JP5422890B2 - 磁気カプラ - Google Patents
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Description
最初に、図1および図2を参照して、本発明における第1の実施の形態としての磁気カプラの構成について説明する。図1は、本実施の形態の磁気カプラの構成を表す平面図である。図2(A)は、図1に示した磁気カプラの要部を拡大した平面図であり、図2(B)は、図2(A)のIIB−IIB線に沿った矢視方向の断面図である。なお、図1に示した信号電流Im、誘導磁界Hmおよびバイアス磁界Hbのすべての矢印の方向は、磁気抵抗効果素子31〜34(後出)との相対的な方向を示している。この磁気カプラは、ある電気回路からの信号を、電気的に非接触な状態で他の電気回路へ伝達するデバイスであり、必要な信号を伝達しつつノイズを遮断するのに有効な手段である。
V=i1×R2+i1×R3=i2×R4+i2×R1
=i1×(R2+R3)=i2×(R4+R1) ……(1)
と表すことができる。
また、第4の接続点P4における電位V3および第3の接続点P3における電位V4は、それぞれ、
V2=V−i1×R2
V4=V−i2×R4
と表せる。よって、第4の接続点P4と第3の接続点P3との電位差V0は、
V0=V4−V2
=(V−i2×R4)−(V−i1×R2)
=i1×R2−i2×R4 ……(2)
となる。ここで、(1)式および(2)式から、
V0=R2/(R2+R3)×V−R4/(R4+R1)×V
={R2/(R2+R3)−R4/(R4+R1)}×V ……(3)
となる。このブリッジ回路では、外部磁界である誘導磁界Hmが印加されたときに、上記の式(3)で表された第4の接続点P4と第3の接続点P3との電位差V0を測定することにより、抵抗変化量が得られる。ここで、誘導磁界Hmが印加されたときに、抵抗値R1〜R4がそれぞれ変化量ΔR1〜ΔR4だけ変化したとすると、すなわち、誘導磁界Hmを印加後の抵抗値R1〜R4が、それぞれ
R1=R1+ΔR1
R2=R2+ΔR2
R3=R3+ΔR3
R4=R4+ΔR4
であるとすると、誘導磁界Hmの印加時における電位差V0は、式(3)より、
V0={(R2+ΔR2)/(R2+ΔR2+R3+ΔR3)−(R4+ΔR4)/(R4+ΔR4+R1+ΔR1)}×V ……(4)
となる。この電流センサでは、第1および第2のMR素子31,32の抵抗値R1,R2と、第3および第4のMR素子33,34の抵抗値R3,R4とは互いに逆方向の変化を示すように構成されているので、変化量ΔR4と変化量ΔR1とが打ち消し合うと共に、変化量ΔR3と変化量ΔR2とが打ち消し合うこととなる。このため、誘導磁界Hmの印加前後を比較した場合、式(4)の各項における分母の増加はほとんど無い。一方、各項の分子については、変化量ΔR2と変化量ΔR4とが必ず反対の符号を有するので増減が現れることとなる。
V0={(R+ΔR)/(2×R)−(R−ΔR)/(2×R)}×V
=(ΔR/R)×V
となる。
次に、図6および図7を参照して、本発明における第2の実施の形態としての磁気カプラについて説明する。図6(A)は、本実施の形態の磁気カプラの要部(第1のMR素子31の周辺)の平面構成を表しており、上記第1の実施の形態の図2(A)に対応するものである。また、図6(B)は、図6(A)のVIB−VIB線に沿った矢視方向の断面図であり、上記第1の実施の形態の図2(B)に対応するものである。
ここでは、図4(A)に示した3層構造の中間層13を、アルティック(AlTiC)基板上に形成してなる試験片を作製(n=5)し、絶縁破壊電圧を測定した。アルティック基板の寸法は、20mm角で厚さ2mmとした。中間層13については、導電膜131を0.1μm厚のチタンによって構成し、それを挟む2つの絶縁膜132を各々2.5μm厚のAlOxによって構成した。導電膜131および絶縁膜132については、スパッタリングにより成膜した。絶縁破壊電圧の測定は、JIS C 2110(固体電気絶縁材料の絶縁耐力の試験方法8−2「段階破壊試験方法」)に基づいて実施した。具体的には、上記の試験片を厚み方向に一対の真鍮製の電極に挟み、それを電気絶縁性の媒質(住友スリーエム社製のフロリナートFC−40)に浸漬した状態で段階電圧印加法により行った。測定周波数は50Hzとした。その結果を、後述する実施例1−2,2−1,2−2および比較例1,2の結果と共に表1に示す。
ここでは、導電膜131を0.1μm厚の酸化インジウムスズ(ITO;Indium Tin Oxide)によって構成したことを除き、他は実施例1−1と同様にして試験片を作製し、絶縁破壊電圧を測定した。
実施例1−1,1−2に対する比較例として、5.1μm厚の中間層をAlOxによって構成したことを除き、他は実施例1―1と同様にして試験片を作製し、絶縁破壊電圧を測定した。
実施例1−1,1−2に対する比較例として、導電膜131を0.1μm厚の窒化珪素(SiN)によって構成したことを除き、他は実施例1−1と同様にして試験片を作製し、絶縁破壊電圧を測定した。
ここでは、図4(B)に示した5層構造の中間層13をアルティック(AlTiC)基板上に形成したことを除き、他は実施例1−1と同様にして試験片を作製し、絶縁破壊電圧を測定した。具体的には、2つの導電膜131を各々0.1μm厚のチタンによって構成し、3つの絶縁膜132を各々2.5μm厚のAlOxによって構成した。
ここでは、2つの導電膜131を0.1μm厚のITOによって構成したことを除き、他は実施例2−1と同様にして試験片を作製し、絶縁破壊電圧を測定した。
実施例2−1,2−2に対する比較例として、7.7μm厚の中間層をAlOxによって構成したことを除き、他は実施例2―1と同様にして試験片を作製し、絶縁破壊電圧を測定した。
実施例2−1,2−2に対する比較例として、2つの導電膜131を0.1μm厚の窒化珪素(SiN)によって構成したことを除き、他は実施例2−1と同様にして試験片を作製し、絶縁破壊電圧を測定した。
Claims (3)
- 非磁性材料からなる導電膜を有する中間層を挟むように積層され、かつ、互いに電気的に絶縁されるコイルおよび磁気抵抗効果素子を備え、
前記導電膜は、前記コイルおよび磁気抵抗効果素子の双方と電気的に絶縁されている
ことを特徴とする磁気カプラ。 - 前記導電膜は、前記コイルおよび磁気抵抗効果素子の双方と積層方向において重なる領
域に位置する
ことを特徴とする請求項1に記載の磁気カプラ。 - 前記導電膜は、1×107 S/m以下の導電率を有する
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の磁気カプラ。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2007340467A JP5422890B2 (ja) | 2007-12-28 | 2007-12-28 | 磁気カプラ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007340467A JP5422890B2 (ja) | 2007-12-28 | 2007-12-28 | 磁気カプラ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009164259A JP2009164259A (ja) | 2009-07-23 |
JP5422890B2 true JP5422890B2 (ja) | 2014-02-19 |
Family
ID=40966556
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2007340467A Active JP5422890B2 (ja) | 2007-12-28 | 2007-12-28 | 磁気カプラ |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5422890B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2001135534A (ja) * | 1999-11-05 | 2001-05-18 | Honda Motor Co Ltd | 電気信号伝達装置 |
JP2001135535A (ja) * | 1999-11-05 | 2001-05-18 | Honda Motor Co Ltd | 電気信号伝達装置 |
WO2006098372A1 (ja) * | 2005-03-17 | 2006-09-21 | Omron Corporation | 高周波インターフェース素子 |
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2007
- 2007-12-28 JP JP2007340467A patent/JP5422890B2/ja active Active
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