JP5436499B2 - 粒径検査方法 - Google Patents
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Description
しかし、この方法では、ポリシリコン膜の膜厚が最適粒径およびレーザアニールの最適条件に及ぼす影響を考慮した計測をおこなっておらず、その計測精度が必ずしも十分ではない。
2 被検査物
3 リニアモータ
4、8 コントローラ
5 光源
6 レール
7 ステッピング・モータ
9 ラインセンサカメラ
10 光源用電源
11 画像処理装置
100 マクロ検査装置
Claims (4)
- 非晶質Siをレーザアニールして得られる多結晶Siの粒径を検査する粒径検査方法であって、
基板上に設けられた非晶質Siの所定の膜厚毎に、レーザ密度とレーザアニール後の多結晶Si膜の平均輝度との関係を示す校正マップを準備するステップと、
被検査対象である、基板上の非晶質Si膜をレーザアニールして得られた多結晶Si膜の所定の領域毎に、平均輝度を測定するステップと、
前記多結晶Si膜の所定の領域毎のレーザアニール前の非晶質Si膜の膜厚データを取得するステップと、
前記所定の領域毎の前記平均輝度と膜厚データとを当該膜厚データに対応する前記所定の膜厚の前記校正マップと比較して、当該所定の領域毎の平均輝度を校正するステップと、
前記所定の領域毎の前記校正後の平均輝度を前記被検査対象の全領域に渡って求めて、輝度マップを作成するステップと、
前記輝度マップにおいて領域毎の前記校正後の平均輝度が所定範囲に入るか否かを判定して前記多結晶Si膜の最適粒径範囲を決定するステップと、
を含む粒径検査方法。 - 前記最適粒径範囲を決定するステップは、前記校正後の平均輝度の標準偏差が所定範囲に入るか否かを判定して前記最適粒径範囲を決定することを含む、請求項1の粒径検査方法。
- 前記最適粒径範囲を決定するステップは、前記校正後の平均輝度が所定範囲に入り、かつ当該校正後の平均輝度の標準偏差が所定範囲に入る場合に、前記最適粒径範囲であると決定することを含む、請求項2の粒径検査方法。
- 前記平均輝度を測定するステップは、光源からの光を基板上の前記多結晶Si膜に照射して得られる散乱光をラインセンサで受光する光学系を備えるマクロ検査装置を用いて行われる、請求項1〜3のいずれか1項の粒径検査方法。
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