JP5436426B2 - イッテルビウム添加光ファイバ、ファイバレーザ及びファイバアンプ - Google Patents
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Description
本願は、2008年11月14日に、日本国に出願された特願2008−292013号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
希土類添加光ファイバとしては、例えば、イッテルビウム(Yb)添加光ファイバが知られている。このYb添加光ファイバは、ビーム品質の良い高パワー出力光が得られる。この出力光の発振波長は、既存の高出力レーザの一つであるNd−YAGとほぼ同じ1μm付近である。そのため、溶接、マーキング、切断等の材料加工用途の高出力光源用レーザ媒体としての実用化が期待されている。
ここに示すYb添加光ファイバ110は、シングルクラッドファイバであり、コア111の外周上にクラッド112を設け、このクラッド112の外周上に保護被覆層113を設けたものである。Yb添加光ファイバ110では、導波する光を閉じ込めるために、コア111の屈折率がクラッド112の屈折率よりも高くなっている。コア111の屈折率を高くするためには、通常、ゲルマニウム(Ge)、アルミニウム(Al)、リン(P)等の屈折率上昇ドーパントがコア111に添加される。さらに、コア111には光増幅作用を有するドーパントとして、Ybが添加される。Ybは、通常、コア111中にほぼ均一な濃度分布となるように添加されるが、濃度分布があっても良く、さらにクラッド112の一部に添加されても良い。
このようなYb添加光ファイバに励起光を入射させ、信号光を入射させるか又はファイバブラッググレーティング等を使用してキャビティを組むことで、高パワーの信号光が得られる。
実質的にシングルモード伝播させるための光導波路の条件は、コアの屈折率とコア径(換言すれば、コアの径方向における屈折率分布)、巻き径等の条件によって決定される。この際、コアの屈折率が低いか、又はコア径が小さいことが必要となる。非特許文献1には、シングルモード伝播させるための光導波路の条件についての詳細な開示がある。非特許文献1には、開口数(NA)とコア直径とに関してシングルモード伝搬を満足すべき関係が示されている。例えば、コア直径を20μmとした場合、NAは約0.04以下である必要がある。NAとコアの屈折率とには、近似的に以下の式(1)で表される関係が成立している。
この式(1)によると、コア直径を20μmとした場合、比屈折率差としては、0.035%以下である必要がある。また、コア直径を10μmとした場合でも、比屈折率差としては0.15%以下である必要がある。
一方、光増幅媒体としての性能を考慮すると、増幅用光ファイバが、より高パワーの光を出力できることが望まれる。すなわち、高パワーの光を光ファイバ中に伝播可能なことが、より良い増幅用光ファイバの条件である。しかし、光量が同等な光を、コア径が小さい光ファイバに入射させた場合と、コア径が大きい光ファイバに入射させた場合とで比較すると、前者の方が後者よりも光の伝送断面積(モードフィールド径)が小さいので、コアを伝播する光のパワー密度が高くなる。その結果、光によるコアガラスの損傷や光学的非線形現象を誘発し易い。あるいは、光伝送時の増幅パワーが制限されてしまう。したがって、このような観点からは、コア径が大きい方が望ましい。以上より、コア径を大きくし、かつシングルモード伝播させるためには、コアの屈折率を低くすることが必要となる。
例えば、非特許文献2には、DND(Direct Nanoparticle Deposition)と呼ばれる特殊な製造方法を適用することで、フォトダークニングを抑制することが開示されている。
また、非特許文献3には、光ファイバにアルミニウムを高濃度に添加することによって、フォトダークニングを抑制することが開示されている。
また、非特許文献4には、光ファイバの製造時にリンを高濃度に添加することによって、フォトダークニングを抑制することが開示されている。
また、特許文献1には、光ファイバに水素を添加することで、フォトダークニングを抑制することが開示されている。
特許文献2には、光ファイバのコア中に、希土類元素とゲルマニウムとアルミニウムとリンとを添加することで、コアとクラッドとの屈折率差が小さくなること、および希土類元素の再結晶化が抑制されることが開示されている。
非特許文献3に記載の方法では、フォトダークニングを十分抑制するために、多量のアルミニウムの添加が必要となる。その結果、光ファイバのコアの屈折率が高くなってしまう。ファイバ型光増幅器やファイバレーザに使用される希土類添加光ファイバは、シングルモード伝搬または少数モード伝搬の条件下で使用されることが一般的である。したがって、コアの屈折率が高い場合、相対的にコア径を小さくしなければならない。コア径が小さいことは、光ファイバの有効コア断面積(Aeff)が小さくなることから、伝搬する光のパワー密度が高くなって非線形光学効果が発現しやすい。すなわち、非線形光学効果による波長変換が生じて、所望の出力光が得られないという問題があった。
非特許文献4に記載の方法では、フォトダークニングを十分抑制するために、多量のリンの添加が必要となる。この場合も、非特許文献3に記載の方法と同様に、光ファイバのコアの屈折率が高くなってしまう。このようにコアの屈折率が高い場合、光ファイバをシングルモード動作させるために、コア径を小さくする必要があるが、上記のように、非線形光学効果が発現しやすくなり、所望の出力光が得られなくなってしまうという問題点があった。
特許文献1に記載の方法によれば、フォトダークニングを抑制できるが、水素含浸工程と光照射工程が必要となる。そのため、製造工程が煩雑となり、大量の光ファイバを製造することが困難である。
特許文献2ではフォトダークニングの抑制に関して記載がなく、上記元素らを特許文献2に記載の濃度範囲でコアに添加したのみでは、フォトダークニングを十分に抑制できない虞があるのみならず、コアの屈折率が高くなり光ファイバの有効コア断面積(Aeff)が小さくなって、非線形光学効果による波長変換が生じて、所望の出力光が得られなくなる虞がある。
(1)本発明のイッテルビウム添加光ファイバは、イッテルビウム、アルミニウム及びリンを含有し、かつゲルマニウムを含有しないコアと、このコアを囲むクラッドと、を備え、前記コア中の、前記イッテルビウムの酸化イッテルビウム換算濃度が0.09〜0.68モル%であり、前記コア中の、前記リンの五酸化二リン換算濃度の前記酸化イッテルビウム換算濃度に対するモル比が5.79〜30であり、前記コア中の、前記アルミニウムの酸化アルミニウム換算濃度の前記酸化イッテルビウム換算濃度に対するモル比が7.61〜32であり、前記酸化アルミニウム換算濃度の前記五酸化二リン換算濃度に対するモル比が1〜2.5である。
(2)前記コア及び前記クラッドがシリカガラスで構成されているのが好ましい。
(3)前記酸化アルミニウム換算濃度及び前記五酸化二リン換算濃度が、いずれも8モル%以下であるのが好ましい。
(4)前記コアと前記クラッドとの比屈折率差が0.05〜0.3%であるのが好ましい。
(5)上記(4)の場合、前記コアと前記クラッドとの比屈折率差が0.1〜0.25%であるのが好ましい。
(6)前記コアが、さらにフッ素及び/又はホウ素を含有するのが好ましい。
(7)前記コアが、さらにイッテルビウム以外の希土類元素及び遷移金属元素からなる群から選択される少なくとも一種を含有するのが好ましい。
(8)前記クラッドを少なくとも二層備え、径方向内側のクラッドの屈折率が外側のクラッドの屈折率よりも高いのが好ましい。
(9)前記クラッドを少なくとも三層備え、径方向最内側のクラッドの屈折率nc1と、最外側のクラッドの屈折率nc3と、前記最内側及び前記最外側のクラッド間の中間クラッドの屈折率nc2とが、nc1>nc2>nc3の関係を満たすのが好ましい。
(10)本発明のファイバレーザは、上記(1)に記載のイッテルビウム添加光ファイバを光増幅媒体として有する。
(11)本発明のファイバアンプは、上記(1)に記載のイッテルビウム添加光ファイバを光増幅媒体として有する。
以下で「モル%」の単位で示す添加成分の濃度は、屈折率分布を有する光ファイバにおいては、特に断りのない限り平均値である。
本発明のYb添加光ファイバは、コアと、このコアを囲むクラッドとを備える。前記コアは、少なくともYb、Al及びPを含有する。前記コア中の、Ybの酸化イッテルビウム(Yb2O3)換算濃度(以下、単に「Yb2O3換算濃度」と略記することがある)、Pの五酸化二リン(P2O5)換算濃度(以下、単に「P2O5換算濃度」と略記することがある)及びAlの酸化アルミニウム(Al2O3)換算濃度(以下、単に「Al2O3換算濃度」と略記することがある)が下記条件を満たす。
(A)Yb2O3換算濃度が0.09〜0.68モル%である。
(B)P2O5換算濃度とYb2O3換算濃度とのモル比(P2O5換算濃度(モル%)/Yb2O3換算濃度(モル%))が3〜30である。
(C)Al2O3換算濃度とYb2O3換算濃度とのモル比(Al2O3換算濃度(モル%)/Yb2O3換算濃度(モル%))が3〜32である。
(D)Al2O3換算濃度とP2O5換算濃度とのモル比(Al2O3換算濃度(モル%)/P2O5換算濃度(モル%))が1〜2.5である。
本発明は、コア中のYb2O3換算濃度、P2O5換算濃度及びAl2O3換算濃度を、上記(A)〜(D)の条件を満たすようにそれぞれ所定の範囲に設定することで、フォトダークニングの抑制とガラスの結晶化抑制とを高いレベルで両立でき、しかもより優れた光増幅効果が得られる。
また、上限値以下とすることで、コアの比屈折率差(Δ)を0.3%以下とすることができ、良好な特性を有するYb添加光ファイバが得られる。
同様の理由により、コア中のP2O5換算濃度も、8モル%以下であることが好ましい。
そして、本発明においては、Al2O3換算濃度及びP2O5換算濃度が、いずれも8モル%以下であることが特に好ましい。
本発明において、「コアとクラッドとの比屈折率差」とは、コアの屈折率をn1、クラッドの屈折率をn0とした場合に、式:(n1−n0)/n1×100で算出される値である。
「実質的にシングルモード」であるとは、導波路構造としてはマルチモードであるが、曲げ等によって高次モードを除去するように、実効的にシングルモードであることを指す。
例えば、コアにゲルマニウム(以下、Geと略記することがある)を含有させることで、Yb添加光ファイバにファイバブラッググレーティングを容易に形成できる。
また、フッ素(以下、Fと略記することがある)及びホウ素(以下、Bと略記することがある)のいずれか一方又は双方を含有させることで、コアの屈折率分布の制御が容易になり、所望の光学特性を有する光ファイバが容易に得られる。
また、コアに、イッテルビウム以外の希土類元素及び遷移金属元素からなる群から選択される少なくとも一種を含有させることで、共添加増感作用を発現させたり、励起波長を変化させたり、特定波長で発振させたりすることが可能となる。
前記遷移元素も、公知のものから目的に応じて適宜選択すれば良い。
例えば、Geを含有させる場合には、二酸化ゲルマニウム(GeO2)換算濃度が0.1〜1.1モル%であることが好ましく、0.3〜0.59モル%であることがより好ましい。0.1〜1.1モル%の二酸化ゲルマニウム(GeO2)換算濃度は、コア中のGe濃度0.035〜0.37モル%に相当する。GeO2の添加は、1モル%あたり比屈折率で約0.1%の屈折率の上昇を生じさせる。従って、導波光学的な設計から所望される、ある屈折率を得るためには、同様に屈折率上昇作用を持つ五酸化二リンや酸化アルミニウム、酸化イッテルビウム等のドープ量を相対的に減らす必要がある。本発明では、五酸化二リンと酸化アルミニウムの共添加による屈折率の低下効果を用いているため、酸化アルミニウムを減らす、もしくは酸化イッテルビウムのドープ量を相対的に減らすことで、コアの屈折率を下げる。例えば二酸化ゲルマニウムを2モル%添加すると、コアの比屈折率が約0.2%上昇するので、酸化アルミニウム、酸化イッテルビウムのいずれか1つまたは両方を、比屈折率が約0.2%分減少するように、これらのドープ量を減らして作製する必要がある。酸化アルミニウムを減らすと、ガラスの結晶化により光ファイバの製品製造が不可能になる。また、酸化イッテルビウムを減らすと、光の増幅効果がその分少なくなる。従って、これらの添加量を減らすのは望ましくない。例えば、コアとクラッドとの比屈折率差0.25%の設計でイッテルビウム添加ファイバを作製した場合、上述のように二酸化ゲルマニウムを2モル%添加すると、比屈折率が0.2%減少するように酸化アルミニウムや酸化イッテルビウムのドープ量を減らす必要がある。例えば、酸化アルミニウムの添加量の削減のみで比屈折率を0.2%分減らすとなると、酸化アルミニウム1.4モル%分の削減が必要となる。この場合だと、ガラスの結晶化が発生し、製品を製造できなくなる。また、酸化イッテルビウムの削減のみでは、もともと酸化イッテルビウムの濃度(添加量)が多くないので、比屈折率0.2%の削減はできない。以上から、多量のGeO2の添加は望ましくないことが多い。一方、GeO2の添加量が少ないと、添加の目的を十分に発揮できない。例えば、本ファイバにグレーティングを付与することを考えると、最低限GeO2が0.1モル%は必要であり、0.3モル%以上あるとより好適である。一方で、1.1モル%程度あれば、グレーティングを付与するのに十分であるが、上記多量のGeO2の弊害を勘案すると、0.59モル%以下であるとより好適である。
二酸化ゲルマニウムを0.6モル%添加すると、コアの比屈折率が約0.06%上昇する。したがって、比屈折率が約0.06%分減少するように、酸化アルミニウム、酸化イッテルビウムのいずれか1つまたは複数のドープ量を減らして光ファイバを作製する必要がある。酸化アルミニウムを減らすと、上述したようにガラスの結晶化により製品製造が不可能になる。また、酸化イッテルビウムを減らすと、光の増幅効果がその分少なくなるので、望ましくない。例えば、コアとクラッドとの比屈折率差0.20%の設計でイッテルビウム添加ファイバを作製し、二酸化ゲルマニウムを0.6モル%添加した場合、酸化アルミニウム、酸化イッテルビウムのドープ量を、比屈折率が0.06%分減少するように、これらの添加量を削減する必要がある。例えば、酸化アルミニウムのみで0.06%分減らすことになると、0.4モル%分酸化アルミニウムの削減が必要となる。この場合も、上述したようにガラスの結晶化が発生し製品を製造できなくなる。また、酸化イッテルビウムの削減のみでは、もともと酸化イッテルビウムの濃度(添加量)が多くないので、比屈折率が0.06%減少するようにこの添加量を削減すると、光の増幅効率が低下してしまい、所望の出力が得られなくなる。
なお、二酸化ゲルマニウム、五酸化二リン、酸化アルミニウムを含む組成の光ファイバについては、上記特許文献2に開示があるものの、本発明の効果となるフォトダークニングに関しては開示されておらず、また、特許文献2の実施例には、比屈折率が0.29%以下の組成比に関しての開示がなされていない。従って、特許文献2に記載の内容では、コアの屈折率を十分に下げることができず、コアガラスの損傷や光学的非線形現象を避けることと、シングルモード伝搬の両立とを実現するのが困難である。
以上のことから、グレーティングを付与する等、GeO2を添加する特段の目的が無い場合には、GeO2は極力添加しないことが望ましい。なぜなら、前述の通り、GeO2を添加してもフォトダークニングに特段の影響を与えないにもかかわらず、GeO2の添加により屈折率の上昇を伴ってしまうためである。その結果、実効断面積の拡大に反し、耐パワー性が低くなってしまう。同様に、AlとP以外の、屈折率上昇剤(Ti等)もその元素を添加する効果が特段認められないときには、屈折率上昇元素は極力添加しないことが望ましい。
また、Fを含有させる場合には、0.05〜3モル%であることが好ましく、0.1〜1モル%であることがより好ましい。上記範囲の上限値以下とすることで、コストが低減できる。
また、希土類元素又は遷移金属元素としてツリウム(Tm)を含有させる場合には、酸化ツリウム(Tm2O3)換算濃度が0.01〜1モル%であることが好ましく、0.05〜0.5モル%であることがより好ましい。上記範囲の上限値以下とすることで、濃度消光等の問題を抑制できる。
例えば、ダブルクラッドファイバ又はトリプルクラッドファイバ等、マルチクラッドファイバとすることで、シングルクラッドファイバよりも高出力の光が得られる。マルチクラッドファイバでは、励起光をクラッドに導波させることで、励起光のコアへの集中を抑制できる。そのため、コアガラスの損傷や光学的非線形現象を抑制して、一層高出力のファイバレーザやファイバアンプを作製できる。このような観点からは、ダブルクラッドファイバよりも、励起光の利用効率が高いトリプルクラッドファイバが好ましい。
また、クラッドの形状は特に限定されず、目的に応じて適宜選択すれば良い。例えば、スキューモードを抑制するためには、例えば図5や図7〜11に示すように、径方向断面形状を多角形状、D型状等の非円形状にすることが好ましい。
また、コアの近傍に応力付与部を設けても良い。応力付与部は、例えば、石英ガラスにB2O3等を添加した材料から形成できる。
例えば、導波する光を閉じ込めるためには、コアの屈折率がクラッドの屈折率よりも高いことが好ましい。
また、クラッドを少なくとも二層備えるマルチクラッドファイバの場合には、径方向内側のクラッドの屈折率が、径方向外側のクラッドの屈折率よりも高いことが好ましい。このようにすることで、より高出力の光が得られる。なお、ここで「径方向内側」及び「径方向外側」とは、二層のクラッドの径方向における相対的な位置関係を示すものである。
したがって、「径方向内側のクラッド」及び「径方向外側のクラッド」とは、必ずしもダブルクラッドファイバの二層のクラッドのみを示すものではなく、三層以上のクラッドを備えるマルチクラッドファイバにおける、いずれか二層のクラッドも示すものである。
また、クラッドを少なくとも三層備えるマルチクラッドファイバの場合には、径方向最内側のクラッドの屈折率nc1と、最外側のクラッドの屈折率nc3と、前記最内側及び最外側のクラッド間の中間クラッドの屈折率nc2とが、nc1>nc2>nc3の関係を満たすことが好ましい。このようにすることで、より高出力な光を効率的に得られる。
ここで「中間クラッド」とは、最内側及び最外側のクラッド間に配置されたものであればいずれでも良く、例えば、トリプルクラッドファイバにおける、最内側及び最外側のクラッド間の中間クラッドのみを示すものではない。
例えば、MCVD法、VAD法等でファイバプリフォームを作製し、これを所望の外径となるように紡糸して、その外周上にUV硬化樹脂等で保護被覆層を形成することで製造できる。Ybは、ファイバプリフォーム作製過程において、スートに液浸法で添加する手法や、液滴を噴霧する手法で添加できる。
また、例えば、クラッドの形状を非円形状とする場合には、Yb添加後のファイバプリフォームを所望の形状に外削し、これを紡糸すれば良い。
また、例えば、クラッド中に応力付与部を設ける場合には、Yb添加後のファイバプリフォームにおいて、その中心軸方向(ファイバプリフォームの長手方向)に孔を設け、好ましくはその内表面を研削及び研磨して鏡面化した後、ここにMCVD法等で作製したB2O3−SiO2ガラス製の応力付与部材を挿入し、次いで紡糸すれば良い。
本発明のファイバレーザ又はファイバアンプは、上記本発明のYb添加光ファイバを光増幅媒体として有することを特徴とする。
そして、増幅媒体として上記本発明のYb添加光ファイバを使用すること以外は、公知のファイバレーザ又はファイバアンプと同様の方法で製造できる。
また、このような光ファイバを光増幅媒体として使用することで、経時に伴う出力低下が抑制され、光学特性が良好なファイバレーザ及びファイバアンプを安価に提供できる。
以下の実施例において、Yb添加光ファイバのフォトダークニングによる損失増加量は、以下の方法で評価した。これにより用途や構造が異なる光ファイバでも、相対的に損失増加量を比較できる。
(フォトダークニングによる損失増加量の評価方法)
コアのYb吸収量が340dBとなるような長さのYb添加光ファイバを使用し、そのコアに、波長976nmの励起光を入射光量が400mWとなるように100分間照射した。そして、波長800nmにおける照射前後の損失の差分を「フォトダークニングによる損失増加量」とした。
図1に示す構造のYb添加光ファイバを作製した。図1は、Yb添加光ファイバ1の径方向の断面及び屈折率分布を示す図である。Yb添加光ファイバ1はシングルクラッドファイバであり、コア11の外周上にクラッド12が設けられ、クラッド12の外周上に保護被覆層13が設けられたものである。
得られたYb添加光ファイバのフォトダークニングによる損失増加はほとんど見られず、前記評価方法による損失増加量は、0.01dB以下であった。この時の励起光照射前後での損失量とその差分の波長との関係を図2にグラフとして示す。図2中、波長1000nm付近で損失量のデータにノイズが見られるのは、この波長帯にYbの光吸収帯が存在するためである。
また、得られたYb添加光ファイバを使用して、ファイバアンプを作製し、光出力の経時変化を評価した。その結果、初期出力1.5Wのファイバアンプで100時間経過後の出力低下量は3%以下であった。この出力低下量は、光ファイバの損失増加以外に、温度変化や測定ばらつきに起因するものも含んでいる。そのため、フォトダークニングによる損失増加起因の出力低下は1%以下であると考えられた。
得られたYb添加光ファイバと、その評価結果を表1に示す。
図3に示す構造のYb添加光ファイバを作製した。図3は、Yb添加光ファイバ2の径方向の断面及び屈折率分布を示す図である。Yb添加光ファイバ2はシングルクラッドファイバであり、コア21の外周上にクラッド22が設けられ、クラッド22の外周上に保護被覆層23が設けられたものである。
得られたYb添加光ファイバのフォトダークニングによる損失増加はほとんど見られず、前記評価方法による損失増加量は、0.01dB以下であった。
また、得られたYb添加光ファイバを使用して、ファイバレーザを作製し、光出力の経時変化を評価した。その結果、初期出力3Wのファイバレーザで100時間経過後の出力低下量は3%以下であった。この出力低下量は、光ファイバの損失増加以外に、温度変化や測定ばらつきに起因するものも含んでいる。そのため、フォトダークニングによる損失増加起因の出力低下は1%以下であると考えられた。
得られたYb添加光ファイバと、その評価結果を表1に示す。
図4に示す構造のYb添加光ファイバを作製した。図4は、Yb添加光ファイバ3の径方向の断面及び屈折率分布を示す図である。Yb添加光ファイバ3は、三層構造のコア31を有するシングルクラッドファイバであり、コア31の外周上にクラッド32が設けられ、クラッド32の外周上に保護被覆層33が設けられたものである。そして、コア31は、センタコア31aと、センタコア31aの外周上に設けられたリンググルーヴ31bと、リンググルーヴ31bの外周上に設けられたリングコア31cとからなる。
コアのYb2O3は0.09モル%、P2O5/Yb2O3は22.33、Al2O3/Yb2O3は28.00、Al2O3/P2O5は1.25であった。また、コアの比屈折率差(Δ)は0.07%であった。
また、得られたYb添加光ファイバを使用して、ファイバレーザを作製し、光出力の経時変化を評価した。その結果、初期出力4.5Wのファイバレーザで100時間経過後の出力低下量は4%以下であった。この出力低下量は、光ファイバの損失増加以外に、温度変化や測定ばらつきに起因するものも含んでいる。そのため、フォトダークニングによる損失増加起因の出力低下は2%以下であると考えられた。
得られたYb添加光ファイバと、その評価結果を表1に示す。
図5に示す構造のYb添加光ファイバを作製した。図5は、Yb添加光ファイバ4の径方向の断面及び屈折率分布を示す図である。Yb添加光ファイバ4は、二層構造のクラッド42を有するダブルクラッドファイバであり、コア41の外周上に内側クラッド42aが設けられ、内側クラッド42aの外周上に外側クラッド42bが設けられ、外側クラッド42bの外周上に保護被覆層43が設けられたものである。また、内側クラッド42aの断面形状はD型状である。
得られたYb添加光ファイバのフォトダークニングによる損失増加はほとんど見られず、前記評価方法による損失増加量は、0.01dB以下であった。
また、得られたYb添加光ファイバを使用して、ファイバレーザを作製し、光出力の経時変化を評価した。その結果、初期出力14.8Wのパルス出力ファイバレーザで100時間経過後の出力低下量は1%以下であった。この出力低下量は、光ファイバの損失増加以外に、温度変化や測定ばらつきに起因するものも含んでいる。そのため、フォトダークニングによる損失増加起因の出力低下はほとんどないと考えられた。
得られたYb添加光ファイバと、その評価結果を表1に示す。
図6に示す構造のYb添加光ファイバを作製した。図6は、Yb添加光ファイバ5の径方向の断面及び屈折率分布を示す図である。Yb添加光ファイバ5は、二層構造のクラッド52を有するダブルクラッドファイバであり、コア51の外周上に内側クラッド52aが設けられ、内側クラッド52aの外周上に外側クラッド52bが設けられ、外側クラッド52bの外周上に保護被覆層53が設けられたものである。また、内側クラッド52a中には、コア51に対して対称な位置に一対の応力付与部54,54が設けられている。
得られたYb添加光ファイバのフォトダークニングによる損失増加はほとんど見られず、前記評価方法による損失増加量は、0.01dB以下であった。
また、得られたYb添加光ファイバを使用して、ファイバレーザを作製し、光出力の経時変化を評価した。その結果、初期出力10.8Wのファイバレーザで100時間経過後の出力低下量は4%以下であった。この出力低下量は、光ファイバの損失増加以外に、温度変化や測定ばらつきに起因するものも含んでいる。そのため、フォトダークニングによる損失増加起因の出力低下は2%以下であると考えられた。
得られたYb添加光ファイバと、その評価結果を表1に示す。
図7に示す構造のYb添加光ファイバを作製した。図7は、Yb添加光ファイバ6の径方向の断面及び屈折率分布を示す図である。Yb添加光ファイバ6は、二層構造のクラッド62を有するダブルクラッドファイバであり、コア61の外周上に内側クラッド62aが設けられ、内側クラッド62aの外周上に外側クラッド62bが設けられ、外側クラッド62bの外周上に保護被覆層63が設けられたものである。また、内側クラッド62aの断面形状は正七角形状であり、コア61、内側クラッド62a及び外側クラッド62bは同心状に配置されている。
得られたYb添加光ファイバのフォトダークニングによる損失増加はほとんど見られず、前記評価方法による損失増加量は、0.01dB以下であった。
また、得られたYb添加光ファイバを使用して、ファイバレーザを作製し、光出力の経時変化を評価した。その結果、初期出力122Wのファイバレーザで100時間経過後の出力低下量は6%以下であった。この出力低下量は、光ファイバの損失増加以外に、温度変化や測定ばらつきに起因するものも含んでいる。そのため、フォトダークニングによる損失増加起因の出力低下は3%以下であると考えられた。
得られたYb添加光ファイバと、その評価結果を表1に示す。
図8に示す構造のYb添加光ファイバを作製した。図8は、Yb添加光ファイバ7の径方向の断面及び屈折率分布を示す図である。Yb添加光ファイバ7は、三層構造のクラッド72を有するトリプルクラッドファイバであり、コア71の外周上に最内側クラッド72aが設けられ、最内側クラッド72aの外周上に中間クラッド72bが設けられ、中間クラッド72bの外周上に最外側クラッド72cが設けられ、最外側クラッド72cの外周上に保護被覆層73が設けられたものである。また、中間クラッド72bの断面形状は正八角形状であり、コア71、最内側クラッド72a、中間クラッド72b及び最外側クラッド72cは同心状に配置されている。
得られたYb添加光ファイバのフォトダークニングによる損失増加はほとんど見られず、前記評価方法による損失増加量は、0.01dB以下であった。
また、得られたYb添加光ファイバを使用して、ファイバレーザを作製し、光出力の経時変化を評価した。その結果、初期出力22Wのパルスファイバレーザで100時間経過後の出力低下量は3%以下であった。この出力低下量は、光ファイバの損失増加以外に、温度変化や測定ばらつきに起因するものも含んでいる。そのため、フォトダークニングによる損失増加起因の出力低下は1%以下であると考えられた。
得られたYb添加光ファイバと、その評価結果を表2に示す。
図9に示す構造のYb添加光ファイバを作製した。図9は、Yb添加光ファイバ8の径方向の断面及び屈折率分布を示す図である。Yb添加光ファイバ8は、二層構造のコア81及び三層構造のクラッド82を有するトリプルクラッドファイバである。すなわち、センタコア81aの外周上にリンググルーヴ81bが設けられ、リンググルーヴ81bの外周上に最内側クラッド82aが設けられ、最内側クラッド82aの外周上に中間クラッド82bが設けられ、中間クラッド82bの外周上に最外側クラッド82cが設けられ、最外側クラッド82cの外周上に保護被覆層83が設けられたものである。また、中間クラッド82bの断面形状は正七角形状であり、センタコア81a、リンググルーヴ81b、最内側クラッド82a、中間クラッド82b及び最外側クラッド82cは同心状に配置されている。
得られたYb添加光ファイバのフォトダークニングによる損失増加はほとんど見られず、前記評価方法による損失増加量は、0.01dB以下であった。
また、得られたYb添加光ファイバを使用して、ファイバレーザを作製し、光出力の経時変化を評価した。その結果、初期出力11.3Wのパルスファイバレーザで100時間経過後の出力低下量は1%以下であった。この出力低下量は、光ファイバの損失増加以外に、温度変化や測定ばらつきに起因するものも含んでいる。そのため、フォトダークニングによる損失増加起因の出力低下はほとんどないと考えられた。
エキシマ露光により、本Yb添加光ファイバのコア中にグレーティング構造を作製したところ、波長1064nmの光で、反射率が100%、10%、4%である三種のファイバグレーティングが作製できた。ゆえに、任意の反射率を有するファイバグレーティングを作製できることが確認できた。
得られたYb添加光ファイバと、その評価結果を表2に示す。
図10に示す構造のYb添加光ファイバを作製した。図10は、Yb添加光ファイバ9の径方向の断面及び屈折率分布を示す図である。Yb添加光ファイバ9は、二層構造のクラッド92を有するダブルクラッドファイバであり、コア91の外周上に内側クラッド92aが設けられ、内側クラッド92aの外周上に外側クラッド92bが設けられ、外側クラッド92bの外周上に保護被覆層93が設けられたものである。また、内側クラッド92a中には、コア91に対して対称な位置に一対の応力付与部94,94が設けられている。さらに、内側クラッド92aの断面形状は正八角形状であり、コア91、内側クラッド92a及び外側クラッド92bは同心状に配置されている。
また、励起光を導波するガラスクラッドと光を閉じ込めるポリマークラッドとの屈折率差から得られるクラッドNAは、約0.43であった。
得られたYb添加光ファイバのフォトダークニングによる損失増加はほとんど見られず、前記評価方法による損失増加量は、0.01dB以下であった。
また、得られたYb添加光ファイバを使用して、ファイバレーザを作製し、光出力の経時変化を評価した。その結果、初期出力11.3Wのパルスファイバレーザで100時間経過後の出力低下量は1%以下であった。この出力低下量は、光ファイバの損失増加以外に、温度変化や測定ばらつきに起因するものも含んでいる。そのため、フォトダークニングによる損失増加起因の出力低下はほとんどないと考えられた。
得られたYb添加光ファイバと、その評価結果を表2に示す。
図11に示す構造のYb添加光ファイバを作製した。図11は、Yb添加光ファイバ10の径方向の断面及び屈折率分布を示す図である。Yb添加光ファイバ10は、二層構造のクラッド102を有するダブルクラッドファイバであり、コア101の外周上に内側クラッド102aが設けられ、内側クラッド102aの外周上に外側クラッド102bが設けられ、外側クラッド102bの外周上に保護被覆層103が設けられたものである。また、内側クラッド102aの断面形状は正八角形状であり、コア101、内側クラッド102a及び外側クラッド102bは同心状に配置されている。
得られたYb添加光ファイバのフォトダークニングによる損失増加はほとんど見られず、前記評価方法による損失増加量は、0.01dB以下であった。
また、得られたYb添加光ファイバを使用して、ファイバレーザを作製し、光出力の経時変化を評価した。その結果、初期出力11.3Wのファイバレーザで100時間経過後の出力低下量は1%以下であった。この出力低下量は、光ファイバの損失増加以外に、温度変化や測定ばらつきに起因するものも含んでいる。そのため、フォトダークニングによる損失増加起因の出力低下はほとんどないと考えられた。
エキシマ露光により、本Yb添加光ファイバのコア中にグレーティング構造を作製したところ、波長1064nmの光で、反射率が100%、10%、4%である三種のファイバグレーティングが作製できた。ゆえに、任意の反射率を有するファイバグレーティングを作製できることが確認できた。
得られたYb添加光ファイバと、その評価結果を表2に示す。
コアにAl、P、Yb以外にBを添加したこと、Al、P、Ybの添加量が異なること、断面形状がD型状となるように外削したファイバプリフォームをガラスの断面外接円の直径が約125μmになるまで紡糸したこと以外は、実施例4と同様に、ダブルクラッドファイバを作製した。
コアのYb2O3は0.31モル%、P2O5/Yb2O3は22.29、Al2O3/Yb2O3は25.23、Al2O3/P2O5は1.13、B2O5は0.3モルであった。また、コアの比屈折率差(Δ)は0.22%であった。また、励起光を導波するガラスクラッドと光を閉じ込めるポリマークラッドとの屈折率差から得られるクラッドNAは、約0.46であった。
得られたYb添加光ファイバのフォトダークニングによる損失増加はほとんど見られず、前記評価方法による損失増加量は、0.01dB以下であった。
また、得られたYb添加光ファイバを使用して、ファイバレーザを作製し、光出力の経時変化を評価した。その結果、初期出力20.0Wのパルスファイバレーザで100時間経過後の出力低下量は1%以下であった。この出力低下量は、光ファイバの損失増加以外に、温度変化や測定ばらつきに起因するものも含んでいる。そのため、フォトダークニングによる損失増加起因の出力低下はほとんどないと考えられた。
得られたYb添加光ファイバと、その評価結果を表2に示す。
コアにAl、P、Yb以外にTmを添加しこと、Al、P、Ybの添加量が異なること、断面形状が正八角形状となるように外削したファイバプリフォームをガラスの断面外接円の直径が約250μmになるまで紡糸したこと以外は、実施例7と同様に、トリプルクラッドファイバを作製した。Tmは液浸法で添加した。
コアのYb2O3は0.25モル%、P2O5/Yb2O3は25.80、Al2O3/Yb2O3は27.52、Al2O3/P2O5は1.07、Tm2O3は0.12モルであった。また、コアの比屈折率差(Δ)は0.25%であった。また、励起光を導波するガラスクラッドと光を閉じ込めるポリマークラッドとの屈折率差から得られるクラッドNAは、約0.46であった。
得られたYb添加光ファイバのフォトダークニングによる損失増加はほとんど見られず、前記評価方法による損失増加量は、0.01dB以下であった。
また、得られたYb添加光ファイバを使用して、ファイバレーザを作製し、光出力の経時変化を評価した。その結果、初期出力15Wのパルスファイバレーザで100時間経過後の出力低下量は3%以下であった。この出力低下量は、光ファイバの損失増加以外に、温度変化や測定ばらつきに起因するものも含んでいる。そのため、フォトダークニングによる損失増加起因の出力低下は1%以下であると考えられた。
得られたYb添加光ファイバと、その評価結果を表2に示す。
コアにAl、P、Yb以外にNdを添加しこと、Al、P、Ybの添加量が異なること、断面形状が正七角形状となるように外削したファイバプリフォームをガラスの断面外接円の直径が約250μmになるまで紡糸したこと以外は、実施例8と同様に、トリプルクラッドファイバを作製した。Ndは液浸法で添加した。
コアのYb2O3は0.30モル%、P2O5/Yb2O3は13.67、Al2O3/Yb2O3は16.53、Al2O3/P2O5は1.21、Nd2O3は0.15モルであった。また、コアの比屈折率差(Δ)は0.18%であった。また、励起光を導波するガラスクラッドと光を閉じ込めるポリマークラッドとの屈折率差から得られるクラッドNAは、約0.43であった。
得られたYb添加光ファイバのフォトダークニングによる損失増加はほとんど見られず、前記評価方法による損失増加量は、0.01dB以下であった。
また、得られたYb添加光ファイバを使用して、ファイバレーザを作製し、光出力の経時変化を評価した。その結果、初期出力15.8Wのパルスファイバレーザで100時間経過後の出力低下量は2%以下であった。この出力低下量は、光ファイバの損失増加以外に、温度変化や測定ばらつきに起因するものも含んでいる。そのため、フォトダークニングによる損失増加起因の出力低下は1%以下であると考えられた。
得られたYb添加光ファイバと、その評価結果を表3に示す。
コアにAl、Yb、Geを添加し、Pは添加しなかったこと、Al、Ybの添加量が異なること、ファイバプリフォームをガラス外径が約200μmになるまで紡糸したこと以外は、実施例1と同様に、シングルクラッドファイバを作製した。
コアのYb2O3は0.51モル%、Al2O3/Yb2O3は0.39、Al2O3は0.2モル%、GeO2は0.23モル%であった。すなわち、Al2O3/Yb2O3は本発明の範囲外であった。また、コアの比屈折率差(Δ)は0.27%であった。
得られたYb添加光ファイバは、フォトダークニングによる損失増加が大きく、前記評価方法による損失増加量は、3.8dBであった。
そのため、得られたYb添加光ファイバを使用して、ファイバレーザを作製し、光出力の経時変化を評価した結果、初期出力20Wのパルスファイバレーザで100時間経過後の出力低下量は30%以上であった。
得られたYb添加光ファイバと、その評価結果を表3に示す。
Al、P、Ybの添加量が異なること、断面形状が正七角形状となるように外削したファイバプリフォームをガラスの断面外接円の直径が約300μmになるまで紡糸したこと以外は、実施例6と同様に、ダブルラッドファイバを作製した。
コアのYb2O3は0.27モル%、P2O5/Yb2O3は1.23、Al2O3/Yb2O3は4.95、Al2O3/P2O5は4.01であった。すなわち、P2O5/Yb2O3、Al2O3/P2O5は本発明の範囲外であった。また、コアの比屈折率差(Δ)は0.20%であった。また、励起光を導波するガラスクラッドと光を閉じ込めるポリマークラッドとの屈折率差から得られるクラッドNAは、約0.43であった。
得られたYb添加光ファイバは、フォトダークニングによる損失増加が大きく、前記評価方法による損失増加量は、10.6dBであった。この時の励起光照射前後での損失量とその差分の波長との関係を図12にグラフとして示す。
そのため、得られたYb添加光ファイバを使用して、ファイバレーザを作製し、光出力の経時変化を評価した結果、初期出力12Wのパルスファイバレーザで100時間経過後の出力低下量は50%以上であった。
得られたYb添加光ファイバと、その評価結果を表3に示す。
コアにAl、P、Ybを添加し、ファイバプリフォームをMCVD法で作製した。Ybは液浸法で添加した。その結果、得られたファイバプリフォームは、コアが白くなっており、結晶化が生じていた。このファイバプリフォームを延伸して、コア中の添加成分の濃度を測定した結果、Yb2O3は0.35モル%、P2O5/Yb2O3は6.31、Al2O3/Yb2O3は4.57、Al2O3/P2O5は0.72であった。また、コアの比屈折率差(Δ)は0.17%であった。
得られたYb添加光ファイバと、その評価結果を表3に示す。
Al、P、Ybの添加量が異なること、さらにポリマークラッド材を塗布硬化させてダブルクラッド構造としたこと以外は、実施例2と同様に、ダブルクラッドファイバを作製した。
コアのYb2O3は0.45モル%、P2O5/Yb2O3は30.7、Al2O3/Yb2O3は31.1、Al2O3/P2O5は1.01であった。すなわち、P2O5/Yb2O3は本発明の範囲外であった。また、コアの比屈折率差(Δ)は0.27%であった。また、励起光を導波するガラスクラッドと光を閉じ込めるポリマークラッドとの屈折率差から得られるクラッドNAは、約0.46であった。
得られたYb添加光ファイバは、伝送損失が大きく、約160dB/kmにも及んだ。
そのため、得られたYb添加光ファイバを使用して、ファイバレーザを作製し、光出力を評価したところ、初期出力が6Wまでしか実現できなかった。
得られたYb添加光ファイバと、その評価結果を表4に示す。
Al、P、Ybの添加量が異なること以外は、実施例5と同様に、ダブルクラッドファイバを作製した。
コアのYb2O3は0.22モル%、P2O5/Yb2O3は2.14、Al2O3/Yb2O3は4.91、Al2O3/P2O5は2.30であった。すなわち、P2O5/Yb2O3は本発明の範囲外であった。また、コアの比屈折率差(Δ)は0.30%であった。また、励起光を導波するガラスクラッドと光を閉じ込めるポリマークラッドとの屈折率差から得られるクラッドNAは、約0.44であった。
得られたYb添加光ファイバは、フォトダークニングによる損失増加が大きく、前記評価方法による損失増加量は、1.7dBであった。
そのため、得られたYb添加光ファイバを使用して、ファイバレーザを作製し、光出力の経時変化を評価した結果、初期出力12Wのパルスファイバレーザで100時間経過後の出力低下量は25%以上であった。
得られたYb添加光ファイバと、その評価結果を表4に示す。
Al、P、Ybの添加量が異なること以外は、実施例2と同様に、シングルクラッドファイバを作製した。
コアのYb2O3は0.28モル%、P2O5/Yb2O3は20.29、Al2O3/Yb2O3は38.57、Al2O3/P2O5は1.90であった。すなわち、Al2O3/Yb2O3は本発明の範囲外であった。また、コアの比屈折率差(Δ)は0.55%であった。
得られたYb添加光ファイバの前記評価方法による損失増加量は、約0.01dB以下であった。
得られたYb添加光ファイバを使用して、ファイバレーザを作製し、光出力を評価したところ、比屈折率差(Δ)が大きいことから光ファイバのモードフィールド径が小さくなっている。そのため、誘導ラマン散乱が発生してしまい、初期出力5Wのファイバレーザしか実現できなかった。また、得られたYb添加光ファイバを使用して、ファイバレーザを作製し、光出力の経時変化を評価した結果、初期出力5Wのパルスファイバレーザで100時間経過後の出力低下量は8%以上であった。
得られたYb添加光ファイバと、その評価結果を表4に示す。
コアにAl、P、Ybを添加し、ファイバプリフォームをMCVD法で作製した。Ybは液浸法で添加した。その結果、得られたファイバプリフォームは、コアが白くなっており、結晶化が生じていた。このファイバプリフォームを延伸して、コア中の添加成分の濃度を測定した結果、Yb2O3は0.26モル%、P2O5/Yb2O3は2.88、Al2O3/Yb2O3は2.88、Al2O3/P2O5は1.00であった。
得られたYb添加光ファイバと、その評価結果を表4に示す。
Al、P、Ybの添加量が異なること以外は、実施例6と同様に、ダブルクラッドファイバを作製した。
コアのYb2O3は0.48モル%、P2O5/Yb2O3は9.02、Al2O3/Yb2O3は24.38、Al2O3/P2O5は2.70であった。すなわち、Al2O3/P2O5は本発明の範囲外であった。また、コアの比屈折率差(Δ)は0.85%であった。また、励起光を導波するガラスクラッドと光を閉じ込めるポリマークラッドとの屈折率差から得られるクラッドNAは、約0.46であった。
得られたYb添加光ファイバを使用して、ファイバレーザを作製し、光出力を評価したところ、比屈折率差(Δ)が大きいことから光ファイバのモードフィールド径が小さくなっていた。そのため、誘導ラマン散乱が発生してしまい、初期出力7Wのファイバレーザしか実現できなかった。
得られたYb添加光ファイバと、その評価結果を表4に示す。
図14に示す構造のYb添加光ファイバを作製した。図14は、Yb添加光ファイバ120の径方向の断面及び屈折率分布を示す図である。Yb添加光ファイバ120は、二層構造のクラッド122を有するダブルクラッドファイバであり、コア121の外周上に内側クラッド122aが設けられ、内側クラッド122aの外周上に外側クラッド122bが設けられ、外側クラッド122bの外周上に保護被覆層123が設けられたものである。
断面形状が円形状のファイバプリフォームを用いて内側クラッド122bの直径が約200μmとなるように紡糸したこと、及びAl、P、Ybの添加量が異なること以外は、実施例4と同様にして比較例9のダブルクラッドファイバを作製した。
コアのYb2O3は1.3モル%、GeO2は1.2モル%、P2O5/Yb2O3は3.77、Al2O3/Yb2O3は11.00、Al2O3/P2O5は2.92であった。すなわち、Yb2O3濃度とAl2O3/P2O5は本発明の範囲外であった。また、コアの比屈折率差(Δ)は0.45%であった。得られたYb添加光ファイバを表5に示す。
得られた比較例9のYb添加光ファイバでは、ゲルマニウムとイッテルビウムの添加量が多いため、コアの比屈折率が高くなりすぎ、実効コア断面積を十分に大きくできなかった。
Al、P、Geの添加量が異なること以外は、比較例9と同様に、ダブルクラッドファイバを作製した。
コアのYb2O3は1.3モル%、GeO2は4.5モル%、P2O5/Yb2O3は11.54、Al2O3/Yb2O3は8.31、Al2O3/P2O5は0.72であった。すなわち、Yb2O3濃度とP2O5/Yb2O3は本発明の範囲外であった。また、コアの比屈折率差(Δ)は0.30%であった。得られたYb添加光ファイバを表5に示す。
得られた比較例10のYb添加光ファイバでは、コアにアルミニウムよりもリンが多く添加されているため、コアの結晶化が起こり、伝送損失が100dB/km以上となり、実用できるファイバが得られなかった。
Al、Pの添加量が異なること以外は、比較例10と同様に、ダブルクラッドファイバを作製した。
コアのYb2O3は1.3モル%、GeO2は4.5モル%、P2O5/Yb2O3は23.15、Al2O3/Yb2O3は11.00、Al2O3/P2O5は0.48であった。すなわち、Yb2O3濃度とP2O5/Yb2O3は本発明の範囲外であった。また、コアの比屈折率差(Δ)は0.48%であった。得られたYb添加光ファイバを表5に示す。
得られた比較例11のYb添加光ファイバでは、アルミニウムよりもリンが多く添加されているため、コアの結晶化が起こり、伝送損失が測定不能なほど大きく(1000dB/km以上)なっており、実用できるファイバが得られなかった。また、コアの比屈折率が高くなりすぎ、実効コア断面積を十分に大きくできなかった。
11,21,31,41,51,61,71,81,91,101 コア
12,22,32,42,52,62,72,82,92,102 クラッド
42a,52a,62a,92a,102a 内側クラッド
42b,52b,62b,92b,102b 外側クラッド
72a,82a 最内側クラッド
72b,82b 中間クラッド
72c,82c 最外側クラッド
Claims (11)
- イッテルビウム、アルミニウム及びリンを含有し、かつゲルマニウムを含有しないコアと、このコアを囲むクラッドと、を備え、
前記コア中の、前記イッテルビウムの酸化イッテルビウム換算濃度が0.09〜0.68モル%であり、
前記コア中の、前記リンの五酸化二リン換算濃度の前記酸化イッテルビウム換算濃度に対するモル比が5.79〜30であり、
前記コア中の、前記アルミニウムの酸化アルミニウム換算濃度の前記酸化イッテルビウム換算濃度に対するモル比が7.61〜32であり、
前記酸化アルミニウム換算濃度の前記五酸化二リン換算濃度に対するモル比が1〜2.5である
ことを特徴とするイッテルビウム添加光ファイバ。 - 前記コア及び前記クラッドがシリカガラスで構成されている
ことを特徴とする請求項1に記載のイッテルビウム添加光ファイバ。 - 前記酸化アルミニウム換算濃度及び五酸化二リン換算濃度が、いずれも8モル%以下である
ことを特徴とする請求項1に記載のイッテルビウム添加光ファイバ。 - 前記コアと前記クラッドとの比屈折率差が0.05〜0.3%である
ことを特徴とする請求項1に記載のイッテルビウム添加光ファイバ。 - 前記コアと前記クラッドとの比屈折率差が0.1〜0.25%である
ことを特徴とする請求項4に記載のイッテルビウム添加光ファイバ。 - 前記コアが、さらにフッ素及び/又はホウ素を含有する
ことを特徴とする請求項1に記載のイッテルビウム添加光ファイバ。 - 前記コアが、さらにイッテルビウム以外の希土類元素及び遷移金属元素からなる群から選択される少なくとも一種を含有する
ことを特徴とする請求項1に記載のイッテルビウム添加光ファイバ。 - 前記クラッドを少なくとも二層備え、径方向内側のクラッドの屈折率が外側のクラッドの屈折率よりも高い
ことを特徴とする請求項1に記載のイッテルビウム添加光ファイバ。 - 前記クラッドを少なくとも三層備え、径方向最内側のクラッドの屈折率nc1と、最外側のクラッドの屈折率nc3と、前記最内側及び前記最外側のクラッド間の中間クラッドの屈折率nc2とが、nc1>nc2>nc3の関係を満たす
ことを特徴とする請求項1に記載のイッテルビウム添加光ファイバ。 - 請求項1に記載のイッテルビウム添加光ファイバを光増幅媒体として有することを特徴とするファイバレーザ。
- 請求項1に記載のイッテルビウム添加光ファイバを光増幅媒体として有することを特徴とするファイバアンプ。
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