JP5341900B2 - 荷電粒子エネルギー分析計 - Google Patents
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Description
R1=K1R12
R2=K2R12
R02=K3R12、
(式中、R12=R01−R02およびK1、K2およびK3は、l<K1<∞、l<K2≦∞および0<K3<∞である無次元パラメーターであり、このパラメーターの任意の選択された組はK1≠1+K2およびK1<K2およびK3<K2を満たす。)
を満たす。
R1=K1R12
R2=K2R12
およびR02=K3R12
図1〜3に示すように、試料Sは、電極構造11の境界の外側に位置する。相対的に容易に配置することを可能とし、そして1種または2種以上の追加の照射源の提供を促進する;例えば、X線照射源が、一次電子源に加えて提供できるであろうので、この配置は好都合である。当然のことながら、代わりに、より好ましくない態様として、試料Sは、電極構造の境界内に配置できるであろう。
1<K1≦10、
1<K2≦∞および
0.1≦K3≦3
を満たすK1、K2およびK3の値を有する好ましい態様の範囲内で達成可能であることを示した。
Claims (23)
- エネルギー分析のために試料に荷電粒子を放出させるために、試料を照射するための照射手段、
縦軸を有する電極構造、
該電極構造は、内側電極表面および外側電極表面をそれぞれ有する同軸の内側電極お
よび外側電極を含む、
エネルギー分析のために該試料から放出された荷電粒子が、該内側電極表面と該外側電極表面との間の空間に入ることができる、入口開口および、
荷電粒子が該空間から出ることができる出口開口、および
該出口開口を通って該空間から出た荷電粒子を検出するための検出手段、
を含んで成る、荷電粒子エネルギー分析計であって、
ここで、該内側電極表面および外側電極表面が、該縦軸に対称に直交する子午面を有する回転楕円体の表面によって、少なくとも部分的に画定されており、該内側電極表面および該外側電極表面が、異なる半径R2およびR1をそれぞれ有する2つの非同心円の弧の該縦軸回りの回転によって生成されており、R2が常にR1より大きく、該それぞれの子午面における該縦軸から該外側電極表面への距離がR01であり、そして該それぞれの子午面における該縦軸から該内側電極表面への距離がR02であり、そして該半径R1およびR2および該距離R02が、条件:
R1=K1R12、
R2=K2R12、
およびR02=K3R12
(式中、R12=R01−R02およびK1、K2およびK3は、1<K1<∞、1<K2≦∞であり、そして0<K3<∞である無次元パラメーターであり、該パラメーターの任意の選択された組は、K1≠1+K2およびK1<K2およびK3<K2を満たす。)
を満たす、荷電粒子エネルギー分析計。 - 該回転楕円体の表面の該子午面が一致している、請求項1に記載の荷電粒子エネルギー分析計。
- 1<K1≦10、1<K2≦∞および0.1≦K3≦3である、請求項1または2に記載の荷電粒子エネルギー分析計
- K1=2.756、K2=4.889およびK3=0.944である、請求項3に記載の荷電粒子エネルギー分析計。
- 該外側電極表面が、該電極構造の入口終端において平らで環状の終端部分を有する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の荷電粒子エネルギー分析計。
- 該環状の終端部分が、該縦軸に中心がある円形開口を有する平面リングを含む、請求項4に記載の荷電粒子エネルギー分析計。
- K1=2.756、K2=4.889およびK3=0.944であり、該平面リングが、該縦軸に対して動径座標0.755R12において該外側電極表面の該回転楕円体の表面と接し、そして該円形開口が半径0.661R12、および軸方向の深さ0.009R12を有する、請求項6に記載の荷電粒子エネルギー分析計。
- 該内側電極表面が、該電極構造の入口終端において、同軸の円錐形終端部分を有し、該入口開口が該同軸の円錐形終端部分に位置する、請求項1〜7のいずれか一項に記載の荷電粒子エネルギー分析計。
- K1=2.756、K2=4.889およびK3=0.944であり、該同軸の円錐形終端部分が、該縦軸に対して動径座標0.818R12において該内側電極表面の該回転楕円体の一部と接線方向で接し、そしてtan(α)=0.255によって与えられる半角(α)を有する、請求項8に記載の荷電粒子エネルギー分析計。
- 該内側電極表面が、該縦軸に対して、動径座標0.514R12において、該同軸の円錐形終端部分を切断する終端面を有する、請求項9に記載の荷電粒子エネルギー分析計。
- 該内側電極表面が、該電極構造の出口終端において同軸の円筒型形の終端部分を有し、該出口開口が該円筒型形の終端部分中に配置されており、それによって該試料により放出される荷電粒子の焦点を合わせることが可能となる、請求項1〜10のいずれか一項に記載の荷電粒子エネルギー分析計。
- 該外側電極表面が、該電極構造の該出口終端において、同軸の円筒型形の終端部分を有する、請求弧11に記載の荷電粒子エネルギー分析計。
- 該外側電極表面および該内側電極表面の該同軸の円筒型形の終端部分が、0.754R12および0.704R12の半径をそれぞれ有する、請求項12に記載の荷電粒子エネルギー分析計。
- 該内側電極表面が、該電極構造の出口終端において同軸の円錐形終端部分を有し、該出口開口が該同軸の円錐形終端部分中に位置しており、それによって該縦軸上の点において該試料から放出される荷電粒子が該縦軸上に中心があるリングにおいて焦点を合わせられ、該検出手段が、該焦点を合わされた荷電粒子を検出するためのリング検出器である、請求項1〜10のいずれか一項に記載された、荷電粒子エネルギー分析計。
- 該試料が該縦軸方向で該終端面から0.169R12の距離に位置し、そして該入口開口が、該縦軸に対して44°〜60°の範囲にある発散角を有する該試料から放出された荷電粒子を収容できるような寸法である、請求項10に記載の荷電粒子エネルギー分析計。
- 該出口開口が該縦軸に対して少なくとも38.6°〜45.1°の範囲にある発散角を有する荷電粒子を通すような寸法であり、該荷電粒子が該試料から5.006R12の焦点において該縦軸上に焦点を合わされる、請求項15に記載の荷電粒子エネルギー分析計。
- 該入口開口および出口開口が、導電性グリッドによって被覆されている、請求項1〜16のいずれか一項に記載の荷電粒子エネルギー分析計。
- 該導電性グリッドが、縦方向に伸びるワイヤーの形態を有する、請求項17に記載の荷電粒子エネルギー分析計。
- 該出口開口が、該円筒型形の終端部分の全長に沿って伸びている、請求項11〜13のいずれか一項に記載の荷電粒子エネルギー分析計。
- 該検出手段が、チャネルトロン機器である、請求項1〜19のいずれか一項に記載の荷電粒子エネルギー分析計。
- 該検出手段が、マルチチャネルプレート機器である、請求項1〜19のいずれか一項に記載の荷電粒子エネルギー分析計。
- 該検出手段が、位置敏感型検出機器である、請求項1〜19のいずれか一項に記載の荷電粒子エネルギー分析計。
- それぞれが、ダブルまたはマルチパス荷電粒子エネルギー分析を提供する共通縦軸上の請求項1〜22のいずれか一項による、2つまたは3つ以上の荷電粒子エネルギー分析計の直列配置を含む、荷電粒子エネルギー分析計。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GBGB0720901.8A GB0720901D0 (en) | 2007-10-24 | 2007-10-24 | Charged particle energy analysers |
GB0720901.8 | 2007-10-24 | ||
PCT/GB2008/001117 WO2009053666A2 (en) | 2007-10-24 | 2008-03-31 | Charged particle energy analysers |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011501373A JP2011501373A (ja) | 2011-01-06 |
JP5341900B2 true JP5341900B2 (ja) | 2013-11-13 |
Family
ID=38829885
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010530533A Active JP5341900B2 (ja) | 2007-10-24 | 2008-03-31 | 荷電粒子エネルギー分析計 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8373122B2 (ja) |
EP (1) | EP2203929B1 (ja) |
JP (1) | JP5341900B2 (ja) |
GB (1) | GB0720901D0 (ja) |
WO (1) | WO2009053666A2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8723114B2 (en) * | 2011-11-17 | 2014-05-13 | National University Of Singapore | Sequential radial mirror analyser |
US9245726B1 (en) * | 2014-09-25 | 2016-01-26 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Controlling charged particles with inhomogeneous electrostatic fields |
KR102208520B1 (ko) | 2016-07-19 | 2021-01-26 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 디스플레이 디바이스들에서 활용되는 지르코늄 산화물을 포함하는 하이-k 유전체 재료들 |
JP7030089B2 (ja) * | 2019-09-30 | 2022-03-04 | 日本電子株式会社 | インプットレンズおよび電子分光装置 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3787280A (en) * | 1971-03-16 | 1974-01-22 | Congoleum Ind Inc | Resinous product having sharp color definitions therein |
GB1327572A (en) * | 1971-03-23 | 1973-08-22 | Ass Elect Ind | Apparatus for use in charged particle spectroscopy |
US3699331A (en) * | 1971-08-27 | 1972-10-17 | Paul W Palmberg | Double pass coaxial cylinder analyzer with retarding spherical grids |
GB2098797B (en) * | 1980-05-12 | 1985-01-16 | Univ Trobe | Angular resolved spectrometer |
US4758722A (en) * | 1980-05-12 | 1988-07-19 | La Trobe University | Angular resolved spectrometer |
SU1304106A1 (ru) * | 1985-01-24 | 1987-04-15 | Специальное Конструкторское Бюро Аналитического Приборостроения Научно-Технического Объединения Ан Ссср | Электронный спектрометр |
SU1376833A1 (ru) * | 1986-02-20 | 1989-06-23 | Физико-технический институт им.А.Ф.Иоффе | Энергоанализатор зар женных частиц |
US4785722A (en) * | 1987-07-28 | 1988-11-22 | Hamilton Industries | Fume hood with step baffles |
WO1993016486A1 (en) * | 1992-02-17 | 1993-08-19 | Dca Instruments Oy | Method in the electron spectroscopy and an electron spectrometer |
SE512265C2 (sv) * | 1997-09-05 | 2000-02-21 | Nikolai Kholine | Monooptisk energi-mass-spektrometer |
US6184523B1 (en) * | 1998-07-14 | 2001-02-06 | Board Of Regents Of The University Of Nebraska | High resolution charged particle-energy detecting, multiple sequential stage, compact, small diameter, retractable cylindrical mirror analyzer system, and method of use |
AU6358799A (en) * | 1999-06-16 | 2001-01-02 | Shimadzu Research Laboratory (Europe) Ltd | Electrically-charged particle energy analysers |
JP2003208870A (ja) * | 2002-01-15 | 2003-07-25 | Nobuhiro Nishino | 静電エネルギー分析器 |
US7141800B2 (en) * | 2003-07-11 | 2006-11-28 | Charles E. Bryson, III | Non-dispersive charged particle energy analyzer |
JP3968436B2 (ja) * | 2003-09-05 | 2007-08-29 | 大学共同利用機関法人 高エネルギー加速器研究機構 | オージェー光電子コインシデンス分光器、及びオージェー光電子コインシデンス分光法 |
JP4497889B2 (ja) * | 2003-10-29 | 2010-07-07 | アルバック・ファイ株式会社 | 電子分光分析方法及び分析装置 |
JP2006339002A (ja) * | 2005-06-01 | 2006-12-14 | High Energy Accelerator Research Organization | 電子−電子−イオンコインシデンス分光器、電子−電子−イオンコインシデンス分光法、電子−電子コインシデンス分光法及び電子−イオンコインシデンス分光法 |
RU2294579C1 (ru) * | 2005-06-17 | 2007-02-27 | Николай Алексеевич Холин | Анализатор энергий заряженных частиц |
WO2007053843A2 (en) * | 2005-11-01 | 2007-05-10 | The Regents Of The University Of Colorado | Multichannel energy analyzer for charged particles |
US7675047B2 (en) * | 2005-11-15 | 2010-03-09 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Technique for shaping a ribbon-shaped ion beam |
EP2058834B1 (en) * | 2006-07-26 | 2015-12-09 | National University Corporation Nara Institute of Science and Technology | Spherical aberration correction decelerating lens, spherical aberration correction lens system, electron spectroscopy device, and photoelectron microscope |
-
2007
- 2007-10-24 GB GBGB0720901.8A patent/GB0720901D0/en not_active Ceased
-
2008
- 2008-03-31 EP EP08718937.9A patent/EP2203929B1/en active Active
- 2008-03-31 WO PCT/GB2008/001117 patent/WO2009053666A2/en active Application Filing
- 2008-03-31 JP JP2010530533A patent/JP5341900B2/ja active Active
- 2008-03-31 US US12/739,513 patent/US8373122B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2009053666A2 (en) | 2009-04-30 |
US8373122B2 (en) | 2013-02-12 |
WO2009053666A3 (en) | 2009-07-30 |
GB0720901D0 (en) | 2007-12-05 |
EP2203929B1 (en) | 2018-10-24 |
US20110147585A1 (en) | 2011-06-23 |
JP2011501373A (ja) | 2011-01-06 |
EP2203929A2 (en) | 2010-07-07 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110118 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121225 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130108 |
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A711 | Notification of change in applicant |
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A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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