JP5364891B2 - Si−O−Si結合を含む化合物を用いた光化学接合法及びデバイス - Google Patents
Si−O−Si結合を含む化合物を用いた光化学接合法及びデバイス Download PDFInfo
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Description
2 球状透明材料
3 マスク
5 円柱状透明材料
6 中空透明材料
7 板状透明材料
8 多角柱状透明材料
9 レンズ状透明材料
Ll 波長190nm以上266nm未満の光
L2 波長266nm以上の紫外光
Claims (8)
- Si−O−Si結合を含む固体状化合物に、被接合透明材料を接触させ、前記化合物と前記被接合透明材料との界面に波長266nm以上の紫外光を照射し、前記界面に前記化合物の改質による炭素の接合層を形成することを特徴とするSi−O−Si結合を含む化合物を用いた光化学接合法。
- 前記被接合透明材料が、前記波長266nm以上の紫外光を透過させる板状透明材料であり、前記化合物と前記板状透明材料との界面に、前記板状透明材料を通して前記波長266nm以上の紫外光を照射することを特徴とする請求項1記載のSi−O−Si結合を含む化合物を用いた光化学接合法。
- 前記被接合透明材料が、前記波長266nm以上の紫外光を透過させる多角柱状透明材料であり、前記化合物と前記多角柱状透明材料との界面に、前記多角柱状透明材料を通して前記波長266nm以上の紫外光を照射することを特徴とする請求項1記載のSi−O−Si結合を含む化合物を用いた光化学接合法。
- 前記被接合透明材料が、前記波長266nm以上の紫外光を透過させる円柱状透明材料であり、前記化合物と前記円柱状透明材料との界面に、前記円柱状透明材料を通して前記波長266nm以上の紫外光を照射することを特徴とする請求項1記載のSi−O−Si結合を含む化合物を用いた光化学接合法。
- 前記被接合透明材料が、前記波長266nm以上の紫外光を透過させる球状透明材料であり、前記化合物と前記球状透明材料との界面に、前記球状透明材料を通して前記波長266nm以上の紫外光を照射することを特徴とする請求項1記載のSi−O−Si結合を含む化合物を用いた光化学接合法。
- 前記被接合透明材料が、前記波長266nm以上の紫外光を透過させるレンズ状透明材料であり、前記化合物と前記レンズ状透明材料との界面に、前記レンズ状透明材料を通して前記波長266nm以上の紫外光を照射することを特徴とする請求項1記載のSi−O−Si結合を含む化合物を用いた光化学接合法。
- 前記被接合透明材料が、前記波長266nm以上の紫外光を透過させる中空透明材料であり、前記化合物と前記中空透明材料との界面に、前記中空透明材料を通して波長266nm以上の紫外光を照射することを特徴とする請求項1記載のSi−O−Si結合を含む化合物を用いた光化学接合法。
- 請求項1、2、3、4、5、6又は7記載の光化学接合法により接合されたSi−O−Si結合を含む前記固体状化合物と被接合透明材料との界面が、炭素層として機能することを特徴とするデバイス。
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