜１／３．３の範囲内に設定されていることを特徴とする切断ブレード。
請求項１〜３のいずれか一項に記載の切断ブレードであって、
前記第１クロス層の硬度が、前記樹脂相の硬度以上とされ、
前記第１クロス層の硬度の、前記樹脂相の硬度に対する比（第１クロス層の硬度／樹脂相の硬度）が、１．０１４〜１．４の範囲内に設定されていることを特徴とする切断ブレード。