JP5366112B2 - 内径測定装置 - Google Patents
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Description
なお、上記の各実施態様において、白色光源とは、可視光域において広帯域発光する光源に限られず、所定の波長を中心波長とした一定の波長帯域の光を放射する光源をいう。
本発明を適用した内径測定装置は、白色光源からの光を、被測定物の略中心に配置した球体の表面反射素子に入射させる。その表面反射素子は、入射光の一部を頂点で垂直反射するとともに、入射光の他の一部を、球表面の頂点と異なる位置で、被測定物の内面に対して略垂直な方向に反射することにより、白色光源からの光を、被測定物の内径に応じて定まる光路差を有する二つの光束に分割する。そして、内径測定装置は、それぞれの光束を、別途用意された干渉計に入射させる。干渉計では、上記光路差とほぼ等しい光路差を生じる二つの光路に光束を分割して干渉させることにより、白色干渉縞を生じさせる。そして、検出器で白色干渉縞の最大信号値を検出して干渉計の二つの光路間の光路差を測定することにより、被測定物の内径を求める。
Δl=2(Δh+Δd)=(2−2√2)r+D (1)
まず、表面反射素子3と被測定物10の位置関係を、被測定物10の軸方向に直交する円筒断面内で、特定の方向にずらしながら干渉縞の測定を繰り返す。そして、得られた干渉縞の振幅の測定値が最大となるときの表面反射素子3の位置を決定する。その後、上記の特定方向と直交する方向に、同様に表面反射素子3を移動させつつ、干渉縞の振幅が最大となる位置を求める。最終的に、最も干渉縞の振幅が大きくなった時、表面反射素子3は、被測定物10の内径に対して偏心なく配置されていると判断する。
図4(a)に示すように、この測定方法では、光束B1のうち、表面反射素子3の表面上の一点(例えば、点b)で反射される部分と表面反射素子3の頂点aで垂直反射される光束B2のみが透過可能な、スリット状の開口32を有するシャッタ素子31を、ウェッジプリズム12と表面反射素子3の間に配置する。その開口32の長手方向の長さは、例えば表面反射素子3の半径rとほぼ等しい。さらにシャッタ素子31は、開口32の長手方向に沿って移動可能に構成される。この場合、図4(a)及び(b)に示すように、スリット状の開口32の長手方向と、表面反射素子3の被測定物10に対する偏心方向が略平行な場合にのみ、光束B1がその開口を通過することができる。そこで、まず、このシャッタ素子31を配置した状態で、観測された白色干渉縞に基づいて光束B1(例えば、点bで反射された光束)とB2の光路差Δl1を測定する。その後、表面反射素子3上の反射位置を、最初の反射位置bに対して頂点aと表面反射素子3の中心Oを結ぶ直線を中心とした軸対称の位置(例えば、図4(a)における点c)になるように、シャッタ素子31をスリットの長手方向に沿って平行に移動する。そして、再度光束B1とB2の光路差Δl2を測定する。そして、測定された光路差Δl1、Δl2の平均値を、表面反射素子3が偏心していないときの光路差Δlとすることができる。
なお、移動鏡44を移動させつつ、その移動の間に連続的に干渉信号を測定する場合には、ピエゾ微動ステージ46及びピエゾコントローラ51を省略してもよい。
また、検出器5は、コントローラ6と電気的に接続され、検出した光量に対応する電気信号を、コントローラ6へ送信する。
さらにコントローラ6は、図示していないCPU,ROM,RAM及びその周辺回路と、CPU上で実行されるコンピュータプログラムによって実現される機能モジュールとして、検出された光量及び移動鏡44の位置に基づいて、被測定物10の内径Dを求めたり、位置計測用干渉計49、ピエゾコントローラ51、ステージコントローラ52及び検出器5など、コントローラ6に接続された機器を制御する制御部とを有する。
白色光源2からの光は、コヒーレンス長が短いため、光路差がほぼ等しい場合にのみ干渉縞を生じる。ここで、干渉計4の第1の光路における、ビームスプリッタ42から参照鏡43までの距離がL1であり、第2の光路における、ビームスプリッタ42から移動鏡44までの距離がL2であるとすると、第3の光束と第4の光束との間に、光路差ΔL=2(L2−L1)が生じる(ただし、L2>L1とする)。このとき、光路差ΔLと、光束B1とB2の間に生じた光路差Δlが等しければ、表面反射素子3において、被測定物10の内面S1で反射された光束B1のうち、干渉計4において、第1の光路を通った光束B11と、表面反射素子3の頂点aで垂直反射された光束B2のうち、干渉計4において、第2の光路を通った光束B22との光路差が0となる。そのため、最大の干渉信号を観測することができる。そして、干渉計4で生じた光路差ΔLと光束B1とB2との間に生じた光路差Δlとの差が大きくなるにつれて、干渉信号の大きさは急激に低下する。また、光束B1とB2との間に生じた光路差Δlに関しては、上記の(1)式で示したように、表面反射素子3の半径rと、被測定部10の内径Dに基づいて決定される。そこで、予め、あるいは、光路差ΔLの測定後、表面反射素子3の半径rを測定する。そして、(1)式のΔlに光路差ΔLの測定値を代入し、半径rにその測定値を代入することにより、被測定物10の内径Dを求めることができる。
測定を開始すると、まず初期化手順として、移動鏡44の基準位置、すなわち、干渉計4の第1の光路と第2の光路間の光路差が0となる移動鏡44の位置を決定する(ステップS101)。そのために、内径測定装置1に、被測定物10を設置せず、干渉計4で干渉縞の検出される位置を求める。このとき、被測定物10の内面で反射される光束は存在しないから、表面反射素子3から出射する光束は、全てB2となる。なお、設置台16の表面で垂直反射された光束B3と光束B2との干渉縞の発生を避けるために、光ファイバ7から表面反射素子3までの間に絞りを設け、表面反射素子3にのみ光が照射されるようにしてもよい。干渉計4では、第1の光路におけるビームスプリッタ42から参照鏡43までの距離L1と、第2の光路におけるビームスプリッタ42から移動鏡44までの距離L2との差が0のとき、干渉信号は最大となる。そこで、コントローラ6は、移動鏡44を移動させて、複数の測定点で検出器5で検出される光量を観測し、検出光量が最大、すなわち、干渉信号が最大値となる位置を見つける。そして、コントローラ6は、干渉信号が最大値となったときの移動鏡44の位置を、位置計測用干渉計49から受信し、L1=L2となる位置P1として、コントローラ6の記憶部に記憶する。
l1=2L−2×√3r+2Δd'=2L+D−3√3r (2)
となる。一方、光束B2の、等位相面70から頂点aで反射されて再び等位相面に到達するまでの光路長l2は、頂点aから焦点fまでの距離が2rであるから、
l2=2L−2×2r=2L−4r (3)
となる。したがって、光束B1と光束B2の光路差Δl'は、(2)、(3)式より、以下のようになる。
Δl'=l1−l2=D+(4−3√3)r (4)
また、光束B2として、表面反射素子3の頂点で垂直反射される光束の代わりに、設置台16の表面で垂直反射される光束を用いて、被測定物の内径Dを測定することができる。この場合、光束B1とB2との光路差Δl"は、例えば表面反射素子3への入射光が平行光の場合、(1)式より、Δl"=Δl−2・2r=D−(2+2√2)rとなる。
図8(a)に示すように、白色光源からの光は、ハーフミラー81により、光束B1とB2に分割される。光束B1は、ミラー82でさらに反射されて表面反射素子3へ向かう。そして、その光束B1は、表面反射素子3で反射された後、被測定物10の内面S1で反射され、再度表面反射素子3で反射されて、元の入射方向と反対向きに進む。一方、光束B2は、ハーフミラー81で反射された後、表面反射素子3の頂点aで垂直反射されて、元の入射方向と反対向きに進む。この場合における、光束B1とB2の光路差は、表面反射素子3の半径rと、ハーフミラー81とミラー82間の距離と、光束B1が表面反射素子3へ入射する入射角と、被測定物10の内径Dに基づいて決定することができる。
また、表面反射素子90の高さhは、設置台16の表面で反射される光束B3と、表面反射素子90の頂面93で反射される光束B2の光路差を、上記の手順に従ってこの内径測定装置1で測定することにより求められる。あるいは、その高さhを予め別の方法を用いて測定しておいてもよい。さらに、光束B2の代わりに、設置台16の表面で垂直反射される光束B3を用いて、被測定物の内径Dを測定することができる。この場合、光束B1、B1'とB3との光路差は、それぞれ、2d1−x、2d2−xとなる。
さらに、表面反射素子側に配置された白色光源と、干渉計側に配置された検出器を入れ替えてもよい。この場合、干渉計側で予め被測定物の測定対象寸法に相当する光路差を有する二つの光束を発生させ、それらの光束を光ファイバを通じて表面反射素子側へ送る。そして、表面反射素子では、受け取った二つの光束を、被測定物の内面で反射される光束と表面反射素子の頂点あるいは頂面で反射される二つの光束にさらに分割し、それらを一つに合わせて検出器で検出することにより、白色干渉縞を観察する。この場合も、干渉計側で発生させた光路差を測定することにより、被測定物の内径を求めることができる。
以上のように、本発明の範囲内で、実施される形態に合わせて様々な変更を行うことができる。
10 被測定物
2 白色光源
3 表面反射素子
4 干渉計
5 検出器
6 コントローラ
7、8 光ファイバ
9 ビームスプリッタ
11 コリメータレンズ
12 ウェッジプリズム
13 集光レンズ
14 XYZステージ
15 ステージコントローラ
16 設置台
31 シャッタ
32 開口
44 移動鏡
45 支持部材
46 ピエゾ微動ステージ
47 粗動ステージ
48 コーナーキューブ
49 位置計測用干渉計
51 ピエゾコントローラ
52 ステージコントローラ
81、83 ハーフミラー
82 ミラー
90 表面反射素子
Claims (5)
- 筒状の被測定物の内径寸法を測定する内径測定装置であって、
白色光源と、
前記白色光源から放射された入射光から分割された第1の光束を前記被測定物で反射させ、前記入射光から分割された第2の光束との間に前記被測定物の内径に対応する第1の光路差を生じさせる表面反射素子と、
位置が固定された固定鏡と、光路に沿って移動可能な移動鏡とを有する干渉計であって、前記表面反射素子から出射した前記第1及び第2の光束を、それぞれ該固定鏡に向かう第3の光束と、該移動鏡に向かう第4の光束に分岐して、該第3の光束と該第4の光束との間に第2の光路差を生じさせる干渉計と、
前記第3の光束と前記第4の光束を受光し、前記第1の光路差と前記第2の光路差とが略等しい場合に生じる干渉信号を検出し、該干渉信号に対応する信号を出力する検出器と、
前記干渉信号の最大値に対応する前記移動鏡の位置を測定し、該位置から前記第2の光路差を計算することにより、前記被測定物の内径を求めるコントローラと、
を有し、
前記表面反射素子は前記入射光の一部を前記表面反射素子の表面の一部で反射して前記第1の光束を形成し、かつ、前記入射光の他の一部を前記表面反射素子の表面の他の一部で反射することにより前記第2の光束を形成することを特徴とする内径測定装置。 - 前記表面反射素子は球体であり、前記表面反射素子は、前記入射光の一部を該表面反射素子の表面の前記一部で反射して、前記被測定物の内面に略垂直に入射させることにより前記第1の光束を形成し、かつ、前記入射光の他の一部を前記表面反射素子の表面の前記他の一部である前記白色光源側の頂点で反射することにより前記第2の光束を形成する、請求項1に記載の内径測定装置。
- 前記表面反射素子は、前記被測定物の軸を含む平面における断面形状が台形となる形状を有し、前記表面反射素子は、前記入射光の一部を該表面反射素子の表面の前記一部である側面で反射して、前記被測定物の内面に略垂直に入射させることにより前記第1の光束を形成し、かつ、前記入射光の他の一部を前記表面反射素子の表面の前記他の一部である頂面で反射することにより前記第2の光束を形成する、請求項1に記載の内径測定装置。
- 前記白色光源から放射された光を前記第1の光束と前記第2の光束に分割する光束分割素子をさらに有する、請求項1〜3の何れか一項に記載の内径測定装置。
- 筒状の被測定物の内径寸法を測定する内径測定装置であって、
白色光源と、
位置が固定された参照鏡と、光路に沿って移動可能な移動鏡とを有する干渉計であって、前記白色光源から放射された光を、該参照鏡に向かう第1の光束と、該移動鏡に向かう第2の光束に分岐して、該第1の光束と該第2の光束との間に第1の光路差を生じさせる干渉計と、
前記干渉計から出射された前記第1の光束及び第2の光束から分割された第3の光束を前記被測定物で反射させ、前記第1の光束及び第2の光束から分割された第4の光束との間に前記被測定物の内径に対応する第2の光路差を生じさせる表面反射素子と、
前記第3の光束と前記第4の光束を受光し、前記第1の光路差と前記第2の光路差とが略等しい場合に生じる干渉信号を検出し、該干渉信号に対応する信号を出力する検出器と、
前記干渉信号の最大値に対応する前記移動鏡の位置を測定し、該位置から前記第1の光路差を計算することにより、前記被測定物の内径を求めるコントローラと、
を有し、
前記表面反射素子は前記第1の光束及び第2の光束の一部を前記表面反射素子の表面の一部で反射して前記第3の光束を形成し、かつ、前記第1の光束及び第2の光束の他の一部を前記表面反射素子の表面の他の一部で反射することにより前記第4の光束を形成することを特徴とする内径測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008022688A JP5366112B2 (ja) | 2008-02-01 | 2008-02-01 | 内径測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008022688A JP5366112B2 (ja) | 2008-02-01 | 2008-02-01 | 内径測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009180712A JP2009180712A (ja) | 2009-08-13 |
JP5366112B2 true JP5366112B2 (ja) | 2013-12-11 |
Family
ID=41034791
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008022688A Expired - Fee Related JP5366112B2 (ja) | 2008-02-01 | 2008-02-01 | 内径測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5366112B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9329026B2 (en) * | 2013-12-06 | 2016-05-03 | Mitutoyo Corporation | Hole-measurement systems and methods using a non-rotating chromatic point sensor (CPS) pen |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB9314487D0 (en) * | 1993-07-12 | 1993-08-25 | Secr Defence | Sensor system |
JPH07190714A (ja) * | 1993-12-24 | 1995-07-28 | Olympus Optical Co Ltd | 干渉計 |
JP3354675B2 (ja) * | 1993-12-27 | 2002-12-09 | オリンパス光学工業株式会社 | 円周面形状測定方法 |
JP3520327B2 (ja) * | 2000-10-03 | 2004-04-19 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 長さ情報伝送方法 |
JP2004347425A (ja) * | 2003-05-21 | 2004-12-09 | Mitsutoyo Corp | 二面間距離変化測定方法及び装置 |
US7259862B2 (en) * | 2004-09-20 | 2007-08-21 | Opsens Inc. | Low-coherence interferometry optical sensor using a single wedge polarization readout interferometer |
-
2008
- 2008-02-01 JP JP2008022688A patent/JP5366112B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009180712A (ja) | 2009-08-13 |
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A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20100714 |
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A621 | Written request for application examination |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20100715 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A521 | Written amendment |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121204 |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130128 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130827 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
S533 | Written request for registration of change of name |
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|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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