JP5397264B2 - 放熱型流量センサのヒータ駆動回路 - Google Patents
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Description
通電による発熱するヒータ抵抗と、
ヒータ抵抗の熱を受けて抵抗値が変化する傍熱抵抗と第1抵抗とが直列に接続され、流体の温度によって抵抗値が変化する温度計測抵抗と第2抵抗とが直列に接続されて構成されたブリッジ回路と、
ブリッジ回路における、傍熱抵抗と第1抵抗の接続点の電位(以下、中点電位Viと示す)と、温度計測抵抗と第2抵抗の接続点の電位(以下、中点電位Vkと示す)とを差動増幅する差動増幅器と、
ヒータ抵抗に接続され、差動増幅器の出力に基づいてヒータ抵抗への通電状態を制御するヒータ抵抗駆動用トランジスタと、を備え、
傍熱抵抗と温度計測抵抗との温度差が一定となるように、ヒータ抵抗の発熱を制御する放熱型流量センサのヒータ駆動回路であって、
温度計測抵抗に対して遅延用コンデンサが並列に接続され、
温度計測抵抗の抵抗値と遅延用コンデンサの容量で決定される時定数τ1が、ヒータ抵抗から傍熱抵抗への熱伝導の時定数τ2、すなわち傍熱抵抗の抵抗値の温度上昇による変化の時定数τ2、と同じとされていることを特徴とする。
11・・・ヒータ抵抗
12・・・傍熱抵抗
14・・・温度計測抵抗
16・・・アンプ(差動増幅器)
17・・・ヒータ抵抗駆動用トランジスタ
18・・・遅延用コンデンサ
20・・・センサ回路
Claims (7)
- 通電により発熱するヒータ抵抗と、
前記ヒータ抵抗の熱を受けて抵抗値が変化する傍熱抵抗と第1抵抗とが直列に接続され、流体の温度によって抵抗値が変化する温度計測抵抗と第2抵抗とが直列に接続されて構成されたブリッジ回路と、
前記ブリッジ回路における、前記傍熱抵抗と前記第1抵抗の接続点の電位と、前記温度計測抵抗と前記第2抵抗の接続点の電位とを差動増幅する差動増幅器と、
前記ヒータ抵抗に接続され、前記差動増幅器の出力に基づいて前記ヒータ抵抗への通電状態を制御するヒータ抵抗駆動用トランジスタと、を備え、
前記傍熱抵抗と前記温度計測抵抗との温度差が一定となるように、前記ヒータ抵抗の発熱を制御する放熱型流量センサのヒータ駆動回路であって、
前記温度計測抵抗に対して遅延用コンデンサが並列に接続され、
前記温度計測抵抗の抵抗値と前記遅延用コンデンサの容量で決定される時定数が、前記ヒータ抵抗から前記傍熱抵抗への熱伝導の時定数と同じとされていることを特徴とする放熱型流量センサのヒータ駆動回路。 - 前記ブリッジ回路では、前記傍熱抵抗を低電位側として前記傍熱抵抗と前記第1抵抗とが直列に接続されるとともに、前記温度計測抵抗を低電位側として前記温度計測抵抗と前記第2抵抗とが直列に接続され、
前記ヒータ抵抗駆動用トランジスタはnpn型のバイポーラトランジスタであり、前記ヒータ抵抗駆動用トランジスタのベースが前記差動増幅器の出力端子に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の放熱型流量センサのヒータ駆動回路。 - 前記ブリッジ回路では、前記傍熱抵抗を低電位側として前記傍熱抵抗と前記第1抵抗とが直列に接続されるとともに、前記温度計測抵抗を低電位側として前記温度計測抵抗と前記第2抵抗とが直列に接続され、
前記ヒータ抵抗駆動用トランジスタはnチャネル型のMOSFET若しくはIGBTであり、前記ヒータ抵抗駆動用トランジスタのゲートが前記差動増幅器の出力端子に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の放熱型流量センサのヒータ駆動回路。 - 前記ブリッジ回路では、前記第1抵抗を低電位側として前記傍熱抵抗と前記第1抵抗とが直列に接続されるとともに、前記第2抵抗を低電位側として前記温度計測抵抗と前記第2抵抗とが直列に接続され、
前記ヒータ抵抗駆動用トランジスタはpnp型のバイポーラトランジスタであり、前記ヒータ抵抗駆動用トランジスタのベースが前記差動増幅器の出力端子に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の放熱型流量センサのヒータ駆動回路。 - 前記ブリッジ回路では、前記第1抵抗を低電位側として前記傍熱抵抗と前記第1抵抗とが直列に接続されるとともに、前記第2抵抗を低電位側として前記温度計測抵抗と前記第2抵抗とが直列に接続され、
前記ヒータ抵抗駆動用トランジスタはpチャネル型のMOSFET若しくはIGBTであり、前記ヒータ抵抗駆動用トランジスタのゲートが前記差動増幅器の出力端子に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の放熱型流量センサのヒータ駆動回路。 - 前記遅延用コンデンサは、前記ヒータ抵抗、前記傍熱抵抗、前記温度計測抵抗、前記第1抵抗、及び前記第2抵抗の形成されたセンサチップに形成されていることを特徴とする請求項1〜5いずれか1項に記載の放熱型流量センサのヒータ駆動回路。
- 前記遅延用コンデンサは、前記ヒータ抵抗、前記傍熱抵抗、前記温度計測抵抗、前記第1抵抗、及び前記第2抵抗の形成されたセンサチップに実装されていることを特徴とする請求項1〜5いずれか1項に記載の放熱型流量センサのヒータ駆動回路。
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