JP5371525B2 - 炭化珪素粉体の製造方法 - Google Patents
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Description
(1)本発明に係る炭化珪素粉体の製造方法は、珪素源と、炭素源と、反応触媒と、バナジウム含有化合物と、を混合させて液状混合物7を生成する工程と、この液状混合物7を減圧雰囲気下に配置した状態で、液状混合物7に不活性ガスを導入しつつ排出ガスを排気する工程と、液状混合物7を乾燥および硬化させることにより固形物19を生成する工程と、この固形物19を加熱して炭化および焼成することにより、炭化珪素粉体25を生成する工程と、を有する。
19 固形物
25 炭化珪素粉体
In(G) 導入ガス(不活性ガス)
Out(G) 排出ガス
Claims (3)
- 珪素源と、炭素源と、反応触媒と、バナジウム含有化合物と、を混合させて液状混合物を生成する工程と、
前記液状混合物を減圧雰囲気下に配置した状態で、前記液状混合物に不活性ガスを導入しつつ排出ガスを排気する工程と、
前記液状混合物を乾燥および硬化させることにより固形物を生成する工程と、
前記固形物を加熱して炭化および焼成することにより、炭化珪素粉体を生成する工程と
を有することを特徴とする炭化珪素粉体の製造方法。 - 前記バナジウム含有化合物は、酸化バナジウムアセチルアセトナートであることを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素粉体の製造方法。
- 前記反応触媒は、重合または架橋触媒であることを特徴とする請求項1または2に記載の炭化珪素粉体の製造方法。
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