JP5428423B2 - 半導体装置及びフィルム状接着剤 - Google Patents
半導体装置及びフィルム状接着剤 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5428423B2 JP5428423B2 JP2009064391A JP2009064391A JP5428423B2 JP 5428423 B2 JP5428423 B2 JP 5428423B2 JP 2009064391 A JP2009064391 A JP 2009064391A JP 2009064391 A JP2009064391 A JP 2009064391A JP 5428423 B2 JP5428423 B2 JP 5428423B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adhesive
- film
- mass
- parts
- semiconductor element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 title claims description 187
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 title claims description 186
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 82
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims description 34
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims description 34
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 25
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 claims description 25
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims description 22
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 claims description 19
- -1 glycidyl ester Chemical class 0.000 claims description 15
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims description 13
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 12
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 12
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 12
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 claims description 10
- 239000000155 melt Substances 0.000 claims description 10
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 9
- 125000003342 alkenyl group Chemical group 0.000 claims description 6
- 125000003710 aryl alkyl group Chemical group 0.000 claims description 6
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims description 6
- 125000006165 cyclic alkyl group Chemical group 0.000 claims description 6
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 claims description 6
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims description 6
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229920006243 acrylic copolymer Polymers 0.000 claims description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 claims description 3
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 claims description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 116
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 19
- 239000002966 varnish Substances 0.000 description 11
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 10
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 10
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 10
- 229920000800 acrylic rubber Polymers 0.000 description 7
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 7
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 7
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 7
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 description 7
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 7
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 7
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N bisphenol F Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1CC1=CC=C(O)C=C1 PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 6
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 5
- 239000007822 coupling agent Substances 0.000 description 5
- 238000002788 crimping Methods 0.000 description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 5
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 5
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 5
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 5
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 4
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 4
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 4
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 4
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 4
- LVNLBBGBASVLLI-UHFFFAOYSA-N 3-triethoxysilylpropylurea Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCNC(N)=O LVNLBBGBASVLLI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UUEWCQRISZBELL-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropane-1-thiol Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCS UUEWCQRISZBELL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 239000013039 cover film Substances 0.000 description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 3
- 125000003055 glycidyl group Chemical group C(C1CO1)* 0.000 description 3
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 3
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 3
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 3
- QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 2-methylphenol;3-methylphenol;4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1.CC1=CC=CC(O)=C1.CC1=CC=CC=C1O QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N Acrylonitrile Chemical compound C=CC#N NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002012 Aerosil® Inorganic materials 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 2
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 2
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 2
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 2
- 239000002313 adhesive film Substances 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 229930003836 cresol Natural products 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000005187 foaming Methods 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 2
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 2
- 229920003067 (meth)acrylic acid ester copolymer Polymers 0.000 description 1
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JMMZCWZIJXAGKW-UHFFFAOYSA-N 2-methylpent-2-ene Chemical compound CCC=C(C)C JMMZCWZIJXAGKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BVYPJEBKDLFIDL-UHFFFAOYSA-N 3-(2-phenylimidazol-1-yl)propanenitrile Chemical compound N#CCCN1C=CN=C1C1=CC=CC=C1 BVYPJEBKDLFIDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VPWNQTHUCYMVMZ-UHFFFAOYSA-N 4,4'-sulfonyldiphenol Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1S(=O)(=O)C1=CC=C(O)C=C1 VPWNQTHUCYMVMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acrylate Chemical compound CCOC(=O)C=C JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 1
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 230000001588 bifunctional effect Effects 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000003851 corona treatment Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 239000003085 diluting agent Substances 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 1
- VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N glycidyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1CO1 VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000623 heterocyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000005453 ketone based solvent Substances 0.000 description 1
- 239000004850 liquid epoxy resins (LERs) Substances 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- PHQOGHDTIVQXHL-UHFFFAOYSA-N n'-(3-trimethoxysilylpropyl)ethane-1,2-diamine Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCNCCN PHQOGHDTIVQXHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KBJFYLLAMSZSOG-UHFFFAOYSA-N n-(3-trimethoxysilylpropyl)aniline Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCNC1=CC=CC=C1 KBJFYLLAMSZSOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005487 naphthalate group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005026 oriented polypropylene Substances 0.000 description 1
- AFEQENGXSMURHA-UHFFFAOYSA-N oxiran-2-ylmethanamine Chemical compound NCC1CO1 AFEQENGXSMURHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RPQRDASANLAFCM-UHFFFAOYSA-N oxiran-2-ylmethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC1CO1 RPQRDASANLAFCM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N pent‐4‐en‐2‐one Natural products CC(=O)CC=C PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 description 1
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 1
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 description 1
- 229920000306 polymethylpentene Polymers 0.000 description 1
- 239000011116 polymethylpentene Substances 0.000 description 1
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 1
- 239000002987 primer (paints) Substances 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 1
- 230000009974 thixotropic effect Effects 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L2224/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/321—Disposition
- H01L2224/32135—Disposition the layer connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
- H01L2224/32145—Disposition the layer connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being stacked
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L2224/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/321—Disposition
- H01L2224/32151—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/32221—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/32225—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48225—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
- H01L2224/48227—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
- H01L2224/73265—Layer and wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/153—Connection portion
- H01L2924/1531—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
- H01L2924/15311—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a ball array, e.g. BGA
Description
[式(2)中、R5はそれぞれ独立に、水素原子、直鎖、分岐または環状アルキル基、アラルキル基、アルケニル基、水酸基、アリール基、あるいはハロゲン原子を示し、nは1〜4の整数を示し、pは1〜50の範囲の整数を示す。]
表1又は表2に示す品名及び組成比(単位:質量部)のエポキシ樹脂、フェノール樹脂及びフィラーからなる組成物にシクロヘキサノンを加え、撹拌混合した。これに、表1又は表2に同様に示すアクリルゴムを加えて撹拌し、更に表1又は表2に同様に示すカップリング剤及び硬化促進剤を加えて各成分が均一になるまで撹拌してワニスを得た。
YSLV−80XY:(東都化成株式会社製商品名、ビスキシレノール型エポキシ樹脂、エポキシ当量192、融点67℃)。
YDF−8170C:(東都化成株式会社製商品名、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、エポキシ当量159、常温で液体)。
YDCN−700−10:(東都化成株式会社製商品名、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、エポキシ当量210、軟化点75〜85℃)。
ミレックスXLC−LL:(三井化学株式会社製商品名、フェノール樹脂、水酸基当量175、軟化点77℃)。
HE−200C−10:(エア・ウォーター株式会社製商品名、フェノール樹脂、水酸基当量200)。
SC2050−HLG:(アドマテックス株式会社製商品名、シリカフィラー分散液、平均粒径0.500μm)。
アエロジルR972:(日本アエロジル株式会社製商品名、シリカ、平均粒径0.016μm)。
アクリルゴムHTR−860P:(帝国化学産業株式会社製商品名、重量平均分子量80万、グリシジル官能基3%)。
アクリルゴムHTR−860P−230k:(帝国化学産業株式会社製サンプル名、重量平均分子量23万、グリシジル官能基3%、Tg:−7℃)。
アクリルゴムHTR−860P−230k−10%:(帝国化学産業株式会社製サンプル名、重量平均分子量23万、グリシジル官能基10%、Tg:−7℃)。
NUC A−1160:(GE東芝株式会社製商品名、γ−ウレイドプロピルトリエトキシシラン)。
NUC A−189:(GE東芝株式会社製商品名、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン)。
キュアゾール2PZ−CN:(四国化成工業株式会社製商品名、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール)。
得られた接着シートのフィルム状接着剤について、80℃での溶融粘度、120℃/1時間熱処理後及び120℃/2時間熱処理後のずり貯蔵弾性率、接着強度の測定、並びに、耐リフロー性及び反り量の評価を行った。
接着層の溶融粘度を平行板プラストメーター法により測定した。具体的には、まず、上記接着シート3枚から、支持フィルムを剥離除去した後、3枚のフィルム状接着剤を60℃で3枚貼り合わせて厚み120μmの積層体を得た。次いで、その積層体を、厚み方向に打ち抜き、直径6mm、厚み120μmの円板状の積層体を得た。円板状の積層体を厚さ150μmのスライドガラスで、その厚み方向に挟んでサンプルを得た。圧着(圧縮)時に80℃となるように設定した圧着(圧縮)機を使用して、得られたサンプルを3kgfで3秒間厚み方向に圧着(圧縮)した。そのときの積層体とスライドガラスとの間の接触面積の変化から、溶融粘度を導出した。結果を表3及び4に示す。
フィルム状接着剤のずり貯蔵弾性率は下記の方法により評価した。上記接着シート4枚から、支持フィルムを剥離除去した後、4枚のフィルム状接着剤を60℃で4枚貼り合わせて厚み160μmの積層体を得た。次いで、その積層体を、厚み方向に直径25mmの円形状に打ち抜き、直径25mm、厚み160μmの円形状の積層体を得た。ARES(レオメトリック・サイエンティフィック社製)に直径25mmの円形アルミプレート治具をセットし、更にここに打ち抜いた円板状の積層体をセットした。その後、120℃で15%の歪みを与えながらずり貯蔵弾性率を8秒ごとに測定し、1時間経過した後と2時間経過した後の測定値を記録した。
フィルム状接着剤のダイシェア強度(接着強度)を下記の方法により測定した。まず、接着シートのフィルム状接着剤を厚み400μmの半導体ウェハに60℃で貼り付けた。次に、それらを3.2mm角にダイシングしてチップを得た。個片化したチップの接着剤側をレジスト(商品名「AUS308」、太陽インキ社製)を塗布した基板(日立化成工業社製、商品名「E−697FG」)表面上に、100℃、100gf/cm2、1秒間の条件で熱圧着してサンプルを得た。その後、得られたサンプルの接着剤を110℃で1時間、120℃で1時間、170℃で1時間の順のステップキュアにより硬化した。更に、接着剤硬化後のサンプルを85℃、60RH%条件の下、168時間放置した。放置後即座に265℃でダイシェア強度を測定し、これを接着強度とした。結果を表3及び4に示す。
フィルム状接着剤の耐リフロー性を下記の方法により評価した。まず、接着シートのフィルム状接着剤を厚み75μmの半導体ウエハに60℃で貼り付けた。次に、それらを7.5mm角にダイシングしてチップを得た。個片化したチップの接着剤を、レジスト(商品名「AUS308」、太陽インキ社製)を塗布した基板表面上に120℃、0.05MPa、1秒間の条件で圧着してサンプルを得た。次に、得られたサンプルを120℃で60分間加熱し、更にホットプレートを用いて、ワイヤボンディングと同等の熱履歴(160℃、5分)をサンプルに与えた。次いで、モールド用封止材(日立化成工業社製、商品名「CEL−9700HF」)を用いて、175℃、5時間の条件でサンプルを樹脂封止してパッケージを得た。
フィルム状接着剤を用いて作製した接着剤付きチップを基板へ実装した際の反り量は、下記の方法により評価した。
Claims (5)
- 半導体素子と、該半導体素子を搭載する支持部材と、前記半導体素子及び前記支持部材を接着するフィルム状接着剤の硬化物と、を備え、
前記フィルム状接着剤が、熱硬化性成分100質量部と、モノマ単位としてグリシジルエステルモノマを5〜15質量%含有し、重量平均分子量が10万〜80万且つTgが−50〜50℃であるエポキシ基含有(メタ)アクリル共重合体15〜40質量部と、平均粒子径が0.1〜2.0μmのシリカフィラー50〜100質量部と、を含有し、
前記熱硬化性成分が、熱硬化性成分100質量部に対して、下記一般式(1)で表されるエポキシ樹脂を25質量部以上と、下記一般式(2)で表されるフェノール樹脂及び/又は下記一般式(3)で表されるフェノール樹脂を合計で35〜55質量部含み、
前記フィルム状接着剤は、硬化前の80℃における溶融粘度が500Pa・s以上10000Pa・s以下であり、前記フィルム状接着剤を直径25mm、厚み160μmの円形状に形成した測定サンプルに直径25mmの円形アルミプレートによって15%の歪みを与えながら120℃で1時間加熱したときの120℃におけるずり貯蔵弾性率が0.005MPa以上1MPa以下であり、120℃で2時間加熱したときの120℃におけるずり貯蔵弾性率が10MPa以下である、半導体装置。
[式(1)中、R 1 〜R 4 はそれぞれ独立に、水素原子、直鎖、分岐または環状アルキル基、アラルキル基、アルケニル基、水酸基、アリール基、あるいはハロゲン原子を示し、k及びmは1〜4の整数を示す。]
[式(2)中、R 5 はそれぞれ独立に、水素原子、直鎖、分岐または環状アルキル基、アラルキル基、アルケニル基、水酸基、アリール基、あるいはハロゲン原子を示し、nは1〜4の整数を示し、pは1〜50の範囲の整数を示す。]
[式(3)中、qは1〜50の範囲の整数を示す。] - 前記フィルム状接着剤が、前記熱硬化性成分100質量部に対して、更に硬化促進剤を0.05〜0.20質量部含有する、請求項1に記載の半導体装置。
- 半導体素子を該半導体素子を搭載する支持部材に接着するために用いられる熱硬化性のフィルム状接着剤であって、
熱硬化性成分100質量部と、モノマ単位としてグリシジルエステルモノマを5〜15質量%含有し、重量平均分子量が10万〜80万且つTgが−50〜50℃であるエポキシ基含有(メタ)アクリル共重合体15〜40質量部と、平均粒子径が0.1〜2.0μmのシリカフィラー50〜100質量部と、を含有し、
前記熱硬化性成分が、熱硬化性成分100質量部に対して、下記一般式(1)で表されるエポキシ樹脂を25質量部以上と、下記一般式(2)で表されるフェノール樹脂及び/又は下記一般式(3)で表されるフェノール樹脂を合計で35〜55質量部含み、
硬化前の80℃における溶融粘度が500Pa・s以上10000Pa・s以下であり、直径25mm、厚み160μmの円形状に形成した測定サンプルに直径25mmの円形アルミプレートによって15%の歪みを与えながら120℃で1時間加熱したときの120℃におけるずり貯蔵弾性率が0.005MPa以上1MPa以下であり、120℃で2時間加熱したときの120℃におけるずり貯蔵弾性率が10MPa以下である、フィルム状接着剤。
[式(1)中、R 1 〜R 4 はそれぞれ独立に、水素原子、直鎖、分岐または環状アルキル基、アラルキル基、アルケニル基、水酸基、アリール基、あるいはハロゲン原子を示し、k及びmは1〜4の整数を示す。]
[式(2)中、R 5 はそれぞれ独立に、水素原子、直鎖、分岐または環状アルキル基、アラルキル基、アルケニル基、水酸基、アリール基、あるいはハロゲン原子を示し、nは1〜4の整数を示し、pは1〜50の範囲の整数を示す。]
[式(3)中、qは1〜50の範囲の整数を示す。] - 前記熱硬化性成分100質量部に対して、更に硬化促進剤を0.05〜0.20質量部含有する、請求項3に記載のフィルム状接着剤。
- 半導体素子と、該半導体素子を搭載する支持部材と、を備え、前記半導体素子及び前記支持部材がフィルム状接着剤の硬化物により接着されている半導体装置の製造方法であって、
請求項3又は4に記載のフィルム状接着剤を貼り付けた前記半導体素子を、前記支持部材に加熱加圧して接着させる工程を有する、半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009064391A JP5428423B2 (ja) | 2008-04-21 | 2009-03-17 | 半導体装置及びフィルム状接着剤 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008110082 | 2008-04-21 | ||
JP2008110082 | 2008-04-21 | ||
JP2009064391A JP5428423B2 (ja) | 2008-04-21 | 2009-03-17 | 半導体装置及びフィルム状接着剤 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009283905A JP2009283905A (ja) | 2009-12-03 |
JP5428423B2 true JP5428423B2 (ja) | 2014-02-26 |
Family
ID=41453993
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009064391A Active JP5428423B2 (ja) | 2008-04-21 | 2009-03-17 | 半導体装置及びフィルム状接着剤 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5428423B2 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5879675B2 (ja) * | 2010-06-17 | 2016-03-08 | 日立化成株式会社 | 半導体用接着フィルム、半導体搭載用配線基板、半導体装置、および接着剤組成物 |
JP2012062422A (ja) * | 2010-09-17 | 2012-03-29 | Sekisui Chem Co Ltd | 樹脂組成物及び成形体 |
JP5830250B2 (ja) * | 2011-02-15 | 2015-12-09 | 日東電工株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP5666335B2 (ja) * | 2011-02-15 | 2015-02-12 | 日東電工株式会社 | 保護層形成用フィルム |
JP5736899B2 (ja) * | 2011-03-28 | 2015-06-17 | 日立化成株式会社 | フィルム状接着剤、接着シート及び半導体装置 |
JP2013006899A (ja) * | 2011-06-22 | 2013-01-10 | Hitachi Chemical Co Ltd | 接着フィルム及びこれを用いた半導体装置 |
JP6239223B2 (ja) * | 2011-11-18 | 2017-11-29 | 大日本印刷株式会社 | 接着剤組成物およびそれを用いた接着シート |
JP6119094B2 (ja) * | 2011-12-27 | 2017-04-26 | 住友ベークライト株式会社 | 半導体装置 |
JP6133542B2 (ja) * | 2012-02-29 | 2017-05-24 | 日立化成株式会社 | フィルム状接着剤、接着シート及び半導体装置 |
US9212298B2 (en) * | 2012-03-08 | 2015-12-15 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | Adhesive sheet and method for manufacturing semiconductor device |
JP5425975B2 (ja) | 2012-06-28 | 2014-02-26 | 日東電工株式会社 | 接着フィルム、半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
JP2015092594A (ja) * | 2014-12-10 | 2015-05-14 | 日東電工株式会社 | 保護層形成用フィルム |
JP6213618B2 (ja) * | 2016-06-09 | 2017-10-18 | 日立化成株式会社 | フィルム状接着剤、接着シート及び半導体装置 |
TW202006034A (zh) * | 2018-06-21 | 2020-02-01 | 日商日立化成股份有限公司 | 熱硬化性樹脂組成物、預浸體、積層板、印刷線路板及半導體封裝體以及熱硬化性樹脂組成物的製造方法 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4719992B2 (ja) * | 2001-03-19 | 2011-07-06 | 日立化成工業株式会社 | 接着剤組成物およびその用途 |
JP2003096426A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-03 | Hitachi Chem Co Ltd | 接着部材 |
JP2007291375A (ja) * | 2004-05-31 | 2007-11-08 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 樹脂組成物、接着フィルムおよび樹脂ワニス |
JP2006182919A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体用接着フィルム及びこれを用いた半導体装置 |
JP2006269887A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体用接着フィルム及びこれを用いた半導体装置 |
JP4682796B2 (ja) * | 2005-04-19 | 2011-05-11 | 日立化成工業株式会社 | 封止用シート |
JP5157229B2 (ja) * | 2006-04-11 | 2013-03-06 | 日立化成株式会社 | 接着シート |
JP2008004751A (ja) * | 2006-06-22 | 2008-01-10 | Sekisui Chem Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2008060523A (ja) * | 2006-08-01 | 2008-03-13 | Hitachi Chem Co Ltd | 封止フィルム及びそれを用いた半導体装置 |
JP4430085B2 (ja) * | 2007-03-01 | 2010-03-10 | 日東電工株式会社 | ダイシング・ダイボンドフィルム |
JP2009124114A (ja) * | 2007-10-22 | 2009-06-04 | Chisso Corp | シロール誘導体化合物を用いた電子輸送・注入層用材料及び有機電界発光素子 |
JP4893640B2 (ja) * | 2008-01-22 | 2012-03-07 | 住友ベークライト株式会社 | 半導体用接着フィルム及びこれを用いた半導体装置 |
JP4872956B2 (ja) * | 2008-03-24 | 2012-02-08 | 日立化成工業株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
-
2009
- 2009-03-17 JP JP2009064391A patent/JP5428423B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009283905A (ja) | 2009-12-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5428423B2 (ja) | 半導体装置及びフィルム状接着剤 | |
JP5736899B2 (ja) | フィルム状接着剤、接着シート及び半導体装置 | |
JP6133542B2 (ja) | フィルム状接着剤、接着シート及び半導体装置 | |
JP6135202B2 (ja) | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
JP5157229B2 (ja) | 接着シート | |
JP5364991B2 (ja) | 半導体用接着剤組成物、半導体用接着シート及び半導体装置 | |
JP5834662B2 (ja) | フィルム状接着剤、接着シート、半導体装置及びその製造方法 | |
JP5532575B2 (ja) | 接着シート | |
JP4957064B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP6222395B1 (ja) | フィルム状接着剤及びダイシングダイボンディング一体型接着シート | |
JP6191799B1 (ja) | 半導体装置、半導体装置の製造方法及びフィルム状接着剤 | |
JP5476673B2 (ja) | 接着シート | |
TWI774916B (zh) | 半導體裝置的製造方法、膜狀接著劑及接著片 | |
JP6443521B2 (ja) | フィルム状接着剤及びダイシングダイボンディング一体型接着シート | |
JP2012153851A (ja) | 半導体装置及びフィルム状接着剤 | |
JP6191800B1 (ja) | フィルム状接着剤及びダイシングダイボンディング一体型接着シート | |
JP6768188B2 (ja) | 接着フィルム用接着剤組成物及びその製造方法 | |
JP6988923B2 (ja) | 半導体装置の製造方法、及びフィルム状接着剤 | |
JP5805925B2 (ja) | ダイボンディングフィルム及びこれを用いた半導体装置 | |
JP2010132884A (ja) | 接着シート及びこれを用いた半導体素子 | |
JP6213618B2 (ja) | フィルム状接着剤、接着シート及び半導体装置 | |
JP7140143B2 (ja) | 半導体装置の製造方法、及びフィルム状接着剤 | |
WO2019171544A1 (ja) | 半導体装置の製造方法及びフィルム状接着剤 | |
JP2020145227A (ja) | 接着フィルム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120120 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121210 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130129 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130328 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131105 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131118 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5428423 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |