JP5431179B2 - Circuit board fixing device and circuit board inspection device - Google Patents
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Description
本発明は、回路基板をクランプするクランプ機構を備えて回路基板を固定する回路基板固定装置、およびその回路基板固定装置を備えて回路基板に対する電気的検査を行う回路基板検査装置に関するものである。 The present invention relates to a circuit board fixing device that includes a clamping mechanism that clamps a circuit board and fixes the circuit board, and a circuit board inspection device that includes the circuit board fixing device and performs electrical inspection on the circuit board.
この種の回路基板固定装置クランプ機構として、特開2009−117740号公報において出願人が開示した固定装置(回路基板固定装置)が知られている。この固定装置は、基台本体、一対の梁部材、移動機構および複数のクランプ機構などを備えて構成されている。この場合、各梁部材は、基台本体における第1方向(第1の方向)とその長さ方向とが一致するようにして、第1方向と直交する第2方向(第2の方向)に沿って移動(スライド)可能に基台本体に配設されている。また、移動機構は、各梁部材を互いに接離するように第2方向に沿って移動させる。また、クランプ機構は、本体部、スライド部および回動部を備えて構成され、本体部の先端部と回動部の先端部とによって回路基板の縁部をクランプする。また、クランプ機構は、本体部が梁部材の凹部に嵌め込まれており、本体部に配設された第1エアシリンダが凹部を構成する壁面に向けてロッドを突出および突出解除させることによって第1方向に沿って移動させられる。 As this type of circuit board fixing device clamping mechanism, a fixing device (circuit board fixing device) disclosed by the applicant in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2009-117740 is known. The fixing device includes a base body, a pair of beam members, a moving mechanism, a plurality of clamping mechanisms, and the like. In this case, each beam member is arranged in a second direction (second direction) orthogonal to the first direction so that the first direction (first direction) and the length direction of the base body coincide with each other. It is arranged on the base body so as to be movable (slidable) along. Further, the moving mechanism moves the beam members along the second direction so as to be close to each other. The clamp mechanism is configured to include a main body portion, a slide portion, and a rotation portion, and clamps the edge portion of the circuit board by the front end portion of the main body portion and the front end portion of the rotation portion. In the clamp mechanism, the main body portion is fitted in the concave portion of the beam member, and the first air cylinder disposed in the main body portion projects and releases the rod toward the wall surface forming the concave portion. It is moved along the direction.
このように構成された固定装置では、各クランプ機構によって回路基板の縁部をクランプさせた状態において、各クランプ機構を互いに離反するように第1方向に沿って移動させることで、回路基板を第1方向に沿って引っ張ることができる。このため、この固定装置では、例えば、第2方向に沿った皺などの変形が回路基板に生じているときには、その変形を矯正することが可能となっている。また、各クランプ機構によって回路基板の縁部をクランプさせた状態において、各梁部材を第2方向に沿って移動させることで、回路基板を第2方向に沿って引っ張ることができる。このため、この固定装置では、例えば、第1方向に沿った皺などの変形が回路基板に生じているときには、その変形を矯正することが可能となっている。
ところが、上記の固定装置には、改善すべき以下の課題がある。すなわち、この固定装置では、各クランプ機構を第1方向に沿って移動させることで、回路基板における第2方向に沿った皺などの変形を矯正し、各梁部材を第2方向に沿って移動させることで、回路基板における第1方向に沿った皺などの変形を矯正している。この場合、この固定装置では、各クランプ機構を第1方向に沿って個別に移動させる構造となっているため、第2方向に沿った皺などの変形が部分的に生じているときには、変形が生じている部位をクランプしているクランプ機構を第1方向に沿って移動させることで、その変形を確実に矯正することができる。しかしながら、この固定装置では、梁部材を移動させて梁部材に配設されている各クランプ機構を一度に同じ移動量だけ第2方向に沿って移動させる構造となっている。したがって、この固定装置では、第1方向に沿った皺などの変形が部分的に生じているときには、第2方向に沿った各クランプ機構の移動量を個別に調整することが困難な結果、このような変形を十分に矯正できないことがあり、この点の改善が望まれている。また、図17に示すように、各クランプ機構を一度に同じ移動量だけ第2方向Bに沿って移動させて、回路基板100を第2方向Bに沿って引っ張ったときには、回路基板における第2方向Bに沿った縁部の中央部に弛みが生じることがあり、この点の改善も望まれている。
However, the above fixing device has the following problems to be improved. That is, in this fixing device, each clamp mechanism is moved along the first direction, so that deformations such as wrinkles along the second direction in the circuit board are corrected, and each beam member is moved along the second direction. By doing so, deformation such as wrinkles along the first direction in the circuit board is corrected. In this case, the fixing device has a structure in which each clamp mechanism is individually moved along the first direction. Therefore, when deformation such as wrinkles along the second direction is partially generated, the deformation is not caused. occur a clamping mechanism that clamps the site is by moving in Tsu along the first direction, it is possible to reliably correct the deformation. However, this fixing device has a structure in which the beam members are moved to move the clamp mechanisms disposed on the beam members along the second direction by the same movement amount at a time. Therefore, in this fixing device, when deformation such as wrinkles along the first direction is partially generated, it is difficult to individually adjust the movement amount of each clamp mechanism along the second direction. Such deformation may not be sufficiently corrected, and improvement of this point is desired. In addition, as shown in FIG. 17, when each clamp mechanism is moved along the second direction B by the same amount of movement at a time and the
本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、弛みの発生を防止しつつ回路基板の変形を確実に矯正し得る回路基板固定装置および回路基板検査装置を提供することを主目的とする。 The present invention has been made in view of such a problem, and a main object of the present invention is to provide a circuit board fixing device and a circuit board inspection apparatus that can reliably correct deformation of the circuit board while preventing the occurrence of slack. .
上記目的を達成すべく請求項1記載の回路基板固定装置は、回路基板固定用の基台と、予め決められた第1方向に沿って移動可能に前記基台に配置されて固定対象の回路基板における当該第1方向に沿った縁部をクランプする複数のクランプ機構と、当該クランプ機構を移動させる移動機構とを備えて前記回路基板を固定する回路基板固定装置であって、前記複数のクランプ機構の少なくとも1つは、前記縁部をクランプした状態において、前記第1方向と当該第1方向に直交する第2方向とを合成した合成方向としての回動方向、および当該第1方向に対して傾斜する当該合成方向としての傾斜方向のいずれの方向に沿っても移動可能な合成方向可動クランプ機構で構成され、前記移動機構は、前記合成方向可動クランプ機構を前記合成方向に沿って移動させる。
In order to achieve the above object, a circuit board fixing device according to
また、請求項2記載の回路基板固定装置は、請求項1記載の回路基板固定装置において、前記回路基板における前記第1方向に沿った1つの前記縁部の複数箇所をそれぞれクランプする前記クランプ機構としての複数の第1クランプ機構と、当該各第1クランプ機構に対して一対一で対向するように配置されて前記回路基板における前記1つの縁部に対向する他の1つの縁部の複数箇所をそれぞれクランプする前記クランプ機構としての第2クランプ機構とを備え、互いに対向する前記第1クランプ機構および前記第2クランプ機構の少なくとも一方は、前記合成方向可動クランプ機構で構成されている。
The circuit board fixing device according to
また、請求項3記載の回路基板固定装置は、請求項2記載の回路基板固定装置において、互いに対向する前記第1クランプ機構および前記第2クランプ機構の双方は、前記合成方向可動クランプ機構で構成されている請求項2記載の回路基板固定装置。
According to a third aspect of the present invention, there is provided the circuit board fixing device according to the second aspect, wherein both the first clamp mechanism and the second clamp mechanism that face each other are configured by the composite direction movable clamp mechanism. The circuit board fixing device according to
また、請求項4記載の回路基板固定装置は、請求項2または3記載の回路基板固定装置において、前記基台は、基台本体と、長さ方向が前記第1方向とそれぞれ一致するように前記基台本体に配設された一対の梁部材と、当該各梁部材を互いに接離させる接離機構とを備え、前記第1クランプ機構は、前記一対の梁部材の一方における前記長さ方向に沿って配置され、前記第2クランプ機構は、前記一対の梁部材の他方における前記長さ方向に沿って配置されている。 According to a fourth aspect of the present invention, in the circuit board fixing device according to the second or third aspect, the base has a base body and a length direction that coincides with the first direction. A pair of beam members disposed on the base body, and a contact / separation mechanism for contacting and separating the beam members from each other, wherein the first clamp mechanism is configured to move in the length direction of one of the pair of beam members. The second clamp mechanism is disposed along the length direction of the other of the pair of beam members.
また、請求項5記載の回路基板固定装置は、請求項4記載の回路基板固定装置において、前記各梁部材における前記長さ方向の中央部にそれぞれ固定されて前記回路基板の前記縁部をクランプするセンタークランプ機構を備え、前記一対の梁部材の一方には、2つの前記第1クランプ機構が配置され、当該各第1クランプ機構は、当該梁部材における前記センタークランプ機構を挟んで互いに離間する2つの位置にそれぞれ配置され、前記一対の梁部材の他方には、2つの前記第2クランプ機構が配置され、当該各第2クランプ機構は、当該梁部材における前記センタークランプ機構を挟んで互いに離間する2つの位置にそれぞれ配置されている。
The circuit board fixing device according to
また、請求項6記載の回路基板固定装置は、請求項4または5記載の回路基板固定装置において、前記基台本体に固定されて前記回路基板の前記第2方向に沿った縁部をクランプする補助クランプ機構を備え、前記接離機構は、前記補助クランプ機構が固定された固定位置を中心として前記一対の梁部材を互いに接離させる。
The circuit board fixing device according to claim 6 is the circuit board fixing device according to
また、請求項7記載の回路基板固定装置は、請求項1から6のいずれかに記載の回路基板固定装置において、前記合成方向可動クランプ機構は、前記基台に形成された凹部内に移動可能に収容されて前記回路基板における前記縁部の一面側を支持する本体部と、当該本体部に対して接離するように当該本体部に配設されて前記回路基板における前記縁部の他面側を押圧して当該本体部と共に当該縁部をクランプする押圧部とを備え、前記移動機構は、前記本体部を前記第1方向に沿って押圧する第1押圧部と、前記本体部を前記第2方向に沿って押圧する第2押圧部とを備えて、前記第1押圧部および前記第2押圧部による押圧によって前記合成方向可動クランプ機構を前記合成方向に沿って移動させる。
The circuit board fixing device according to claim 7 is the circuit board fixing device according to any one of
また、請求項8記載の回路基板固定装置は、請求項7記載の回路基板固定装置において、前記本体部は、略矩形の板状に形成され、前記凹部は、当該本体部よりも大形で平面視略矩形に形成され、前記第1押圧部は、前記本体部に形成されて当該本体部における前記第2方向に沿った側面に開口部を有する第1シリンダと、当該第1シリンダ内への空気供給によって前記第1方向に沿って前記第1シリンダ内をスライドする第1ピストンとを備えて、前記第1ピストンのスライドに伴う前記凹部の内周壁に対する押圧によって前記本体部を前記第1方向に沿って押圧し、前記第2押圧部は、前記本体部に形成されて当該本体部における前記第1方向に沿った側面に開口部を有する第2シリンダと、当該第2シリンダ内への空気供給によって前記第2方向に沿って前記第2シリンダ内をスライドする第2ピストンとを備えて、前記第2ピストンのスライドに伴う前記凹部の内周壁に対する押圧によって前記本体部を前記第2方向に沿って押圧する。 The circuit board fixing device according to claim 8 is the circuit board fixing device according to claim 7, wherein the main body portion is formed in a substantially rectangular plate shape, and the concave portion is larger than the main body portion. The first pressing part is formed in a substantially rectangular shape in plan view, and the first pressing part is formed in the main body part and has an opening on a side surface along the second direction in the main body part, and into the first cylinder. And a first piston that slides in the first cylinder along the first direction by supplying air, and the main body portion is moved to the first by pressing against the inner peripheral wall of the recess when the first piston slides. The second pressing portion is formed in the main body portion and has a second cylinder having an opening on a side surface along the first direction in the main body portion, and into the second cylinder. Before by air supply A second piston that slides in the second cylinder along a second direction, and presses the main body along the second direction by pressing against the inner peripheral wall of the recess when the second piston slides. To do.
また、請求項9記載の回路基板検査装置は、請求項1から8のいずれかに記載の回路基板固定装置と、当該回路基板固定装置によって固定されている回路基板に対して検査用プローブを接触させるプロービング装置と、前記検査用プローブを介して入力した電気信号に基づいて前記回路基板に対する電気的検査を実行する検査部とを備えている。 According to a ninth aspect of the present invention, there is provided a circuit board inspection apparatus that contacts the circuit board fixing device according to any one of the first to eighth aspects and a circuit board fixed by the circuit board fixing apparatus. And a probing device for performing an electrical inspection on the circuit board based on an electrical signal input through the inspection probe.
請求項1記載の回路基板固定装置、および請求項9記載の回路基板検査装置では、回路基板における第1方向に沿った縁部をクランプして第1方向に沿って移動可能な複数のクランプ機構の少なくとも1つが、第1方向と第1方向に直交する第2方向とを合成した合成方向に沿って移動可能な合成方向可動クランプ機構で構成され、移動機構がその合成方向可動クランプ機構を合成方向に沿って移動させる。このため、この回路基板固定装置および回路基板検査装置によれば、合成方向可動クランプ機構によってクランプしている回路基板の縁部を第1方向に沿った向きおよび第2方向に沿った向きの双方に向けて個別に引っ張ることができる。したがって、この回路基板固定装置および回路基板検査装置によれば、回路基板における第2方向に沿った皺などの変形が合成方向可動クランプ機構の近傍において部分的に生じているときには、その合成方向可動クランプ機構における合成方向に沿った移動のうちの第1方向に沿った移動成分によって、その変形を個別に矯正することが可能なことに加えて、第1方向に沿った皺などの変形が合成方向可動クランプ機構の近傍において部分的に生じているときにおいても、その合成方向可動クランプ機構における合成方向に沿った移動のうちの第2方向に沿った移動成分によって、その変形を個別に矯正することができる。また、回路基板における第2方向に沿った縁部の中央部に弛みが生じたとしても、第1方向に沿った縁部の端部を合成方向可動クランプ機構でクランプしてその合成方向可動クランプ機構を合成方向に沿って移動させることで、その合成方向可動クランプ機構における合成方向に沿った移動のうちの第2方向に沿った移動成分によってその弛みを確実に矯正することができる。したがって、この回路基板固定装置および回路基板検査装置によれば、弛みの発生を防止しつつ回路基板の変形を確実に矯正することができる。
The circuit board fixing device according to
また、請求項2記載の回路基板固定装置、および請求項9記載の回路基板検査装置では、回路基板における第1方向に沿った1つの縁部の複数箇所をそれぞれクランプする複数の第1クランプ機構と、各第1クランプ機構にそれぞれ対向配置されて回路基板における他の1つの縁部の複数箇所をそれぞれクランプする複数の第2クランプ機構とを備え、互いに対向する第1クランプ機構および第2クランプ機構の少なくとも一方が合成方向可動クランプ機構で構成されている。このため、この回路基板固定装置および回路基板検査装置によれば、回路基板における互いに対向する第1クランプ機構および第2クランプ機構によってクランプされている複数の部位において皺などの変形が部分的に生じている場合においてもそれらの変形を個別に矯正することができる。
Further, in the circuit board fixing device according to
また、請求項3記載の回路基板固定装置、および請求項9記載の回路基板検査装置では、互いに対向する第1クランプ機構および第2クランプ機構の双方が合成方向可動クランプ機構で構成されている。このため、この回路基板固定装置および回路基板検査装置によれば、回路基板における互いに対向する第1クランプ機構および第2クランプ機構によってクランプされている複数の部位において皺などの変形が部分的に生じているときに、その部位を2つのクランプ機構で引っ張ることができるため、これらの変形をより確実に矯正することができる。 In the circuit board fixing device according to the third aspect and the circuit board inspection apparatus according to the ninth aspect, both the first clamp mechanism and the second clamp mechanism that are opposed to each other are constituted by a composite direction movable clamp mechanism. Therefore, according to the circuit board fixing device and the circuit board inspection device, deformations such as wrinkles are partially generated in the plurality of portions clamped by the first clamp mechanism and the second clamp mechanism facing each other on the circuit board. Since the part can be pulled by the two clamping mechanisms at the time, the deformation can be corrected more reliably.
また、請求項4記載の回路基板固定装置、および請求項9記載の回路基板検査装置によれば、接離機構によって互いに接離させられる一対の梁部材を備えて基台を構成し、一方の梁部材における長さ方向に沿って第1クランプ機構を配置し、他方の梁部材における長さ方向に沿って第2クランプ機構を配置したことにより、第1クランプ機構と第2クランプ機構とを同じ移動量で接離させることができるため、例えば、第1方向に沿った皺などの変形が回路基板の両端部の間の全範囲に亘って一様に生じているときには、この変形を均等に引き伸ばして矯正することができる。 Further, according to the circuit board fixing device according to claim 4 and the circuit board inspection device according to claim 9, the base is configured by including a pair of beam members that are brought into and out of contact with each other by the contact and separation mechanism. By arranging the first clamp mechanism along the length direction of the beam member and arranging the second clamp mechanism along the length direction of the other beam member, the first clamp mechanism and the second clamp mechanism are the same. For example, when deformation such as wrinkles along the first direction occurs uniformly over the entire range between both ends of the circuit board, the deformation can be made even. Can be stretched and corrected.
また、請求項5記載の回路基板固定装置、および請求項9記載の回路基板検査装置によれば、各梁部材における長さ方向の中央部に固定されたセンタークランプ機構を挟んで互いに離間した位置にクランプ機構を2つずつ配設したことにより、センタークランプ機構を中心として第1方向に沿ってセンタークランプ機構から離反する方向に各クランプ機構を移動させることで、回路基板を第1方向に沿って均等に引っ張ることができる。このため、例えば、第1方向に沿って湾曲するような変形が回路基板に生じていたとしても、回路基板を十分に平坦な状態に矯正することができる。
Moreover, according to the circuit board fixing device according to
また、請求項6記載の回路基板固定装置、および請求項9記載の回路基板検査装置によれば、回路基板の第2方向に沿った縁部をクランプする補助クランプ機構を備えて、接離機構が、補助クランプ機構の固定位置を中心として互いに接離するように両梁部材の双方を第2方向に沿って移動させることにより、回路基板を第2方向に沿って均等に引っ張ることができる。このため、例えば、第2方向に沿って湾曲するような変形が回路基板に生じていたとしても、回路基板を十分に平坦な状態に矯正することができる。 Further, according to the circuit board fixing device according to claim 6 and the circuit board inspection device according to claim 9, the contact / separation mechanism includes an auxiliary clamp mechanism that clamps an edge portion along the second direction of the circuit board. However, by moving both the beam members along the second direction so as to contact and separate from each other around the fixed position of the auxiliary clamp mechanism, the circuit board can be pulled evenly along the second direction. For this reason, for example, even if the circuit board is deformed so as to bend along the second direction, the circuit board can be corrected to a sufficiently flat state.
また、請求項7記載の回路基板固定装置、および請求項9記載の回路基板検査装置では、梁部材に形成された凹部内に移動可能に収容された本体部を備えて合成方向可動クランプ機構が構成され、本体部を第1方向に沿って押圧する第1押圧部と、本体部を第2方向に沿って押圧する第2押圧部とを備えて移動機構が構成されて、第1押圧部および第2押圧部による本体部の押圧によって合成方向可動クランプ機構が合成方向に沿って移動される。このため、この回路基板固定装置および回路基板検査装置によれば、移動機構を簡易に構成することができる。 In the circuit board fixing device according to claim 7 and the circuit board inspection device according to claim 9, the synthetic direction movable clamp mechanism includes a main body portion movably accommodated in a recess formed in the beam member. The moving mechanism is configured by including a first pressing portion configured to press the main body portion along the first direction and a second pressing portion pressing the main body portion along the second direction, and the first pressing portion. And a synthetic | combination direction movable clamp mechanism is moved along a synthetic | combination direction by the press of the main-body part by a 2nd press part. For this reason, according to this circuit board fixing device and circuit board inspection apparatus, the moving mechanism can be simply configured.
また、請求項8記載の回路基板固定装置、および請求項9記載の回路基板検査装置では、本体部における第2方向に沿った側面に開口部を有して本体部に形成された第1シリンダと、第1シリンダ内への空気供給によって第1方向に沿って第1シリンダ内をスライドする第1ピストンとを備えて第1押圧部が構成され、本体部における第1方向に沿った側面に開口部を有して本体部に形成された第2シリンダと、第2シリンダへの空気供給によって第2方向に沿って第1シリンダ内をスライドする第2ピストンとを備えて第2押圧部が構成されている。つまり、この回路基板固定装置および回路基板検査装置では、第1押圧部および第2押圧部が本体部に内蔵されている。したがって、この回路基板固定装置および回路基板検査装置によれば、第1押圧部および第2押圧部を本体部の外部に配設する構成と比較して、合成方向可動クランプ機構を十分に小形化することができる。 In the circuit board fixing device according to claim 8 and the circuit board inspection device according to claim 9, the first cylinder formed in the main body portion having an opening on a side surface along the second direction in the main body portion. And a first piston that slides in the first cylinder along the first direction by supplying air into the first cylinder, the first pressing portion is configured, and a side surface along the first direction in the main body portion is formed. The second pressing portion includes a second cylinder having an opening and formed in the main body, and a second piston that slides in the first cylinder along the second direction by supplying air to the second cylinder. It is configured. That is, in the circuit board fixing device and the circuit board inspection device, the first pressing portion and the second pressing portion are built in the main body portion. Therefore, according to the circuit board fixing device and the circuit board inspection apparatus, the composite direction movable clamp mechanism can be sufficiently miniaturized as compared with the configuration in which the first pressing portion and the second pressing portion are disposed outside the main body portion. can do.
また、請求項9記載の回路基板検査装置によれば、上記の回路基板固定装置を備えたことにより、回路基板に皺などの変形が生じていたとしても、回路基板固定装置によってその変形を確実に矯正することができるため、回路基板の検査対象体(例えば、導体パターン)に検査用プローブを確実に接触させることができる結果、検査を正確に行うことができる。 Further, according to the circuit board inspection apparatus of the ninth aspect, even if the circuit board fixing device is provided with the circuit board fixing device, the circuit board fixing device reliably deforms the circuit board. Therefore, the inspection probe can be reliably brought into contact with the inspection object (for example, a conductor pattern) of the circuit board, so that the inspection can be performed accurately.
以下、本発明に係る回路基板固定装置および回路基板検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。 Embodiments of a circuit board fixing device and a circuit board inspection apparatus according to the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.
最初に、図1に示す検査装置1の構成について説明する。検査装置1は、回路基板検査装置の一例であって、同図に示すように、固定装置2、プロービング装置3および制御部4を備えて、回路基板100に対する電気的検査を実行可能に構成されている。なお、回路基板100は、一例として、矩形に形成された基板本体と、基板本体の表面に形成された導体パターン(図示せず)とで構成されている。
First, the configuration of the
固定装置2は、回路基板固定装置の一例であって、図2に示すように、基台5、接離機構13、クランプ機構14a〜14d(合成方向可動クランプ機構の一例であって、以下、区別しないときには「クランプ機構14」ともいう)、センタークランプ機構15a,15b(以下、区別しないときには「センタークランプ機構15」ともいう)、補助クランプ機構16a,16b(以下、区別しないときには「補助クランプ機構16」ともいう)、コンプレッサ17(図1参照)および電磁弁18(同図参照)を備えて構成されている。
The fixing
基台5は、図2に示すように、基台本体11および一対の梁部材12a,12b(以下、区別しないときには「梁部材12」ともいう)を備えて構成されている。基台本体11は、同図に示すように、一例として、略長方形の板状に形成されている。また、基台本体11の中央部には、略矩形の開口部11aが形成されている。梁部材12は、図2,3,4に示すように、全体として長尺の板状に形成されている。また、梁部材12には、図3〜図6に示すように、クランプ機構14における後述する本体部41を収容する2つの凹部91、および後述するセンタークランプ機構15の本体部44が嵌め込まれる1つの凹部92が形成されている。凹部91は、図5,6に示すように、開口面積が本体部41よりもやや大形で平面視が略矩形(長方形状)に形成されている。具体的には、凹部91は、図5に示すように、本体部41を収容した状態において、本体部41の側面41a〜41dと凹部91の内周壁91a〜91dとの間にそれぞれ2mm程度の隙間401が生じる大きさに形成されている。なお、図5では、クランプ機構14bにおける後述するスライド部42および回動部43を取り外した状態を図示している。
As shown in FIG. 2, the
また、梁部材12は、図2に示す基台本体11の第1方向Aとその長さ方向とが一致するようにして、基台本体11にスライド可能に配設されている。具体的には、梁部材12aは、同図に示す基台本体11の第2方向B(第1方向Aに直交する方向)に沿って基台本体11における開口部11aの縁部に配設されたレール21a,21b上を移動可能なスライダー22a,22bにその両端部が固定されている。また、梁部材12bは、レール21a,21b上を移動可能なスライダー22c,22dにその両端部が固定されている。
Further, the beam member 12 is slidably disposed on the
接離機構13は、図2に示すように、モータ31、ベルト32a〜32c(以下、区別しないときには「ベルト32」ともいう)、回転軸33およびプーリ34a〜34f(以下、区別しないときには「プーリ34」ともいう)を備えて構成されている。モータ31は、制御部4の制御に従って駆動軸31aを回転させる。ベルト32aは、同図に示すように、モータ31の駆動軸31aに取り付けられているプーリ34aと回転軸33に取り付けられているプーリ34bとの間に架け渡されて、駆動軸31aのトルク(回転力)を回転軸33に伝達する。また、ベルト32b,32cは、タイミングベルト(歯付きベルト)であって、回転軸33に取り付けられているプーリ34cと基台本体11に取り付けられているプーリ34dとの間、および回転軸33に取り付けられているプーリ34eと基台本体11に取り付けられているプーリ34fとの間にそれぞれ架け渡されている。
As shown in FIG. 2, the contact /
また、ベルト32b,32cは、上側(図2における紙面手前側)の所定部位がスライダー22a,22bに形成されているラック(図示せず)に噛合すると共に、下側(同図における紙面奥側)の所定部位がスライダー22c,22dに形成されているラックに噛合している。この構成により、回転軸33が矢印X1の向きに回転したときには、スライダー22a,22bが矢印B1の向きに移動させられると共に、スライダー22c,22dが矢印B2の向きに移動させられる。また、それとは逆に回転軸33が矢印X2の向きに回転したときには、スライダー22a,22bが矢印B2の向きに移動させられると共に、スライダー22c,22dが矢印B1の向きに移動させられる。つまり、接離機構13は、スライダー22a,22bに両端部が固定されている梁部材12a、およびスライダー22c,22dに両端部が固定されている梁部材12bを、レール21a,21bの長さ方向における中央部(後述する補助クランプ機構16a,16bの固定位置)を中心として互いに接離するように第2方向Bに沿って移動させる。
Further, the
クランプ機構14a,14bは、第1クランプ機構に相当し、図2に示すように、梁部材12aにおけるセンタークランプ機構15aを挟んで互いに離間する位置にそれぞれ配置されて、回路基板100における第1方向Aに沿った縁部の一方(例えば、図14に示す縁部102a)をクランプ可能に構成されている。また、クランプ機構14c,14dは、第2クランプ機構に相当し、図2に示すように、梁部材12bにおけるセンタークランプ機構15bを挟んで互いに離間する位置であって、かつ各クランプ機構14a,14bに対して一対一で対向する位置にそれぞれ配置されて、回路基板100における第1方向Aに沿った縁部の他方(例えば、図14に示す縁部102b)をクランプ可能に構成されている。
The
また、クランプ機構14a〜14dは、図7に示すように、本体部41、スライド部42および回動部43を備えてそれぞれ構成されている。なお、クランプ機構14a,14dとクランプ機構14b,14cとでは、これらを構成する各構成要素(特にエアシリンダ51〜53,55やバネ61〜65)が左右対称に配置されている点を除いて同様に構成されている。このため、図5,7および後述する図8〜10,15,16では、各クランプ機構14a〜14dを代表してランプ機構14bを図示して説明する。本体部41は、同図に示すように、平面視が略矩形(長方形状)の板状に形成されている。また、本体部41は、図3〜図5に示すように、梁部材12に形成されている凹部91内にその下側部分(図4参照)が収容されている。また、本体部41は、挿通孔41e,41e(図5参照)に挿通されたねじ402,402(図3参照)によって上下方向(厚み方向)への移動が規制されている。
Moreover, the
この場合、図5に示すように、本体部41が凹部91内に収容された状態では、本体部41の側面41a〜41dと凹部91の内周壁91a〜91dとの間にそれぞれ2mm程度の隙間401が生じている。また、この本体部41では、挿通孔41e,41eの直径が、ねじ402の直径よりも2mm程度大きく形成されている。このため、本体部41は、凹部91内において隙間401の分だけ、第1方向A、第2方向B、および第1方向Aと第2方向Bとを合成した合成方向(具体的には、図15に示す回動方向Fや、図16に示す梁部材12の長さ方向に対して傾斜する傾斜方向G)に沿って梁部材12に対して(つまり、基台5に対して)移動することが可能となっている。
In this case, as shown in FIG. 5, when the
また、本体部41は、固定装置2を用いて回路基板100を固定する際に、回路基板100における縁部の一面101a(図10参照)側をその先端部204(同図における左上側の部分)で支持する。また、本体部41には、図7に示すように、スライド部42を嵌め込み可能な凹部93が形成されている。
Further, when the
また、図5に示すように、本体部41には、シリンダ51,55およびバネ61,64,65が配設されている。エアシリンダ51は、第1押圧部に相当し、第1方向Aに沿って基台本体11の開口部11a(図2参照)の中央部から離反する向き(クランプ機構14a,14cにおいては同図に示す矢印A2の向き、クランプ機構14b,14dにおいては同図に示す矢印A1の向き)に本体部41を押圧する。具体的には、エアシリンダ51は、同図に示すように、シリンダ51aおよびピストン51bを備えている。シリンダ51aは、第1シリンダに相当し、本体部41に形成されて、本体部41における第2方向Bに沿った側面のうちの基台本体11の中央部側に位置する側面(クランプ機構14a,14cにおいては同図に示す側面41a、クランプ機構14b,14dにおいては同図に示す側面41c)に開口部を有する平面視円形の穴で構成されている。この場合、シリンダ51aの形成位置は、上記した側面における基台本体11の中央部側に位置する端部側に規定されている。また、シリンダ51aの底部には、エア供給用の挿通孔51cが形成され、挿通孔51cには、エアカプラ51e(図7参照)が接続されている。
As shown in FIG. 5, the
ピストン51bは、図5に示すように、シリンダ51a内に収容されて、挿通孔51cを介してのシリンダ51a内への空気の供給および供給停止によってシリンダ51a内をスライドする。この場合、シリンダ51aの開口部側へのピストン51bのスライドに伴い、ピストン51bに取り付けられているロッド51dの先端部が、第2方向Bに沿った凹部91の内周壁のうちのシリンダ51aが形成されている本体部41の側面に対向する内周壁(クランプ機構14a,14cにおいては同図に示す内周壁91a、クランプ機構14b,14dにおいては同図に示す内周壁91c)を押圧し、この反力によって本体部41が、第1方向Aに沿って基台本体11の中央部から離反する向きに押圧される。バネ61は、本体部41におけるシリンダ51aが形成された側面とは逆側の側面(クランプ機構14a,14cにおいては同図に示す側面41c、クランプ機構14b,14dにおいては同図に示す側面41a)に形成された平面視円形の穴に収容されて、第1方向Aに沿って基台本体11の中央部側に向かう向き(クランプ機構14a,14cにおいては同図に示す矢印A1の向き、クランプ機構14b,14dにおいては同図に示す矢印A2の向き)に本体部41を押圧する。
As shown in FIG. 5, the
エアシリンダ55は、第2押圧部に相当し、第2方向Bに沿って基台本体11(開口部11a)の中央部から離反する向き(クランプ機構14a,14bにおいては図5に示す矢印B2の向き、クランプ機構14c,14dにおいては同図に示す矢印B1の向き)に本体部41を押圧する。具体的には、エアシリンダ55は、同図に示すように、シリンダ55aおよびピストン55bを備えている。シリンダ55aは、第2シリンダに相当し、本体部41に形成されて、本体部41における第1方向Aに沿った側面のうちの基台本体11の中央部側に位置する側面(クランプ機構14a,14bにおいては同図に示す側面41d、クランプ機構14c,14dにおいては同図に示す側面41b)に開口部を有する平面視円形の穴で構成されている。この場合、シリンダ55aの形成位置は、上記した側面における第1方向Aに沿って基台本体11の中央部から離反する端部側に規定されている。また、シリンダ55aの底部には、エア供給用の挿通孔55cが形成され、挿通孔55cには、エアカプラ55e(図7参照)が接続されている。
The
ピストン55bは、図5に示すように、シリンダ55a内に収容されて、挿通孔55cを介してのシリンダ55a内への空気の供給および供給停止によってシリンダ55a内をスライドする。この場合、シリンダ55aの開口部側へのピストン55bのスライドに伴い、ピストン55bに取り付けられているロッド55dの先端部が、第1方向Aに沿った凹部91の内周壁のうちのシリンダ55aが形成されている本体部41の側面に対向する内周壁(クランプ機構14a,14bにおいては同図に示す内周壁91d、クランプ機構14c,14dにおいては同図に示す内周壁91b)を押圧し、この反力によって本体部41が、第2方向Bに沿って基台本体11の中央部から離反する向きに押圧される。バネ64,65は、本体部41におけるシリンダ55aが形成された側面とは逆側の側面(クランプ機構14a,14bにおいては同図に示す側面41b、クランプ機構14c,14dにおいては同図に示す側面41d)に形成された平面視円形の穴にそれぞれ収容されて、第2方向Bに沿って基台本体11の中央部側に向かう向き(クランプ機構14a,14bにおいては同図に示す矢印B1の向き、クランプ機構14c,14dにおいては同図に示す矢印B2の向き)に本体部41を押圧する。なお、エアシリンダ51,55(つまり、第1押圧部および第2押圧部)によって移動機構19が構成される。
As shown in FIG. 5, the
スライド部42は、図7に示すように、第2方向Bに沿ってスライド可能に本体部41の凹部93に嵌め込まれている(本体部41に配設されている)。また、スライド部42は、一対のエアシリンダ52および一対のバネ62を備えて構成されて、凹部93を構成する本体部41の基端部208側の壁面202に向けて各エアシリンダ52のロッド52aを突出(または突出解除)させことによって第2方向Bに沿ってスライドする。また、スライド部42は、エアシリンダ52にエアが供給されていない状態では、図8示すように、バネ62の弾性力によって本体部41の基端部208側に向けて付勢されている。
As shown in FIG. 7, the
また、スライド部42は、図7に示すように、第1方向Aと平行な回動軸71aを支点(中心)として回動可能に回動部43を支持するヒンジ部71、一対のエアシリンダ53およびバネ63を備えて構成されている。この場合、ヒンジ部71によって支持された回動部43の基端部209側の下面203に向けて各エアシリンダ53のロッド53aを突出(または突出解除)させることにより、本体部41の先端部204と回動部43の先端部205とが接離する方向(同図に示す矢印Cの方向)に回動部43が回動させられる。
Further, as shown in FIG. 7, the
回動部43は、押圧部に相当し、固定装置2を用いて回路基板100を固定する際に、図10に示すように、その先端部205と本体部41の先端部204とが互いに近接する向き(同図に示す矢印C1の向き)に上記したエアシリンダ53によって回動させられることにより、回路基板100における縁部の他面101bをその先端部205で押圧して本体部41の先端部204と共に回路基板100の縁部をクランプする。また、回動部43は、エアシリンダ53にエアが供給されていない状態では、図8に示すように、バネ63の弾性力によって本体部41の先端部204からその先端部205が離間する姿勢に維持されている。
The rotating
センタークランプ機構15は、図4に示すように、本体部44、並びに上記したスライド部42および回動部43を備えて構成されている。本体部44は、エアシリンダ51,55およびバネ61,64,65を備えていない点を除いて、上記した本体部41とほぼ同様に構成されている。また、本体部44は、梁部材12の凹部91に嵌め込まれた状態で梁部材12における長さ方向の中央部に固定されて(第1方向Aおよび第2方向Bへの移動が規制されて)、回路基板100の縁部をクランプする。つまり、センタークランプ機構15は、本体部44が第1方向Aおよび第2方向Bにスライドしない点を除いて、クランプ機構14と同様に構成されている。
As shown in FIG. 4, the center clamp mechanism 15 includes a
各補助クランプ機構16は、図2に示すように、開口部11aを挟んで互いに対向するようにして、開口部11aの縁部における基台本体11の幅方向の中央部(固定位置)に固定されている。また、補助クランプ機構16は、クランプ機構14およびセンタークランプ機構15によってクランプされる回路基板100の縁部を除く他の縁部をクランプ可能に構成されている。具体的には、補助クランプ機構16は、図11に示すように、本体部81、スライド部82および回動部83を備えて構成されている。本体部81は、図13に示すように、固定装置2を用いて回路基板100を固定する際に、回路基板100における縁部の一面101a側をその先端部206で支持する。また、本体部81には、スライド部82を嵌め込み可能な凹部94が形成されている。
As shown in FIG. 2, each
スライド部82は、図11に示すように、第1方向Aに沿ってスライド可能に本体部81の凹部94に嵌め込まれている。また、スライド部82は、同図に示すように、第2方向Bと平行な回動軸を中心として回動部83を回動可能に支持するヒンジ部(図示せず)を備えて構成されている。回動部83は、スライド部82のヒンジ部に取り付けられて、図13に示すように、本体部81の先端部206とその先端部207とが近接する向き(同図に示す矢印E1の向き)に回動させられたときに、回路基板100における縁部の他面101bを先端部207で押圧して本体部81の先端部206と共に回路基板100をクランプする。
As shown in FIG. 11, the
また、補助クランプ機構16は、図11に示すように、エアシリンダ54およびバネ66,67を備えて構成されている。この場合、エアシリンダ54のロッド54aを突出(または突出解除)させることにより、凹部94に配設されたスライド部82が同図に示す第1方向Aに沿って移動させられると共に、スライド部82に配設された回動部83が同図に示す矢印Eの方向に回動させられる。また、エアシリンダ54にエアが供給されていない状態では、同図に示すように、バネ66,67の弾性力により、スライド部82が本体部81の基端部210側に位置して、両先端部207,206が互いに離間する姿勢に回動部83が維持されている。
Further, as shown in FIG. 11, the
コンプレッサ17は、エア(圧縮空気)を供給する。電磁弁18は、図外のエアチューブによってコンプレッサ17、エアシリンダ51のエアカプラ51e(図7参照)、エアシリンダ52のエアカプラ52b(同図参照)、エアシリンダ53のエアカプラ53b(同図参照)、エアシリンダ55のエアカプラ55e(同図参照)およびエアシリンダ54のエアカプラ54b(図11参照)に連結されており、制御部4の制御に従い、エアチューブおよび各エアカプラ51e,52b,53b,54b,55eを介しての各エアシリンダ51〜54に対するコンプレッサ17からのエアの供給および供給停止を行う。
The
プロービング装置3は、図1に示すように、回路基板100の導体パターンに接触させる検査用プローブ301と、制御部4の制御に従って検査用プローブ301を移動させるプロービング機構302とを備えて構成されている。制御部4は、電磁弁18を制御して各エアシリンダ51〜55に対するエアの供給および供給停止を行う。また、制御部4は、プロービング装置3のプロービング機構302を制御することにより、検査用プローブ301を回路基板100の導体パターンに接触させる。さらに、制御部4は、検査部として機能し、検査用プローブ301を介して入力した電気信号Sに基づいて電気的検査を実行する。
As shown in FIG. 1, the probing device 3 includes an
次に、検査装置1を用いて回路基板100を検査する方法について、添付図面を参照して説明する。
Next, a method for inspecting the
まず、図外の操作部を操作して、回路基板100の大きさ等の各種設定値を入力する。次いで、制御部4が、モータ31を制御して、予め規定された回転方向に予め規定された回転数だけ駆動軸31aを回転させる。続いて、駆動軸31aのトルクがベルト32aを介して回転軸33に伝達されて回転軸33が回転し、これに伴ってベルト32b,32cが牽引されて、各スライダー22a〜22dおよび梁部材12a,12bが、回路基板100の大きさに対応する移動量だけ矢印B1または矢印B2の向きに移動させられる。次いで、図14に示すように、各クランプ機構14における本体部41の先端部204、各センタークランプ機構15における本体部44の先端部204a、および各補助クランプ機構16における本体部81の先端部206に、回路基板100における縁部102a〜102d(以下、区別しないときには「縁部102」ともいう)の一面101a(同図における紙面奥側の面)を当接させるようにして載置する。
First, an operation unit (not shown) is operated to input various set values such as the size of the
続いて、操作部を操作して測定を開始させる。この際に、コンプレッサ17が、エアの供給を開始する。次いで、制御部4が、電磁弁18を制御して、クランプ機構14およびセンタークランプ機構15のエアシリンダ52にエアを供給させる。この際に、図9に示すように、各エアシリンダ52のロッド52aが本体部41における基端部208側の壁面202に向けて(クランプ機構14a,14bにおいては図2に示す矢印B1の向きに、クランプ機構14c,14dにおいては同図に示す矢印B2の向きに)突出し、これに伴い、スライド部42が本体部41の先端部204側(クランプ機構14a,14bにおいては同図に示す矢印B2の向き、クランプ機構14c,14dにおいては同図に示す矢印B1の向き)にスライドさせられる。続いて、制御部4は、電磁弁18を制御して、クランプ機構14およびセンタークランプ機構15のエアシリンダ53にエアを供給させる。この際に、図10に示すように、各エアシリンダ53のロッド53aが同図に示す矢印D1の向きに突出して回動部43の基端部209側(同図における右下側の部位)の下面203を押圧し、これに伴って回動部43が同図に示す矢印C1の向きに回動させられる。これにより、回動部43の先端部205が回路基板100の他面101bを押圧する結果、回動部43の先端部205と本体部41(本体部44)の先端部204(先端部204a)とによって回路基板100の縁部がクランプされる。
Subsequently, the operation unit is operated to start measurement. At this time, the
この場合、このクランプ機構14(およびセンタークランプ機構15)では、回動部43の基端部209側の下面203にエアシリンダ53のロッド53aを突出させて直接押圧することによって回動軸71aを支点として回動部43を回動させて回路基板100をクランプしている。このため、エアシリンダ53によって回動部43の基端部209側を強く押圧することで、回動部43の先端部205をその幅方向の全域に亘って十分に強い力でしかも均一に回路基板100に押し当てることができる結果、回路基板100を確実にクランプすることが可能となっている。したがって、このクランプ機構14では、回路基板100をクランプしているクランプ機構14(クランプ機構14が配設されている梁部材12)を、後述するように接離機構13によって第2方向Bに沿って強い力で引っ張ったとしても、回路基板100がクランプ機構14から外れる事態を確実に防止することが可能となっている。
In this case, in the clamp mechanism 14 (and the center clamp mechanism 15), the
続いて、制御部4は、電磁弁18を制御して、各補助クランプ機構16のエアシリンダ54にエアを供給させる。この際に、図12に示すように、補助クランプ機構16aにおけるエアシリンダ54のロッド54aがスライド部82側に向けて突出し、これに伴ってロッド54aの先端部に取り付けられている押圧部材54cが回動部83のベアリング83aを押圧し、これによってスライド部82および回動部83が前方(補助クランプ機構16aにおいては図2に示す第1方向A2の向き、補助クランプ機構16bにおいては同図に示す第1方向A1の向き)に移動させられる。次いで、ロッド54aがさらに突出したときには、図13に示すように、回動部83が同図に示す矢印E1の向きに回動させられる。これにより、回動部83の先端部207が回路基板100の他面101bを押圧する結果、本体部81の先端部206と回動部83の先端部207とによって回路基板100の縁部がクランプされる。
Subsequently, the control unit 4 controls the
続いて、制御部4は、モータ31を制御して、図14に示すように、駆動軸31aを矢印X1の向きに回転させる。この際に、駆動軸31aのトルクがベルト32aを介して回転軸33に伝達されて回転軸33が矢印X1の向きに回転し、これに伴ってベルト32b,32cが牽引されて、各スライダー22a,22bおよび梁部材12aが矢印B1の向きに移動させられると共に、スライダー22c,22dおよび梁部材12bが矢印B2の向きに移動させられる。これにより、回路基板100が矢印B1,B2の向き(外向き)に引っ張られる結果、回路基板100において第1方向Aに沿って皺が生じているときにはその皺が矯正される。
Subsequently, the control unit 4 controls the
次いで、制御部4は、電磁弁18を制御して、各クランプ機構14におけるエアシリンダ51のシリンダ51a、およびエアシリンダ55のシリンダ55aにエアを供給させる。この際に、図15に示すように、シリンダ51a内に収容されているピストン51bがシリンダ51aの開口部側にスライドする。このスライドに伴い、ピストン51bに取り付けられているロッド51dの先端部が、梁部材12の凹部91における第2方向Bに沿った内周壁(クランプ機構14a,14cにおいては同図に示す内周壁91a、クランプ機構14b,14dにおいては同図に示す内周壁91c)を押圧し、この反力により、本体部41が、第1方向Aに沿って基台本体11の中央部から離反する向きに押圧される。
Next, the control unit 4 controls the
また、エアシリンダ55のシリンダ55aに対するエアの供給により、図15に示すように、シリンダ55a内に収容されているピストン55bがシリンダ55aの開口部側にスライドする。このスライドに伴い、ピストン55bに取り付けられているロッド55dの先端部が、梁部材12の凹部91における第1方向Aに沿った内周壁(クランプ機構14a,14bにおいては同図に示す内周壁91d、クランプ機構14c,14dにおいては同図に示す内周壁91b)を押圧し、この反力によって本体部41が、第2方向Bに沿って基台本体11の中央部から離反する向きに押圧される。
Further, by supplying air to the
ここで、この固定装置2では、本体部41と、本体部41が収容されている凹部91との間に隙間401が生じて、本体部41が、第1方向A、第2方向B、および第1方向Aと第2方向Bとを合成した合成方向に沿って基台5に対して移動可能に構成されている。このため、上記したように、第1方向Aに沿って基台本体11の中央部から離反する向きに押圧され、かつ第2方向Bに沿って基台本体11の中央部から離反する向きに押圧された本体部41は、例えば、本体部41におけるエアシリンダ55の配設位置側が基台本体11の中央部から離反する回動方向(第1方向Aおよび第2方向Bを合成した合成方向の一例であって、クランプ機構14a,14dにおいては右回りの回動方向、クランプ機構14b,14cにおいては左回りの回動方向(図15に示す回動方向F))に沿って回動させられたり、または、図16に示すように、傾斜方向G(第1方向Aおよび第2方向Bを合成した合成方向の他の一例)に沿って基台本体11の中央部から離反しつつ移動させられたりする。このため、各クランプ機構14によってクランプされている回路基板100は、第1方向Aに沿った外向きに引っ張られることに加えて、第2方向Bに沿った外向きにも引っ張られる。この結果、回路基板100の第2方向Bに沿って皺が生じているときには、その皺が確実に矯正されることに加えて、上記した接離機構13による引っ張り(梁部材12a,12bの第2方向Bに沿った移動)によってもなお第1方向Aに沿った皺が矯正されていない場合においても、その皺が確実に矯正される。
Here, in the
また、この固定装置2では、各クランプ機構14が、第1方向Aおよび第2方向Bを合成した合成方向に個別に移動可能に構成されているため、回路基板100における第2方向Bに沿った皺などの変形がクランプ機構14の近傍において部分的に生じているときには、そのクランプ機構14における合成方向に沿った移動のうちの第1方向Aに沿った移動成分によって、その変形を個別に矯正することが可能なことに加えて、第1方向Aに沿った皺などの変形がクランプ機構14の近傍において部分的に生じているときにおいても、そのクランプ機構14における合成方向に沿った移動のうちの第2方向Bに沿った移動成分によって、その変形を個別に矯正することが可能となっている。さらに、上記した接離機構13による引っ張りに起因して、回路基板100における第2方向Bに沿った縁部の中央部に弛みが生じたとしても(図17参照)、各クランプ機構14における合成方向に沿った移動のうちの第2方向Bに沿った移動成分によって、その弛みを確実に矯正することが可能となっている。
Further, in the
次いで、制御部4は、プロービング装置3のプロービング機構302を制御することにより、検査用プローブ301を移動させて回路基板100における検査対象の導体パターンに接触させる。この場合、回路基板100に皺などの変形が生じていたとしても、上記したように固定装置2によってその変形が確実に矯正されているため、検査対象の導体パターンに検査用プローブ301が確実に接触される。
Next, the control unit 4 controls the probing
続いて、制御部4は、検査用プローブ301を介して入力した電気信号Sに基づいて電気的検査を実行する。この後、回路基板100についての検査を終了したときには、制御部4は、電磁弁18を制御して、各エアシリンダ51〜55に対するエアの供給を停止する。これにより、クランプ機構14およびセンタークランプ機構15における回動部43の先端部205、並びに補助クランプ機構16における回動部83の先端部207が、バネ63,66の弾性力によって本体部41,44,81の先端部204,205,206から離間する向きにそれぞれ回動させられて、各クランプ機構14,15,16による回路基板100のクランプが解除される。また、バネ61,64,65の弾性力により、本体部41が、上記した回動方向とは逆の回動方向(クランプ機構14a,14dにおいては左回りの回動方向、クランプ機構14b,14cにおいては右回りの回動方向)に回動させられて、初期状態となる。
Subsequently, the control unit 4 performs an electrical inspection based on the electrical signal S input via the
このように、この固定装置2および検査装置1では、回路基板100における第1方向Aに沿った縁部102をクランプして第1方向Aに沿って移動可能な複数のクランプ機構の少なくとも1つが、第1方向Aと第1方向Aに直交する第2方向Bとを合成した合成方向に沿って移動可能な合成方向可動クランプ機構としてのクランプ機構14で構成され、移動機構19がそのクランプ機構14を合成方向に沿って移動させる。このため、この固定装置2および検査装置1によれば、クランプ機構14によってクランプしている回路基板100の縁部102を第1方向Aに沿った向きおよび第2方向Bに沿った向きの双方に向けて個別に引っ張ることができる。したがって、この固定装置2および検査装置1によれば、回路基板100における第2方向Bに沿った皺などの変形がクランプ機構14の近傍において部分的に生じているときには、そのクランプ機構14における合成方向に沿った移動のうちの第1方向Aに沿った移動成分によって、その変形を個別に矯正することが可能なことに加えて、第1方向Aに沿った皺などの変形がクランプ機構14の近傍において部分的に生じているときにおいても、そのクランプ機構14における合成方向に沿った移動のうちの第2方向Bに沿った移動成分によって、その変形を個別に矯正することができる。また、回路基板100における第2方向Bに沿った縁部の中央部に弛みが生じたとしても、第1方向Aに沿った縁部の端部をクランプ機構14でクランプしてクランプ機構14を合成方向に沿って移動させることで、クランプ機構14における合成方向に沿った移動のうちの第2方向Bに沿った移動成分によってその弛みを確実に矯正することができる。したがって、この固定装置2および検査装置1によれば、弛みの発生を防止しつつ回路基板100の変形を確実に矯正することができる。
As described above, in the
また、この固定装置2および検査装置1では、回路基板100における第1方向Aに沿った1つの縁部102aの複数箇所をそれぞれクランプする複数の(例えば2つの)クランプ機構(上記の例ではクランプ機構14a,14b)と、これらのクランプ機構にそれぞれ対向配置されて回路基板100における縁部102aに対向する他の1つの縁部102bの複数箇所をそれぞれクランプする複数のクランプ機構(上記の例ではクランプ機構14c,14d)とを備え、互いに対向するクランプ機構の少なくとも一方(つまり、上記の例ではクランプ機構14a,14b、クランプ機構14a,14d、クランプ機構14b,14c、クランプ機構14c,14d、クランプ機構14a,14b,14c、クランプ機構14a,14b,14d、クランプ機構14a,14c,14d、クランプ機構14b,14c,14dおよびクランプ機構14a,14b,14c,14dのうちのいずれかの組み合わせ)が合成方向可動クランプ機構で構成されている。このため、この固定装置2および検査装置1によれば、回路基板100における互いに対向するクランプ機構によってクランプされている複数の部位において皺などの変形が部分的に生じている場合においてもそれらの変形を個別に矯正することができる。
Further, in the
また、この固定装置2および検査装置1では、互いに対向するクランプ機構(上記の例ではクランプ機構14a,14bおよびクランプ機構14c,14d)の双方が合成方向可動クランプ機構で構成されている。つまり、この固定装置2および検査装置1では、全てのクランプ機構14が合成方向可動クランプ機構で構成されている。このため、この固定装置2および検査装置1によれば、回路基板100における互いに対向するクランプ機構によってクランプされている複数の部位において皺などの変形が部分的に生じているときに、その部位を2つのクランプ機構14で引っ張ることができるため、これらの変形をより確実に矯正することができる。
Further, in the
さらに、この固定装置2および検査装置1によれば、接離機構13によって互いに接離させられる一対の梁部材12を備えて基台5を構成し、一方の梁部材12における長さ方向に沿ってクランプ機構14a,14bを配置し、他方の梁部材12における長さ方向に沿ってクランプ機構14c,14dを配置したことにより、クランプ機構14a,14bとクランプ機構14c,14dとを同じ移動量で接離させることができるため、例えば、第1方向Aに沿った皺などの変形が回路基板100の両端部の間の全範囲に亘って一様に生じているときには、この変形を均等に引き伸ばして矯正することができる。
Furthermore, according to the
さらに、この固定装置2および検査装置1によれば、各梁部材12における長さ方向の中央部に固定されたセンタークランプ機構15を挟んで互いに離間した位置にクランプ機構14を2つずつ配設したことにより、センタークランプ機構15を中心として第1方向Aに沿ってセンタークランプ機構15から離反する方向に各クランプ機構14の本体部41を移動させることで、回路基板100を第1方向Aに沿って均等に引っ張ることができる。このため、例えば、第1方向Aに沿って湾曲するような変形が回路基板100に生じていたとしても、回路基板100を十分に平坦な状態に矯正することができる。
Further, according to the
さらに、この固定装置2および検査装置1によれば、回路基板100の第2方向Bに沿った縁部をクランプする補助クランプ機構16を備えて、接離機構13が、補助クランプ機構16の固定位置を中心として互いに接離するように両梁部材12の双方を第2方向Bに沿って移動させることにより、回路基板100を第2方向Bに沿って均等に引っ張ることができる。このため、例えば、第2方向Bに沿って湾曲するような変形が回路基板100に生じていたとしても、回路基板100を十分に平坦な状態に矯正することができる。
Further, according to the
また、この固定装置2および検査装置1では、梁部材12に形成された凹部91内に移動可能に収容された本体部41を備えてクランプ機構14が構成され、本体部41を第1方向Aに沿って押圧するエアシリンダ51と、本体部41を第2方向Bに沿って押圧するエアシリンダ55とを備えて移動機構19が構成されて、エアシリンダ51,55による本体部41の押圧によってクランプ機構14が合成方向に沿って移動される。このため、この固定装置2および検査装置1によれば、移動機構19を簡易に構成することができる。
Further, in the
また、この固定装置2および検査装置1では、本体部41における第2方向Bに沿った側面に開口部を有して本体部41に形成されたシリンダ51aと、シリンダ51a内への空気供給によって第1方向Aに沿ってシリンダ51a内をスライドするピストン51bとを備えてエアシリンダ51が構成され、本体部41における第1方向Aに沿った側面に開口部を有して本体部41に形成されたシリンダ55aと、シリンダ55aへの空気供給によって第2方向Bに沿ってシリンダ55a内をスライドするピストン55bとを備えてエアシリンダ55が構成されている。つまり、この固定装置2および検査装置1では、エアシリンダ51,55が本体部41に内蔵されている。したがって、この固定装置2および検査装置1によれば、エアシリンダ51,55を本体部41の外部に配設する構成と比較して、クランプ機構14を十分に小形化することができる。
In the
また、この検査装置1によれば、上記の固定装置2を備えたことにより、回路基板100に皺などの変形が生じていたとしても、固定装置2によってその変形を確実に矯正することができるため、検査対象の導体パターンに検査用プローブ301を確実に接触させることができる結果、検査を正確に行うことができる。
Further, according to the
なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、1つのエアシリンダ51と1つのエアシリンダ55とを用いて本体部41を押圧する構成例について上記したが、エアシリンダ51およびエアシリンダ55の数は、1つに限定されず、任意に変更することができる。また、本体部41の内部に形成したシリンダ51a,55aおよびシリンダ51a,55a内に収容したピストン51b,55bを備えてエアシリンダ51,55を構成した例、つまり本体部41にエアシリンダ51,55を内蔵した構成例について上記したが、本体部41とは別体としたエアシリンダ51,55を構成本体部41の外部、(例えば、本体部41の上面)に配設する構成を採用することもできる。また、エアシリンダ51,55に代えて、モータおよびボールねじを備えた機構や、油圧シリンダなどを第1押圧部および第2押圧部として用いることもできる。また、第1押圧部および第2押圧部による本体部41に対する押圧によって本体部41を移動させる構成例について上記したが、モータ等の回転機構によって本体部41を直接回転させて回動方向Fに沿って移動させる構成や、傾斜方向Gに沿った向きに本体部41を押圧して本体部41をその向きに移動させる構成を採用することもできる。
In addition, this invention is not limited to said structure. For example, the configuration example in which the
また、各梁部材12にクランプ機構14を2つずつ配設した構成例について上記したが、梁部材12に配設するクランプ機構14の数は2つに限定されず、3つ以上の任意の数に規定することができる。また、全てのクランプ機構14を合成方向可動クランプ機構で構成した例について上記したが互いに対向する一対のクランプ機構14のうちの少なくとも一方だけを合成方向可動クランプ機構で構成する、具体的には、クランプ機構14a,14b、クランプ機構14a,14d、クランプ機構14b,14c、クランプ機構14c,14d、クランプ機構14a,14b,14c、クランプ機構14a,14b,14d、クランプ機構14a,14c,14d、およびクランプ機構14b,14c,14dのうちのいずれかの組み合わせに係る各クランプ機構14を合成方向可動クランプ機構で構成することができる。また、全てのクランプ機構14のうちの1つだけを合成方向可動クランプ機構で構成することもできる。
In addition, the configuration example in which two
また、接離機構13が、補助クランプ機構16の固定位置を中心として互いに接離するように両梁部材12の双方を第2方向に沿って移動させる構成例について上記したが、両梁部材12のいずれか一方だけを移動させる構成を採用することもできる。また、補助クランプ機構16を備えた構成例について上記したが、補助クランプ機構16を備えていない構成を採用することができる。
In addition, the configuration example in which the contact /
1 検査装置
2 固定装置
3 プロービング装置
4 制御部
5 基台
12a,12b 梁部材
13 接離機構
14a〜14d クランプ機構
15a,15b センタークランプ機構
16a,16b 補助クランプ機構
19 移動機構
41 本体部
41a〜41d 側面
42 スライド部
43 回動部
51,55 エアシリンダ
51a,55a シリンダ
51b,55b ピストン
91 凹部
91a〜91d 内周壁
100 回路基板
101a 一面
101b 他面
102a〜102d 縁部
301 検査用プローブ
A 第1方向
B 第2方向
F 回動方向
G 傾斜方向
DESCRIPTION OF
Claims (9)
前記複数のクランプ機構の少なくとも1つは、前記縁部をクランプした状態において、前記第1方向と当該第1方向に直交する第2方向とを合成した合成方向としての回動方向、および当該第1方向に対して傾斜する当該合成方向としての傾斜方向のいずれの方向に沿っても移動可能な合成方向可動クランプ機構で構成され、
前記移動機構は、前記合成方向可動クランプ機構を前記合成方向に沿って移動させる回路基板固定装置。 A base for fixing a circuit board, and a plurality of clamps arranged on the base so as to be movable along a predetermined first direction and clamping edges along the first direction of the circuit board to be fixed A circuit board fixing device including a mechanism and a moving mechanism for moving the clamp mechanism to fix the circuit board,
At least one of the plurality of clamping mechanisms includes a rotation direction as a combined direction obtained by combining the first direction and a second direction orthogonal to the first direction in a state where the edge portion is clamped, and the first direction even along any direction in the tilting direction as the synthetic direction inclined with respect to one direction consists of a movable synthetic direction movable clamping mechanism,
The circuit board fixing device, wherein the moving mechanism moves the combining direction movable clamp mechanism along the combining direction.
互いに対向する前記第1クランプ機構および前記第2クランプ機構の少なくとも一方は、前記合成方向可動クランプ機構で構成されている請求項1記載の回路基板固定装置。 A plurality of first clamping mechanisms as the clamping mechanisms that respectively clamp a plurality of portions of the one edge portion along the first direction in the circuit board, and one-to-one facing the first clamping mechanisms. A second clamping mechanism as the clamping mechanism, each of which is arranged in such a manner as to clamp each of a plurality of locations of the other one edge facing the one edge in the circuit board,
The circuit board fixing device according to claim 1, wherein at least one of the first clamp mechanism and the second clamp mechanism facing each other is configured by the composite direction movable clamp mechanism.
前記第1クランプ機構は、前記一対の梁部材の一方における前記長さ方向に沿って配置され、
前記第2クランプ機構は、前記一対の梁部材の他方における前記長さ方向に沿って配置されている請求項2または3記載の回路基板固定装置。 The base includes a base body, a pair of beam members disposed on the base body so that a length direction thereof coincides with the first direction, and a contact / separation for bringing the beam members into and out of contact with each other. With a mechanism,
The first clamp mechanism is disposed along the length direction in one of the pair of beam members,
The circuit board fixing device according to claim 2, wherein the second clamp mechanism is disposed along the length direction of the other of the pair of beam members.
前記一対の梁部材の一方には、2つの前記第1クランプ機構が配置され、当該各第1クランプ機構は、当該梁部材における前記センタークランプ機構を挟んで互いに離間する2つの位置にそれぞれ配置され、
前記一対の梁部材の他方には、2つの前記第2クランプ機構が配置され、当該各第2クランプ機構は、当該梁部材における前記センタークランプ機構を挟んで互いに離間する2つの位置にそれぞれ配置されている請求項4記載の回路基板固定装置。 A center clamp mechanism that clamps the edge of the circuit board by being fixed to the central portion in the length direction of each beam member;
Two of the first clamp mechanisms are disposed on one of the pair of beam members, and each of the first clamp mechanisms is disposed at two positions spaced apart from each other across the center clamp mechanism of the beam member. ,
Two of the second clamp mechanisms are disposed on the other of the pair of beam members, and each of the second clamp mechanisms is disposed at two positions separated from each other across the center clamp mechanism of the beam member. The circuit board fixing device according to claim 4.
前記接離機構は、前記補助クランプ機構が固定された固定位置を中心として前記一対の梁部材を互いに接離させる請求項4または5記載の回路基板固定装置。 An auxiliary clamp mechanism that is fixed to the base body and clamps an edge of the circuit board along the second direction;
6. The circuit board fixing device according to claim 4, wherein the contact / separation mechanism contacts and separates the pair of beam members from each other around a fixed position where the auxiliary clamp mechanism is fixed.
前記移動機構は、前記本体部を前記第1方向に沿って押圧する第1押圧部と、前記本体部を前記第2方向に沿って押圧する第2押圧部とを備えて、前記第1押圧部および前記第2押圧部による押圧によって前記合成方向可動クランプ機構を前記合成方向に沿って移動させる請求項1から6のいずれかに記載の回路基板固定装置。 The composite direction movable clamp mechanism is movably accommodated in a recess formed in the base, and is in contact with and separated from the main body portion supporting the one surface side of the edge portion of the circuit board. A pressing portion disposed on the main body portion and pressing the other surface side of the edge portion of the circuit board to clamp the edge portion together with the main body portion,
The moving mechanism includes a first pressing portion that presses the main body portion along the first direction, and a second pressing portion that presses the main body portion along the second direction. The circuit board fixing device according to claim 1, wherein the combined direction movable clamp mechanism is moved along the combined direction by pressing by a second portion and the second pressing portion.
前記凹部は、当該本体部よりも大形で平面視略矩形に形成され、
前記第1押圧部は、前記本体部に形成されて当該本体部における前記第2方向に沿った側面に開口部を有する第1シリンダと、当該第1シリンダ内への空気供給によって前記第1方向に沿って前記第1シリンダ内をスライドする第1ピストンとを備えて、前記第1ピストンのスライドに伴う前記凹部の内周壁に対する押圧によって前記本体部を前記第1方向に沿って押圧し、
前記第2押圧部は、前記本体部に形成されて当該本体部における前記第1方向に沿った側面に開口部を有する第2シリンダと、当該第2シリンダ内への空気供給によって前記第2方向に沿って前記第2シリンダ内をスライドする第2ピストンとを備えて、前記第2ピストンのスライドに伴う前記凹部の内周壁に対する押圧によって前記本体部を前記第2方向に沿って押圧する請求項7記載の回路基板固定装置。 The main body is formed in a substantially rectangular plate shape,
The concave portion is larger than the main body portion and formed in a substantially rectangular shape in plan view.
The first pressing portion is formed in the main body portion and has a first cylinder having an opening on a side surface along the second direction in the main body portion, and the first direction by supplying air into the first cylinder. A first piston that slides in the first cylinder along the first cylinder, and presses the main body portion along the first direction by pressing against the inner peripheral wall of the recess accompanying the sliding of the first piston,
The second pressing portion is formed in the main body portion and has a second cylinder having an opening on a side surface along the first direction in the main body portion, and the second direction by supplying air into the second cylinder. And a second piston that slides in the second cylinder along the second piston, and presses the main body along the second direction by pressing against the inner peripheral wall of the recess accompanying the sliding of the second piston. 8. The circuit board fixing device according to 7.
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