JP5436658B2 - キャリアに固定されたスケールを有する装置及びスケールをキャリアに保持する方法 - Google Patents
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Description
1.2 スケール
2 キャリア
2.2 キャリア
3 密閉剤
3.2 密閉剤、密閉縁部
4 吸引経路
4.2 吸引経路
5 溝
11 測定目盛
11.2 測定目盛
12 支持部、隆起部
121 表面領域、載置面
12.2 支持部、球
13 層、保持剤
21 表面領域、搭載面
22 開口部
51 境界面
A,A2 中心距離
M,M2 測定領域
X 測定方向
B 幅
K 幅
T 深さ
F 距離
H,H2 高さ
E,E2 測定目盛面
D,D2 厚さ
Claims (13)
- キャリア(2,2.2)に保持されているスケール(1,1.2)を有する装置において、
前記スケール(1,1.2)は、測定目盛(11,11.2)を有し、前記スケール(1,1.2)は、空気の吸引によって前記キャリアに保持されていて、
前記スケール(1,1.2)は、同一平面上に分散して配置され且つ互いに間隔をあけた支持部(12,12.2)によって前記キャリア(2,2.2)に支持されていて、これらの支持部(12,12.2)は、測定領域(M,M2)を画定する前記測定目盛(11,11.2)に対向していて且つ相互の中心距離(A,A2)内に配置されていて、この中心距離(A,A2)は、前記スケール(1,1.2)の厚さ(D)より小さく、
前記支持部(12,12.2)と前記スケール(1,1.2)との間及び/又は前記支持部(12,12.2)と前記キャリア(2,2.2)との間の密着による接合が、前記スケール(1,1.2)の少なくとも前記測定領域(M,M2)内で阻止されているように、前記支持部(12,12.2)は形成されていて、
前記スケール(1,1.2)と前記キャリア(2,2.2)との間の空間が、密閉剤(3,3.2)によって周囲から密閉されている当該装置。 - 高い凹凸が、前記支持部(12)と前記スケール(1)との間及び/又は前記支持部(12)と前記キャリア(2)との間の密着による接合を阻止するように、当該接触している表面領域(121,21)が、前記高い凹凸を有することを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記支持部(12.2)が、前記スケール(1.2)及び/又前記キャリア(2.2)に点接触する結果、密着による接合が阻止されることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 複数の支持部(12,12.2)が、少なくとも20μmの高さ(H,H2)と少なくとも20μmの相互の縁距離(B,B2)とを有する相互の自由空間を形成することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の装置。
- キャリア(2,2.2)の材料とスケール(1,1.2)の材料とは、同じ熱膨張係数を有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の装置。
- 前記キャリア(2,2.2)及び前記スケール(1,1.2)の前記熱膨張係数は、1.5×10−6K−1 未満であることを特徴とする請求項5に記載の装置。
- 空気は、前記測定領域(M,M2)の外側に配置されている少なくとも1つの吸引経路(4,4.2)を通じて吸引されることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の装置。
- 前記支持部を形成する隆起部(12)が、前記スケール(1)又は前記キャリア(2)に対して同一平面上のラスター状に一体的に形成されていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の装置。
- 前記支持部は、構造化された中間層内に形成されているスペーサー要素であることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の装置。
- 前記支持部は、球(12.2)であることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の装置。
- 前記球(12.2)は、保持剤(13)によって当該球(12.2)の位置で不動に保持されていることを特徴とする請求項10に記載の装置。
- 前記保持剤は、前記キャリア(2.2)又は前記スケール(1.2)上に配置された層(13)であり、前記球(12.2)が、この層(13)内に封入されていて、この層(13)の厚さは、前記球(12.2)の直径(H2)の一部であることを特徴とする請求項11に記載の装置。
- スケール(1,1.2)の測定目盛(11,1.2)を走査して位置を測定する間に前記スケール(1,1.2)をキャリア(2,2.2)に保持する方法において、
前記スケール(1,1.2)が、前記キャリア(2,2.2)に圧着するように、当該保持は、このスケール(1,1.2)を位置測定中に空気で吸引することによって実施され、
前記スケール(1,1.2)は、同一平面上に分散して配置された支持部(12,12.2)によって支持され、これらの支持部(12,12.2)は、前記測定目盛(11,1.2)に対向して配置されていて且つ相互の中心距離(A,A2)を有し、この中心距離(A,A2)は、前記スケール(1,1.2)の厚さ(D,D2)より小さく、
前記支持部(12,12.2)と前記スケール(1,1.2)との間及び/又は前記支持部(12,12.2)と前記キャリア(2,2.2)との間の密着による接合が、前記スケール(1,1.2)の少なくとも測定領域(M,M2)内で阻止され、
前記スケール(1,1.2)と前記キャリア(2,2.2)との間の空間内で作用する保持力が、当該空気の吸引によって発生され、この空間は、密閉剤(3,3.2)によって周囲から密閉されている当該方法。
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