JP5422189B2 - センシング膜 - Google Patents
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Description
図2Aを参照すると、本発明の第1の実施形態によるセンシング膜の上面図が示されている。センシング膜10は、本体11と、応力解放構造13と、接続部分15とを備える。膜残留応力を解放する応力解放構造13は本体11を囲む。応力解放構造13は、複数の第1の穿孔13aと複数の第2の穿孔13bとを有する。第1の穿孔13aは、本体11と第2の穿孔13bとの間に位置付けられる。接続部分15は、応力解放構造13とMEMSデバイスの基板(図2Aには図示せず)とを接続する。膜残留応力を解放する経路は、2つの隣接する第1の穿孔13a間、2つの隣接する第2の穿孔13b間、及び第1の穿孔13aと第2の穿孔13bとの間に形成される。膜残留応力は、第1の穿孔13a及び第2の穿孔13bを順次通って解放され、膜残留応力を解放する詳細は後述される。
本実施形態のセンシング膜は、応力解放構造の設計が第1の実施形態の上述のセンシング膜とは異なる。他の類似点は省き、繰り返さない。
本実施形態のセンシング膜は、膜の形状と第1の穿孔及び第2の穿孔の配列とが第1の実施形態のセンシング膜とは異なる。他の類似点は省き、ここでは繰り返さない。
このセンシング膜は、第1の穿孔及び第2の穿孔の配列が第3の実施形態のセンシング膜とは異なる。他の類似点は省き、ここでは繰り返さない。
本実施形態のセンシング膜は、第1の穿孔及び第2の穿孔の配列が上述の第3の実施形態のセンシング膜とは異なる。他の類似点は省き、繰り返さない。本発明の第5の実施形態によるセンシング膜の上面図が示されている図7Aを参照されたい。センシング膜60は、本体61と、応力解放構造63と、接続部分65とを備える。本体61は、本実施形態では四角形であり、複数の側縁60sを有する。応力解放構造63は、複数の第1の弾性要素631と、弾性リング630と、複数の第2の弾性要素632とを備える。応力解放構造63の各第1の穿孔63aは、本体61と、2つの第1の弾性要素631と、弾性リング630との間に形成される。各第2の穿孔63bは、弾性リング630と、2つの第2の弾性要素632と、接続部分65との間に形成される。各第1の穿孔63aは、2つ以上の側縁60sに沿って配置される。各第2の穿孔63bは、例えば対応する側縁60sと平行である。図7Aに示すように、1つの第1の穿孔63aが、2つの側縁60s(1)、60s(2)に沿って配置される。したがって、本体61のコーナが第1の穿孔63aによって囲まれて、膜残留応力が解放される。それに加えて、接続部分65は、複数の突出縁65aを有し、これによってセンシング膜60がMEMSデバイスの基板に接続される。
Claims (9)
- MEMS(マイクロエレクトロメカニカルシステム)デバイスに適用されるセンシング膜であって、
本体と、
膜残留応力を解放するように前記本体を囲む応力解放構造であって、複数の第1の穿孔と複数の第2の穿孔とを有し、該第1の穿孔は、前記本体と該第2の穿孔との間に位置付けられる、応力解放構造と、
前記応力解放構造と前記MEMSデバイスの基板とを接続する接続部分と、
を備え、
前記応力解放構造は、
前記本体を囲む弾性リングと、
前記弾性リングの内リムと前記本体とを接続する複数の第1の弾性要素と、
前記弾性リングの外リムと前記接続部分とを接続する複数の第2の弾性要素と、
隣接する2つの前記第1の穿孔及び1つの前記第2の穿孔に囲まれた位置に配置される第3の穿孔と、
を備え、
前記本体は円形形態であり、各前記第1の弾性要素、各前記第2の弾性要素及び各前記第3の穿孔は、前記本体の半径方向に配列され、
各前記第3の穿孔は矩形であり、各該第3の穿孔の長手方向が、前記本体の実質的中心を通る、
MEMSデバイスに適用されるセンシング膜。 - 前記第1の弾性要素及び前記第2の弾性要素は、前記弾性リングの前記内リム及び前記外リムに交互に接続される、請求項1に記載のセンシング膜。
- 各前記第1の穿孔は、前記本体と、2つの前記第1の弾性要素と、前記弾性リングとの間に形成され、各前記第2の穿孔は、前記弾性リングと、2つの前記第2の弾性要素と、前記接続部分との間に形成される、請求項1に記載のセンシング膜。
- 前記弾性リングは波状構造である、請求項1に記載のセンシング膜。
- 各前記第1の弾性要素はS字形構造である、請求項1に記載のセンシング膜。
- 各前記第2の弾性要素はS字形構造である、請求項1に記載のセンシング膜。
- 前記本体、前記第1の弾性要素、前記弾性リング、前記第2の弾性要素、及び前記接続部分は、単一品として一体形成される、請求項1に記載のセンシング膜。
- 前記応力解放構造は、複数の第4の穿孔をさらに有し、各該第3の穿孔は、各前記第1の弾性要素が前記弾性リングと接続される位置に実質的に配置され、各前記第4の穿孔は、各前記第2の弾性要素が前記弾性リングと接続される位置に実質的に配置される、請求項1に記載のセンシング膜。
- 各前記第4の穿孔は矩形であり、各該第4の穿孔の長手方向が、前記本体の実質的中心を通る、請求項8に記載のセンシング膜。
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