JP5391838B2 - ウエハレンズの製造方法 - Google Patents

Description

本発明はウエハレンズの製造方法に関する。

従来、光学レンズの製造分野においては、ガラス基板に対し樹脂製のレンズ部を設けて、耐熱性の高い光学レンズを得る技術が検討されている（例えば、特許文献１参照）。この技術を適用した光学レンズの製造方法の一例として、ガラス基板の表面に光硬化性樹脂からなる光学部材を複数設けたいわゆる「ウエハレンズ」を形成し、その後にレンズ部ごとにガラス基板をカットする方法が提案されている。

ガラス基板の表裏両面に対しレンズ部（光学部品）を形成した例が特許文献２に開示されている。特許文献２の技術では、ガラス基板の一方の面に屈折部品が、他方の面には回折部品がそれぞれ形成されている（段落００２２，００３７，図４Ａ参照）。また、ガラス基板に対し光硬化性樹脂製のレンズ部を形成する方法の一例が特許文献３に開示されている。特許文献３の技術では、基板に光硬化性樹脂を塗布してその樹脂を光硬化（光照射）し、その後に賦形（成形型の樹脂への押当て），熱硬化の各処理を行っている（段落００６９〜００８０参照）。

特許第３９２６３８０号公報 特表２００１−５１９６０１号公報 特開２００３−２８６３０１号公報

ところで、ガラス基板の表裏両面に対し光硬化性樹脂製のレンズ部が形成されたウエハレンズの製造方法では、基板両面に金型との間で充填されたレンズ材料に対して同時に光照射して硬化させる事は採用し難く、一方の面に光照射させて樹脂の硬化を進めた後、次いで他方の面の光硬化工程を行う。
というのも、樹脂レンズを成形するための金型は一般に金属製であり、そのため当該金型を介して内部に硬化光を照射しようとしても光透過性が低く、十分に硬化させる事ができないためである。
ところが、このような基板の両面にレンズ部を形成する製法において表裏両面に形成する少なくとも一方のレンズ部が、入射光を集束させる正のパワーを有する場合（凸状を呈する場合など）に、次のような不都合が生じている。

図６を参照しながら簡単に説明すると、例えば、ガラス基板１０２の両面に対しレンズ部１０４とレンズ部１０６とが形成されるようなウエハレンズ１００において、レンズ部１０４は凹状を呈し、レンズ部１０６は凸状を呈している。この場合に、先にレンズ部１０４を形成して（その樹脂に光照射して）その後にレンズ部１０６を形成しようとするときは、ガラス基板１０２の下方に金型（図示略）を配置するとともに、光硬化性樹脂をガラス基板１０２と金型１１０との間に充填して金型が離型しているレンズ部１０４の上方から光を照射するが、レンズ部１０４が凹状を呈しているために、光がレンズ部１０４の光学面で拡散し、レンズ部１０６を構成する樹脂には、入射光の光量が密な領域Ａと疎な領域Ｂとが形成される。

そのため、密な領域Ａには入射光が集光し樹脂の硬化が促進されるのに対し、疎な領域Ｂには入射光が集光せず樹脂の硬化が遅延するという問題が生じている。すなわち、凸状を呈する場合など、レンズ部が全体として正のパワーを有する場合、それを構成する樹脂を硬化させようとする際に、その樹脂の全領域にわたり均一的に硬化させることができないという不都合が生じている。
したがって、本発明の主な目的は、金属製のような光透過性の低い金型を用いた、正のパワーを有するレンズ部を構成するウエハレンズ製法においても、光硬化性樹脂を均一的に硬化させることができ、高品質のウエハレンズが得られるウエハレンズの製造方法を提供することにある。

上記課題を解決するため、本発明によれば、
ガラス基板の表裏両面に対しそれぞれ光硬化性樹脂製のレンズ部が形成されたウエハレンズの製造方法において、
前記光硬化性樹脂に光照射して一方の面に第１のレンズ部を形成する工程と、
前記光硬化性樹脂に光照射して他方の面に第２のレンズ部を形成する工程と、
を備え、
前記第２のレンズ部が入射光を集束させる正のパワーを有し、
前記第１のレンズ部を形成する工程の後に、前記第２のレンズ部を形成する工程の処理をおこない、
前記第２のレンズ部を形成する工程では、前記第１のレンズ部の表面を平坦にした状態で、前記第１のレンズ部と前記ガラス基板とを介し、前記第２のレンズを構成する前記光硬化性樹脂に光照射することを特徴とするウエハレンズの製造方法が提供される。

本発明によれば、レンズ樹脂材料を硬化させるための硬化光に対して光透過性が低い金型で正のパワーを有するレンズ部を有するウエハレンズにおいても、構成する樹脂に対し平行光を入射させる事ができ、よって構成されるレンズ部の入射光の疎な領域が形成されるのを抑制することができ、正のパワーを有するレンズ部を構成する樹脂を均一的に硬化させることができる。

本発明の好ましい実施形態（第１の実施形態）にかかるウエハレンズの概略構成を示す断面図である。 第１の実施形態にかかるウエハレンズ製造装置の概略構成を示す図面である。 第１の実施形態にかかるウエハレンズ製造装置の概略的な制御構成を示すブロック図である。 第１の実施形態にかかるウエハレンズの製造方法の一部の工程を概略的に説明するための図面である。 本発明の好ましい実施形態（第２の実施形態）にかかるウエハレンズの製造方法の一部の工程を概略的に説明するための図面である。 従来技術の問題点を概略的に説明するための図面である。

以下、図面を参照しながら本発明の好ましい実施形態について説明する。

［第１の実施形態］
図１に示す通り、ウエハレンズ１はガラス基板２を有している。ガラス基板２は基板の一例であり、平面視するとウエハ状（円形状）を呈している。

ガラス基板２の上部には樹脂部４が設けられている。
樹脂部４は光硬化性の樹脂４Ａで構成されており、凸状を呈した凸レンズ部４ａと、入射光をそのまま透過させる非レンズ部４ｂとを、有している。凸レンズ部４ａは光学面を構成しており、入射光を集束させる正のパワーを有している。非レンズ部４ｂは、凸レンズ部４ａ以外の部位であって凸レンズ部４ａの周辺の部位であり、平板状に構成されて実質的に入射光をそのまま透過させる。凸レンズ部４ａの厚さ４ａｔｈは、凸レンズ部４ａが凸状を呈しているため非レンズ部４ｂの厚さ４ｂｔｈより肉厚となっている。

凸レンズ部４ａが「正のパワーを有している」とは、凸レンズ部４ａが全体として正のパワーを有しているという意味であり、例えば、図１に示す通り、凸レンズ部４ａの中央部において凹状部位４ｃであって負のパワーを有する部位が存在したとしても、その部位のパワーを上回る正のパワーを凸レンズ部４ａが全体として有していれば、凸レンズ部４ａは正のパワーを有していることになる。

なお、非レンズ部４ｂとしては、必ずしも平板状である必要はなく、本発明を撮像光学系のレンズとして用いた場合に、当該レンズとしての光学機能に寄与しない範囲の部位であればよく、従って、当該領域には他の部材との位置決めや保持等にための保持に適した形状や、他のレンズ部材や撮像素子部材との間隔を規定するためのスペーサー部分としての機能を有するものであっても良い。

ガラス基板２の下部には樹脂部６が設けられている。
樹脂部６は光硬化性の樹脂６Ａから構成されており、凹状を呈した凹レンズ部６ａと、入射光をそのまま透過させる非レンズ部６ｂとを、有している。凹レンズ部６ａは光学面を構成しており、入射光を発散させる負のパワーを有している。非レンズ部６ｂは、凹レンズ部６ａ以外の部位であって凹レンズ部６ａの周辺の部位であり、平板状に構成されて実質入射光をそのまま透過させる。凹レンズ部６ａの厚さ６ａｔｈは、凹レンズ部６ａが凹状を呈しているため非レンズ部６ｂの厚さ６ｂｔｈより肉薄となっている。

凹レンズ部６ａが「負のパワーを有している」とは、凹レンズ部６ａが全体として負のパワーを有しているという意味であり、例えば、図１に示す通り、凹レンズ部６ａの中央部において凸状部位６ｃであって正のパワーを有する部位が存在したとしても、その部位のパワーを上回る負のパワーを凹レンズ部６ａが全体として有していれば、凹レンズ部６ａは負のパワーを有していることになる。

なお、非レンズ部６ｂとしては、必ずしも平板状である必要はなく、本発明を撮像光学系のレンズとして用いた場合に、当該レンズとしての光学機能に寄与しない範囲の部位であればよく、従って、当該領域には他の部材との位置決めや保持等にための保持に適した形状や、他のレンズ部材や撮像素子部材との間隔を規定するためのスペーサー部分としての機能を有するものであっても良い。

図１では隣り合うレンズ部４ａ，６ａ間の非レンズ部４ｂ，６ｂがつながった形で樹脂部４，６が形成されているが、必ずしもこれには限定されない。即ち、成型時に光硬化性樹脂を成形型のキャビティに対応する部分に個別に滴下して成形する事により、各々のレンズ部４ａ，６ａは周囲に非レンズ部４ｂ，６ｂは形成されても、個別に独立して形成されるものであっても良い。

ウエハレンズ１は、凸レンズ部４ａと凹レンズ部６ａとが１対１で対応したいわゆるメニスカスレンズであり、凸レンズ部４ａ，凹レンズ部６ａごとに断片化され撮像装置などに組み込まれるようになっている。

続いて、ウエハレンズ１を製造する際に使用されるウエハレンズ製造装置（３０）の一例について説明する。

図２に示す通り、ウエハレンズ製造装置３０はベース３２を有している。
ベース３２の上部には内側に突出する突出部３４が形成されている。ベース３２の底部と突出部３４との間にはガイド３６が立設されている。ガイド３６間にはステージ４０が設けられている。ステージ４０には貫通孔４２が形成されており、ガイド３６が貫通孔４２を貫通している。

ベース３２上であってステージ４０の下方にはギヤードモータ５０が設けられている。ギヤードモータ５０はポテンショメータ５１（図３参照）を内蔵している。ギヤードモータ５０にはシャフト５２が連結されている。
ステージ４０の下部には圧力検出用のロードセル４４が設けられている。ステージ４０の自重でシャフト５２の先端部がロードセル４４と当接している。
ウエハレンズ製造装置３０では、ギヤードモータ５０の作動によりシャフト５２が上下方向に伸縮するようになっており、これに伴いステージ４０がガイド３６に案内されながら上下方向に移動可能となっている。

ステージ４０にはほぼ半球形状を呈した凹部４６が形成されている。凹部４６には平行出し部材６０が埋設されている。平行出し部材６０は水面に浮かぶお椀のように凹部４６に対し揺動可能となっている。
平行出し部材６０上にはＸＹステージ６２，θステージ６４が設けられている。ＸＹステージ６２はステージ４０上のＸＹ平面（２次元平面）において移動可能となっており、θステージ６４はその中心部を回転軸として回動可能となっている。

ＸＹステージ６２，θステージ６４上には真空チャック装置７０が設置されている。真空チャック装置７０には同心円状の連通溝７２が形成されている。連通溝７２には吸引機構（図示略）が連結されており、当該吸引機構の作動により連通溝７２からエアを吸引し、真空チャック装置７０上の部材を吸引・固定することができるようになっている。
本実施形態では、真空チャック装置７０上に金型２０が配置され真空チャック装置７０により金型２０が吸引・固定される。金型２０は金属製の成形型であり、樹脂の成形に用いられる成形型の一例である。金型２０上には成形しようとする樹脂（樹脂４Ａや樹脂６Ａ）が配置される。

なお、図２では詳細に図示しないが、金型２０は成形しようとする対象（樹脂部４，樹脂部６）に合わせた表面形状を有しており、樹脂部４を形成する場合には凸レンズ部４ａに対応した表面形状（凹状）を有する金型２０が、樹脂部６を形成する場合には凹レンズ部６ａに対応した表面形状（凸状）を有する金型２０が、それぞれ使用される。

ベース３２の上部には基板ホルダ８０が固定されている。基板ホルダ８０の端部には同心円状の連通溝８２が形成されており、連通溝８２には吸引機構（図示略）が連結されている。真空チャック装置７０の作動時と同様に、当該吸引機構が作動すると、連通溝８２からエアを吸引してガラス基板２が基板ホルダ８０に吸引・固定される。

基板ホルダ８０の上方には光源９０が設けられており、光源９０の点灯により光がガラス基板２を透過して金型２０上の樹脂（樹脂４Ａや樹脂６Ａ）に照射されるようになっている。すなわち、光源９０は樹脂４Ａや樹脂６Ａに対し硬化を進める光を照射するようになっている。
なお、光源９０の光は平行光であり、ガラス基板２に対し直交するように入射するようになっている。

光源９０としては高圧水銀ランプ，メタルハライドランプ，キセノンランプ，ハロゲンランプ，蛍光灯，ブラックライト，Ｇランプ，Ｆランプ等が使用される。
高圧水銀ランプは、３６５ｎｍ，４３６ｎｍに狭いスペクトルを持つランプである。メタルハライドランプは、水銀灯の一種で、紫外域における出力は高圧水銀ランプよりも数倍高い。キセノンランプは、最も太陽光に近いスペクトルを持つランプである。ハロゲンランプは長波長の光を多く含んでおり、近赤外光がほとんどであるランプである。蛍光灯は光の三原色に均等な照射強度を持っている。ブラックライトはピークトップを３５１ｎｍに持ち、３００〜４００ｎｍの近紫外光を放射するライトである。

図３に示す通り、ロードセル４４，ギヤードモータ５０，ポテンショメータ５１，平行出し部材６０，ＸＹステージ６２，θステージ６４，真空チャック装置７０（吸引機構），基板ホルダ８０（吸引機構），光源９０は制御装置１００に接続されている。制御装置１００はこれら部材の動作を制御するようになっている。
特に本実施形態では、制御装置１００はロードセル４４，ポテンショメータ５１の出力値に基づきギヤードモータ５０の動作（回転量）を制御するようになっている。

続いて、ウエハレンズ製造装置３０を用いたウエハレンズ１の製造方法について説明する。

本実施形態にかかる製造方法では、樹脂部４と樹脂部６とのうち、樹脂部６を先に形成し、その後に樹脂部４を形成する。

具体的には、はじめに、図２に示す通り、基板ホルダ８０に対しガラス基板２を設置して吸引・固定するとともに、真空チャック装置７０に対し金型２０を設置して金型２０を吸引・固定する。
その後、金型２０上に所定量の樹脂６Ａを滴下する。そして、制御装置１００により平行出し部材６０，ＸＹステージ６２，θステージ６４を制御して、ガラス基板２の下面と金型２０の上面とを平行にする（準備工程）。

なお、ここでは樹脂６Ａを金型２０上に滴下しているが、本発明はこれに限定されず、ガラス基板２上に滴下しても良い。また滴下の方法も所定箇所に滴下して、それらを押し広げる事で金型２０に充填する方法や、予め金型２０の各キャビティや、ガラス基板２の各凹レンズ部６ａが形成される箇所に個別に滴下し、それらを対向配置された金型２０やガラス基板２で押圧することによって充填する方法であっても良い。

この状態において、金型２０を位置制御して、ガラス基板２に対し金型２０を所定位置まで移動させ、金型２０をその位置で保持する。
詳しくは、ギヤードモータ５０を作動させてシャフト５２を上方に伸ばし、金型２０を上方に移動させる。この場合、制御装置１００がポテンショメータ５１の出力値に基づきギヤードモータ５０の作動を制御し、金型２０を所定の高さ位置まで移動させる。
ウエハレンズ製造装置３０では、移動させようとする金型２０の高さ位置が制御装置１００に予め設定されており、制御装置１００は金型２０が基準位置Ｓに到達する位置までギヤードモータ５０を作動させ、金型２０が基準位置Ｓに到達したらギヤードモータ５０の作動を停止させる（位置制御工程）。

その結果、樹脂６Ａが、金型２０からガラス基板２への押圧を受けて徐々に広がり、ガラス基板２と金型２０との間に充填される。

その後、金型２０を基準位置Ｓに対応する位置で保持したまま、光源９０を点灯させ、樹脂６Ａに向けて光を照射し、樹脂６Ａを硬化させる（光照射工程）。

ここで、樹脂６Ａが硬化する際に（樹脂６Ａの硬化時又はその後に）、ステージ４０が所定の高さ位置で保持されたままであると、樹脂６Ａにおいて硬化収縮が生じてもガラス基板２がその収縮に追従せず、樹脂６Ａの内部に歪が生じたり、樹脂６Ａに対する金型２０の面形状の転写が不十分になったりする可能性がある。

そこで、本実施形態では、光源９０を一定時間点灯させ、樹脂６Ａに対し一定量の光を照射したら、金型２０を圧力制御して、ガラス基板２に対する金型２０の押圧力を所定圧力に保持する。
詳しくは、ギヤードモータ５０を再度作動させてシャフト５２を上方に伸ばし、ステージ４０を上方に移動させる。この場合、制御装置１００がロードセル４４の出力値に基づきギヤードモータ５０の作動を制御し、ガラス基板２に対するステージ４０の押圧力を所定圧力に保持しながらステージ４０を上方に移動させる。
ウエハレンズ製造装置３０では、ステージ４０のガラス基板２に対する押圧力が制御装置１００に予め設定されており、制御装置１００はロードセル４４から受ける出力値に基づきギヤードモータ５０の作動を制御し、ステージ４０のガラス基板２に対する押圧力を所定圧力に保持する（圧力制御工程）。

この場合、制御装置１００はポテンショメータ５１，ロードセル４４の出力値に基づき、平行出し部材６０，ＸＹステージ６２，θステージ６４も制御して、ガラス基板３とサブマスター２０との平行度や樹脂６Ａへの均等荷重なども一定に保持する。

その後、光源９０を消灯させて樹脂６Ａに対する光照射を停止する。樹脂６Ａに対する光照射は圧力制御工程の前に停止してもよい。
その後、ギヤードモータ５０を作動させてシャフト５２を下方に縮ませ、金型２０をもとの高さ位置に戻し、硬化後の樹脂６Ａをガラス基板２とともに金型２０から離型する（離型工程）。
その結果、ガラス基板２に対し、複数の凹レンズ部６ａが形成された樹脂部６を形成することができる。

その後、図４（ａ）に示す通り、樹脂部６を上方に配置し、ガラス基板２に対し樹脂部６を形成したのと同様にして（準備工程から離型工程までの処理を繰り返して）、図４（ｂ）に示す通り、ガラス基板２に対し樹脂部４を形成する。
この場合、樹脂部６を形成するための金型２０に代えて、樹脂部４を形成するための金型２０を使用するとともに、樹脂６Ａに代えて樹脂４Ａを使用する。

ここで、樹脂部４を形成する場合には、図４（ｃ）に示す通り、樹脂４Ａに対し光を照射する前に、樹脂部６の凹レンズ部６ａに光透過剤１０を充填して凹レンズ部６ａの表面を平坦とする。光透過剤１０は、樹脂６Ａを構成する材料から光開始剤を除外したものであり、樹脂部６から樹脂部４に向けて入射する光が拡散するのを防止する光透過性の樹脂材料である。
なお、樹脂４Ａ，樹脂６Ａは基本的には同一（同種）材料である。

光透過剤１０は、好ましくは、凹レンズ部６ａを構成する樹脂６Ａとの関係において式（１）の条件を満たすものが使用される。

式（１）中、「ｎ１」は樹脂部６を構成する樹脂６Ａ（凹面光学面を形成する樹脂）の屈折率であり、「ｎ２」は光透過剤１０の樹脂材料（凹レンズ部６ａを充填する樹脂材料）の屈折率であり、「θ」は凹レンズ部６ａの光学面においてガラス基板２に対しなす角度のうち最も大きい角度を示す（図１参照）。

この状態において、光源９０を点灯させ、樹脂部６とガラス基板２とを介して、光源９０の光を、樹脂部４を構成する樹脂４Ａに照射する。

以上の実施形態によれば、正のパワーを有する凸レンズ部４ａを形成する場合に、凹レンズ部６ａに光透過剤１０を充填して凹レンズ部６ａの表面を平坦とするから、光源９０の光を、平行光のまま凸レンズ部４ａを構成する樹脂４Ａに入射させることができる。そのため、凸レンズ部４ａの形成時において、入射光の疎な領域が形成されるのを抑制することができ、ひいては正のパワーを有するレンズ部４ａを構成する樹脂４Ａを均一的に硬化させることができる。

なお、本実施形態では、負のパワーを有する凹レンズ部６ａに光透過剤１０を充填する例を示したが、凹レンズ部６ａには、光透過剤１０の充填により平坦とされる表面形状を有している場合がすべて含まれ、例えば、少なくとも一部に凹部が形成されているものも含まれるし、凹凸形状が連続するような不整な形状を呈するものも含まれる。

［第２の実施形態］
第２の実施形態は下記の点で第１の実施形態と異なっており、それ以外の技術的事項（構成や作用など）は第１の実施形態と同じである。

第２の実施形態では、樹脂部４と樹脂部６とを形成する順序に関し、先に樹脂部４を形成してその後に樹脂部６を形成する。すなわち、図５（ａ）に示す通り、先に光源９０の光を、ガラス基板２のみを介し、直接的に樹脂部４を構成する樹脂４Ａに硬化光を照射して樹脂部４を形成し、その後に光源９０の光を、樹脂部４とガラス基板２とを介し、樹脂部６を構成する樹脂６Ａに照射して樹脂部６を形成する。

以上の実施形態によっても、正のパワーを有する凸レンズ部４ａを形成する場合に、光源９０の光を、平行光のまま凸レンズ部４ａを構成する樹脂４Ａに入射させることができるため、凸レンズ部４ａの形成時において、入射光の疎な領域が形成されるのを抑制することができ、ひいては正のパワーを有するレンズ部４ａを構成する樹脂４Ａを均一的に硬化させることができる。
なお、この場合、凹レンズ部６ａは先に形成された凸レンズ部４ａの影響を受けるが、凸レンズ部４ａに比べて影響は少ない。

１ ウエハレンズ
２ ガラス基板
４ 樹脂部
４ａ 凸レンズ部
４ｂ 非レンズ部
６ 樹脂部
６ａ 凹レンズ部
６ｂ 非レンズ部
１０ 光透過剤
２０ 金型
３０ ウエハレンズ製造装置
３２ ベース
３４ 突出部
３６ ガイド
４０ ステージ
４２ 貫通孔
４４ ロードセル
４６ 凹部
５０ ギヤードモータ
５１ ポテンショメータ
５２ シャフト
６０ 平行出し部材
６２ ＸＹステージ
６４ θステージ
７０ 真空チャック装置
７２ 連通溝
８０ スタンプホルダ
８２ 連通溝
９０ 光源
１００ ウエハレンズ
１０２ ガラス基板
１０４，１０６ レンズ部
１１０ 金型
Ａ 密な領域
Ｂ 疎な領域

Claims (7)

1. ガラス基板の表裏両面に対しそれぞれ光硬化性樹脂製のレンズ部が形成されたウエハレンズの製造方法において、
   前記光硬化性樹脂に対して硬化を進める光を照射して一方の面に第１のレンズ部を形成する工程と、
   前記光硬化性樹脂に対して硬化を進める光を照射して他方の面に第２のレンズ部を形成する工程と、
   を備え、
   前記第２のレンズ部が入射光を集束させる正のパワーを有し、
   前記第１のレンズ部を形成する工程の後に、前記第２のレンズ部を形成する工程の処理をおこない、
   前記第２のレンズ部を形成する工程では、前記第１のレンズ部の表面を平坦にした状態で、前記第１のレンズ部と前記ガラス基板とを介し、前記第２のレンズを構成する前記光硬化性樹脂に光照射することを特徴とするウエハレンズの製造方法。
2. 請求項１に記載のウエハレンズの製造方法において、
   前記第１のレンズ部が入射光を発散させる負のパワーを有し、
   前記第２のレンズ部を形成する工程では、前記第１のレンズ部に光透過剤を充填して前記第１のレンズ部の表面を平坦とすることを特徴とするウエハレンズの製造方法。
3. 請求項１に記載のウエハレンズの製造方法において、
   前記第１のレンズ部が少なくとも一部に凹部を有し、
   前記第２のレンズ部を形成する工程では、前記第１のレンズ部の凹部に光透過剤を充填して前記第１のレンズ部の表面を平坦とすることを特徴とするウエハレンズの製造方法。
4. 請求項１に記載のウエハレンズの製造方法において、
   前記第１のレンズ部が不整な形状を呈し、
   前記第２のレンズ部を形成する工程では、前記第１のレンズ部の凹部に光透過剤を充填して前記第１のレンズ部の表面を平坦とすることを特徴とするウエハレンズの製造方法。
5. 請求項２〜４のいずれか一項に記載のウエハレンズの製造方法において、
   前記光透過剤は、前記光硬化性樹脂から光開始剤を除外した樹脂材料であることを特徴とするウエハレンズの製造方法。
6. 請求項２〜５のいずれか一項に記載のウエハレンズの製造方法において、
   前記光透過剤は、前記光硬化性樹脂との関係において式（１）の条件を満たすことを特徴とするウエハレンズの製造方法。
   

   

   式（１）中、「ｎ１」は前記光硬化性樹脂の屈折率であり、「ｎ２」は前記光透過剤の屈折率であり、「θ」は前記第１のレンズ部の光学面において前記ガラス基板に対しなす角度のうち最も大きい角度を示す。
7. ガラス基板の一方の面に光硬化性樹脂製の正のパワーを有する第１レンズ部、他方の面に光硬化性樹脂性の負のパワーを有する第２レンズ部が形成されたウエハレンズの製造方法において、
   前記ガラス基板の一方の面と前記第１レンズ部の形状に対応する成形面を有する成形型との間に光硬化性樹脂を充填する第１レンズ部充填工程と、
   前記ガラス基板の他方の面と前記第２レンズ部の形状に対応する成形面を有する成形型との間に光硬化性樹脂を充填する第２レンズ部充填工程と、
   前記第１レンズ部充填工程を行った後、前記第２レンズ部充填工程前に前記ガラス基板の他方の面側から前記ガラス基板を介して充填された前記第１レンズ部の光硬化性樹脂の硬化を進める光硬化工程を行うことを特徴とするウエハレンズの製造方法。

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