JP5391039B2 - 表面欠陥検査方法及び検査装置 - Google Patents
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なお、上記式(1)において、kは係数であり、例えば、レーザ波長で決定される値である。この係数kは、レーザ波長で決定される値であるから、予め表面欠陥検査装置の記憶装置に記憶することが可能である。係数テーブル132又は133に格納してもよい。
Claims (8)
- 検査光を被検査物へ照射し、上記被検査物からの反射光又は散乱光のうち上記被検査物に存在する複数種類の回路パターンからの回折光を空間フィルタにより遮光して、上記反射光及び散乱光を検出し、検出した上記被検査物からの反射光又は散乱光の強度と、検出した反射光又は散乱光が発生した上記検査領域内での位置とを検出する表面欠陥検査方法において、
上記複数種類の回路パターンの回折光像が重畳された被検査物画像を表示し、
上記被検査物の複数種類の回路パターンの種類毎のレイアウトと回路パターンのピッチとを記憶手段に格納し、
上記記憶手段に記憶された回路パターンのピッチのうちのいずれかのピッチを選択して抽出し、
抽出した回路パターンに対応する回折光ピッチを有する複数のゲージ線を表示し、
表示した上記ゲージ線と上記被検査物画像とに基づいて、上記表示した被検査物画像のうちの上記抽出した回路パターンに対応する回折光ピッチを有する回折光像のみを有する特定パターン被検査画像を抽出して表示し、
上記特定パターン被検査画像を用いて、上記空間フィルタにより遮光する回折光を設定することを特徴とする表面欠陥検査方法。 - 請求項1に記載の表面欠陥検査方法において、上記複数種類の回路パターンの種類毎のレイアウトを表示すると共に、上記ゲージ線と上記被検査物画像とを重畳して表示することを特徴とする表面欠陥検査方法。
- 請求項2に記載の表面欠陥検査方法において、上記複数のゲージ線を上記回折光ピッチを維持した状態で移動し、上記被検査物画像の回路パターンピッチに重ね合わせて、上記表示した被検査物画像のうちの上記抽出した回路パターンに対応する回折光ピッチを有する回折光像のみを有する特定パターン被検査画像を抽出すること特徴とする表面欠陥検査方法。
- 請求項2に記載の表面欠陥検査方法において、上記複数のゲージ線のピッチは変更可能であり、上記表示された被検査物画像の回折光ピッチのいずれかに上記複数のゲージ線を重ね合わせ、そのときの回折光ピッチから回路パターンピッチを算出し、上記回折光ピッチ及びこの回折光ピッチに対応する回路パターンピッチを上記記憶手段に記憶することを特徴とする表面欠陥検査方法。
- 検査光を被検査物へ照射する照射手段と、上記被検査物からの反射光又は散乱光のうち上記被検査物に存在する複数種類の回路パターンからの回折光を遮光する空間フィルタと、上記反射光及び散乱光を検出する検出手段と、検出した上記被検査物からの反射光又は散乱光の強度と、検出した反射光又は散乱光が発生した上記検査領域内での位置とを検出手段とを有し、上記被検査物の表面の欠陥を検査する表面欠陥検査装置において、
上記複数種類の回路パターンの回折光像が重畳された被検査物画像を表示する表示手段と、
上記被検査物の複数種類の回路パターンの種類毎のレイアウトと回路パターンのピッチとを格納する記憶手段と、
上記記憶手段に記憶された回路パターンのピッチのうちのいずれかのピッチを選択する入力手段と、
抽出した回路パターンに対応する回折光ピッチを有する複数のゲージ線を上記表示手段に表示させ、表示した上記ゲージ線と上記被検査物画像とに基づいて、上記表示した被検査物画像のうちの上記抽出した回路パターンに対応する回折光ピッチを有する回折光像のみを有する特定パターン被検査画像を抽出して表示させる処理手段と、
を備えることを特徴とする表面欠陥検査装置。 - 請求項5に記載の表面欠陥検査装置において、上記処理手段は、上記表示手段に、上記複数種類の回路パターンの種類毎のレイアウトを表示させると共に、上記ゲージ線と上記被検査物画像とを重畳して表示させることを特徴とする表面欠陥検査装置。
- 請求項6に記載の表面欠陥検査装置において、上記複数のゲージ線を上記回折光ピッチを維持した状態で移動可能なゲージ移動手段を有し、上記ゲージ移動手段により移動された複数のゲージ線が、上記被検査物画像の回路パターンピッチに重ね合わせられ、上記表示した被検査物画像のうちの上記抽出した回路パターンに対応する回折光ピッチを有する回折光像のみを有する特定パターン被検査画像を上記処理手段が抽出すること特徴とする表面欠陥検査装置。
- 請求項6に記載の表面欠陥検査装置において、上記複数のゲージ線のピッチは、上記ゲージ移動手段により変更可能であり、上記表示された被検査物画像の回折光ピッチのいずれかに上記複数のゲージ線が重ね合わせられると、上記処理手段は、そのときの回折光ピッチから回路パターンピッチを算出し、上記回折光ピッチ及びこの回折光ピッチに対応する回路パターンピッチを上記記憶手段に記憶させることを特徴とする表面欠陥検査装置。
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