ES2615116T3 - Disposición con una escala de medición fijada en un soporte - Google Patents

Disposición con una escala de medición fijada en un soporte Download PDF

Info

Publication number
ES2615116T3
ES2615116T3 ES14193790.4T ES14193790T ES2615116T3 ES 2615116 T3 ES2615116 T3 ES 2615116T3 ES 14193790 T ES14193790 T ES 14193790T ES 2615116 T3 ES2615116 T3 ES 2615116T3
Authority
ES
Spain
Prior art keywords
measurement
incorporation
support
layer
spacers
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
ES14193790.4T
Other languages
English (en)
Inventor
Kilian Bauer
Markus Huber
Thomas Sigl
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Original Assignee
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dr Johannes Heidenhain GmbH filed Critical Dr Johannes Heidenhain GmbH
Application granted granted Critical
Publication of ES2615116T3 publication Critical patent/ES2615116T3/es
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
    • G01D5/24428—Error prevention
    • G01D5/24433—Error prevention by mechanical means
    • G01D5/24442—Error prevention by mechanical means by mounting means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
    • G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/0011—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
    • G01B5/0014—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight due to temperature

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)

Abstract

Disposición con una incorporación de medición (1) fijada en un soporte (3), en la que la incorporación de medición (1) presenta una división de medición (11) y se apoya sobre espaciadores (4) en el soporte (3), y se fija de manera desacoplada de tal forma que se compensan diferentes dilataciones térmicas entre el soporte (3) y la incorporación de medición (1), caracterizada porque entre la incorporación de medición (1) y el soporte (3) está dispuesta una capa (5), que retiene la incorporación de medición (1) por adhesión en el soporte (3), y porque los espaciadores (4) están incrustados móviles en esta capa (5), de manera que la capa (5) es un líquido viscoso o un líquido viscoelástico.

Description

5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
DESCRIPCION
Disposicion con una escala de medicion fijada en un soporte Campo de la tecnica
La presente invencion se refiere a una disposicion con una incorporacion de medicion fijada en un soporte de acuerdo con el preambulo de la reivindicacion 1.
Estado de la tecnica
Para la medicion de la posicion relativa de dos partes de una maquina hay que fijar en una de las partes de la maquina una incorporacion de medicion y en la otra de las partes de la maquina moviles entre sf una unidad de exploracion. Durante la medicion de la posicion se explora una division de medicion de la incorporacion de medicion por la unidad de exploracion y se generan senales de exploracion en funcion de la posicion.
El documento EP 0 416 391 A2 publica una disposicion con una incorporacion de medicion fijada en un soporte, en la que la fijacion se realiza por medio de una pelfcula de lfquido y la incorporacion de medicion se apoya por accion capilar de la pelfcula de lfquido contra una superficie de apoyo del soporte.
De acuerdo con el documento EP 0 264 801 B1, se monta una incorporacion de medicion en un soporte, apoyandose sobre bolas. Las bolas estan alojadas en zonas pequenas de forma movil en rotacion. La fuerza de retencion entre la incorporacion de medicion y el soporte se introduce por medio de muelles. A traves de la combinacion de bolas y muelles es posible una fijacion y apoyo solamente en la zona del borde de la incorporacion de medicion, con lo que no se posibilita un alojamiento plano dentro de la zona de medicion real de la incorporacion de medicion.
Resumen de la invencion
El cometido de la invencion es indicar una disposicion con una incorporacion de medicion fijada en un soporte, de manera que la incorporacion de medicion es retenida a ser posible libre de desviacion y estable en la temperatura en su posicion, de manera que se posibilita una medicion reproducible de la posicion.
Este cometido se soluciona por medio de la disposicion indicada en la reivindicacion 1 asf como con la instalacion de medicion de la posicion indicada en la reivindicacion 11.
Las formas de realizacion ventajosas de la disposicion de acuerdo con la invencion asf como la instalacion de medicion de la posicion se deducen a partir de las medidas, que se indican en las reivindicaciones dependientes.
Los detalles y ventajas de la presente invencion se explican con la ayuda de la descripcion siguiente de ejemplos de realizacion en combinacion con las figuras.
Breve descripcion de los dibujos
La figura 1 muestra una seccion longitudinal de una disposicion configurada de acuerdo con la invencion.
La figura 2 muestra una seccion longitudinal de un segundo ejemplo de realizacion.
La figura 3 muestra una seccion transversal de un tercer ejemplo de realizacion.
La figura 4 muestra una seccion transversal de un cuarto ejemplo de realizacion, y La figura 5 muestra una seccion transversal de un quinto ejemplo de realizacion.
Descripcion de las formas de realizacion
Con la ayuda de la figura 1 se explica un primer ejemplo de realizacion de la invencion. La instalacion de medicion de la posicion representada comprende una disposicion de una incorporacion de medicion 1 dispuesta en un soporte 3 y de una unidad de exploracion 2. En al funcionamiento de la instalacion de medicion de la posicion, la unidad de exploracion 2 esta fijada en un objeto 100 movil en direccion de medicion X relativamente frente al soporte 3. La incorporacion de medicion 1 presenta una division de medicion 11 explorable sin contacto por la unidad de exploracion 2. La incorporacion de medicion 1 esta constituida con preferencia de un material con coeficiente de dilatacion termica insignificantemente pequeno, en particular con un coeficiente de dilatacion termica a en el intervalo de temperaturas de 0° a 50° inferior a 1,5 x 10-6K-1, pero en particular inferior a 0,1 x 10-6K-1. Tales
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
materiales son vidrio o bien vitroceramica (por ejemplo, ZERODUR) o metales como por ejemplo invar.
La division de medicion 11 es una division incrementan, que es explorada de manera foto electrica durante la medicion de la posicion en direcciones de medicion X por la unidad de exploracion 2 para la generacion de senales de exploracion dependientes de la posicion. La division de medicion 11 puede ser una rejilla de amplitudes reflectante o una rejilla de fases, que sirve de manera conocida para la medicion de la posicion interferencial de alta exactitud.
La incorporacion de medicion 1 esta fijada en el soporte 3. Este soporte 3 esta constituido, en general, de un material, cuyo coeficiente de dilatacion s desvfa del coeficiente de dilatacion de la incorporacion de medicion 1. Por este motivo, es necesario fijar la incorporacion de medicion 1 de manera desacoplada del soporte 3. Desacoplado significa en este caso que el soporte 3 y la incorporacion de medicion 1 se pueden desplazar de manera independiente uno del otro condicionado por la temperatura, sin que se transmitan tensiones mecanicas desde el soporte 3 sobre la incorporacion de medicion 1, que influyen negativamente sobre la exactitud y de producibilidad de la medicion de la posicion. El alojamiento de la incorporacion de medicion 1 en el soporte 3 se realiza de esta manera de forma flotante.
La incorporacion de medicion 1 esta apoyada en el soporte 3 por medio de espaciadores 4. Estos espaciadores 4 estan dispuestos distribuidos en el espacio de forma bidimensional sobre la superficie 31 del soporte 3. La disposicion de los espaciadores 4 es tal que la incorporacion de medicion 1 se apoya al menos dentro de una zona de la division de medicion 11, que puede ser explorada por la unidad de exploracion 2 para la medicion de la posicion. El apoyo se realiza, por lo tanto, al menos dentro de una zona de la division de medicion 11, que se utiliza para la medicion de la posicion.
Los espaciadores 4 estan incrustados de manera movil en una capa 5 y estan unidos de forma movil en ella. A tal fin, la capa 5 esta dispuesta entre la incorporacion de medicion 1 y el soporte 3 de tal manera que esta retiene por adhesion la incorporacion de medicion 1 en el soporte 3. En virtud de la tension superficial de la capa 5 se atraen la incorporacion de medicion 1 y el soporte 3 entre sf. La capa 5 tiene varias funciones. Conecta la incorporacion de medicion 1 y el soporte 3 por adhesion entre sf en virtud de las fuerzas de adhesion de la capa 5. La capa 5 compensa, ademas, diferentes dilataciones termicas entre el soporte 3 y las incorporacion de medicion 1, Adicionalmente, la capa 5 se ocupa de que los espaciadores 4 sean retenidos en el intersticio entre la incorporacion de medicion 1 y el soporte 3, puesto que los espaciadores 4 estan incrustados en la capa 5 y el material de la capa es retenido en virtud de la accion capilar en el intersticio entre la incorporacion de medicion 1 y el soporte 3. La capa 5 forma de esta manera una especie de jaula para los espaciadores 4, es decir, la jaula de bolas en espaciadores 4 en forma de bolas. Ademas, la capa 5 tiene la funcion de actuar como agente deslizante para los espaciadores 4, para reducir al mmimo la friccion (friccion deslizante o bien friccion de rodadura) entre los espaciadores 4 y la incorporacion de medicion 1 asf como entre los espaciadores 4 y el soporte 3. Adicionalmente, los espaciadores 4 llevan a cabo un mantenimiento exacto del espesor D de la capa 5 y, por lo tanto, la posibilidad de un ajuste definido de la fuerza de retencion necesaria, por una parte, y la limitacion de la fuerza de empuje necesaria, por otra parte, para posibilitar un desplazamiento condicionado por la temperatura libre de reaccion entre la incorporacion de medicion 1 y el soporte 3.
La capa 5 es con preferencia una pelfcula de lfquido viscoso, en particular un fluido newtoniano de alta viscosidad, por ejemplo una pelfcula de aceite (por ejemplo, aceite de silicona) o tambien un fluido de Bingham. La capa 5 se puede formar tambien a partir de un lfquido viscoelastico, llamado tambien gel.
Valores tfpicos para el espesor de la incorporacion de medicion 1 estan entre 0,5 mm y 15 mm. El espesor D de la capa 5 y, por lo tanto, la altura de los espaciadores 4 va por ejemplo desde 1 mm hasta 500 mm, tfpicamente 50 mm.
Los espaciadores 4 estan constituidos de un material, que resiste las fuerzas de presion que aparecen a ser posible sin deformacion. Un material adecuado es especialmente vidrio, vitroceramica, pero tambien ceramica o metal.
Puede ser ventajoso que los espaciadores 4 esten constituidos de un material con una densidad de al menos aproximadamente el espesor del material de la capa 5. Esto tiene ventajas durante la incorporacion de mezcla de los espaciadores 4 en la capa 5, puesto que se garantiza una distribucion uniforme de los espaciadores 4 en el material de la capa 5. Ademas, se garantiza que no tenga lugar una desmezcla entre los espaciadores 4 y el material de la capa 5, con lo que se garantiza que los espaciadores 4 se encuentren en todas las posiciones de montaje en equilibrio en el material de la capa 5 - es decir, en el intersticio del espesor D-.
Como espaciadores son especialmente adecuados unas bolas o rodillos. El diametro de estas bolas o rodillos corresponde al espesor D de la capa 5. De esta manera, las bolas o bien los rodillos contactan, por una parte, con la incorporacion de medicion 1 sobre su lado inferior, es decir, la superficie de apoyo 12, de forma puntual en cada caso y, por otra parte, contactan con el soporte 3 sobre su superficie 31 de la misma manera de forma puntual. Las
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
bolas o bien los rodillos estan incrustados moviles para rodadura en la capa 5. Las bolas son especialmente adecuadas con espaciadores 4, puesto que estas estan incrustadas de forma bidimensional movil para rodadura en la capa 5.
El segundo ejemplo de realizacion representado en la figura 2 se diferencia con respecto al primer ejemplo de realizacion solamente porque la incorporacion de medicion 1 esta fijada en posicion de forma fija estacionaria adicionalmente en una posicion P (con respecto a la direccion de medicion X) en el soporte 3. En esta posicion P, la incorporacion de medicion 1 esta apoyada de la misma manera por medio de espaciadores 4. Los espaciadores 4 estan fijados en la posicion P a traves de un medio de retencion 6 de forma fija estacionaria, por una parte, en la incorporacion de medicion 1 y, por otra parte, de forma fija estacionaria en el soporte 3. El medio de fijacion 6 es, por ejemplo, un adhesivo endurecido fijamente. El medio de retencion en forma de capas 6 en la posicion P - llamada tambien punto de fijacion - esta separado en este ejemplo de la capa 5 en cada caso por medio de una escotadura 7 en el soporte 3. La escotadura 7 funciona tambien como tope de flujo para el material de la capa 5.
El tercer ejemplo de realizacion representado en la figura 3 se diferente con respecto al primer ejemplo de realizacion solamente porque en la seccion transversal representada se indica una posibilidad para una gma lateral de la incorporacion de medicion 1. La gma lateral esta configurada como gma longitudinal para la incorporacion de medicion 1 y esta constituida por elementos de gma 61 dispuestos lateralmente. Para la gma libre de friccion de la incorporacion de medicion 1, entre las superficies laterales de la incorporacion de medicion 1 y los elementos de gma 61 esta dispuesta en cada caso una pelfcula de lfquido viscoso 62.
El cuarto ejemplo de realizacion representado en la figura 4 se diferencia con respecto al primer ejemplo de realizacion porque en la seccion representada se indica otra posibilidad de una gma lateral de la incorporacion de medicion 1. En este caso, la incorporacion de medicion 1 solo esta guiada longitudinalmente en una de sus dos superficies laterales. Esta gma longitudinal se realiza con los mismos medios que el apoyo de la incorporacion de medicion 1, a saber, por medio de espaciadores 4 - en particular bolas - y la capa 5.
El quinto ejemplo de realizacion representado en la figura 5 se diferencia con respecto al primer ejemplo de realizacion solamente porque se representan varias posibilidades de realizacion de un tope del flujo para el material de la capa 5. De manera similar a la escotadura 7 representada en la figura 2, se puede prever un tope del flujo a traves de una escotadura 8 en el soporte 3, que se extiende en el lateral de la incorporacion de medicion y en la direccion de medicion X. De manera alternativa o adicional, se puede configurar un tope del flujo a traves de recubrimiento parcial de la incorporacion de medicion 1 y/o del soporte con un material que inhibe la humedad 9. La prevision de un recubrimiento que inhibe la humedad se designa como epilamizacion.
Para todas las formas de realizacion se aplica lo siguiente: Para la medicion de la longitud se puede configurar la incorporacion de medicion 1 - como se representa en los ejemplos de realizacion - en forma de barra. Pero la incorporacion de medicion puede estar configurada tambien en forma de cinta o el soporte puede estar configurado como cuerpo estable y resistente a la friccion. El soporte puede estar configurado de manera manipulable junto con la cinta de medicion, estando configurado el soporte en forma de un perfil, que se monta para la medicion de la posicion en un objeto a medir. La incorporacion de medicion puede estar retenida en una ranura de este perfil de acuerdo con la invencion y/o el perfil puede formar una carcasa para una incorporacion de medicion.
Para la medicion de angulos, la incorporacion de medicion puede estar configurada de forma circular o puede estar dispuesta una incorporacion de medicion en forma de cinta en una superficie interior o exterior de un tambor, de manera que el tambor puede formar el soporte de la incorporacion de medicion.
Alternativa o adicionalmente a la division de medicion incrementar 11 se puede prever tambien una codificacion absoluta. Ademas, la division de medicion para la medicion puede estar configurada en dos dimensiones, de manera que tales divisiones de la medicion se designan tambien como rejilla cruzada o rejilla de tablero de ajedrez.
La incorporacion de medicion puede ser tambien una placa de exploracion de la instalacion de medicion de la posicion.
La invencion no esta limitada al principio de exploracion foto electrica. La division de medicion puede estar configurada tambien de manera que se puede explorar de forma magnetica, capacitiva o inductiva.

Claims (10)

  1. 5
    10
    15
    20
    25
    30
    35
    40
    REIVINDICACIONES
    1. - Disposicion con una incorporacion de medicion (1) fijada en un soporte (3), en la que la incorporacion de medicion (1) presenta una division de medicion (11) y se apoya sobre espaciadores (4) en el soporte (3), y se fija de manera desacoplada de tal forma que se compensan diferentes dilataciones termicas entre el soporte (3) y la incorporacion de medicion (1), caracterizada porque entre la incorporacion de medicion (1) y el soporte (3) esta dispuesta una capa (5), que retiene la incorporacion de medicion (1) por adhesion en el soporte (3), y porque los espaciadores (4) estan incrustados moviles en esta capa (5), de manera que la capa (5) es un lfquido viscoso o un lfquido viscoelastico.
  2. 2. - Disposicion de acuerdo con la reivindicacion 1, en la que los espaciadores (4) estan dispuestos distribuidos de forma bidimensional y estan dispuestos opuestos a la division de medicion (11) que puede ser explorada por una unidad de exploracion (2) para la medicion de la posicion.
  3. 3. - Disposicion de acuerdo con una de las reivindicaciones anteriores, en la que el espesor (D) de la capa (5) es 1 mm a 500 mm.
  4. 4. - Disposicion de acuerdo con una de las reivindicaciones anteriores, en la que los espaciadores (4) estan constituidas de vidrio.
  5. 5. - Disposicion de acuerdo con una de las reivindicaciones anteriores 1 a 3, en la que los espaciadores (4) estan constituidos de un material con una densidad al menos aproximadamente igual a la densidad del material de la capa (5).
  6. 6. - Disposicion de acuerdo con una de las reivindicaciones anteriores, en la que los espaciadores (4) en la capa (5) son bolas o rodillos moviles para rodadura.
  7. 7. - Disposicion de acuerdo con la reivindicacion 6, en la que el diametro de las bolas o rodillos es de 1 mm a 500 mm.
  8. 8. - Disposicion de acuerdo con una de las reivindicaciones anteriores, en la que la incorporacion de medicion (1) esta fijada en una posicion (P) fija estacionaria en el soporte (3).
  9. 9. - Disposicion de acuerdo con una de las reivindicaciones anteriores, en la que en el soporte (3) y/o en la incorporacion de medicion (1) esta previsto un tope de flujo (7, 8, 9) para el material de la capa (5).
  10. 10. - Instalacion de medicion de la posicion con una disposicion de acuerdo con una de las reivindicaciones anteriores y con una unidad de exploracion (2) para la exploracion de la division de medicion (11) de la incorporacion de medicion (1).
ES14193790.4T 2014-11-19 2014-11-19 Disposición con una escala de medición fijada en un soporte Active ES2615116T3 (es)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP14193790.4A EP3023742B1 (de) 2014-11-19 2014-11-19 Anordnung mit einer an einem Träger befestigten Maßverkörperung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
ES2615116T3 true ES2615116T3 (es) 2017-06-05

Family

ID=52020936

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
ES14193790.4T Active ES2615116T3 (es) 2014-11-19 2014-11-19 Disposición con una escala de medición fijada en un soporte

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP3023742B1 (es)
JP (1) JP6630113B2 (es)
ES (1) ES2615116T3 (es)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3477263B1 (de) * 2017-10-26 2019-12-11 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Anordnung mit einem an einem träger befestigten massstab
IT201900003817A1 (it) * 2019-03-15 2020-09-15 Parpas S P A Encoder lineare

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3635511A1 (de) 1986-10-18 1988-04-28 Zeiss Carl Fa Halterung fuer mass- und formverkoerperung
JPS63311738A (ja) * 1987-06-12 1988-12-20 Omron Tateisi Electronics Co 試料固定方法
DE3929629A1 (de) 1989-09-06 1991-03-07 Zeiss Carl Fa Laengen- oder winkelmesseinrichtung
JP2683148B2 (ja) * 1990-09-04 1997-11-26 アルプス電気株式会社 透明タツチスイツチ
DE10064734C2 (de) * 2000-12-22 2003-07-31 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Längenmessvorrichtung
GB2411475B (en) * 2004-02-24 2006-10-25 Elliott Ind Ltd Position detecting system
ES2535851T3 (es) * 2005-11-04 2015-05-18 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Procedimiento para la fijación de una escala de medición en un soporte, escala de medición adaptada así como soporte con esta escala de medición
DE102009002142A1 (de) * 2009-04-02 2010-10-07 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Anordnung mit einem an einem Träger befestigten Maßstab und Verfahren zum Halten eines Maßstabs an einem Träger
JP5471267B2 (ja) * 2009-10-07 2014-04-16 トヨタ自動車株式会社 異種材複合体
DE102009047120A1 (de) * 2009-11-25 2011-05-26 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Anordnung mit einem an einem Träger befestigten Maßstab

Also Published As

Publication number Publication date
EP3023742A1 (de) 2016-05-25
JP2016099341A (ja) 2016-05-30
JP6630113B2 (ja) 2020-01-15
EP3023742B1 (de) 2017-01-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5065525A (en) Length or angle measuring device
ES2651674T3 (es) Sensor de dilatación FBG para superficies curvadas
JP6650725B2 (ja) 測長装置
ES2390113T3 (es) Instalación de medición de longitudes
ES2557994T3 (es) Sensor de presión
US8805128B2 (en) Multi-point pressure sensor and uses thereof
ES2613038T3 (es) Disposición con una escala fijada en un soporte
Jäger et al. Nanomeasuring and nanopositioning engineering
ES2593359T3 (es) Dispositivo de medición de longitudes
JP2011081014A (ja) 座標測定機に使用するための測定プローブ
ES2615116T3 (es) Disposición con una escala de medición fijada en un soporte
NO307065B1 (no) Fingeravtrykksensor
ES2682169T3 (es) Unidad de medición para medir el radio de curvatura y el desplazamiento de una pieza de trabajo en una máquina de curvado
CN104482874A (zh) 用于卫星载荷指向相对变形的在轨测量系统
KR20140049038A (ko) 가혹 환경에서 작동하고 통합식 광학 움직임 측정 모듈을 포함하는 변형 측정 센서, 및 상기 센서를 이용하는 측정 시스템
ES2618855T3 (es) Dispositivo de medición de posición con dispositivo para la compensación de errores por dilatación térmica de una regla graduada
CN102388296A (zh) 带有紧固在支架处的量尺的组件和用于将量尺保持在支架处的方法
Bajić et al. Design calibration and characterization of a robust low-cost fiber-optic 2D deflection sensor
US11519763B2 (en) Assembly including a main support, an intermediate support disposed on the main support, and a scale disposed on the intermediate support
FR2909446B1 (fr) Dispositif et procede de mesure des deformations mecaniques d'un profile
ES2920476T3 (es) Dispositivo de detección de fibra óptica que tiene una disposición simétrica de fibra óptica
CN109708596B (zh) 带有在支架处固定的码尺的组件
WO2005022127A3 (de) Vorrichtung zur vermessung eines flächigen elementes
KR100654371B1 (ko) 데오드라이트 시스템의 고정밀 측정방법
KR101178039B1 (ko) 용량형 변위 센서에 의한 거리 측정 장치에 사용되는 보정용 센서 타겟