JP5429903B2 - Tape gripping mechanism, sheet peeling apparatus and sheet peeling method - Google Patents

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Description

本発明は、テープ把持機構、シート剥離装置及びシート剥離方法に関する。   The present invention relates to a tape gripping mechanism, a sheet peeling apparatus, and a sheet peeling method.

チップを製造する際に、半導体ウエハ（以下、単にウエハと省略する。）を研削したり、ウエハをダイシングしたり、する工程が含まれる。このように、ウエハを研削する際に、ウエハの表面が研削液で汚染されないように、ウエハの表面（回路面）を保護するためのバックグラインド（ＢＧ）テープ等の保護テープやウエハの裏面を保護するためのＬＣテープが貼り付けられる。また、ウエハを研削した後に当該ウエハをダイシングするにあたり、個片化されたチップが飛散しないように、ウエハの裏面にダイシングテープが貼り付けられる。なお、以降、保護テープ、ＬＣテープ、ダイシングテープ等を総称してシートと記述する。   When manufacturing a chip, a process of grinding a semiconductor wafer (hereinafter simply referred to as a wafer) or dicing the wafer is included. In this way, when grinding the wafer, a protective tape such as a back grind (BG) tape for protecting the wafer surface (circuit surface) or the back surface of the wafer is used so that the wafer surface is not contaminated with the grinding liquid. An LC tape for protection is attached. Further, when dicing the wafer after grinding the wafer, a dicing tape is affixed to the back surface of the wafer so that the separated chips are not scattered. Hereinafter, protective tape, LC tape, dicing tape, and the like are collectively referred to as a sheet.

ここで、ウエハの表面を保護するシートは当該ウエハの研削後に剥離する。例えば特許文献１の剥離装置は、剥離テープの一端を把持したテープ把持手段を移動させ、剥離テープの他端をウエハに貼り付けられたシートに貼り付けて、剥離テープを引っ張ることでシートを折り返してウエハから剥離している。   Here, the sheet protecting the surface of the wafer is peeled off after the wafer is ground. For example, the peeling device of Patent Document 1 moves a tape holding means that holds one end of a peeling tape, attaches the other end of the peeling tape to a sheet attached to a wafer, and pulls the peeling tape to fold the sheet. Peeling from the wafer.

特開２００７−１７３４９５号公報JP 2007-173495 A

特許文献１の剥離装置は、剥離テープの一端を把持した際に、当該剥離テープの他端が垂れ下がってしまい、剥離テープの他端をシートに良好に貼り付けることが難しい。   In the peeling device of Patent Document 1, when one end of the peeling tape is gripped, the other end of the peeling tape hangs down, and it is difficult to favorably attach the other end of the peeling tape to the sheet.

本発明の目的は、上述した課題を解決するためになされたものであり、剥離テープを良好にシートに貼り付けることができる、テープ把持機構、シート剥離装置及びシート剥離方法を提供することである。   An object of the present invention is to solve the above-described problems, and is to provide a tape gripping mechanism, a sheet peeling apparatus, and a sheet peeling method that can satisfactorily attach a peeling tape to a sheet. .

本発明の一形態に係るテープ把持機構は、切断された剥離テープの一端を把持し、前記剥離テープの他端を被貼付部材に貼り付けられたシートに貼り付けて、前記剥離テープを引っ張ることで前記シートを折り返して前記被貼付部材から剥離する際に用いられるテープ把持機構であって、前記剥離テープの一端から他端に向かう方向と直交する方向を前記剥離テープの横断方向とすると、前記テープ把持機構は、前記剥離テープを前記横断方向に曲げて把持する。   A tape gripping mechanism according to an aspect of the present invention grips one end of a cut release tape, attaches the other end of the release tape to a sheet attached to a member to be attached, and pulls the release tape. In the tape gripping mechanism used when the sheet is folded back and peeled off from the member to be adhered, the direction perpendicular to the direction from one end to the other end of the peeling tape is the transverse direction of the peeling tape, The tape gripping mechanism bends and grips the release tape in the transverse direction.

本発明の一形態に係るシート剥離装置は、上述のテープ把持機構を備える。   A sheet peeling apparatus according to an aspect of the present invention includes the tape gripping mechanism described above.

本発明の一形態に係るシート剥離方法は、剥離テープの一端を把持する工程と、前記剥離テープの他端を被貼付部材に貼り付けられたシートに貼り付ける工程と、前記剥離テープを引っ張ることで前記シートを折り返して前記被貼付部材から剥離する工程と、を備え、前記剥離テープの一端から他端に向かう方向と直交する方向を前記剥離テープの横断方向とすると、前記剥離テープの一端を把持する工程では、前記剥離テープを前記横断方向に曲げて把持する。   The sheet peeling method according to one aspect of the present invention includes a step of gripping one end of a peeling tape, a step of sticking the other end of the peeling tape to a sheet attached to a member to be stuck, and a pulling of the peeling tape. The sheet is folded and peeled off from the adherend member, and when the direction perpendicular to the direction from one end to the other end of the peeling tape is the transverse direction of the peeling tape, one end of the peeling tape is In the gripping step, the peeling tape is bent and gripped in the transverse direction.

本発明によれば、剥離テープを良好にシートに貼り付けることができる、テープ把持機構、シート剥離装置及びシート剥離方法を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the tape holding | grip mechanism, sheet | seat peeling apparatus, and sheet | seat peeling method which can affix a peeling tape on a sheet | seat favorably can be provided.

本発明の第１の実施の形態に係るシート剥離装置を示す構成ブロック図である。1 is a configuration block diagram showing a sheet peeling apparatus according to a first embodiment of the present invention. 本発明の第１の実施の形態に係るテープ把持機構を示す上方斜視図である。It is an upper perspective view which shows the tape holding | grip mechanism which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１の実施の形態に係るテープ把持機構における、第１の把持部を示す上方斜視図である。It is an upper perspective view which shows the 1st holding part in the tape holding mechanism which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１の実施の形態に係るテープ把持機構を示す正面図である。It is a front view which shows the tape holding | grip mechanism which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１の実施の形態に係るテープ把持機構における、第２の把持部を示す上方斜視図である。It is an upper perspective view which shows the 2nd holding part in the tape holding mechanism which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１の実施の形態に係るシート剥離装置を用いて、ウエハに貼り付けられたシートを剥離する動作を示す図である。It is a figure which shows the operation | movement which peels the sheet | seat affixed on the wafer using the sheet | seat peeling apparatus which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１の実施の形態に係るテープ把持機構における、ウエハに貼り付けられたシートを剥離する際の正面図である。It is a front view at the time of peeling the sheet affixed on the wafer in the tape holding | grip mechanism which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第２の実施の形態に係るテープ把持機構における、第２の把持部を示す上方斜視図である。It is an upper perspective view which shows the 2nd holding part in the tape holding mechanism which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第２の実施の形態に係るテープ把持機構における、第２の把持部を示す下方斜視図である。It is a downward perspective view which shows the 2nd holding part in the tape holding mechanism which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第３の実施の形態に係るテープ把持機構における、第２の把持部を示す上方斜視図である。It is an upper perspective view which shows the 2nd holding part in the tape holding mechanism which concerns on the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第３の実施の形態に係るテープ把持機構における、第２の把持部を示す下方斜視図である。It is a downward perspective view which shows the 2nd holding part in the tape holding mechanism which concerns on the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第４の実施の形態に係るシート剥離装置における、押圧部を示す図である。It is a figure which shows the press part in the sheet | seat peeling apparatus which concerns on the 4th Embodiment of this invention. 本発明の第４の実施の形態に係るシート剥離装置における、押圧部の動作を説明する図である。It is a figure explaining operation | movement of the press part in the sheet peeling apparatus which concerns on the 4th Embodiment of this invention.

本発明の実施の形態に係るテープ把持機構、シート剥離装置及びシート剥離方法について説明する。但し、本発明が以下の実施の形態に限定される訳ではない。また、説明を明確にするため、以下の記載及び図面は、適宜、簡略化されている。さらに、以下の説明における、上下方向、左右方向及び前後方向はテープ把持機構の使用形態によって適宜変更される。   A tape gripping mechanism, a sheet peeling apparatus, and a sheet peeling method according to an embodiment of the present invention will be described. However, the present invention is not limited to the following embodiment. In addition, for clarity of explanation, the following description and drawings are simplified as appropriate. Furthermore, the vertical direction, the horizontal direction, and the front-rear direction in the following description are appropriately changed depending on the usage pattern of the tape gripping mechanism.

＜第１の実施の形態＞
本実施の形態のテープ把持機構、シート剥離装置及びシート剥離方法は、ウエハの裏面を研削する際に当該ウエハの表面を保護するために貼り付けられるシートを剥離する際に好適に用いられる。ちなみに、ウエハ６は一般的なウエハと同様に円盤形状であるが、形状は特に限定されない。 <First Embodiment>
The tape gripping mechanism, the sheet peeling apparatus, and the sheet peeling method of the present embodiment are suitably used when peeling a sheet to be attached to protect the wafer surface when grinding the back surface of the wafer. Incidentally, the wafer 6 has a disk shape like a general wafer, but the shape is not particularly limited.

先ず、シート剥離装置の構成を説明する。図１に示すように、シート剥離装置１は、移動部２、テープ把持部（テープ把持機構）３、制御部４を備えている。   First, the configuration of the sheet peeling apparatus will be described. As shown in FIG. 1, the sheet peeling apparatus 1 includes a moving unit 2, a tape gripping unit (tape gripping mechanism) 3, and a control unit 4.

移動部２は、図６（ａ）〜（ｅ）に示すように、テープ把持部３が剥離テープ５の一端を把持した状態で、当該剥離テープ５の他端をウエハ６に貼り付けられたシート７に貼り付け、剥離テープ５を引っ張ることでシート７を折り返してウエハ６から剥離するように、テープ把持部３を移動させる。   As shown in FIGS. 6A to 6E, the moving unit 2 has the other end of the peeling tape 5 attached to the wafer 6 with the tape holding unit 3 holding one end of the peeling tape 5. The tape holding part 3 is moved so that the sheet 7 is folded and peeled off from the wafer 6 by being attached to the sheet 7 and pulling the peeling tape 5.

ちなみに、剥離テープ５は、シート７に貼り付け可能な部材であれば特に限定されず、例えば接着剤や静電気吸引等の手法によってシート７に貼り付けられる。本実施の形態の剥離テープ５は、下面がシート７に貼り付けられる貼付面とされる。   Incidentally, if the peeling tape 5 is a member which can be affixed on the sheet | seat 7, it will not specifically limit, For example, it affixes on the sheet | seat 7 by methods, such as an adhesive agent and electrostatic attraction. The release tape 5 of the present embodiment has a lower surface that is affixed to the sheet 7.

この移動部２は、制御部４の制御に基づいて動作する。移動部２としては、ロボットアームを好適に用いることができるが、テープ把持部３を上下方向、左右方向及び前後方向に移動させることができ、且つ上下方向を規定する軸、左右方向を規定する軸及び前後方向を規定する軸を中心に回転させることができる構成であれば良い。   The moving unit 2 operates based on the control of the control unit 4. As the moving unit 2, a robot arm can be preferably used, but the tape gripping unit 3 can be moved in the vertical direction, the horizontal direction, and the front-rear direction, and the axis that defines the vertical direction and the horizontal direction are defined. Any structure that can rotate around the axis and the axis that defines the front-rear direction may be used.

テープ把持部３は、剥離テープ５の他端をウエハ６に貼り付けられたシート７に貼り付けて、剥離テープ５を引っ張ることでシート７を折り返してウエハ６から剥離するために、図２に示すように、短冊状に切断された剥離テープ５の一端を把持する。   The tape gripper 3 attaches the other end of the release tape 5 to the sheet 7 attached to the wafer 6 and pulls the release tape 5 to fold the sheet 7 away from the wafer 6. As shown, one end of the peeling tape 5 cut into a strip shape is gripped.

本実施の形態のテープ把持部３は、第１の把持部８、第２の把持部９、ベース部１０を備えている。第１の把持部８は、第２の把持部９とで剥離テープ５の一端を把持する。本実施の形態の第１の把持部８は、上下方向に移動可能にベース部１０に設けられている。詳細には、第１の把持部８は、ベース部１０の側部で上下方向に移動する。この第１の把持部８の下面に形成される把持面８ａは、図３に示すように、左右方向に湾曲しており、下方に向かって凸状に形成されている。例えば第１の把持部８の把持面８ａは、円弧形状とされている。   The tape gripping portion 3 according to the present embodiment includes a first gripping portion 8, a second gripping portion 9, and a base portion 10. The first grip 8 grips one end of the peeling tape 5 with the second grip 9. The first grip 8 of the present embodiment is provided on the base 10 so as to be movable in the vertical direction. Specifically, the first grip 8 moves in the vertical direction on the side of the base 10. As shown in FIG. 3, the gripping surface 8 a formed on the lower surface of the first gripping portion 8 is curved in the left-right direction and is formed in a convex shape downward. For example, the gripping surface 8a of the first gripping portion 8 has an arc shape.

第２の把持部９は、ベース部１０に設けられている。詳細には、第２の把持部９は、図４に示すように、ベース部１０の下部から略水平方向に突出しており、この突出する部分が第１の把持部８と上下方向に重なる。この第２の把持部９の上面に形成される把持面９ａは、第１の把持部８の把持面８ａと対応する形状とされている。つまり、第２の把持部９の把持面９ａは、図５に示すように、左右方向に湾曲しており、下方に向かって凹状に形成されている。例えば第２の把持部９の把持面９ａは、円弧形状とされている。   The second grip 9 is provided on the base 10. Specifically, as shown in FIG. 4, the second grip 9 protrudes from the lower portion of the base portion 10 in a substantially horizontal direction, and the protruding portion overlaps the first grip 8 in the vertical direction. A gripping surface 9 a formed on the upper surface of the second gripping portion 9 has a shape corresponding to the gripping surface 8 a of the first gripping portion 8. That is, as shown in FIG. 5, the gripping surface 9a of the second gripping part 9 is curved in the left-right direction and is formed in a concave shape downward. For example, the holding surface 9a of the second holding unit 9 has an arc shape.

これにより、第１の把持部８の把持面８ａを上方に移動させて第２の把持部９の把持面９ａとの間に剥離テープ５の一端を配置し、第１の把持部８の把持面８ａを下方に移動させて、第１の把持部８の把持面８ａと第２の把持部９の把持面９ａとで、剥離テープ５の一端を把持すると、図２に示すように、剥離テープ５は、横断方向（左右方向）の断面が下方に向かって凸状に湾曲した形状となる。そのため、剥離テープ５の上下方向への剛性が高くなり、剥離テープ５の他端が垂れ下がることを抑制することができる。よって、剥離テープ５の他端の位置を制御し易く、剥離テープ５の他端を良好にシート７に貼り付けることができる。   As a result, the gripping surface 8a of the first gripping part 8 is moved upward to place one end of the peeling tape 5 between the gripping surface 9a of the second gripping part 9 and the gripping of the first gripping part 8 When the surface 8a is moved downward and one end of the peeling tape 5 is gripped by the gripping surface 8a of the first gripping portion 8 and the gripping surface 9a of the second gripping portion 9, as shown in FIG. The tape 5 has a shape in which a cross section in the transverse direction (left-right direction) is curved in a convex shape downward. Therefore, the rigidity of the peeling tape 5 in the vertical direction is increased, and the other end of the peeling tape 5 can be suppressed from sagging. Therefore, it is easy to control the position of the other end of the release tape 5, and the other end of the release tape 5 can be satisfactorily attached to the sheet 7.

ちなみに、テープ把持部３は、剥離テープ５の一端を把持した際に、横断方向の中央部近傍を略水平面とすることが好ましい。例えば第１の把持部８の把持面８ａ及び第２の把持部９の把持面９ａに部分的に水平面が形成される。これにより、第１の把持部８の把持面８ａと第２の把持部９の把持面９ａとで剥離テープ５の一端を把持した際に水平部分が形成され、剥離テープ５の他端をシート７に確実に貼り付けることができる。   Incidentally, when the tape gripping part 3 grips one end of the peeling tape 5, it is preferable that the vicinity of the central part in the transverse direction is a substantially horizontal plane. For example, a horizontal plane is partially formed on the holding surface 8 a of the first holding unit 8 and the holding surface 9 a of the second holding unit 9. Thus, a horizontal portion is formed when one end of the peeling tape 5 is gripped by the gripping surface 8a of the first gripping part 8 and the gripping surface 9a of the second gripping part 9, and the other end of the peeling tape 5 is placed on the sheet. 7 can be securely attached.

制御部４は、テープ把持部３が剥離テープ５の一端を把持した状態で、剥離テープ５の他端をウエハ６に貼り付けられたシート７に貼り付けて、剥離テープ５を引っ張ることでシート７を折り返してウエハ６から剥離するように、移動部２及びテープ把持部３を制御する。   The control unit 4 attaches the other end of the release tape 5 to the sheet 7 attached to the wafer 6 and pulls the release tape 5 in a state where the tape holding unit 3 holds one end of the release tape 5. The moving unit 2 and the tape gripping unit 3 are controlled so that 7 is folded and separated from the wafer 6.

次に、シート剥離装置１を用いてシート７をウエハ６から剥離する工程を説明する。図６（ａ）〜（ｅ）に示すように、先ず表面にシート７が貼り付けられたウエハ６を所定のステージ１１上に載置する（図６（ａ））。ステージ１１は図示を省略した吸引装置を備えており、当該吸引装置はウエハ６を下方から吸引して位置固定する。このとき、制御部４は、センサ等によってシート７が貼り付けられたウエハ６がステージ１１上に載置されたことを検出し、吸引装置を制御する。   Next, a process of peeling the sheet 7 from the wafer 6 using the sheet peeling apparatus 1 will be described. As shown in FIGS. 6A to 6E, the wafer 6 having the sheet 7 attached to the surface is first placed on a predetermined stage 11 (FIG. 6A). The stage 11 includes a suction device (not shown). The suction device sucks the wafer 6 from below and fixes the position. At this time, the control unit 4 detects that the wafer 6 on which the sheet 7 has been attached by a sensor or the like has been placed on the stage 11, and controls the suction device.

次に、制御部４は、シート７が貼り付けられたウエハ６がステージ１１上に載置されたことを検出すると、剥離テープの送り出し装置１２を制御し、短冊状の剥離テープ５を送り出す（図６（ｂ））。送り出し装置１２は、ロール状に連続して巻き付けられた剥離テープを、制御部４の制御に基づいて所定長さ送り出して切断し、排出口から切断された剥離テープ５の一端を排出する。   Next, when the control unit 4 detects that the wafer 6 with the sheet 7 attached thereon has been placed on the stage 11, the control unit 4 controls the peeling tape feeding device 12 to feed the strip-shaped peeling tape 5 ( FIG. 6 (b)). The feeding device 12 feeds and cuts the peeling tape wound continuously in a roll shape for a predetermined length based on the control of the control unit 4, and discharges one end of the peeling tape 5 cut from the discharge port.

次に、制御部４は、移動部２及びテープ把持部３を制御し、テープ把持部３の第１の把持部８と第２の把持部９とで剥離テープ５の一端を把持させる（図６（ｃ））。そして、制御部４は、移動部２を制御し、剥離テープ５の他端をウエハ６に貼り付けられたシート７に貼り付ける（図６（ｄ））。このとき、剥離テープ５の他端は、実質的にウエハ６における直径の端部に貼り付けられることが好ましい。   Next, the control unit 4 controls the moving unit 2 and the tape gripping unit 3 to grip one end of the peeling tape 5 with the first gripping unit 8 and the second gripping unit 9 of the tape gripping unit 3 (see FIG. 6 (c)). Then, the control unit 4 controls the moving unit 2 and attaches the other end of the peeling tape 5 to the sheet 7 attached to the wafer 6 (FIG. 6D). At this time, it is preferable that the other end of the release tape 5 is attached to an end portion of the diameter of the wafer 6 substantially.

次に、制御部４は、移動部２を制御し、テープ把持部３で剥離テープ５を矢印Ａ方向に引っ張ることで、図７に示すように、シート７を折り返してウエハ６から剥離する（図６（ｅ））。このとき、移動部２は、上述したウエハ６の当該直径における一方の端部から他方の端部を超えた位置まで実質的に移動することが好ましい。但し、ウエハ６からシート７を良好に剥離することができれば、剥離テープ５の貼付位置やテープ把持部３の移動経路は特に限定されない。   Next, the control unit 4 controls the moving unit 2 and pulls the peeling tape 5 in the direction of the arrow A by the tape gripping unit 3, thereby folding the sheet 7 and peeling it from the wafer 6 as shown in FIG. FIG. 6 (e)). At this time, it is preferable that the moving part 2 substantially moves from one end of the diameter of the wafer 6 to a position beyond the other end. However, as long as the sheet 7 can be satisfactorily peeled from the wafer 6, the attaching position of the peeling tape 5 and the moving path of the tape gripping part 3 are not particularly limited.

その後、図示は省略するが、制御部４は、移動部２及びテープ把持部３を制御し、シート７が貼り付けられた剥離テープ５を所定の場所に廃棄する。ここで、剥離テープ５がテープ把持部３から廃棄されたことは、テープ把持部３に設けられた接触センサ１３（図２）等によって検出されることが好ましい。但し、剥離テープ５がテープ把持部３から廃棄されたことを検出することができれば手段は特に限定しない。   Then, although illustration is abbreviate | omitted, the control part 4 controls the moving part 2 and the tape holding part 3, and discards the peeling tape 5 with which the sheet | seat 7 was affixed on a predetermined place. Here, it is preferable to detect that the release tape 5 is discarded from the tape gripping portion 3 by a contact sensor 13 (FIG. 2) or the like provided in the tape gripping portion 3. However, the means is not particularly limited as long as it can be detected that the peeling tape 5 has been discarded from the tape gripping portion 3.

このようなテープ把持機構、シート剥離装置及びシート剥離方法は、第１の把持部８の把持面８ａと第２の把持部９の把持面９ａとで剥離テープ５の一端を把持すると、剥離テープ５の横断方向（左右方向）の断面を湾曲した形状とすることができる。そのため、剥離テープ５の上下方向への剛性が高くなり、剥離テープ５の他端が垂れ下がることを抑制することができる。よって、剥離テープ５の他端の位置を制御し易く、剥離テープ５の他端を良好にシート７に貼り付けることができる。   Such a tape gripping mechanism, a sheet peeling apparatus, and a sheet peeling method are configured such that when one end of the peeling tape 5 is gripped by the gripping surface 8a of the first gripping part 8 and the gripping surface 9a of the second gripping part 9, the peeling tape The cross section of 5 transverse directions (left-right direction) can be made into the curved shape. Therefore, the rigidity of the peeling tape 5 in the vertical direction is increased, and the other end of the peeling tape 5 can be suppressed from sagging. Therefore, it is easy to control the position of the other end of the release tape 5, and the other end of the release tape 5 can be satisfactorily attached to the sheet 7.

＜第２の実施の形態＞
本実施の形態のテープ把持部は、シートをウエハから剥離した後に剥離テープをテープ把持部から良好に剥離することができる構成とされている。なお、本実施の形態のテープ把持部の他の構成は、第１の実施の形態のテープ把持部と同様の構成とされているため、重複する説明は省略し、同一の構成要素は同一の符号を用いて説明する。 <Second Embodiment>
The tape gripping portion of the present embodiment is configured so that the release tape can be satisfactorily peeled from the tape gripping portion after the sheet is peeled from the wafer. In addition, since the other structure of the tape holding part of this Embodiment is the same structure as the tape holding part of 1st Embodiment, the overlapping description is abbreviate | omitted and the same component is the same This will be described using reference numerals.

図７に示すように、テープ把持部３で剥離テープ５を把持した際、及びシート７を折り返した際に、テープ把持部３の第２の把持部９には、剥離テープ５の貼付面が接触する。そのため、シート７が貼り付けられた剥離テープ５を廃棄するべく、第１の把持部８と第２の把持部９との把持状態を解除、即ち第１の把持部８の把持面８ａと第２の把持部９の把持面９ａとを離間させても、第２の把持部９に剥離テープ５が貼り付いて当該剥離テープ５を良好に廃棄することができない。   As shown in FIG. 7, when the peeling tape 5 is gripped by the tape gripping portion 3 and when the sheet 7 is folded back, the second gripping portion 9 of the tape gripping portion 3 has an application surface of the peeling tape 5. Contact. Therefore, in order to discard the release tape 5 to which the sheet 7 is attached, the gripping state between the first gripping portion 8 and the second gripping portion 9 is released, that is, the gripping surface 8a of the first gripping portion 8 and the first gripping surface 8a. Even if the gripping surface 9a of the second gripping part 9 is separated, the peeling tape 5 is stuck on the second gripping part 9, and the peeling tape 5 cannot be discarded well.

そこで、図８及び図９に示すように、本実施の形態の第２の把持部２０は、剥離部２１を備えている。剥離部２１は、例えばエアーによって剥離テープ５を第２の把持部２０から剥離する。具体的に云うと、剥離部２１は、第２の把持部２０における剥離テープ５が接触する領域に形成されたエアー吹き出し口２１ａからエアーを吹き出す。この剥離部２１は制御部４によって制御され、シート７が貼り付けられた剥離テープ５を廃棄する際に動作する。   Therefore, as shown in FIGS. 8 and 9, the second gripping portion 20 of this embodiment includes a peeling portion 21. The peeling part 21 peels the peeling tape 5 from the second grip part 20 by air, for example. More specifically, the peeling unit 21 blows out air from an air blowing port 21a formed in a region where the peeling tape 5 in the second gripping unit 20 contacts. The peeling unit 21 is controlled by the control unit 4 and operates when the peeling tape 5 to which the sheet 7 is attached is discarded.

これにより、シート７が貼り付けられた剥離テープ５を廃棄する際に、剥離テープ５を第２の把持部２０から確実に剥離させることができ、作業性の向上に寄与できる。   Thereby, when discarding the peeling tape 5 to which the sheet 7 is affixed, the peeling tape 5 can be reliably peeled from the second gripping portion 20, which can contribute to improvement in workability.

＜第３の実施の形態＞
本実施の形態のテープ把持部も、シートをウエハから剥離した後に剥離テープをテープ把持部から良好に剥離することができる構成とされている。なお、本実施の形態のテープ把持部の他の構成は、第１の実施の形態のテープ把持部と同様の構成とされているため、重複する説明は省略し、同一の構成要素は同一の符号を用いて説明する。 <Third Embodiment>
The tape gripping portion of the present embodiment is also configured to be able to satisfactorily peel the release tape from the tape gripping portion after peeling the sheet from the wafer. In addition, since the other structure of the tape holding part of this Embodiment is the same structure as the tape holding part of 1st Embodiment, the overlapping description is abbreviate | omitted and the same component is the same This will be described using reference numerals.

図７に示すように、テープ把持部３で剥離テープ５を把持した際、及びシート７を折り返した際に、テープ把持部３の第２の把持部９には、剥離テープ５の貼付面が接触する。そのため、シート７が貼り付けられた剥離テープ５を廃棄するべく、第１の把持部８と第２の把持部９との把持状態を解除しても、第２の把持部９に剥離テープ５が貼り付いて当該剥離テープ５を良好に廃棄することができない。   As shown in FIG. 7, when the peeling tape 5 is gripped by the tape gripping portion 3 and when the sheet 7 is folded back, the second gripping portion 9 of the tape gripping portion 3 has an application surface of the peeling tape 5. Contact. Therefore, even if the gripping state between the first gripping part 8 and the second gripping part 9 is released to discard the peeling tape 5 to which the sheet 7 is attached, the peeling tape 5 is attached to the second gripping part 9. Cannot be disposed of satisfactorily.

そこで、図１０及び図１１に示すように、本実施の形態の第２の把持部３０は、非粘着部３１を備えている（図１０及び図１１の斜線部分）。例えば、非粘着部３１として、第２の把持部３０における剥離テープ５が接触する領域に表面加工を施し、剥離テープ５との接触面積を低減している。例えば、非粘着部３１として、第２の把持部３０における剥離テープ５が接触する領域を、エンボス加工のように多数の凹凸に形成することにより、剥離テープ５の接着面に接する面積をできる限り小さくしている。   Therefore, as shown in FIGS. 10 and 11, the second gripping portion 30 of the present embodiment includes a non-adhesive portion 31 (shaded portions in FIGS. 10 and 11). For example, as the non-adhesive portion 31, surface processing is performed on a region where the release tape 5 in the second gripping portion 30 contacts, and the contact area with the release tape 5 is reduced. For example, as the non-adhesive portion 31, an area that is in contact with the peeling tape 5 in the second gripping portion 30 is formed in a large number of irregularities as in embossing so that the area in contact with the adhesive surface of the peeling tape 5 is as much as possible. It is small.

これにより、シート７が貼り付けられた剥離テープ５を廃棄する際に、剥離テープ５を第２の把持部３０から確実に剥離させることができ、作業性の向上に寄与できる。   Thereby, when discarding the peeling tape 5 to which the sheet 7 is affixed, the peeling tape 5 can be reliably peeled from the second gripping portion 30, which can contribute to improvement in workability.

ちなみに、当該凹凸面にテフロン（登録商標）等の非粘着処理を施すと、剥離テープ５との粘着性をより低下させることができる。   Incidentally, when non-adhesive treatment such as Teflon (registered trademark) is applied to the uneven surface, the adhesiveness with the release tape 5 can be further reduced.

＜第４の実施の形態＞
本実施の形態のシート剥離装置は、剥離テープの他端をシートに良好に貼り付けることができる構成とされている。なお、本実施の形態のシート剥離装置の他の構成は、第１の実施の形態のシート剥離装置と同様の構成とされているため、重複する説明は省略し、同一の構成要素は同一の符号を用いて説明する。 <Fourth embodiment>
The sheet peeling apparatus of the present embodiment is configured to be able to satisfactorily affix the other end of the peeling tape to the sheet. In addition, since the other structure of the sheet peeling apparatus of this Embodiment is set as the structure similar to the sheet peeling apparatus of 1st Embodiment, the overlapping description is abbreviate | omitted and the same component is the same This will be described using reference numerals.

本実施の形態のシート剥離装置は、移動部２、テープ把持部３、制御部４に加えて、図１２に示すように、押圧部４０を備えている。例えば、押圧部４０は、ローラ４０ａを備えており、当該ローラ４０ａで剥離テープ５の他端をシート７に押圧する。   In addition to the moving part 2, the tape holding part 3, and the control part 4, the sheet peeling apparatus of this Embodiment is provided with the press part 40 as shown in FIG. For example, the pressing unit 40 includes a roller 40a, and the other end of the peeling tape 5 is pressed against the sheet 7 by the roller 40a.

押圧部４０は、図１２及び図１３に示すように、ローラ４０ａが上下方向及び前後方向に移動可能であって、且つ前後方向を規定する軸と左右方向を規定する軸とを含む平面内で回転可能な構成とされているが好ましい。   As shown in FIGS. 12 and 13, the pressing portion 40 is configured such that the roller 40 a can move in the vertical direction and the front-rear direction, and includes a plane that defines the front-rear direction and an axis that defines the left-right direction. Although it is set as the structure which can rotate, it is preferable.

この押圧部４０は、制御部４によって制御される。詳細には、押圧部４０は、図１３に示すように、剥離テープ５の他端を押圧しない場合は、ローラ４０ａが前後方向に配置され、テープ把持部３が剥離テープ５の他端をシート７に貼り付けるために所定の位置に配置されると、ローラ４０ａが水平方向に回転して左右方向に配置される。そして、ローラ４０ａが下方に移動させられ、剥離テープ５の他端に接触した状態で、前方に移動させられる。これにより、ローラ４０ａによって剥離テープ５の他端はシート７に押し付けられ、剥離テープ５の他端をシート７に確実に貼り付けることができる。   The pressing unit 40 is controlled by the control unit 4. Specifically, as shown in FIG. 13, when the pressing portion 40 does not press the other end of the peeling tape 5, the roller 40 a is disposed in the front-rear direction, and the tape gripping portion 3 places the other end of the peeling tape 5 on the sheet. When the roller 40a is disposed at a predetermined position for being attached to the roller 7, the roller 40a rotates in the horizontal direction and is disposed in the left-right direction. Then, the roller 40a is moved downward and moved forward in a state where it contacts the other end of the peeling tape 5. As a result, the other end of the release tape 5 is pressed against the sheet 7 by the roller 40a, and the other end of the release tape 5 can be reliably attached to the sheet 7.

その後、ローラ４０ａは後方に移動させられて、剥離テープ５の他端に最初に接触した位置で上方に移動させられる。そして、ローラ４０ａは、水平方向に回転して前後方向に配置される。これにより、ローラ４０ａがシート７上から排除され、テープ把持部３を良好に移動させることができる。   Thereafter, the roller 40a is moved rearward and is moved upward at a position where it first contacts the other end of the peeling tape 5. The roller 40a rotates in the horizontal direction and is disposed in the front-rear direction. Thereby, the roller 40a is excluded from the sheet 7, and the tape gripping part 3 can be moved favorably.

本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。
上記第１〜第４の実施の形態を組み合わせて実施することができる。
上記第１〜第４の実施の形態の剥離テープは、下方に向かって凸状に曲げているが、上方に向かって凸状に曲げても良い。要するに、剥離テープの他端の垂れ下がりを抑制することができれば、湾曲形状は波型状、鋭角、又は鈍角等でも良い。
上記第１〜第４の実施の形態では、ウエハに貼り付けたシートを剥離しているが、シートが貼り付けられる部材は特に限定されない。
上記第１〜第４の実施の形態では、被貼付部材の表面に貼り付けたシートを剥離しているが、被貼付部材の裏面に貼り付けたシートを剥離する場合も同様に実施することができる。
上記第１〜第４の実施の形態は、被貼付部材に貼り付けたシートからフィルム等を剥離する場合にも適用できる。
さらに、シートを剥離する際、図６（ｅ）のようにテープ把持部３を移動させるのではなく、テープ把持部３を固定し、ステージ１１を矢印Ａの反対方向に移動させることによって、シート７を剥離しても良い。 The present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be changed as appropriate without departing from the spirit of the present invention.
The first to fourth embodiments can be implemented in combination.
Although the peeling tape of the said 1st-4th embodiment is bent convexly toward the downward direction, you may bend it convexly toward the upward direction. In short, as long as the sag at the other end of the release tape can be suppressed, the curved shape may be a wave shape, an acute angle, an obtuse angle, or the like.
In the first to fourth embodiments, the sheet attached to the wafer is peeled off, but the member to which the sheet is attached is not particularly limited.
In the said 1st-4th embodiment, although the sheet | seat stuck on the surface of the to-be-adhered member is peeled, when implementing the sheet | seat stuck on the back surface of the to-be-adhered member, it implements similarly. it can.
The said 1st-4th embodiment is applicable also when peeling a film etc. from the sheet | seat stuck on the to-be-bonded member.
Furthermore, when the sheet is peeled off, the tape gripping part 3 is not moved as shown in FIG. 6 (e), but the tape gripping part 3 is fixed and the stage 11 is moved in the direction opposite to the arrow A. 7 may be peeled off.

１ シート剥離装置
２ 移動部
３ テープ把持部
４ 制御部
５ 剥離テープ
６ ウエハ
７ シート
８ 第１の把持部、８ａ 把持面
９ 第２の把持部、９ａ 把持面
１０ ベース部
１１ ステージ
１２ 送り出し装置
１３ 接触センサ
２０ 第２の把持部
２１ 剥離部、２１ａ エアー吹き出し口
３０ 第２の把持部
３１ 非粘着部
４０ 押圧部、４０ａ ローラ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Sheet peeling apparatus 2 Moving part 3 Tape holding part 4 Control part 5 Release tape 6 Wafer 7 Sheet 8 1st holding part, 8a Holding surface 9 2nd holding part, 9a Holding surface 10 Base part 11 Stage 12 Sending apparatus 13 Contact sensor 20 Second gripping part 21 Peeling part, 21a Air outlet 30 Second gripping part 31 Non-adhesive part 40 Pressing part, 40a Roller

Claims (11)

切断された剥離テープの一端を把持し、前記剥離テープの他端を被貼付部材に貼り付けられたシートに貼り付けて、前記剥離テープを引っ張ることで前記シートを折り返して前記被貼付部材から剥離する際に用いられるテープ把持機構であって、
第１の把持手段と、
第２の把持手段と、
前記剥離テープが接触する領域に設けられ、エアーによって前記剥離テープが接触する領域から前記剥離テープを剥離する剥離手段と、
前記剥離テープが接触する領域に形成された非粘着手段と、
を備え、
前記第１の把持手段の把持面は凸部を有し、前記第２の把持手段の把持面は前記凸部と対応する凹部を有し、
前記剥離テープの一端から他端に向かう方向と直交する方向を前記剥離テープの横断方向とすると、前記テープ把持機構は、前記剥離テープを前記横断方向に曲げて把持するテープ把持機構。 One end of the cut release tape is gripped, the other end of the release tape is attached to a sheet attached to a member to be attached, and the sheet is folded back by pulling the release tape to be separated from the member to be attached. A tape gripping mechanism used when
First gripping means;
A second gripping means;
A peeling means for peeling the peeling tape from an area where the peeling tape is contacted by air;
Non-adhesive means formed in the area where the release tape contacts,
With
The gripping surface of the first gripping means has a convex part, the gripping surface of the second gripping means has a concave part corresponding to the convex part,
Assuming that the direction perpendicular to the direction from one end to the other end of the release tape is the transverse direction of the release tape, the tape holding mechanism is a tape holding mechanism that holds the release tape by bending it in the transverse direction. 切断された剥離テープの一端を把持し、前記剥離テープの他端を被貼付部材に貼り付けられたシートに貼り付けて、前記剥離テープを引っ張ることで前記シートを折り返して前記被貼付部材から剥離する際に、前記剥離テープの一端から他端に向かう方向と直交する方向を前記剥離テープの横断方向とすると、前記剥離テープを前記横断方向に曲げて把持するテープ把持機構であって、
第１の把持手段と第２の把持手段とを備えており、前記第１の把持手段の把持面は凸部を有し、前記第２の把持手段の把持面は前記凸部と対応する凹部を有し、
前記第１の把持手段の把持面及び前記第２の把持手段の把持面は、部分的に水平面が形成されているテープ把持機構。 One end of the cut release tape is gripped, the other end of the release tape is attached to a sheet attached to a member to be attached, and the sheet is folded back by pulling the release tape to be separated from the member to be attached. When, when the direction orthogonal to the direction from one end to the other end of the release tape and transverse direction of the peeling tape, a tape gripping mechanism for gripping and bending the release tape in the transverse direction,
A first gripping means and a second gripping means; the gripping surface of the first gripping means has a convex portion; and the gripping surface of the second gripping means is a concave portion corresponding to the convex portion. Have
A tape gripping mechanism in which a gripping surface of the first gripping means and a gripping surface of the second gripping means are partially formed with a horizontal plane . 前記剥離テープが接触する領域には、前記領域から前記剥離テープを剥離する剥離手段を備える請求項２に記載のテープ把持機構。 The tape gripping mechanism according to claim 2 , wherein a peeling unit that peels the peeling tape from the region is provided in a region where the peeling tape comes into contact. 前記剥離手段は、エアーによって前記剥離テープを剥離する請求項３に記載のテープ把持機構。 The tape gripping mechanism according to claim 3 , wherein the peeling means peels the peeling tape with air. 前記剥離テープが接触する領域には、非粘着手段を備える請求項２乃至４のいずれか１項に記載のテープ把持機構。 The tape gripping mechanism according to any one of claims 2 to 4 , wherein a non-adhesive means is provided in a region where the release tape contacts. 請求項１乃至５のいずれか１項に記載のテープ把持機構を備えるシート剥離装置。 A sheet peeling apparatus comprising the tape gripping mechanism according to any one of claims 1 to 5 . 前記剥離テープの他端を前記シートに押し付ける押圧手段を備える請求項６に記載のシート剥離装置。 The sheet peeling apparatus according to claim 6 , further comprising a pressing unit that presses the other end of the peeling tape against the sheet. 剥離テープが接触する領域に非粘着手段を有するテープ把持手段によって、前記剥離テープの一端を把持する工程と、
前記剥離テープの他端を被貼付部材に貼り付けられたシートに貼り付ける工程と、
前記剥離テープを引っ張ることで前記シートを折り返して前記被貼付部材から剥離する工程と、
前記シートを前記被貼付部材から剥離した後に、エアーによって前記剥離テープと前記テープ把持手段との接触状態を解除する工程と、
を備え、
前記剥離テープの一端から他端に向かう方向と直交する方向を前記剥離テープの横断方向とすると、前記剥離テープの一端を把持する工程では、前記剥離テープを前記横断方向に曲げて把持するシート剥離方法。 A step of gripping one end of the peeling tape by a tape gripping means having a non-adhesive means in a region where the peeling tape comes into contact ;
A process of affixing the other end of the release tape to a sheet affixed to a member to be adhered,
A step of folding the sheet by pulling the release tape and peeling the sheet from the adherend;
Releasing the contact state between the peeling tape and the tape gripping means by air after peeling the sheet from the member to be pasted;
With
Assuming that the direction perpendicular to the direction from one end to the other end of the peeling tape is the transverse direction of the peeling tape, in the step of grasping one end of the peeling tape, the sheet peeling is performed by bending and grasping the peeling tape in the transverse direction. Method. 剥離テープの一端を把持する工程と、
前記剥離テープの他端を被貼付部材に貼り付けられたシートに貼り付ける工程と、
前記剥離テープを引っ張ることで前記シートを折り返して前記被貼付部材から剥離する工程と、を備え、
前記剥離テープの一端から他端に向かう方向と直交する方向を前記剥離テープの横断方向とすると、前記剥離テープの一端を把持する工程では、前記剥離テープを前記横断方向に曲げると共に、部分的に水平部分を前記剥離テープに形成するシート剥離方法。 Gripping one end of the release tape;
A process of affixing the other end of the release tape to a sheet affixed to a member to be adhered,
A step of folding the sheet by pulling the release tape and peeling the sheet from the adherend,
Assuming that the direction perpendicular to the direction from one end to the other end of the release tape is the transverse direction of the release tape, in the step of gripping one end of the release tape, the release tape is bent in the transverse direction and partially A sheet peeling method for forming a horizontal portion on the peeling tape . 前記シートを前記被貼付部材から剥離した後に、エアーによって前記剥離テープと前記剥離テープの一端を把持するテープ把持手段との接触状態を解除する工程を備える請求項９に記載のシート剥離方法。 The sheet peeling method according to claim 9 , further comprising a step of releasing a contact state between the peeling tape and a tape gripping means for gripping one end of the peeling tape by air after peeling the sheet from the member to be pasted. 前記剥離テープを前記シートに貼り付ける工程では、前記剥離テープの他端を押圧手段によって前記シートに押し付ける請求項８乃至１０のいずれか１項に記載のシート剥離方法。   The sheet peeling method according to any one of claims 8 to 10, wherein in the step of attaching the peeling tape to the sheet, the other end of the peeling tape is pressed against the sheet by a pressing means.
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