JP5384091B2 - 検査データ管理システム及び検査データ管理方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態1にかかる検査データ管理システム100の構成の一例を示すブロック図である。検査データ管理システム100は、複数の製造工程及び検査工程を経て同一基材上に製造されるデバイスの検査データを管理するものである。ここでは、デバイスの例を半導体素子であるものとする。つまり、検査データ管理システム100は、複数の半導体素子を基板であるシリコンウェハ(以下、ウェハとする)単位に製造する半導体製造過程を対象とするものである。また、検査データ管理システム100は、上述した半導体製造過程における検査項目に対応する基板上の検査位置を決定し、当該検査位置に基づく検査を行うものである。尚、本発明にかかるデバイスはこれに限定されず、フラットパネルや太陽電池等の工業製品であってもよい。そのため、本発明は、フラットパネルや太陽電池等の工業製品の製造検査についても適用可能である。
本発明の実施の形態2にかかる検査データ管理システム100aは、本発明の実施の形態1にかかる検査データ管理システム100に変更を加え、検査位置決定部24により決定された検査位置56及び代表モデル生成部23により生成された基準モデルである代表モデル55を用いて、被検査体における複数の製造工程の内、異常である製造工程を推定するものである。
尚、本発明の実施の形態1及び2により決定された検査位置における検査は、製造工程における全ての製品に対して適用しなくてもよい。例えば、1ロット当たり、ウェハを25枚製造する際、一部のウェハにおいては、本発明の実施の形態1及び2により決定された検査位置56より多い検査位置における検査を行い、残りのウェハについて、検査位置56における検査を行うようにしてもよい。これにより、1ロット当たりの一部については、従来のようにコストが高いが、より信頼性の高い検査を行うことで、検査全体としての検査コストを軽減することができる。
100a 検査データ管理システム
1 製造ライン
1a 製造装置
1b 製造装置
1n 製造装置
2 検査支援装置
2a 検査支援装置
21 検査実行部
22 基板モデル生成部
23 代表モデル生成部
24 検査位置決定部
25 モデル判別部
26 異常工程推定部
5 検査情報記憶装置
51 検査項目
52 検査候補位置
53 計測データ
54 基板モデル
55 代表モデル
56 検査位置
57 検査データ
58 工程情報
59 モデル種別
60 モデル判別結果
6 通信回線
411 CPU
412 RAM
413 ROM
414 通信部
420 ハードディスク
421 OS
422 検査支援プログラム
b、c、d、f、g、k、n、o、p、s、t 検査位置
A、B、C、D、E 工程
MA1、MA2、MB1〜MB3、MC1、MC2、MD1〜MD4、ME1〜
ME4 基準モデル種別
W1、W2、W3、W4、・・・、WX ウェハ
Claims (16)
- 複数の製造工程及び検査工程を経て同一基材上に製造されるデバイスの検査結果である検査データを管理する検査データ管理システムであって、
前記検査工程毎に前記基材上の複数の検査候補位置から計測された計測データの傾向を表す基準モデルと、前記計測データに基づいて前記複数の検査候補位置の中から絞り込まれた位置である検査対象位置とを記憶する検査要素記憶部と、
前記検査対象位置において計測された前記検査データに基づいて、前記基準モデルを前記基材毎に判別する基準モデル判別部と
を備える検査データ管理システム。 - 前記基準モデルは、前記検査工程毎に行われた前記基材上の所定の検査候補位置における計測データに基づいて生成された当該基材上の任意の位置におけるデータを補間するためのデータモデルであることを特徴とする請求項1記載の検査データ管理システム。
- 前記基準モデルは、前記検査工程毎に行われた前記基材上の所定の検査候補位置における計測データ及び前記基準モデルにより補間された補間データの少なくとも一部を選択し、各基材間における当該選択したデータを所定の分析を行うことにより当該基材をグループに分類し、当該グループ毎に生成されたデータモデルであることを特徴とする請求項1記載の検査データ管理システム。
- 前記検査対象位置は、前記検査工程毎に行われた前記基材上の所定の検査候補位置における計測データ及び前記基準モデルにより補間された補間データの少なくとも一部を選択し、当該選択したデータに基づいて前記基準モデルを判別できる場合に、当該選択したデータに対応する検査位置を検査対象位置として決定されたものであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の検査データ管理システム。
- 前記基準モデル判別部は、前記検査対象位置において計測された検査データに所定の分析を行い、前記基準モデルを判別することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の検査データ管理システム。
- 前記検査データ管理システムは、前記複数の製造工程の内、異常である製造工程を推定する異常工程推定部をさらに備え、
前記異常工程推定部は、前記基準モデル判別部により前記検査工程毎に判別された基準モデルの組み合わせに基づき、異常である製造工程を推定することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の検査データ管理システム。 - 複数の製造工程及び検査工程を経て同一基材上に製造されるデバイスの検査結果である検査データを管理する検査データ管理システムであって、
前記検査工程毎に前記基材上の複数の検査候補位置から計測された計測データに基づいて基準モデルを生成する基準モデル生成部と、
前記計測データに基づいて前記複数の検査候補位置の中から絞り込むことにより、前記基材上の検査対象位置を決定する検査対象位置決定部と、
前記決定された検査対象位置において計測された前記検査データに基づいて前記基準モデルを前記基材毎に判別する基準モデル判別部と
を備える検査データ管理システム。 - 前記検査データ管理システムは、前記複数の製造工程の内、異常である製造工程を推定する異常工程推定部をさらに備え、
前記異常工程推定部は、前記基準モデル判別部により前記検査工程毎に判別された基準モデルの組み合わせに基づき、異常である製造工程を推定することを特徴とする請求項7に記載の検査データ管理システム。 - 複数の製造工程及び検査工程を経て同一基材上に製造されるデバイスの検査結果である検査データを管理する検査データ管理方法であって、
前記検査工程毎に前記基材上の複数の検査候補位置から計測された計測データの傾向を表す基準モデルと、前記計測データに基づいて前記複数の検査候補位置の中から絞り込まれた位置である検査対象位置とを格納する検査要素格納ステップと、
前記検査対象位置において計測された前記検査データに基づいて、前記基準モデルを前記基材毎に判別する基準モデル判別ステップと
を備える検査データ管理方法。 - 前記基準モデルは、前記検査工程毎に行われた前記基材上の所定の検査候補位置における計測データに基づいて生成された当該基材上の任意の位置におけるデータを補間するためのデータモデルであることを特徴とする請求項9記載の検査データ管理方法。
- 前記基準モデルは、前記検査工程毎に行われた前記基材上の所定の検査候補位置における計測データ及び前記基準モデルにより補間された補間データの少なくとも一部を選択し、各基材間における当該選択したデータを所定の分析を行うことにより当該基材をグループに分類し、当該グループ毎に生成されたデータモデルであることを特徴とする請求項9記載の検査データ管理方法。
- 前記検査対象位置は、前記検査工程毎に行われた前記基材上の所定の検査候補位置における計測データ及び前記基準モデルにより補間された補間データの少なくとも一部を選択し、当該選択したデータに基づいて前記基準モデルを判別できる場合に、当該選択したデータに対応する検査位置を検査対象位置として決定されたものであることを特徴とする請求項9乃至11のいずれか1項に記載の検査データ管理方法。
- 前記基準モデル判別ステップは、前記検査対象位置において計測された検査データに所定の分析を行い、前記基準モデルを判別することを特徴とする請求項9乃至12のいずれか1項に記載の検査データ管理方法。
- 前記検査データ管理方法は、前記複数の製造工程の内、異常である製造工程を推定する異常工程推定ステップをさらに備え、
前記異常工程推定ステップは、前記基準モデル判別ステップにより前記検査工程毎に判別された基準モデルの組み合わせに基づき、異常である製造工程を推定することを特徴とする請求項9乃至13のいずれか1項に記載の検査データ管理方法。 - 複数の製造工程及び検査工程を経て同一基材上に製造されるデバイスの検査結果である検査データを管理する検査データ管理方法であって、
前記検査工程毎に前記基材上の複数の検査候補位置から計測された計測データに基づいて基準モデルを生成する基準モデル生成ステップと、
前記計測データに基づいて前記複数の検査候補位置の中から絞り込むことにより、前記基材上の検査対象位置を決定する検査対象位置決定ステップと、
前記決定された検査対象位置において計測された前記検査データに基づいて前記基準モデルを前記基材毎に判別する基準モデル判別ステップと
を備える検査データ管理方法。 - 前記検査データ管理方法は、前記複数の製造工程の内、異常である製造工程を推定する異常工程推定ステップをさらに備え、
前記異常工程推定ステップは、前記基準モデル判別ステップにより前記検査工程毎に判別された基準モデルの組み合わせに基づき、異常である製造工程を推定することを特徴とする請求項15に記載の検査データ管理方法。
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