KR102483954B1

KR102483954B1 - Clamping apparatus

Info

Publication number: KR102483954B1
Application number: KR1020160003680A
Authority: KR
Inventors: 한정원; 김명규
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사
Priority date: 2016-01-12
Filing date: 2016-01-12
Publication date: 2023-01-03
Also published as: KR20170084739A

Abstract

본 발명은 클램핑 장치를 개시한다. 본 발명은, 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트에 고정되도록 설치되는 구동부와, 상기 구동부에 연결되어 상기 구동부의 작동 시 상기 베이스 플레이트에 선형 운동 가능하도록 설치되는 이동블럭과, 상기 이동블럭과 접촉하여 상기 이동블럭의 운동에 따라 상기 베이스 플레이트의 길이 방향과 수직한 방향으로 운동하는 클램핑부를 포함한다. The present invention discloses a clamping device. In the present invention, a base plate, a driving unit installed to be fixed to the base plate, a moving block connected to the driving unit and installed to enable linear movement on the base plate when the driving unit operates, and contacting the moving block to A clamping part that moves in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the base plate according to the motion of the moving block is included.

Description

Clamping apparatus {Clamping apparatus}

본 발명의 실시예들은 장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 클램핑 장치에 관한 것이다. Embodiments of the present invention relate to devices, and more particularly to clamping devices.

이동성을 기반으로 하는 전자 기기가 폭넓게 사용되고 있다. 이동용 전자 기기로는 모바일 폰과 같은 소형 전자 기기 이외에도 최근 들어 태블릿 PC가 널리 사용되고 있다.Electronic devices based on mobility are widely used. As a mobile electronic device, a tablet PC has recently been widely used in addition to a small electronic device such as a mobile phone.

이와 같은 이동형 전자 기기는 다양한 기능을 지원하기 위하여, 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 표시부를 포함한다. 최근, 표시부를 구동하기 위한 기타 부품들이 소형화됨에 따라, 표시부가 전자 기기에서 차지하는 비중이 점차 증가하고 있는 추세이며, 평평한 상태에서 소정의 각도를 갖도록 구부릴 수 있는 구조도 개발되고 있다.Such a mobile electronic device includes a display unit to provide visual information such as images or videos to users in order to support various functions. Recently, as other components for driving the display have been miniaturized, the proportion of the display in electronic devices has gradually increased, and a structure capable of being bent to have a predetermined angle in a flat state has also been developed.

종래의 클램핑 장치는 회전 운동을 통하여 마스크 시트를 파지함으로써 마스크 시트의 변형 또는 마스크 시트의 파손 등을 유발할 수 있어 본 발명의 실시예들은 수직 운동을 통하여 마스크 시트를 파지하는 클램핑 장치를 제공한다. Conventional clamping devices may cause deformation of the mask sheet or breakage of the mask sheet by gripping the mask sheet through a rotational motion. Embodiments of the present invention provide a clamping device that grips the mask sheet through a vertical motion.

본 발명의 일 실시예는 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트에 고정되도록 설치되는 구동부와, 상기 구동부에 연결되어 상기 구동부의 작동 시 상기 베이스 플레이트에 선형 운동 가능하도록 설치되는 이동블럭과, 상기 이동블럭과 접촉하여 상기 이동블럭의 운동에 따라 상기 베이스 플레이트의 길이 방향과 수직인 방향으로 운동하는 클램핑부를 포함하는 클램핑 장치를 제공한다.An embodiment of the present invention is a base plate, a driving unit installed to be fixed to the base plate, a moving block connected to the driving unit and installed to enable linear movement on the base plate when the driving unit operates, and the moving block It provides a clamping device including a clamping unit that moves in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the base plate according to the movement of the moving block in contact with it.

본 실시예에 있어서, 상기 베이스 플레이트에 배치되며, 상기 클램핑부의 선형 운동을 가이드하는 가이드부를 더 포함할 수 있다. In this embodiment, it is disposed on the base plate, may further include a guide portion for guiding the linear motion of the clamping portion.

본 실시예에 있어서, 상기 이동블럭은, 상기 구동부에 연결되어 상기 베이스 플레이트를 선형 운동하는 동력전달블럭과, 상기 동력전달블럭에 회동 가능하도록 연결되는 슬라이더를 포함할 수 있다. In this embodiment, the movable block may include a power transmission block connected to the driving unit to linearly move the base plate, and a slider rotatably connected to the power transmission block.

본 실시예에 있어서, 상기 이동블럭은, 상기 동력전달블럭과 상기 슬라이더 사이에 배치되는 댐퍼를 더 포함할 수 있다. In this embodiment, the moving block may further include a damper disposed between the power transmission block and the slider.

본 실시예에 있어서, 상기 이동블럭과 상기 클램핑부가 서로 접촉하는 상기 이동블럭의 접촉면과 상기 클램핑부의 접촉면은 경사지게 형성될 수 있다. In this embodiment, the contact surface of the moving block and the clamping part contacting each other and the contact surface of the clamping part may be formed to be inclined.

본 실시예에 있어서, 상기 이동블럭과 상기 클램핑부 중 하나는 상기 이동블럭과 상기 클램핑부 중 다른 하나 측으로 돌출되는 돌기부를 포함하고, 상기 이동블럭과 상기 클램핑부 중 다른 하나는 상기 돌기부가 삽입되어 슬라이딩하는 돌기삽입부를 포함할 수 있다. In this embodiment, one of the moving block and the clamping part includes a protrusion protruding toward the other one of the moving block and the clamping part, and the other one of the moving block and the clamping part has the protrusion inserted It may include a sliding protrusion insert.

본 실시예에 있어서, 상기 돌기부의 두께는 높이방향으로 상이할 수 있다. In this embodiment, the thickness of the protrusion may be different in the height direction.

본 실시예에 있어서, 상기 클램핑부는, 상기 이동블럭과 접촉하는 클램핑헤드와, 상기 클램핑헤드에 설치되는 클램핑블럭을 포함할 수 있다. In this embodiment, the clamping part may include a clamping head contacting the moving block and a clamping block installed on the clamping head.

본 실시예에 있어서, 상기 클램핑헤드의 일부와 대향하도록 상기 베이스 플레이트에 설치되는 안착블럭을 더 포함할 수 있다. In this embodiment, a mounting block installed on the base plate to face a part of the clamping head may be further included.

본 실시예에 있어서, 상기 베이스플레이트와 상기 클램핑부 사이에 배치되는 탄성부를 포함할 수 있다. In this embodiment, an elastic part disposed between the base plate and the clamping part may be included.

본 실시예에 있어서, 상기 베이스 플레이트와 연결되어 상기 베이스 플레이트를 선형 운동시키는 제1 선형구동부를 더 포함할 수 있다. In this embodiment, a first linear driving unit connected to the base plate and linearly moving the base plate may be further included.

본 실시예에 있어서, 상기 제1 선형구동부는, 상기 베이스 플레이트와 연결되는 센서부와, 상기 센서부와 연결되는 연결부와, 상기 연결부와 연결되어 상기 연결부를 가력하는 선형가력부를 포함할 수 있다. In this embodiment, the first linear driving unit may include a sensor unit connected to the base plate, a connection unit connected to the sensor unit, and a linear force unit connected to the connection unit to apply pressure to the connection unit.

본 실시예에 있어서, 상기 제1 선형구동부가 연결되는 지지프레임과, 상기 베이스 플레이트를 상기 지지프레임과 슬라이딩 가능하도록 연결하는 제1 슬라이딩가이드부를 더 포함할 수 있다. In this embodiment, a support frame to which the first linear drive unit is connected, and a first sliding guide unit that connects the base plate to the support frame so as to be slidable may further include.

본 실시예에 있어서, 고정프레임과, 상기 고정프레임에 설치되며, 상기 지지프레임과 연결되어 상기 지지프레임을 이동시키는 제2 선형구동부와, 상기 지지프레임을 상기 고정프레임에 슬라이딩 가능하도록 연결하는 제2 슬라이딩가이드부를 더 포함할 수 있다. In this embodiment, a fixed frame, a second linear actuator installed on the fixed frame and connected to the support frame to move the support frame, and a second linear drive unit that connects the support frame to the fixed frame so as to be slidable. It may further include a sliding guide portion.

전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다. Other aspects, features and advantages other than those described above will become apparent from the following drawings, claims and detailed description of the invention.

이러한 일반적이고 구체적인 측면이 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램, 또는 어떠한 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램의 조합을 사용하여 실시될 수 있다.These general and specific aspects may be practiced using a system, method, computer program, or any combination of systems, methods, or computer programs.

본 발명의 실시예들은 마스크 시트의 파지 시 면접촉함으로써 마스크 시트의 변형을 최소화할 수 있다. 본 발명의 실시예들은 마스크 시트의 변형을 최소화한 상태에서 마스크 프레임에 용접하여 고정하는 것이 가능함으로써 정밀한 패턴 증착에 필요한 마스크 조립체의 제조가 가능하다. Embodiments of the present invention can minimize the deformation of the mask sheet by surface contact when gripping the mask sheet. In embodiments of the present invention, it is possible to manufacture a mask assembly required for precise pattern deposition by welding and fixing the mask sheet to a mask frame while minimizing deformation.

본 발명의 실시예들은 정밀한 패턴의 증착할 수 있는 마스크 조립체를 제공함으로써 표시 장치의 제조 비용 및 시간을 단축시킬 수 있고, 정밀한 증착이 가능함으로써 표시 장치의 제품 성능을 향상시킬 수 있다. Embodiments of the present invention can reduce the manufacturing cost and time of a display device by providing a mask assembly capable of depositing a precise pattern, and can improve product performance of a display device by enabling precise deposition.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 클램핑 장치를 보여주는 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 클램핑 장치의 일부를 보여주는 사시도이다.
도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ선을 따라 취한 단면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 클램핑 장치가 설치된 마스크 조립체 제조장치를 보여주는 개념도이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 클램핑 장치를 보여주는 단면도이다.
도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 클램핑 장치를 보여주는 단면도이다.
도 7은 본 발명의 제4 실시예에 따른 클램핑 장치를 보여주는 단면도이다. 1 is a perspective view showing a clamping device according to a first embodiment of the present invention.
Figure 2 is a perspective view showing a part of the clamping device shown in Figure 1;
FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG. 2 .
4 is a conceptual view showing a mask assembly manufacturing apparatus in which the clamping device shown in FIG. 1 is installed.
5 is a cross-sectional view showing a clamping device according to a second embodiment of the present invention.
6 is a cross-sectional view showing a clamping device according to a third embodiment of the present invention.
7 is a cross-sectional view showing a clamping device according to a fourth embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다. Since the present invention can apply various transformations and have various embodiments, specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. Effects and features of the present invention, and methods for achieving them will become clear with reference to the embodiments described later in detail together with the drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below and may be implemented in various forms.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, and when describing with reference to the drawings, the same or corresponding components are assigned the same reference numerals, and overlapping descriptions thereof will be omitted. .

이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다. In the following embodiments, terms such as first and second are used for the purpose of distinguishing one component from another component without limiting meaning.

이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.In the following examples, expressions in the singular number include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise.

이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다. In the following embodiments, terms such as include or have mean that features or components described in the specification exist, and do not preclude the possibility that one or more other features or components may be added.

이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다. In the following embodiments, when a part such as a film, region, component, etc. is said to be on or on another part, not only when it is directly above the other part, but also when another film, region, component, etc. is interposed therebetween. Including if there is

도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.In the drawings, the size of components may be exaggerated or reduced for convenience of explanation. For example, since the size and thickness of each component shown in the drawings are arbitrarily shown for convenience of description, the present invention is not necessarily limited to the illustrated bar.

이하의 실시예에서, x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.In the following embodiments, the x-axis, y-axis, and z-axis are not limited to the three axes of the Cartesian coordinate system, and may be interpreted in a broad sense including these. For example, the x-axis, y-axis, and z-axis may be orthogonal to each other, but may refer to different directions that are not orthogonal to each other.

어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.When an embodiment is otherwise implementable, a specific process sequence may be performed differently from the described sequence. For example, two processes described in succession may be performed substantially simultaneously, or may be performed in an order reverse to the order described.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 클램핑 장치를 보여주는 사시도이다. 도 2는 도 1에 도시된 클램핑 장치의 일부를 보여주는 사시도이다. 도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ선을 따라 취한 단면도이다. 도 4는 도 1에 도시된 클램핑 장치가 설치된 마스크 조립체 제조장치를 보여주는 개념도이다.1 is a perspective view showing a clamping device according to a first embodiment of the present invention. Figure 2 is a perspective view showing a part of the clamping device shown in Figure 1; FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG. 2 . 4 is a conceptual view showing a mask assembly manufacturing apparatus in which the clamping device shown in FIG. 1 is installed.

도 1 내지 도 4를 참고하면, 클램핑 장치(100)는 베이스 플레이트(110), 구동부(120), 이동블럭(130), 클램핑부(140), 안착블럭(150), 제1 선형구동부(160), 지지프레임(171), 제1 슬라이딩가이드부(172), 고정프레임(181), 제2 선형구동부(182) 및 제2 슬라이딩가이드부(183)를 포함할 수 있다. 1 to 4, the clamping device 100 includes a base plate 110, a driving unit 120, a moving block 130, a clamping unit 140, a seating block 150, and a first linear driving unit 160. ), a support frame 171, a first sliding guide unit 172, a fixed frame 181, a second linear driving unit 182 and a second sliding guide unit 183 may be included.

베이스 플레이트(110)는 플레이트 형태로 형성될 수 있다. 이때, 베이스 플레이트(110)는 바디부(111) 및 바디부(111) 상에 형성되는 가이드부(112)를 포함할 수 있다. 이때, 가이드부(112)는 바디부(111)로부터 돌출되도록 형성될 수 있으며, 다양한 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 가이드부(112)는 높이 방향과 수직인 단면이 원형일 수 있다. 다른 실시예로써 가이드부(112)는 높이 방향과 수직인 단면이 다각형일 수 있다. 또 다른 실시예로써 가이드부(112)는 높이 방향과 수직인 단면이 원형인 제1 가이드부(112a)와 제1 가이드부(112a)와 연결되어 길이 방향으로 경사지게 형성된 제2 가이드부(112b)를 포함하는 것도 가능하다. 이때, 상기와 같은 가이드부(112)는 상기에 한정되는 것은 아니며, 클램핑부(140)의 내부에 삽입되어 클램핑부(140)의 선형 운동을 가이드하는 모든 형상을 포함할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 가이드부(112)가 제1 가이드부(112a)와 제2 가이드부(112b)를 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The base plate 110 may be formed in a plate shape. In this case, the base plate 110 may include a body portion 111 and a guide portion 112 formed on the body portion 111 . At this time, the guide part 112 may be formed to protrude from the body part 111 and may be formed in various shapes. For example, the guide part 112 may have a circular cross section perpendicular to the height direction. In another embodiment, the guide part 112 may have a polygonal cross section perpendicular to the height direction. In another embodiment, the guide part 112 includes a first guide part 112a having a circular cross section perpendicular to the height direction and a second guide part 112b connected to the first guide part 112a and inclined in the longitudinal direction. It is also possible to include At this time, the guide part 112 as described above is not limited to the above, and may include any shape inserted into the clamping part 140 to guide the linear motion of the clamping part 140 . However, hereinafter, for convenience of explanation, a case in which the guide part 112 includes the first guide part 112a and the second guide part 112b will be described in detail.

구동부(120)는 베이스 플레이트(110) 상에 배치될 수 있다. 이때, 구동부(120)는 베이스 플레이트(110) 상에 설치되는 별도의 고정브라켓(121)에 고정되도록 설치될 수 있다. 또한, 구동부(120)는 이동블럭(130)과 연결되어 이동블럭(130)의 위치를 가변시키는 모터, 실린더 등을 포함할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 구동부(120)가 이동블럭(130)과 연결되는 모터를 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. 이때, 구동부(120)는 모터와 연결되는 볼스크류를 더 포함할 수 있다. 특히 볼스크류의 일부는 이동블럭(130) 내부에 고정되도록 설치됨으로써 모터의 작동에 따라서 이동블럭(130)을 이동시킬 수 있다. The driving unit 120 may be disposed on the base plate 110 . At this time, the driving unit 120 may be installed to be fixed to a separate fixing bracket 121 installed on the base plate 110 . In addition, the driving unit 120 may include a motor, a cylinder, etc. connected to the moving block 130 and changing the position of the moving block 130 . Hereinafter, for convenience of description, a case in which the driving unit 120 includes a motor connected to the moving block 130 will be described in detail. At this time, the driving unit 120 may further include a ball screw connected to the motor. In particular, a part of the ball screw is installed to be fixed inside the moving block 130, so that the moving block 130 can be moved according to the operation of the motor.

이동블럭(130)은 구동부(120)와 연결되어 베이스 플레이트(110)를 선형 운동하는 동력전달블럭(131)을 포함할 수 있다. 이때, 동력전달블럭(131)과 베이스 플레이트(110) 상에는 리니어 모션 가이드 또는 에어스프링 등과 같은 별도의 가이드가 설치될 수 있다. 다른 실시예로써 베이스 플레이트(110)에는 레일(111a)이 형성되고 동력전달블럭(131)이 베이스 플레이트(110)의 레일(111a)에 설치되어 선형 운동하는 것도 가능하다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 베이스 플레이트(110)에 레일(111a)이 형성되고, 동력전달블럭(131)이 레일(111a)에 설치되어 선형 운동하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The moving block 130 may include a power transmission block 131 connected to the driving unit 120 and linearly moving the base plate 110 . At this time, a separate guide such as a linear motion guide or an air spring may be installed on the power transmission block 131 and the base plate 110 . As another embodiment, a rail 111a is formed on the base plate 110 and the power transmission block 131 is installed on the rail 111a of the base plate 110 to perform linear motion. Hereinafter, for convenience of description, a case in which the rail 111a is formed on the base plate 110 and the power transmission block 131 is installed on the rail 111a to perform linear motion will be described in detail.

이동블럭(130)은 동력전달블럭(131)과 회동 가능하도록 연결되는 슬라이더(132)를 포함할 수 있다. 이때, 슬라이더(132)는 클램핑부(140)에 접촉하여 클램핑부(140)와 상대 운동할 수 있다. 또한, 슬라이더(132)는 클램핑부(140)와 결합함으로써 클램핑부(140)를 운동시킬 수 있다. The moving block 130 may include a slider 132 rotatably connected to the power transmission block 131 . At this time, the slider 132 may contact the clamping part 140 and move relative to the clamping part 140 . Also, the slider 132 may move the clamping part 140 by being coupled with the clamping part 140 .

상기와 같은 슬라이더(132)는 클램핑부(140)와 결합할 수 있다. 이때, 슬라이더(132) 또는 클램핑부(140) 중 하나는 슬라이더(132) 또는 클램핑부(140) 중 다른 하나로 돌출되도록 형성되는 돌기부(132a)를 포함할 수 있다. 또한, 슬라이더(132) 또는 클램핑부(140) 중 다른 하나는 돌기부(132a)가 삽입되어 슬라이딩하는 돌기삽입부(141a)를 포함할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 돌기부(132a)는 슬라이더(132)에 형성되고, 돌기삽입부(141a)는 클램핑부(140)에 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The slider 132 as described above may be coupled with the clamping part 140 . In this case, one of the slider 132 or the clamping part 140 may include a protrusion 132a formed to protrude into the other of the slider 132 or the clamping part 140 . In addition, one of the slider 132 or the clamping part 140 may include a protrusion insertion part 141a into which the protrusion 132a is inserted and slides. Hereinafter, for convenience of explanation, a case in which the protrusion 132a is formed on the slider 132 and the protrusion insertion portion 141a is formed on the clamping portion 140 will be described in detail.

돌기부(132a)는 높이 방향과 수직인 단면적이 높이 방향으로 상이하게 형성될 수 있다. 예를 들면, 돌기부(132a)는 높이 방향과 수직인 단면적이 제1 단면적을 갖는 제1 돌기부(132a-1)를 포함할 수 있다. 또한, 돌기부(132a)는 높이 방향과 수직인 단면적이 상기 제1 단면적보다 큰 제2 단면적을 갖는 제2 돌기부(132a-2)를 포함할 수 있다. 이때, 돌기부(132a)는 'T'자 형태로 형성될 수 있으며, 다른 실시예로써 돌기부(132a)는 레일 형태로 형성되는 것도 가능하다. The protrusion 132a may be formed with a cross-sectional area perpendicular to the height direction that is different in the height direction. For example, the protrusion 132a may include a first protrusion 132a-1 having a first cross-sectional area perpendicular to the height direction. Also, the protrusion 132a may include a second protrusion 132a-2 having a cross-sectional area perpendicular to the height direction and a second cross-sectional area larger than the first cross-sectional area. At this time, the protrusion 132a may be formed in a 'T' shape, and in another embodiment, the protrusion 132a may be formed in a rail shape.

돌기부(132a)가 상기와 같이 형성되는 경우 돌기삽입부(141a)는 홈 형태로 형성될 수 있다. 이때, 돌기삽입부(141a)의 개구된 부분의 폭은 제1 돌기부(132a-1)의 폭과 동일 또는 유사한 크기로 형성될 수 있으며, 돌기삽입부(141a)의 내부 폭은 제2 돌기부(132a-2)의 폭과 동일 또는 유사한 크기로 형성될 수 있다. 따라서 돌기부(132a)는 돌기삽입부(141a)에 삽입된 후 슬라이더(132)가 선형 운동하더라도 클램핑부(140)와 분리되는 것을 방지할 수 있다. When the protrusion 132a is formed as described above, the protrusion insertion portion 141a may be formed in a groove shape. At this time, the width of the opening of the protrusion insertion portion 141a may be formed to be the same as or similar to the width of the first protrusion 132a-1, and the inner width of the protrusion insertion portion 141a may be the second protrusion ( 132a-2) may be formed in the same or similar size. Therefore, the protrusion 132a can be prevented from being separated from the clamping portion 140 even when the slider 132 linearly moves after being inserted into the protrusion inserting portion 141a.

상기와 같이 돌기부(132a)가 형성된 슬라이더(132)의 부분은 경사지게 형성될 수 있다. 또한, 슬라이더(132)의 경사진 부분과 대향하는 클램핑부(140) 부분도 경사지게 형성될 수 있다. 따라서 슬라이더(132)의 선형 운동 시 슬라이더(132)는 클램핑부(140)의 경사진 부분을 따라 운동할 수 있으며, 클램핑부(140)는 슬라이더(132)의 운동에 따라서 선형 운동할 수 있다. As described above, the portion of the slider 132 on which the protrusion 132a is formed may be inclined. In addition, the portion of the clamping part 140 facing the inclined portion of the slider 132 may also be formed to be inclined. Therefore, when the slider 132 moves linearly, the slider 132 can move along the inclined portion of the clamping unit 140, and the clamping unit 140 can move linearly according to the movement of the slider 132.

이동블럭(130)은 슬라이더(132)와 동력전달블럭(131) 사이에 배치되는 댐퍼(133)를 포함할 수 있다. 이때, 댐퍼(133)는 압축스프링 또는 고무, 실리콘 등과 같은 탄성 재질로 형성된 바 등을 포함할 수 있다. 댐퍼(133)는 슬라이더(132)가 클램핑부(140)를 가력하는 경우 과도한 힘이 클램핑부(140)로 전달되는 것을 방지할 수 있다. The moving block 130 may include a damper 133 disposed between the slider 132 and the power transmission block 131 . At this time, the damper 133 may include a compression spring or a bar formed of an elastic material such as rubber or silicon. The damper 133 may prevent excessive force from being transmitted to the clamping part 140 when the slider 132 presses the clamping part 140 .

클램핑부(140)는 이동블럭(130)과 접촉하는 클램핑헤드(141)와, 클램핑헤드(141)에 설치되는 클램핑블럭(142)을 포함할 수 있다. 이때, 클램핑헤드(141)는 돌기삽입부(141a)가 형성될 수 있다. 특히 돌기삽입부(141a)가 형성된 클램핑헤드(141) 부분은 경사지게 형성되어 슬라이더(132)의 경사진 부분과 접촉할 수 있다. 또한, 클램핑헤드(141)는 가이드부(112)가 삽입되도록 내부에 홈 또는 홀이 형성될 수 있다. 이때, 클램핑헤드(141)의 홈 또는 홀은 가이드부(112)의 외면과 유사하게 형성될 수 있으며, 가이드부(112)가 내부에 완전히 삽입되도록 형성될 수 있다. 특히 클램핑헤드(141)의 홈 또는 홀 중 일부는 제1 가이드부(112a)가 삽입되도록 클램핑헤드(141)의 높이 방향과 평행하게 형성될 수 있다. 따라서 클램핑헤드(141)는 슬라이더(132)의 운동 시 제1 가이드부(112a)를 따라서 선형 운동할 수 있다.The clamping unit 140 may include a clamping head 141 in contact with the moving block 130 and a clamping block 142 installed on the clamping head 141 . At this time, the clamping head 141 may be formed with a projection insertion portion 141a. In particular, the portion of the clamping head 141 in which the protrusion insertion portion 141a is formed is inclined and can contact the inclined portion of the slider 132 . In addition, the clamping head 141 may have a groove or hole formed therein so that the guide part 112 is inserted therein. At this time, the groove or hole of the clamping head 141 may be formed similarly to the outer surface of the guide part 112, and the guide part 112 may be completely inserted into the inside. In particular, some of the grooves or holes of the clamping head 141 may be formed parallel to the height direction of the clamping head 141 so that the first guide portion 112a is inserted. Therefore, the clamping head 141 can linearly move along the first guide part 112a when the slider 132 moves.

클램핑블럭(142)은 클램핑헤드(141)에 일부가 삽입되거나 결합될 수 있다. 이때, 클램핑헤드(141)는 높이 방향과 수직인 단면적이 높이 방향으로 상이하게 형성될 수 있다. 예를 들면, 클램핑헤드(141)는 'T'자 형태로 형성될 수 있다. A part of the clamping block 142 may be inserted into or coupled to the clamping head 141 . At this time, the clamping head 141 may be formed with a cross-sectional area perpendicular to the height direction that is different in the height direction. For example, the clamping head 141 may be formed in a 'T' shape.

클램핑블럭(142)은 클램핑헤드(141)와 다양한 방법으로 조립될 수 있다. 예를 들면, 클램핑블럭(142)은 클램핑헤드(141)와 나사, 볼트, 핀 등을 통하여 결합할 수 있다. The clamping block 142 may be assembled with the clamping head 141 in various ways. For example, the clamping block 142 may be coupled to the clamping head 141 through screws, bolts, pins, and the like.

안착블럭(150)은 베이스 플레이트(110)에 설치될 수 있다. 이때, 베이스 플레이트(110)에는 안착블럭(150)이 안착되도록 홈이 형성되거나 일부가 다단지게 형성될 수 있다. 특히 안착블럭(150)은 클램핑블럭(142)의 일부와 대향하도록 배치되어 마스크 시트(S)를 파지할 수 있다. The seating block 150 may be installed on the base plate 110 . At this time, a groove may be formed in the base plate 110 so that the seating block 150 is seated, or a portion thereof may be formed in multiple stages. In particular, the seating block 150 is disposed to face a portion of the clamping block 142 to hold the mask sheet S.

제1 선형구동부(160)는 베이스 플레이트(110)와 연결되어 베이스 플레이트(110)를 선형 운동시킬 수 있다. 이때, 제1 선형구동부(160)는 베이스 플레이트(110)와 연결되는 센서부(161)를 포함할 수 있다. 제1 선형구동부(160)는 센서부(161)와 연결되는 연결부(162)를 포함할 수 있다. 또한, 제1 선형구동부(160)는 연결부(162)가 설치되는 지지브라켓(164)을 포함할 수 있다. 제1 선형구동부(160)는 연결부(162)와 연결되어 연결부(162)를 가력하는 선형가력부(163)를 포함할 수 있다. The first linear driving unit 160 is connected to the base plate 110 to linearly move the base plate 110 . At this time, the first linear driving unit 160 may include a sensor unit 161 connected to the base plate 110 . The first linear driving unit 160 may include a connection unit 162 connected to the sensor unit 161 . In addition, the first linear driving unit 160 may include a support bracket 164 to which the connecting unit 162 is installed. The first linear driving unit 160 may include a linear pressing unit 163 connected to the connecting unit 162 and applying pressure to the connecting unit 162 .

센서부(161)는 선형가력부(163)에서 베이스 플레이트(110)를 가력하는 경우 가력하는 힘을 측정할 수 있다. 특히 센서부(161)는 선형가력부(163)에서 가해지는 힘을 통하여 마스크 시트(S)를 인장하는 힘의 세기를 측정할 수 있다. 이때, 센서부(161)는 하중센서(Load sensor)를 포함할 수 있다. The sensor unit 161 may measure the applied force when the linear applying unit 163 applies the base plate 110 . In particular, the sensor unit 161 may measure the strength of the force applied to the mask sheet S through the force applied by the linear force unit 163 . At this time, the sensor unit 161 may include a load sensor.

연결부(162)는 샤프트, 조인트 등의 다양한 형태로 형성될 수 있다. 또한, 선형가력부(163)는 구동부(120)와 동일 또는 유사하게 모터 및 볼스크류를 포함할 수 있다. 다른 실시예로써 선형가력부(163)는 연결부(162)와 연결되는 실린더를 포함하는 것도 가능하다. The connecting portion 162 may be formed in various shapes such as a shaft or a joint. Also, the linear force unit 163 may include a motor and a ball screw identically or similarly to the driving unit 120 . As another embodiment, the linear force unit 163 may include a cylinder connected to the connection unit 162 .

지지프레임(171)은 제1 선형구동부(160)가 연결될 수 있다. 이때, 지지프레임(171)에는 선형가력부(163)가 고정될 수 있으며, 베이스 플레이트(110)가 슬라이딩 가능하도록 연결될 수 있다. The support frame 171 may be connected to the first linear driving unit 160 . At this time, the linear force unit 163 may be fixed to the support frame 171, and the base plate 110 may be slidably connected.

제1 슬라이딩가이드부(172)는 지지프레임(171)과 베이스 플레이트(110)를 서로 상대 운동 가능하도록 연결할 수 있다. 구체적으로 제1 슬라이딩가이드부(172)는 베이스 플레이트(110)가 슬라이딩 가능하도록 지지프레임(171)에 연결할 수 있다. 이때, 제1 슬라이딩가이드부(172)는 에어베어링, 리니어모션가이드, 레일 등을 포함할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 슬라이딩가이드부(172)가 에어베어링을 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The first sliding guide part 172 may connect the support frame 171 and the base plate 110 to be able to move relative to each other. Specifically, the first sliding guide portion 172 may be connected to the support frame 171 so that the base plate 110 is slidable. At this time, the first sliding guide unit 172 may include an air bearing, a linear motion guide, a rail, and the like. However, in the following, for convenience of description, a case in which the first sliding guide unit 172 includes an air bearing will be described in detail.

고정프레임(181)은 외부에 고정되도록 설치될 수 있다. 이때, 고정프레임(181)은 별도 구비된 챔버(1)에 고정되도록 설치될 수 있다. The fixing frame 181 may be installed to be fixed to the outside. At this time, the fixing frame 181 may be installed to be fixed to the chamber 1 provided separately.

제2 선형구동부(182)는 고정프레임(181)에 설치될 수 있으며, 지지프레임(171)에 연결되어 지지프레임(171)을 선형 운동시킬 수 있다. 이때, 제2 선형구동부(182)는 구동부(120)와 유사하게 모터 및 볼스크류를 포함할 수 있으며, 다른 실시예로써 실린더를 포함하는 것도 가능하다. The second linear driving unit 182 may be installed on the fixed frame 181 and may be connected to the support frame 171 to linearly move the support frame 171 . At this time, the second linear driving unit 182 may include a motor and a ball screw similarly to the driving unit 120, and may also include a cylinder as another embodiment.

제2 슬라이딩가이드부(183)는 지지프레임(171)과 고정프레임(181)을 서로 상대 운동 가능하도록 연결할 수 있다. 구체적으로 제2 슬라이딩가이드부(183)는 지지프레임(171)을 고정프레임(181)에 슬라이딩 가능하도록 연결할 수 있다. 이때, 제2 슬라이딩가이드부(183)는 제1 슬라이딩가이드부(172)와 동일 또는 유사하게 형성될 수 있으므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. The second sliding guide part 183 may connect the support frame 171 and the fixing frame 181 so as to be able to move relative to each other. Specifically, the second sliding guide unit 183 may connect the support frame 171 to the fixed frame 181 so as to be slidable. At this time, since the second sliding guide part 183 may be formed identically or similarly to the first sliding guide part 172, a detailed description thereof will be omitted.

상기와 같은 클램핑 장치(100)는 마스크 조립체 제조장치(10)에 설치될 수 있다. 이때, 마스크 조립체 제조장치(10)는 챔버(1), 용접부(2), 지지부(3), 클램핑 장치(100), 비젼부(4) 및 제어부(5)를 포함할 수 있다. The clamping device 100 as described above may be installed in the mask assembly manufacturing device 10 . At this time, the mask assembly manufacturing apparatus 10 may include a chamber 1, a welding part 2, a support part 3, a clamping device 100, a vision part 4, and a control part 5.

상기와 같은 마스크 조립체 제조장치(10)의 작동을 간략히 살펴보면, 마스크 프레임(F)을 지지부(3)에 안착한 후 마스크 시트(S)를 클램핑 장치(100)에 클램핑할 수 있다. 이때, 마스크 시트(S)는 클램핑 장치(100)에 클램핑된 후 길이 방향으로 인장될 수 있다. Briefly looking at the operation of the mask assembly manufacturing apparatus 10 as described above, after the mask frame (F) is seated on the support part (3), the mask sheet (S) can be clamped to the clamping device (100). At this time, the mask sheet S may be tensioned in the longitudinal direction after being clamped by the clamping device 100 .

상기와 같이 인장된 후 용접부(2)가 마스크 시트(S)와 마스크 프레임(F)을 용접하여 결합할 수 있다. 이후 마스크 시트(S)의 일부를 절단하여 마스크 조립체(M)를 제조할 수 있다. After being stretched as described above, the welding portion 2 may weld and couple the mask sheet S and the mask frame F. Thereafter, a mask assembly M may be manufactured by cutting a portion of the mask sheet S.

상기와 같은 작업이 진행되는 동안 비젼부(4)는 마스크 시트(S)와 마스크 프레임(F)의 위치를 감지하여 마스크 시트(S) 및 마스크 프레임(F) 중 적어도 하나의 위치를 정렬시킬 수 있다. 또한, 비젼부(4)는 용접의 위치 등을 촬영하여 용접이 정확히 이루어졌는지 여부 등을 확인할 수 있다.While the above operation is in progress, the vision unit 4 can align the positions of at least one of the mask sheet S and the mask frame F by detecting the positions of the mask sheet S and the mask frame F. there is. In addition, the vision unit 4 can check whether or not the welding has been accurately performed by photographing the welding position and the like.

제어부(5)는 마스크 조립체 제조장치(10)의 각 구성요소들을 제어할 수 있다. 이때, 제어부(5)는 클램핑 장치(100)에 별도로 구비될 수 있으며, 다른 실시예로써 마스크 조립체 제조장치(10)에 별도로 구비되는 것도 가능하다. 또한, 제어부(5)는 복수개 구비되어 클램핑 장치(100) 및 마스크 조립체 제조장치(10)에 각각 구비되어 각 구성요소를 개별적으로 제어하는 것도 가능하다. The controller 5 may control each component of the mask assembly manufacturing apparatus 10 . At this time, the controller 5 may be separately provided in the clamping device 100, and may be separately provided in the mask assembly manufacturing device 10 as another embodiment. In addition, a plurality of controllers 5 may be provided in the clamping device 100 and the mask assembly manufacturing device 10 to individually control each component.

한편, 이하에서는 마스크 시트(S)를 클램핑하는 방법에 대해서 상세히 설명하기로 한다.Meanwhile, hereinafter, a method of clamping the mask sheet S will be described in detail.

우선 마스크 시트(S)가 준비되는 경우 마스크 시트(S)의 일단을 서로 대향하도록 배치된 클램핑 장치(100) 사이에 배치할 수 있다. 이때, 제2 선형구동부(182)가 작동하여 지지프레임(171)을 이동시킬 수 있다. 상기와 같은 경우 지지프레임(171)은 고정프레임(181) 상을 슬라이딩하여 클램핑블럭(142)을 마스크 시트(S) 측으로 이동시킬 수 있다. First, when the mask sheet (S) is prepared, one end of the mask sheet (S) may be disposed between the clamping devices 100 arranged to face each other. At this time, the second linear driving unit 182 may operate to move the support frame 171 . In the above case, the support frame 171 may slide on the fixing frame 181 to move the clamping block 142 toward the mask sheet S.

상기와 같은 경우 클램핑블럭(142)과 안착블럭(150)은 서로 이격된 상태일 수 있으며, 서로 접촉한 상태에서 이격되는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 클램핑블럭(142)과 안착블럭(150) 사이가 이격된 상태인 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. In the above case, the clamping block 142 and the seating block 150 may be spaced apart from each other, and may be spaced apart while in contact with each other. However, in the following description, for convenience of description, a case in which the clamping block 142 and the seating block 150 are spaced apart will be described in detail.

상기와 같이 배치가 완료되면, 마스크 시트(S)는 클램핑부(140)와 안착블럭(150) 사이에 배치될 수 있다. 이후 구동부(120)가 작동하여 슬라이더(132)를 클램핑헤드(141) 측으로 이동시킬 수 있다. 이때, 돌기부(132a)는 돌기삽입부(141a)를 따라 슬라이딩할 수 있다. 또한, 슬라이더(132)가 운동하는 경우 슬라이더(132)는 클램핑헤드(141)를 가력할 수 있으며, 클램핑헤드(141)는 상측에서 하측으로 이동할 수 있다. 이때, 클램핑헤드(141)는 가이드부(112)를 따라서 베이스 플레이트(110)의 길이 방향과 수직인 방향으로 선형 운동할 수 있다. 특히 상기와 같은 경우 제1 가이드부(112a)는 클램핑헤드(141)의 운동을 가이드하고, 제2 가이드부(112b)는 슬라이더(132)의 운동을 가이드할 뿐만 아니라 제1 가이드부(112a)가 파손되거나 변형되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 제2 가이드부(112b)는 클램핑헤드(141)가 선형 운동하는 경우 클램핑헤드(141)의 위치가 틀어지는 것을 방지할 수 있다. When the arrangement is completed as described above, the mask sheet S may be disposed between the clamping part 140 and the seating block 150. Then, the drive unit 120 may operate to move the slider 132 toward the clamping head 141 . At this time, the protrusion 132a may slide along the protrusion insertion portion 141a. In addition, when the slider 132 moves, the slider 132 may apply pressure to the clamping head 141, and the clamping head 141 may move from an upper side to a lower side. At this time, the clamping head 141 may linearly move along the guide part 112 in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the base plate 110 . In particular, in the above case, the first guide part 112a guides the motion of the clamping head 141, and the second guide part 112b not only guides the motion of the slider 132, but also the first guide part 112a. can be prevented from being damaged or deformed. In addition, the second guide portion 112b may prevent the clamping head 141 from being displaced when the clamping head 141 moves linearly.

상기와 같이 클램핑헤드(141)가 이동하는 경우 클램핑블럭(142)은 클램핑헤드(141)와 동시에 움직이면서 안착블럭(150)과 근접하여 마스크 시트(S)를 파지할 수 있다. As described above, when the clamping head 141 moves, the clamping block 142 moves simultaneously with the clamping head 141 and closes to the seating block 150 to hold the mask sheet S.

상기와 같은 경우 마스크 시트(S)의 두께, 구동부(120)의 작동, 슬라이더(132)의 운동 변위 등에 따라서 클램핑블럭(142)이 마스크 시트(S)에 가해지는 힘이 상이해질 수 있다. 이때, 슬라이더(132)는 설계된 경로가 아닌 회전하는 운동이 발생하거나 정확하게 힘을 클램핑헤드(141)에 가하지 못하는 경우 등이 발생할 수 있다. 상기와 같은 경우 댐퍼(133)는 일부 힘을 흡수하거나 부족한 힘을 슬라이더(132)에 가해줌으로써 슬라이더(132)가 클램핑헤드(141)에 가하는 힘을 일정하게 유지시킬 수 있다. 따라서 클램핑 장치(100)는 일정한 힘으로 마스크 시트(S)를 파지할 수 있다. In the above case, the force applied to the mask sheet S by the clamping block 142 may vary depending on the thickness of the mask sheet S, the operation of the driving unit 120, and the movement displacement of the slider 132. At this time, the slider 132 may rotate in a non-designed path or may not accurately apply force to the clamping head 141 . In the above case, the damper 133 absorbs some of the force or applies insufficient force to the slider 132, so that the force applied by the slider 132 to the clamping head 141 can be kept constant. Therefore, the clamping device 100 can hold the mask sheet S with a constant force.

한편, 상기와 같은 과정이 완료된 후 제1 선형구동부(160)가 작동할 수 있다. 이때, 제2 선형구동부(182)의 작동은 중지된 상태일 수 있다. 제1 선형구동부(160)가 작동하는 경우 제1 선형구동부(160)는 연결부(162)를 이동시키고, 연결부(162)는 센서부(161)를 이동시킬 수 있다. 제1 선형구동부(160)는 마스크 시트(S)를 인장하도록 힘을 가할 수 있다. Meanwhile, after the above process is completed, the first linear driving unit 160 may operate. At this time, the operation of the second linear driving unit 182 may be stopped. When the first linear driving unit 160 operates, the first linear driving unit 160 may move the connection unit 162 and the connection unit 162 may move the sensor unit 161 . The first linear driving unit 160 may apply force to stretch the mask sheet (S).

센서부(161)에서는 제1 선형구동부(160)가 작동하는 경우 제1 선형구동부(160)가 마스크 시트(S)에 가하는 인장력을 측정하여 제어부(5)로 전송할 수 있다. 제어부(5)는 센서부(161)에서 측정된 값을 근거로 기 설정된 값에 대응되도록 제1 선형구동부(160)를 제어할 수 있다. When the first linear driving unit 160 operates, the sensor unit 161 may measure the tensile force applied to the mask sheet S by the first linear driving unit 160 and transmit the measured tensile force to the control unit 5 . The control unit 5 may control the first linear driving unit 160 to correspond to a preset value based on the value measured by the sensor unit 161 .

상기와 같이 제1 선형구동부(160)가 작동하는 경우 센서부(161)는 베이스 플레이트(110)를 이동시킬 수 있으며, 제1 슬라이딩가이드부(172)는 베이스 플레이트(110)가 지지프레임(171)를 중심으로 선형 운동하도록 할 수 있다. 이때, 제1 슬라이딩가이드부(172)는 베이스 플레이트(110)와 지지프레임(171) 사이의 마찰력을 제거할 수 있다. As described above, when the first linear drive unit 160 operates, the sensor unit 161 can move the base plate 110, and the first sliding guide unit 172 allows the base plate 110 to move the support frame 171. ) can be made to move linearly around the center. At this time, the first sliding guide portion 172 can remove the frictional force between the base plate 110 and the support frame (171).

상기와 같이 마스크 시트(S)가 인장된 상태에서 용접부(2)는 마스크 시트(S)를 마스크 프레임(F)에 용접하여 고정시킬 수 있다. As described above, in a state in which the mask sheet S is stretched, the welding portion 2 may weld and fix the mask sheet S to the mask frame F.

상기와 같은 과정이 완료된 후 마스크 시트(S)의 끝단을 절단하여 제거하여 마스크 조립체(M)를 제조할 수 있다. 이때, 제어부(5)는 구동부(120)를 제어하여 마스크 시트(S)의 끝단을 파지하지 않도록 할 수 있다. After the above process is completed, the mask assembly M may be manufactured by cutting and removing the end of the mask sheet S. At this time, the control unit 5 may control the driving unit 120 so as not to grip the end of the mask sheet (S).

구체적으로 구동부(120)를 작동시켜 슬라이더(132)를 도 2의 우측으로부터 좌측으로 선형 운동시킬 수 있다. 이때, 슬라이더(132)는 도 1의 왼쪽으로 이동할 수 있으며, 슬라이더(132)의 이동에 따라서 돌기부(132a)는 돌기삽입부(141a)를 따라 상측으로부터 하측으로 이동할 수 있다. 돌기부(132a)는 돌기삽입부(141a)를 가력하여 도 1의 왼쪽으로 클램핑헤드(141)를 가력할 수 있다. Specifically, the slider 132 may be linearly moved from the right to the left in FIG. 2 by operating the driving unit 120 . At this time, the slider 132 may move to the left in FIG. 1 , and the protrusion 132a may move from the upper side to the lower side along the protrusion insertion portion 141a according to the movement of the slider 132 . The protrusion 132a may press the clamping head 141 to the left side of FIG. 1 by pressing the protrusion insertion portion 141a.

상기와 같은 힘에 의하여 클램핑헤드(141)는 가이드부(112)를 따라서 선형 운동할 수 있다. 특히 클램핑헤드(141)는 가이드부(112)를 따라서 하측으로부터 상측으로 이동할 수 있다. 이때, 클램핑블럭(142)은 클램핑헤드(141)와 함께 이동하고, 클램핑블럭(142)과 안착블럭(150)은 서로 이격됨으로써 클램핑블럭(142)과 안착블럭(150) 사이에는 공간이 형성될 수 있다. The clamping head 141 can linearly move along the guide part 112 by the force as described above. In particular, the clamping head 141 may move from the lower side to the upper side along the guide part 112 . At this time, the clamping block 142 moves together with the clamping head 141, and the clamping block 142 and the seating block 150 are spaced apart from each other so that a space is formed between the clamping block 142 and the seating block 150. can

상기와 같이 클램핑블럭(142)과 안착블럭(150) 사이의 공간이 형성되면, 마스크 시트(S)의 파지가 해제되어 마스크 시트(S)를 분리할 수 있다. As described above, when the space between the clamping block 142 and the seating block 150 is formed, the holding of the mask sheet S is released, and the mask sheet S can be separated.

따라서 클램핑 장치(100)는 클램핑블럭(142)을 수직방향으로 선형 운동시킴으로써 마스크 시트(S)의 파지 시 마스크 시트(S)에 힘이 가해지는 것을 방지할 수 있다. 또한, 클램핑 장치(100)는 마스크 시트(S)의 두께 오차로 인하여 마스크 시트(S)의 파지 시 발생할 수 있는 찍힘 현상이 발생하는 것을 방지할 수있다. Therefore, the clamping device 100 can prevent force from being applied to the mask sheet S when gripping the mask sheet S by linearly moving the clamping block 142 in the vertical direction. In addition, the clamping device 100 can prevent the occurrence of a stamping phenomenon that may occur when gripping the mask sheet S due to a thickness error of the mask sheet S.

클램핑 장치(100)는 마스크 시트(S)를 면접촉함으로써 마스크 시트(S)의 파지 시 균일한 가압력을 가하는 것이 가능함으로써 마스크 인장 시 미소한 왜곡이 발생하는 것을 방지할 수 있다. The clamping device 100 makes it possible to apply a uniform pressing force when gripping the mask sheet S by bringing the mask sheet S into surface contact, thereby preventing slight distortion from occurring when the mask is tensioned.

클램핑 장치(100)는 마스크 시트(S)의 변형을 최소화하여 마스크 프레임(F)에 용접이 가능함으로써 표시 장치의 제조 시 마스크 시트(S)의 변형으로 인한 불량을 최소화하고, 증착 품질을 향상시킬 수 있다. The clamping device 100 can be welded to the mask frame F by minimizing deformation of the mask sheet S, thereby minimizing defects due to deformation of the mask sheet S during manufacturing of the display device and improving deposition quality. can

도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 클램핑 장치를 보여주는 단면도이다.5 is a cross-sectional view showing a clamping device according to a second embodiment of the present invention.

도 5를 참고하면, 클램핑 장치(200)는 베이스 플레이트(210), 구동부(220), 이동블럭(230), 클램핑부(240), 가이드부(212), 안착블럭(250), 제1 선형구동부(미도시), 지지프레임(미도시), 제1 슬라이딩가이드부(미도시), 고정프레임(미도시), 제2 선형구동부(미도시) 및 제2 슬라이딩가이드부(미도시)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 5 , the clamping device 200 includes a base plate 210, a driving unit 220, a moving block 230, a clamping unit 240, a guide unit 212, a seating block 250, and a first linear block. Including a driving unit (not shown), a support frame (not shown), a first sliding guide part (not shown), a fixed frame (not shown), a second linear driving part (not shown) and a second sliding guide part (not shown) can do.

베이스 플레이트(210), 구동부(220), 클램핑부(240), 가이드부(212), 안착블럭(250), 상기 제1 선형구동부, 상기 지지프레임, 상기 제1 슬라이딩가이드부, 상기 고정프레임, 상기 제2 선형구동부 및 상기 제2 슬라이딩가이드부는 상기 도 1 내지 도 4에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. The base plate 210, the driving part 220, the clamping part 240, the guide part 212, the seating block 250, the first linear driving part, the support frame, the first sliding guide part, the fixing frame, Since the second linear driving unit and the second sliding guide unit are the same as or similar to those described in FIGS. 1 to 4, a detailed description thereof will be omitted.

이동블럭(230)은 하나의 블록 형태로 형성될 수 있다. 이때, 이동블럭(230) 또는 클램핑헤드(241) 중 하나는 돌기부(232a)를 포함할 수 있다. 또한, 이동블럭(230) 또는 클램핑헤드 중 다른 하나는 돌기부(232a)가 삽입되는 돌기삽입부(241a)를 포함할 수 있다. 돌기부(232a)와 돌기삽입부(241a)는 상기에 도 1 내지 도 4에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. The movement block 230 may be formed in a single block shape. At this time, one of the moving block 230 or the clamping head 241 may include a protrusion 232a. In addition, the other one of the moving block 230 or the clamping head may include a protrusion insertion portion 241a into which the protrusion portion 232a is inserted. Since the protrusion part 232a and the protrusion insertion part 241a are the same as or similar to those described in FIGS. 1 to 4, detailed description thereof will be omitted.

상기와 같은 클램핑 장치(200)는 마스크 조립체 제조장치(미도시)에 설치될 수 있다. 이때, 상기 마스크 조립체 제조장치는 상기 도 1 내지 도 4에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. 또한, 이하에서는 클램핑 장치(200)의 작동에 대해서 상세히 설명하기로 한다. The clamping device 200 as described above may be installed in a mask assembly manufacturing device (not shown). At this time, since the mask assembly manufacturing apparatus is the same as or similar to that described in FIGS. 1 to 4, a detailed description thereof will be omitted. In addition, the operation of the clamping device 200 will be described in detail below.

클램핑 장치(200)가 마스크 시트(미도시)를 파지하는 경우를 살펴보면, 구동부(220)의 작동에 따라서 이동블럭(230)이 도 5의 좌측에서 우측으로 이동하면, 이동블럭(230)은 클램핑헤드(241)를 가력하고, 클램핑헤드(241)는 가이드부(212)를 따라 상측으로부터 하측으로 이동할 수 있다. 이때, 클램핑헤드(241)와 함께 클램핑블럭(242)이 이동하고, 클램핑블럭(242)과 안착블럭(250) 사이의 간격이 좁혀질 수 있다. 이러한 경우 클램핑블럭(242)과 안착블럭(250)은 마스크 시트(S)를 파지할 수 있다. Looking at the case where the clamping device 200 grips a mask sheet (not shown), when the moving block 230 moves from left to right in FIG. 5 according to the operation of the driving unit 220, the moving block 230 clamps The head 241 is pressed, and the clamping head 241 may move from the upper side to the lower side along the guide part 212 . At this time, the clamping block 242 moves together with the clamping head 241, and the gap between the clamping block 242 and the seating block 250 can be narrowed. In this case, the clamping block 242 and the seating block 250 may hold the mask sheet S.

상기와 같은 과정이 완료되면, 상기 마스크 시트를 마스크 프레임(미도시)에 용접하여 고정한 후 상기 마스크 시트의 외곽을 절단할 수 있다. When the above process is completed, the mask sheet may be welded and fixed to a mask frame (not shown), and then the outer edge of the mask sheet may be cut.

한편, 마스크 시트(S)의 파지를 해제하는 방법은 상기에서 설명한 바와 반대로 수행될 수 있다. 즉, 구동부(220)가 작동하면, 이동블럭(230)은 도 5의 우측에서 좌측으로 이동할 수 있다. 이때, 돌기부(232a)는 돌기삽입부(241a)를 따라 이동할 수 있다.Meanwhile, the method of releasing the holding of the mask sheet S may be performed opposite to that described above. That is, when the driving unit 220 operates, the moving block 230 can move from the right side to the left side in FIG. 5 . At this time, the protrusion 232a may move along the protrusion insertion portion 241a.

이동블럭(230)은 이동하면서 클램핑헤드(241)를 가력하고, 클램핑헤드(241)는 가이드부(212)를 따라서 하측에서 상측으로 선형 운동할 수 있다. 이때, 클램핑블럭(242)은 클램핑헤드(241)와 함께 이동하고, 클램핑블럭(242)과 안착블럭(250) 사이의 간격은 넓어질 수 있다. 상기 마스크 시트는 클램핑블럭(242)과 안착블럭(250)으로부터 파지가 해제될 수 있다. The moving block 230 applies pressure to the clamping head 241 while moving, and the clamping head 241 may linearly move from the lower side to the upper side along the guide unit 212 . At this time, the clamping block 242 moves together with the clamping head 241, and the distance between the clamping block 242 and the seating block 250 may widen. Holding the mask sheet from the clamping block 242 and the seating block 250 may be released.

따라서 클램핑 장치(200)는 클램핑블럭(242)을 수직방향으로 선형 운동시킴으로써 마스크 시트(S)의 파지 시 마스크 시트(S)에 힘이 가해지는 것을 방지할 수 있다. 또한, 클램핑 장치(200)는 마스크 시트(S)의 두께 오차로 인하여 마스크 시트(S)의 파지 시 발생할 수 있는 찍힘 현상이 발생하는 것을 방지할 수있다. Therefore, the clamping device 200 can prevent force from being applied to the mask sheet S when gripping the mask sheet S by linearly moving the clamping block 242 in the vertical direction. In addition, the clamping device 200 can prevent the occurrence of a stamping phenomenon that may occur when gripping the mask sheet S due to a thickness error of the mask sheet S.

클램핑 장치(200)는 마스크 시트(S)를 면접촉함으로써 마스크 시트(S)의 파지 시 균일한 가압력을 가하는 것이 가능함으로써 마스크 인장 시 미소한 왜곡이 발생하는 것을 방지할 수 있다. The clamping device 200 makes it possible to apply a uniform pressing force when gripping the mask sheet S by bringing the mask sheet S into surface contact, thereby preventing slight distortion from occurring when the mask is tensioned.

클램핑 장치(200)는 마스크 시트(S)의 변형을 최소화하여 마스크 프레임(F)에 용접이 가능함으로써 표시 장치의 제조 시 마스크 시트(S)의 변형으로 인한 불량을 최소화하고, 증착 품질을 향상시킬 수 있다. The clamping device 200 can be welded to the mask frame F by minimizing deformation of the mask sheet S, thereby minimizing defects due to deformation of the mask sheet S during manufacturing of the display device and improving deposition quality. can

도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 클램핑 장치를 보여주는 단면도이다.6 is a cross-sectional view showing a clamping device according to a third embodiment of the present invention.

도 6을 참고하면, 클램핑 장치(300)는 베이스 플레이트(310), 구동부(320), 이동블럭(330), 클램핑부(340), 가이드부(312), 안착블럭(350), 제1 선형구동부(미도시), 지지프레임(미도시), 제1 슬라이딩가이드부(미도시), 고정프레임(미도시), 제2 선형구동부(미도시), 제2 슬라이딩가이드부(미도시) 및 탄성부(390)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 6 , the clamping device 300 includes a base plate 310, a driving unit 320, a moving block 330, a clamping unit 340, a guide unit 312, a seating block 350, and a first linear block. Driving part (not shown), support frame (not shown), first sliding guide part (not shown), fixed frame (not shown), second linear driving part (not shown), second sliding guide part (not shown) and elasticity A portion 390 may be included.

베이스 플레이트(310), 구동부(320), 클램핑부(340), 가이드부(312), 안착블럭(350), 상기 제1 선형구동부, 상기 지지프레임, 상기 제1 슬라이딩가이드부, 상기 고정프레임, 상기 제2 선형구동부 및 상기 제2 슬라이딩가이드부는 상기 도 1 내지 도 4에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.Base plate 310, driving unit 320, clamping unit 340, guide unit 312, seating block 350, the first linear driving unit, the support frame, the first sliding guide unit, the fixing frame, Since the second linear driving unit and the second sliding guide unit are the same as or similar to those described in FIGS. 1 to 4, a detailed description thereof will be omitted.

이동블럭(330)은 동력전달블럭(331), 슬라이더(332) 및 댐퍼(333)를 포함할 수 있다. 이때, 동력전달블럭(331), 슬라이더(332) 및 댐퍼(333)는 상기 도 1 내지 도 4에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. The moving block 330 may include a power transmission block 331 , a slider 332 and a damper 333 . At this time, since the power transmission block 331, the slider 332, and the damper 333 are the same as or similar to those described in FIGS. 1 to 4, a detailed description thereof will be omitted.

슬라이더(332)와 클램핑헤드(341)는 서로 접촉할 수 있다. 이때, 슬라이더(332)와 클램핑헤드(341)가 서로 접촉하는 부분은 경사지게 형성될 수 있다. 특히 슬라이더(332)의 경사진 부분과 클램핑헤드(341)의 경사진 부분은 단순히 서로 접촉할 수 있다. 다른 실시예로써 슬라이더(332) 또는 클램핑헤드(341) 중 하나가 돌기부(미도시)를 구비하고, 슬라이더(332) 또는 클램핑헤드(341) 중 다른 하나가 돌기삽입부(미도시)를 구비하는 경우 상기 돌기부의 형태는 단면적이 일정한 바 형태일 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 상기 돌기부 및 상기 돌기삽입부를 구비하지 않는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The slider 332 and the clamping head 341 may contact each other. At this time, a portion where the slider 332 and the clamping head 341 come into contact with each other may be inclined. In particular, the slanted portion of the slider 332 and the slanted portion of the clamping head 341 may simply contact each other. As another embodiment, one of the slider 332 or the clamping head 341 includes a protrusion (not shown), and the other of the slider 332 or the clamping head 341 includes a protrusion insert (not shown). In this case, the shape of the protrusion may be a bar having a constant cross-sectional area. However, hereinafter, for convenience of description, a case in which the protrusion and the protrusion insertion portion are not provided will be described in detail.

탄성부(390)는 클램핑헤드(341)와 베이스 플레이트(310) 사이에 배치될 수 있다. 예를 들면, 탄성부(390)는 클램핑헤드(341)에 삽입되도록 배치됨으로써 클램핑헤드(341)의 운동에 따라서 클램핑헤드(341)에 복원력을 제공할 수 있다. The elastic part 390 may be disposed between the clamping head 341 and the base plate 310 . For example, the elastic part 390 may provide restoring force to the clamping head 341 according to the movement of the clamping head 341 by being disposed to be inserted into the clamping head 341 .

상기와 같은 탄성부(390)는 다양한 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 탄성부(390)는 압축스프링을 포함할 수 있다. 다른 실시예로써 탄성부(390)는 고무, 실리콘 등과 같은 탄성 재질로 형성된 바(Bar) 형태일 수 있다. 이때, 탄성부(390)는 상기에 한정되는 것은 아니며, 클램핑헤드(341)의 운동 시 클램핑헤드(341)에 복원력을 가하는 모든 형태 및 재질을 포함할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 탄성부(390)가 압축스프링을 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The elastic part 390 as described above may be formed in various shapes. For example, the elastic part 390 may include a compression spring. As another embodiment, the elastic part 390 may be in the form of a bar formed of an elastic material such as rubber or silicon. At this time, the elastic part 390 is not limited to the above, and may include any shape and material that applies restoring force to the clamping head 341 during movement of the clamping head 341 . Hereinafter, for convenience of description, a case in which the elastic part 390 includes a compression spring will be described in detail.

상기와 같은 클램핑 장치(300)는 마스크 조립체 제조장치(미도시)에 설치될 수 있다. 이때, 상기 마스크 조립체 제조장치의 구성은 상기 도 1 내지 도 4에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. 또한, 이하에서는 클램핑 장치(300)의 작동에 대해서 상세히 설명하기로 한다. The clamping device 300 as described above may be installed in a mask assembly manufacturing device (not shown). At this time, since the configuration of the mask assembly manufacturing apparatus is the same as or similar to that described in FIGS. 1 to 4, detailed description thereof will be omitted. In addition, the operation of the clamping device 300 will be described in detail below.

클램핑 장치(300)가 마스크 시트(미도시)를 파지하는 경우 구동부(320)가 작동하여 동력전달블럭(331)을 도 6의 좌측에서 우측으로 선형 운동시킬 수 있다. 동력전달블럭(331)의 운동과 함께 슬라이더(332)가 선형 운동하면 슬라이더(332)는 클램핑헤드(341)를 가력할 수 있다. 이때, 클램핑헤드(341)는 슬라이더(332)의 선형 운동에 따라서 가이드부(312)를 따라 상측으로 하측으로 이동할 수 있다. 탄성부(390)는 클램핑헤드(341)의 운동에 따라서 압착될 수 있다. When the clamping device 300 grips the mask sheet (not shown), the driving unit 320 may act to linearly move the power transmission block 331 from left to right in FIG. 6 . When the slider 332 linearly moves along with the motion of the power transmission block 331, the slider 332 may apply pressure to the clamping head 341. At this time, the clamping head 341 may move upward and downward along the guide part 312 according to the linear motion of the slider 332 . The elastic part 390 may be compressed according to the movement of the clamping head 341 .

상기와 같은 경우 탄성부(390)에는 탄성력이 저장되고, 클램핑블럭(342)은 안착블럭(350)과 근접하여 마스크 시트(S)를 파지할 수 있다. 이러한 경우 댐퍼(333)는 상기 도 1 내지 도 4에서 설명한 것과 같이 클램핑블럭(342)과 안착블럭(350)이 마스크 시트(S)를 일정한 힘으로 파지하도록 할 수 있다. In the above case, the elastic force is stored in the elastic part 390, and the clamping block 342 is close to the seating block 350 to hold the mask sheet S. In this case, the damper 333 may allow the clamping block 342 and the seating block 350 to hold the mask sheet S with a constant force, as described in FIGS. 1 to 4 .

상기와 같은 과정이 완료되면, 상기 마스크 시트를 마스크 프레임(미도시)에 부착시킬 수 있다. When the above process is completed, the mask sheet may be attached to a mask frame (not shown).

한편, 상기 마스크 시트의 파지를 해제하는 방법은 상기에서 설명한 것과 반대로 수행될 수 있다. 구체적으로 구동부(320)가 상기와 반대로 작동하면, 동력전달블럭(331)은 도 6의 우측에서 좌측으로 이동할 수 있다. 이때, 슬라이더(332)는 동력전달블럭(331)과 같은 방향으로 이동할 수 있다. Meanwhile, the method of releasing the gripping of the mask sheet may be performed opposite to that described above. Specifically, when the driving unit 320 operates opposite to the above, the power transmission block 331 may move from the right side to the left side in FIG. 6 . At this time, the slider 332 may move in the same direction as the power transmission block 331 .

슬라이더(332)가 이동하는 경우 슬라이더(332)가 클램핑헤드(341)에 가하는 힘이 제거될 수 있다. 이때, 탄성부(390)에 저장된 탄성력이 클램핑헤드(341)에 복원력으로 작용하여 클램핑헤드(341)를 하측으로부터 상측으로 이동시킬 수 있다. When the slider 332 moves, the force applied to the clamping head 341 by the slider 332 can be removed. At this time, the elastic force stored in the elastic part 390 acts as a restoring force on the clamping head 341 to move the clamping head 341 from the lower side to the upper side.

상기와 같이 클램핑헤드(341)가 이동하는 경우 클램핑헤드(341)와 안착블럭(350) 사이의 공간을 넓어질 수 있으며, 상기 마스크 시트의 파지를 해제할 수 있다. When the clamping head 341 moves as described above, the space between the clamping head 341 and the seating block 350 can be widened, and the gripping of the mask sheet can be released.

따라서 클램핑 장치(300)는 클램핑블럭(342)을 수직방향으로 선형 운동시킴으로써 마스크 시트(S)의 파지 시 마스크 시트(S)에 힘이 가해지는 것을 방지할 수 있다. 또한, 클램핑 장치(300)는 마스크 시트(S)의 두께 오차로 인하여 마스크 시트(S)의 파지 시 발생할 수 있는 찍힘 현상이 발생하는 것을 방지할 수있다. Therefore, the clamping device 300 can prevent force from being applied to the mask sheet S when gripping the mask sheet S by linearly moving the clamping block 342 in the vertical direction. In addition, the clamping device 300 can prevent the occurrence of a stamping phenomenon that may occur when gripping the mask sheet S due to a thickness error of the mask sheet S.

클램핑 장치(300)는 마스크 시트(S)를 면접촉함으로써 마스크 시트(S)의 파지 시 균일한 가압력을 가하는 것이 가능함으로써 마스크 인장 시 미소한 왜곡이 발생하는 것을 방지할 수 있다. The clamping device 300 makes it possible to apply a uniform pressing force when gripping the mask sheet S by bringing the mask sheet S into surface contact, thereby preventing slight distortion from occurring when the mask is tensioned.

클램핑 장치(300)는 마스크 시트(S)의 변형을 최소화하여 마스크 프레임(F)에 용접이 가능함으로써 표시 장치의 제조 시 마스크 시트(S)의 변형으로 인한 불량을 최소화하고, 증착 품질을 향상시킬 수 있다.The clamping device 300 can be welded to the mask frame F by minimizing deformation of the mask sheet S, thereby minimizing defects due to deformation of the mask sheet S and improving deposition quality during manufacture of the display device. can

도 7은 본 발명의 제4 실시예에 따른 클램핑 장치를 보여주는 단면도이다.7 is a cross-sectional view showing a clamping device according to a fourth embodiment of the present invention.

도 7을 참고하면, 클램핑 장치(400)는 베이스 플레이트(410), 구동부(420), 이동블럭(430), 클램핑부(440), 가이드부(412), 안착블럭(450), 제1 선형구동부(미도시), 지지프레임(미도시), 제1 슬라이딩가이드부(미도시), 고정프레임(미도시), 제2 선형구동부(미도시), 제2 슬라이딩가이드부(미도시) 및 탄성부(490)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 7 , the clamping device 400 includes a base plate 410, a driving unit 420, a moving block 430, a clamping unit 440, a guide unit 412, a seating block 450, and a first linear block. Driving part (not shown), support frame (not shown), first sliding guide part (not shown), fixed frame (not shown), second linear driving part (not shown), second sliding guide part (not shown) and elasticity A portion 490 may be included.

베이스 플레이트(410), 구동부(420), 클램핑부(440), 가이드부(412), 안착블럭(450), 상기 제1 선형구동부, 상기 지지프레임, 상기 제1 슬라이딩가이드부, 상기 고정프레임, 상기 제2 선형구동부 및 상기 제2 슬라이딩가이드부는 상기 도 1 내지 도 4에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.A base plate 410, a driving part 420, a clamping part 440, a guide part 412, a seating block 450, the first linear driving part, the support frame, the first sliding guide part, the fixing frame, Since the second linear driving unit and the second sliding guide unit are the same as or similar to those described in FIGS. 1 to 4, a detailed description thereof will be omitted.

이동블럭(430)은 도 5에서 설명한 것과 같이 하나의 블록으로 형성될 수 있다. 또한, 탄성부(490)는 도 6에서 설명한 것과 같이 클램핑헤드(441)와 베이스 플레이트(410) 사이에 배치될 수 있다. The movement block 430 may be formed as one block as described in FIG. 5 . Also, the elastic part 490 may be disposed between the clamping head 441 and the base plate 410 as described in FIG. 6 .

한편, 상기와 같은 클램핑 장치(400)는 마스크 조립체 제조장치(미도시)에 설치되어 마스크 시트(미도시)를 파지하거나 파지를 해제할 수 있다. Meanwhile, the clamping device 400 as described above may be installed in a mask assembly manufacturing device (not shown) to grip or release a mask sheet (not shown).

이때, 상기 마스크 시트를 파지하는 방법을 간략히 살펴보면, 구동부(420)의 작동에 따라 이동블럭(430)이 도 7의 좌측에서 우측으로 이동할 수 있다. 이때, 이동블럭(430)이 클램핑헤드(441)를 가력하고, 클램핑헤드(441)는 도 7의 상측에서 하측으로 가이드부(412)를 따라 이동하면서 탄성부(490)를 압축시킬 수 있다. 이러한 경우 클램핑블럭(442)과 안착블럭(450)은 상기 마스크 시트를 파지할 수 있다. 특히 클램핑블럭(442)은 상기 마스크 시트의 일면과 수직인 방향으로 선형 운동함으로써 상기 마스크 시트와 접촉 시 면접촉할 수 있다. At this time, looking briefly at the method of holding the mask sheet, the moving block 430 can move from the left side to the right side in FIG. 7 according to the operation of the driving unit 420 . At this time, the moving block 430 presses the clamping head 441 , and the clamping head 441 may compress the elastic part 490 while moving along the guide part 412 from the upper side to the lower side in FIG. 7 . In this case, the clamping block 442 and the seating block 450 can hold the mask sheet. In particular, the clamping block 442 may make surface contact with the mask sheet by linearly moving in a direction perpendicular to one surface of the mask sheet.

상기 마스크 시트를 파지한 후 파지를 해제하는 방법은 상기와 반대로 수행될 수 있다. 구체적으로 구동부(420)가 상기와 반대로 작동하면, 이동블럭(430)은 도 7의 우측에서 좌측으로 이동하면서 클램핑헤드(441)에 가한 힘을 제거할 수 있다. 이때, 탄성부(490)는 원상태로 복귀하면서 클램핑헤드(441)를 상측으로 가력할 수 있다. 따라서 클램핑헤드(441)는 도 7의 하측으로부터 상측으로 이동할 수 있다. 이러한 경우 클램핑헤드(441)와 이동블럭(430)의 접촉은 유지될 수 있다. After gripping the mask sheet, the method of releasing the gripping may be performed in the opposite way. Specifically, when the driving unit 420 operates in the opposite direction, the moving block 430 can remove the force applied to the clamping head 441 while moving from the right side to the left side in FIG. 7 . At this time, the elastic part 490 may press the clamping head 441 upward while returning to its original state. Accordingly, the clamping head 441 can move from the lower side to the upper side in FIG. 7 . In this case, contact between the clamping head 441 and the moving block 430 may be maintained.

상기와 같이 클램핑헤드(441)가 이동하는 경우 클램핑헤드(441)와 안착블럭(450) 사이 간격은 벌어짐으로써 상기 마스크 시트의 파지를 해제할 수 있다. As described above, when the clamping head 441 moves, the distance between the clamping head 441 and the seating block 450 widens, thereby releasing the gripping of the mask sheet.

따라서 클램핑 장치(400)는 클램핑블럭(442)을 수직방향으로 선형 운동시킴으로써 마스크 시트(S)의 파지 시 마스크 시트(S)에 힘이 가해지는 것을 방지할 수 있다. 또한, 클램핑 장치(400)는 마스크 시트(S)의 두께 오차로 인하여 마스크 시트(S)의 파지 시 발생할 수 있는 찍힘 현상이 발생하는 것을 방지할 수있다. Therefore, the clamping device 400 can prevent force from being applied to the mask sheet S when gripping the mask sheet S by linearly moving the clamping block 442 in the vertical direction. In addition, the clamping device 400 can prevent the occurrence of a stamping phenomenon that may occur when gripping the mask sheet S due to a thickness error of the mask sheet S.

클램핑 장치(400)는 마스크 시트(S)를 면접촉함으로써 마스크 시트(S)의 파지 시 균일한 가압력을 가하는 것이 가능함으로써 마스크 인장 시 미소한 왜곡이 발생하는 것을 방지할 수 있다. The clamping device 400 makes it possible to apply a uniform pressing force when gripping the mask sheet S by bringing the mask sheet S into surface contact, thereby preventing slight distortion from occurring when the mask is tensioned.

클램핑 장치(400)는 마스크 시트(S)의 변형을 최소화하여 마스크 프레임(F)에 용접이 가능함으로써 표시 장치의 제조 시 마스크 시트(S)의 변형으로 인한 불량을 최소화하고, 증착 품질을 향상시킬 수 있다.The clamping device 400 can be welded to the mask frame F by minimizing deformation of the mask sheet S, thereby minimizing defects due to deformation of the mask sheet S and improving deposition quality during manufacture of the display device. can

이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.As such, the present invention has been described with reference to one embodiment shown in the drawings, but this is merely exemplary, and those skilled in the art will understand that various modifications and variations of the embodiment are possible therefrom. Therefore, the true technical scope of protection of the present invention should be determined by the technical spirit of the appended claims.

1: 챔버
2: 용접부
3: 지지부
4: 비젼부
5: 제어부
10: 마스크 조립체 제조장치
100,200,300,400: 클램핑 장치
110,210,310,410: 베이스 플레이트
120,220,320,420: 구동부
130,230,330,430: 이동블럭
140,240,340,440: 클램핑부
150,250,350,450: 안착블럭
160: 제1 선형구동부
171: 지지프레임
172: 제1 슬라이딩가이드부
181: 고정프레임
182: 제2 선형구동부
183: 제2 슬라이딩가이드부
390,490: 탄성부1: chamber
2: Weld
3: support
4: vision part
5: control unit
10: mask assembly manufacturing device
100,200,300,400: clamping device
110,210,310,410: base plate
120,220,320,420: driving unit
130,230,330,430: moving block
140,240,340,440: clamping part
150,250,350,450: seating block
160: first linear drive unit
171: support frame
172: first sliding guide part
181: fixed frame
182: second linear drive unit
183: second sliding guide part
390,490: elastic part

Claims

base plate;
a driving unit installed to be fixed to the base plate;
a moving block connected to the driving unit and installed to enable linear motion on the base plate when the driving unit operates;
a clamping unit that contacts the movable block and operates according to the movement of the movable block; and
A guide part disposed on the base plate and guiding the linear motion of the clamping part;
The clamping part,
a clamping head that contacts the moving block and moves in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the base plate according to the movement of the moving block; and
A clamping block installed on the clamping head; includes,
The guide part,
a first guide part inserted into the clamping part to guide the movement of the clamping head; and
A clamping device comprising: a second guide portion connected to the first guide portion and having an inclined surface on which a part of the moving block is seated.

delete

According to claim 1,
The moving block,
a power transmission block that is connected to the driving unit and linearly moves the base plate; and
A clamping device including a slider connected to the power transmission block so as to be rotatable.

According to claim 3,
The moving block,
A clamping device further comprising a damper disposed between the power transmission block and the slider.

According to claim 1,
The clamping device of claim 1 , wherein a contact surface of the moving block and a contact surface of the clamping part contacting each other are inclined.

According to claim 1,
One of the moving block and the clamping part includes a protrusion protruding toward the other of the moving block and the clamping part,
A clamping device including a protrusion inserting part into which the protrusion is inserted and the other one of the moving block and the clamping part slides.

According to claim 6,
A clamping device in which the thickness of the protrusion is different in the height direction.

delete

According to claim 1,
The clamping device further includes a mounting block installed on the base plate to face a part of the clamping head.

According to claim 1,
A clamping device including an elastic part disposed between the base plate and the clamping part.

According to claim 1,
A clamping device further comprising a first linear driving unit connected to the base plate and linearly moving the base plate.

According to claim 11,
The first linear driving unit,
a sensor unit connected to the base plate;
a connection unit connected to the sensor unit; and
Clamping device comprising a; linear force connected to the connection portion to apply pressure to the connection portion.

According to claim 11,
a support frame to which the first linear actuator is connected; and
The clamping device further includes a first sliding guide part for connecting the base plate to the support frame so as to be slidable.

According to claim 13,
fixed frame;
a second linear actuator installed on the fixed frame and connected to the support frame to move the support frame; and
The clamping device further comprising a; second sliding guide portion for connecting the support frame to the fixed frame to be slidable.