JP5354083B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
半導体チップ(21,22)と、前記半導体チップ(21,22)を冷媒と熱交換させる冷却器(23,24,25)と、を備えた半導体装置であって、
前記冷媒は非導電性であり、
前記半導体チップ(21,22)と前記冷却器(23,24,25)とは、導電性の接続部材(28)を介して、又は直接的に接続されていることを特徴とする。
前記冷却器(23,24,25)は、電流を流すバスバーとして用いられることを特徴とする。
前記冷却器(23,24,25)は、前記半導体チップ(21,22)の電極(E,C,…)と接続されていることを特徴とする。
前記冷却器(23,24,25)は、前記半導体チップ(21,22)の両面に設けられていることを特徴とする。
前記半導体チップ(21,22)は複数であり、複数の半導体チップ(21,22)で1つの冷却器(23,24,25)を共用しつつ冷却器(23,24,25)及び半導体チップ(21,22)が積層されていることを特徴とする。
前記冷媒は、冷凍サイクルを行う冷媒回路(50)の冷媒であり、
前記冷却器(23,24,25)は、非導電性の配管部材(29)を介して前記冷媒回路(50)の配管(51)に接続されていることを特徴とする。
第1の半導体装置において、
前記半導体チップ(21,22)は、ワイドバンドギャップ半導体を用いた半導体デバイスであることを特徴とする。
本発明の実施形態として、電力変換装置に用いられる半導体装置の例を説明する。図1は、電力変換装置(10)の構成例を示す回路図である。図2は、実施形態に係る半導体装置(20)の平面図である。また、図3は、実施形態に係る半導体装置(20)の断面図である。なお、図3は、図2のA−A断面を示している。図2、及び図3では、半導体装置(20)に加え、電力変換装置(10)を構成する部品の一部も図示してある。
電力変換装置(10)は、直流電源(11)、平滑コンデンサ(12)、及び半導体装置(20)を備えている。直流電源(11)は、ブリッジ接続された6つのダイオード(D)を備え、三相交流電源(60)から入力された交流を全波整流する。平滑コンデンサ(12)は、直流電源(11)の出力を平滑化する電解コンデンサであり、リアクトル(L)を介して直流電源(11)に接続されている。
−回路構成−
半導体装置(20)は、電力変換装置(10)におけるインバータ回路(40)を構成している。インバータ回路(40)は、複数(この例では6個)のスイッチング素子(21)がブリッジ結線されて構成されている。詳しくは、インバータ回路では、2つのスイッチング素子(21)を互いに直列接続してなるスイッチングレグ(41)を3つ備えている。各スイッチングレグ(41)において上アームのスイッチング素子(21)と下アームのスイッチング素子(21)との中点が、モータ(70)に接続されている。また、各スイッチング素子(21)には、還流ダイオード(22)が逆並列に接続されている。インバータ回路(40)は、入力ノードが平滑コンデンサ(12)に並列に接続されている。
半導体装置(20)は、図2,3に示すように、スイッチング素子(21)、還流ダイオード(22)、伝導ブロック(27)、制御ピン(30)、絶縁封止材(31)、及び三種類のバスバー(N相バー(23)、P相バー(24)、及び出力バー(25))を備えている。この例では、N相、及びP相バー(23,24)は、それぞれ1つずつ設けられている。出力バー(25)は3つ設けられている。スイッチング素子(21)、還流ダイオード(22)、及び制御ピン(30)は、それぞれ6個ずつ設けられている。なお、図3等では、複数存在する構成要素には、必要に応じて符号に枝番(-1,-2…)を付して識別してある。
それぞれのスイッチング素子(21)は、IGBTである。図4は、スイッチング素子(21)の構造例を示す図である。1つのスイッチング素子(21)は、1つのベアチップとして形成されている。図4に示すように、ベアチップの一方の面には、コレクタ(C)が形成され、もう一方の面にエミッタ(E)とゲート(G)がそれぞれ形成されている。スイッチング素子(21)は、本発明の半導体チップの一例である。
それぞれのバスバー(23,24,25)は、電流を流す配線部材としての機能と、スイッチング素子(21)や還流ダイオード(22)を冷却する冷却器としての機能とを有している。それぞれのバスバー(23,24,25)は、図2,3に示すように、板状の形態を有している。それぞれのバスバー(23,24,25)は、アルミニウムあるいは銅などの導電性及び伝熱性を有した材料で形成されている。それぞれのバスバー(23,24,25)の一端には、電極部(23a,24a,25a)がそれぞれ形成されている。それぞれの電極部(23a,24a,25a)は、図2,3に示すように、絶縁封止材(31)から露出している。
本実施形態では、スイッチング素子(21)等の上下の向き(上側、下側、上面、下面等)は、図3における上下をいうものとする。
各バスバー(23,24,25)の配管(26)は、接続配管(29)を介して、冷凍サイクルを行う冷媒回路(50)に接続され、その内部に冷媒が流通するようになっている。図5は、冷凍サイクルを行う冷媒回路(50)の一例である。冷媒回路(50)は、圧縮機(52)、室外熱交換器(53)、膨張弁(54)、四方切換弁(55)、及び室内熱交換器(56)を備え、これらが配管(51)で接続されている。冷媒回路(50)は、冷媒が循環して蒸気圧縮式の冷凍サイクルを行う。冷媒回路(50)で使用される冷媒は非導電性である。
各スイッチング素子(21)や還流ダイオード(22)の端子は、半田(28)によって何れかのバスバー(23,24,25)に電気的に接続されているので、スイッチング素子(21)のスイッチングに応じてバスバー(23,24,25)には電流が流れる。また、このスイッチングにともなって、スイッチング素子(21)や還流ダイオード(22)は熱を発生する。
以上のように、本実施形態では、冷却器(バスバー(23,24,25))と、半導体チップ(スイッチング素子(21)等)との間に絶縁部材を設けることなく、半導体装置(20)と冷媒回路(50)の電気的絶縁が確保される。したがって、半導体チップが冷却器で冷却される半導体装置において、半導体チップと冷却器の間の絶縁部材を省略して半導体装置の構造の簡略化を図ることが可能になる。これにより、半導体チップの冷却効率の向上、冷却機構の簡潔化、半導体装置のコスト増大の抑制も可能になる。また、スイッチング素子(21)のスイッチングで生ずるノイズが半導体装置(20)の外部に流出するのを防止することも可能になる。
図6は、関連技術に係る半導体装置(20)の断面図である。関連技術の半導体装置(20)は、スイッチングレグ(41)の構造が実施形態とは異なっている。なお、本関連技術では、スイッチング素子(21)等の上下の向き(上側、下側、上面、下面等)は、図6における上下をいうものとする。
図6は、W相のスイッチングレグ(41)を示している。他のU相、及びV相も同様の構造である。この半導体装置(20)でも、出力バー(25)は3つ、N相、及びP相バー(23,24)はひとつずつ設けられている。図6の例では、同図左側のスイッチング素子(21)が上アーム側のスイッチング素子であり、右側のスイッチング素子(21)が下アーム側のスイッチング素子である。各バスバー(23,24,25)とスイッチング素子(21)等との接続は、各スイッチングレグ(41)とも同様なので、図6に示したW相を例に説明する。
本関連技術でも各スイッチング素子(21)や還流ダイオード(22)の端子は、半田(28)によって何れかのバスバー(23,24,25)に電気的に接続されているので、スイッチング素子(21)のスイッチングに応じてバスバー(23,24,25)には電流が流れる。
なお、必ずしも全てのバスバー(23,24,25)に冷媒を流す必要はない。何れのバスバー(23,24,25)に冷媒を流すかは、スイッチング素子(21)等の放熱量に応じて決めればよい。
21 スイッチング素子(半導体チップ)
22 還流ダイオード(半導体チップ)
23 N相バー(冷却器)
24 P相バー(冷却器)
25 出力バー(冷却器)
28 半田(接続部材)
29 接続配管(配管部材)
50 冷媒回路
51 配管
Claims (2)
- 半導体チップ(21,22)と、前記半導体チップ(21,22)を冷媒と熱交換させる冷却器(23,24,25)と、を備えた半導体装置であって、
前記冷媒は非導電性であり、
前記半導体チップ(21,22)と前記冷却器(23,24,25)とは、導電性の接続部材(28)を介して、又は直接的に接続され、
前記冷却器(23,24,25)は、電流を流すバスバーとして用いられ、
前記冷却器(23,24,25)は、前記半導体チップ(21,22)の電極(E,C,…)と接続され、
前記冷却器(23,24,25)は、前記半導体チップ(21,22)の両面に設けられ、
前記半導体チップ(21,22)は複数であり、複数の半導体チップ(21,22)で1つの冷却器(23,24,25)を共用しつつ冷却器(23,24,25)及び半導体チップ(21,22)が積層され、
前記冷媒は、冷凍サイクルを行う冷媒回路(50)の冷媒であり、
前記冷却器(23,24,25)は、非導電性の配管部材(29)を介して前記冷媒回路(50)の配管(51)に接続されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1の半導体装置において、
前記半導体チップ(21,22)は、ワイドバンドギャップ半導体を用いた半導体デバイスであることを特徴とする半導体装置。
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