JP5336974B2 - Resin sealing device and resin sealing method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、被成形品を樹脂封止する樹脂封止装置及びその樹脂封止方法の技術分野に関する。 The present invention relates to a technical field of a resin sealing device and a resin sealing method for sealing a product to be molded with resin.
被成形品である半導体チップ等を配置した基板を金型に配置して樹脂封止する樹脂封止装置において、樹脂封止の材料として粉粒体状樹脂を用いる場合には、金型のキャビティへの投入の際に粉粒体状樹脂(顆粒樹脂)のキャビティ外への飛散等が生じやすい。そこで、特許文献1に示す樹脂封止装置においては、粉粒体状樹脂を投入するための樹脂供給機構に設けたカーテンを用いて粉粒体状樹脂のキャビティ外への飛散等を防止しつつ、粉粒体状樹脂をキャビティ内に均一に供給することが提案されている。
In a resin sealing device for placing a substrate on which a semiconductor chip or the like, which is a molded product, is placed in a mold and sealing it with resin, when using a granular resin as the resin sealing material, the mold cavity When the resin is put into the powder, the powdery resin (granular resin) is likely to be scattered outside the cavity. Therefore, in the resin sealing device shown in
しかしながら、特許文献1では、樹脂供給機構を金型に移動する際に粉粒体状樹脂が飛散するおそれが残る。又、特許文献1で用いられるような粉粒体状樹脂は、キャビティ内に投入後も粉粒体状樹脂の樹脂粒子の間に空気の層(以降、空気の層が孔形状を有さなくても空孔と称する)が多く存在するので温度上昇をすばやく行うことできず、樹脂封止作業の時間短縮が十分に図れないという問題点を有していた。これに対して、キャビティ自体の温度を高くするといったことが考えられる。しかし、その場合には樹脂封止作業の全体の温度管理に影響を与えるため、温度管理が複雑になると共に、粉粒体状樹脂の溶融した部分だけが温度が上がりすぎるおそれもある。このため、結果的に樹脂封止の品質を落とし、歩留りの低下を招くおそれが出てくる。
However, in
本発明は、このような観点から、粉粒体状樹脂を予め熱の伝わりやすい形態に仮成形することで、樹脂封止品質を保ちつつ樹脂封止装置における樹脂封止作業の高速化が可能となる予備的融着樹脂を仮成形して用いる樹脂封止装置及びその樹脂封止方法を提供することをその目的としている。 From this point of view, the present invention can speed up the resin sealing work in the resin sealing device while preserving the resin sealing quality by preliminarily molding the granular resin into a form in which heat is easily transmitted. It is an object of the present invention to provide a resin sealing device and a resin sealing method using the preliminary fusion resin to be temporarily formed.
本発明は、粉粒体状樹脂を用いて金型で被成形品の樹脂封止をする樹脂封止装置であって、離型フィルム上で前記粉粒体状樹脂を軟化させる加熱手段と、該粉粒体状樹脂の反離型フィルム側の表面に接触せずに空隙を設けた状態で、該軟化した粉粒体状樹脂を収縮させて予備的融着樹脂を仮成形する非接触収縮手段と、を備え、前記離型フィルムと共に前記予備的融着樹脂が前記金型に投入され、該離型フィルムが樹脂封止の際にも兼用され、前記非接触収縮手段が、前記軟化した粉粒体状樹脂を振動させる振動機構を備えることで、上記課題を解決するものである。あるいは、本発明は、粉粒体状樹脂を用いて金型で被成形品の樹脂封止をする樹脂封止装置であって、離型フィルム上で前記粉粒体状樹脂を軟化させる加熱手段と、該粉粒体状樹脂の反離型フィルム側の表面に接触せずに空隙を設けた状態で、該軟化した粉粒体状樹脂を収縮させて予備的融着樹脂を仮成形する非接触収縮手段と、を備え、前記離型フィルムと共に前記予備的融着樹脂が前記金型に投入され、該離型フィルムが樹脂封止の際にも兼用され、前記非接触収縮手段が、前記軟化した粉粒体状樹脂の反離型フィルム側の表面に圧縮空気を吹き付けるエア吐出機構を備えることで、上記課題を解決するものである。あるいは、本発明は、粉粒体状樹脂を用いて金型で被成形品の樹脂封止をする樹脂封止装置であって、離型フィルム上で前記粉粒体状樹脂を軟化させる加熱手段と、該粉粒体状樹脂の反離型フィルム側の表面に接触せずに空隙を設けた状態で、該軟化した粉粒体状樹脂を収縮させて予備的融着樹脂を仮成形する非接触収縮手段と、を備え、前記離型フィルムと共に前記予備的融着樹脂が前記金型に投入され、該離型フィルムが樹脂封止の際にも兼用され、前記非接触収縮手段が、前記離型フィルムとで前記軟化した粉粒体状樹脂を密閉する密閉機構と、該密閉機構で密閉された空間内の圧力を高くする圧力上昇機構と、を備えることで、上記課題を解決するものである。 The present invention is a resin sealing device for resin-molding a molded product with a mold using a granular resin, a heating means for softening the granular resin on a release film, in powder or granular material like resin state in which a gap without contacting the surface of the anti-release film side, a contactless for temporarily shaping the precautionary fused resin is contracted to softening the granular material like resin Shrinking means, the preliminary fusion resin together with the release film is put into the mold, the release film is also used for resin sealing , the non-contact shrinking means is the softening in Rukoto comprising a vibrating mechanism to vibrate the the powder or granular material like resin, is intended to solve the above problems. Alternatively, the present invention is a resin sealing device for sealing a molded product with a mold using a granular resin, and heating means for softening the granular resin on a release film And preliminarily molding the preliminarily fused resin by shrinking the softened granular resin in a state where a void is provided without contacting the surface of the granular resin on the side of the releasable film. Contact shrinking means, the preliminary fusion resin together with the release film is charged into the mold, the release film is also used for resin sealing, the non-contact shrinking means, The above problem is solved by providing an air discharge mechanism that blows compressed air onto the surface of the softened granular resin on the side of the releasable film. Alternatively, the present invention is a resin sealing device for sealing a molded product with a mold using a granular resin, and heating means for softening the granular resin on a release film And preliminarily molding the preliminarily fused resin by shrinking the softened granular resin in a state where a void is provided without contacting the surface of the granular resin on the side of the releasable film. Contact shrinking means, the preliminary fusion resin together with the release film is charged into the mold, the release film is also used for resin sealing, the non-contact shrinking means, What is provided is a sealing mechanism that seals the softened granular resin with a release film, and a pressure increase mechanism that increases the pressure in the space sealed by the sealing mechanism. It is.
本発明では、樹脂封止作業の高速化という目的のもと、最小限の工程を採用して、熱の伝わりやすい形態の予備的融着樹脂を粉粒体状樹脂から予め仮成形する。即ち、本発明は、加熱手段を用いて粉粒体状樹脂の樹脂粒子を軟化させて粉粒体状樹脂の樹脂粒子同士が融着可能な状態として、粉粒体状樹脂の反離型フィルム側の表面に接触せずに該軟化した粉粒体状樹脂を収縮させる手段(非接触収縮手段)を用いることで、樹脂粒子同士を融着させた予備的融着樹脂を仮成形している。即ち、当該加熱手段と非接触収縮手段を用いることで、融着可能な粉粒体状樹脂の樹脂粒子同士を確実に結合・収縮させることができるので、樹脂粒子間の断熱層となる空孔数や空孔サイズを減らして熱伝導性を向上させることが可能となる。熱伝導性の向上により、樹脂封止工程における成形温度に達するまでの昇温時間が短縮されるので、成形品の生産性を向上させることができる。 In the present invention, for the purpose of speeding up the resin sealing operation, a preliminary fusion resin in a form in which heat is easily transmitted is preliminarily formed from a granular resin in advance with a minimum number of steps. That is, the present invention uses a heating means to soften the resin particles of the granular resin so that the resin particles of the granular resin can be fused to each other. The preliminary fusion resin in which the resin particles are fused is temporarily formed by using means (non-contact shrinkage means) for shrinking the softened granular resin without contacting the surface on the side. . That is, by using the heating means and the non-contact shrinkage means, the resin particles of the particulate resin that can be fused can be reliably bonded and shrunk, so that pores serving as a heat insulating layer between the resin particles It is possible to improve the thermal conductivity by reducing the number and pore size. By improving the thermal conductivity, the temperature rise time until the molding temperature is reached in the resin sealing step is shortened, so that the productivity of the molded product can be improved.
又、非接触収縮手段では、軟化した粉粒体状樹脂の反離型フィルム側を、有体物を用いた押圧手段で圧縮したりする形態を取らないので、収縮の際の樹脂の貼り付きに伴う時間的ロスや樹脂損失を防止でき、同時に樹脂の貼り付きを防止するための多数の部材の使用を省くことができる。 Further, the non-contact shrinkage means does not take the form of compressing the repulsion film side of the softened granular resin with the pressing means using the tangible material, and therefore accompanying the resin sticking at the time of shrinkage Time loss and resin loss can be prevented, and at the same time, use of a large number of members for preventing resin sticking can be omitted.
又、離型フィルムを予備的融着樹脂の仮成形の際と樹脂封止の際に兼用で用いることとしたことで、別々の離型フィルムを使用することに比べて、使用装置と工数を少なくできると共に、高価な離型フィルムの使用量を低減できる。このため、シンプルな構成で樹脂封止作業の高速化とランニングコストの低減化とを促進することができる。 In addition, since the release film is used for both the preliminary molding of the preliminary fusion resin and the sealing of the resin, compared to using separate release films, the use equipment and man-hours are reduced. It can be reduced, and the amount of expensive release film used can be reduced. For this reason, it is possible to promote the speeding up of the resin sealing work and the reduction in running cost with a simple configuration.
又、更に、前記加熱手段と非接触収縮手段とが配置される位置を含めて、連続した前記離型フィルムを前記金型に供給する離型フィルム供給装置を備える場合には、粉粒体状樹脂を離型フィルムに載せる工程から樹脂封止するまでの工程を同一の搬送機能で行うので、搬送制御と動作に無駄がなく、樹脂封止作業の高速化を更に促進することができる。同時に、樹脂封止後の離型フィルムの回収も容易で、そのための占有空間もコンパクトにすることができる。又、離型フィルムを切断するといった作業もないので、切断に伴う粉塵の発生を少なくすることができる。 In addition, in the case of including a release film supply device for supplying the continuous release film to the mold, including the position where the heating means and the non-contact shrinking means are disposed, Since the steps from placing the resin on the release film to sealing the resin are performed with the same transfer function, there is no waste in transfer control and operation, and the speeding up of the resin sealing operation can be further promoted. At the same time, the release film after resin sealing can be easily collected, and the occupied space for it can be made compact. Further, since there is no work of cutting the release film, the generation of dust accompanying the cutting can be reduced.
又、前記加熱手段が、前記離型フィルムの下側に配置されている場合には、離型フィルム側の粉粒体状樹脂の樹脂粒子の軟化の程度が大きいので、予備的融着樹脂の離型フィルム側の空孔数と空孔サイズを反離型フィルム側より少なくすることができる。このため、成形時にボイド等が発生することを効率よく防止することができる。 Further, when the heating means is disposed below the release film, the degree of softening of the resin particles of the granular resin on the release film side is large, so that the preliminary fusion resin The number of holes and the hole size on the release film side can be made smaller than those on the anti-release film side. For this reason, it can prevent efficiently that a void etc. generate | occur | produce at the time of shaping | molding.
なお、前記非接触収縮手段が、前記軟化した粉粒体状樹脂の反離型フィルム側の表面に圧縮空気を吹き付けるエア吐出機構を備える場合には、単に圧縮空気を吹き付けることで軟化した粉粒体状樹脂を加圧するので、非接触収縮手段の構成を簡易にでき且つ相応の加圧・収縮効果が得られる。 Incidentally, before Symbol contactless shrinkage means, when provided with the air discharging mechanism for blowing compressed air to the surface of the anti-release film side of the softened granule-like resin, simply softened by blowing compressed air powder Since the granular resin is pressurized, the structure of the non-contact shrinking means can be simplified and a corresponding pressure / shrinkage effect can be obtained.
又、前記非接触収縮手段が、前記離型フィルムとで前記軟化した粉粒体状樹脂を密閉する密閉機構と、該密閉機構で密閉された空間内の圧力を高くする圧力上昇機構若しくは該密閉機構で密閉された空間内を減圧するエア減圧機構と、を備える場合には、密閉機構内の圧力を上昇させることで(エア減圧機構の場合は、減圧後、大気圧に戻すことにより圧力上昇)、軟化した粉粒体状樹脂を加圧・収縮する。この加圧(あるいは減圧→加圧)は密閉機構内であれば一定なので、均質な予備的融着樹脂を再現性よく仮成形することができる。 Further, the non-contact shrinking means includes a sealing mechanism for sealing the softened granular resin with the release film, and a pressure raising mechanism for increasing the pressure in the space sealed by the sealing mechanism or the sealing And an air decompression mechanism that decompresses the space sealed by the mechanism, by increasing the pressure in the sealing mechanism (in the case of an air decompression mechanism, the pressure is increased by returning to atmospheric pressure after decompression) ), Pressurizing and shrinking the softened granular resin. Since this pressurization (or depressurization → pressurization) is constant as long as it is within the sealing mechanism, a homogeneous preliminary fused resin can be temporarily molded with good reproducibility.
又、前記非接触収縮手段が、前記軟化した粉粒体状樹脂を振動させる振動機構を備える場合には、振動による加速度に応じた慣性力が振動方向と逆方向に働くので、軟化した粉粒体状樹脂の内部にせん断力を生じさせることで、空孔の排出(空孔数と空孔サイズの減少)を促して粉粒体状樹脂全体の収縮に寄与させることができる。このため、比較的簡単な構成で、均質な予備的融着樹脂を仮成形することができる。 In addition, when the non-contact shrinkage means includes a vibration mechanism that vibrates the softened granular resin, the inertial force according to the acceleration due to vibration acts in the direction opposite to the vibration direction. By generating a shearing force inside the body-shaped resin, it is possible to promote void discharge (reduction in the number of holes and the hole size) and contribute to the shrinkage of the whole granular resin. For this reason, it is possible to temporarily mold a homogeneous preliminary fusion resin with a relatively simple configuration.
なお、本発明は、粉粒体状樹脂を用いて被成形品の樹脂封止をする樹脂封止方法であって、離型フィルム上で前記粉粒体状樹脂を軟化させる工程と、該粉粒体状樹脂の反離型フィルム側の表面に接触せず空隙を設けた状態で、該軟化した粉粒体状樹脂を振動により収縮させて予備的融着樹脂を仮成形する工程と、該予備的融着樹脂を前記離型フィルムに載せた状態で、前記樹脂封止するための金型に該予備的融着樹脂を投入する工程と、を含むことを特徴とする樹脂封止方法とも捉えることができる。 The present invention is a resin sealing method for resin-sealing a molded article using a granular resin, the step of softening the granular resin on a release film, and the powder in a state in which a gap without contact with the surface of the anti-release film side of the particle-like resin, a step of temporarily forming a precautionary fused resin is contracted by the vibration of softening the granular material like resin, And a step of introducing the preliminary fusion resin into a mold for sealing the resin in a state where the preliminary fusion resin is placed on the release film. Can also be understood.
本発明を適用することにより、粉粒体状樹脂を予め熱の伝わりやすい形態である予備的融着樹脂に仮成形することで、樹脂封止品質を保ちつつ樹脂封止装置における樹脂封止作業の高速化が可能となる。 By applying the present invention, resin molding work in a resin sealing device while preserving the resin sealing quality by preliminarily molding the granular resin into a preliminarily fused resin that is a form in which heat is easily transmitted Can be speeded up.
以下、添付図面を参照しつつ、本発明の実施形態の一例について詳細に説明する。 Hereinafter, an example of an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
最初に、本発明の第1実施形態に係わる樹脂封止装置の構成について図1を用いて以下に説明する。 Initially, the structure of the resin sealing apparatus concerning 1st Embodiment of this invention is demonstrated below using FIG.
樹脂封止装置100は、原料となる粉粒体状樹脂102を平板形状の予備的融着樹脂106に仮成形する予備的融着部112と、予備的融着樹脂106を用いて金型160で被成形品の樹脂封止をする圧縮成形部114と、を有する。予備的融着部112と圧縮成形部114とは、離型フィルム116を兼用している。
The resin sealing device 100 includes a preliminary fusion part 112 for temporarily forming the
離型フィルム116は、離型フィルム供給装置118で供給される。離型フィルム供給装置118は、供給ロール120と回収ロール122と複数のローラ124とを備える。離型フィルム供給装置118は、予備的融着部112の所定の位置を含めて、連続した離型フィルム116を金型160に供給する。言い換えれば、離型フィルム116は、供給ロール120から連続的に供給され、ローラ124により方向と高さの調整が行われて、予備的融着部112と圧縮成形部114のそれぞれの所定の場所を通過し、回収ロール122で連続的に回収される。離型フィルム116は、耐熱性に優れ、熱伝導が良好で、伸縮性に富み、形状の復元が容易な材料で適切な厚みに成形されている。
The
予備的融着部112には、原料供給機126と加熱手段であるホットプレート128と非接触収縮手段であるエア吐出機構130とが配置されている。なお、加熱手段は、ホットプレートに限られるものではなく、赤外線ヒータやマイクロ波、熱風等を用いてもよい。
In the preliminary fusion part 112, a
原料供給機126は、離型フィルム116の通過する予備的融着部112の所定の位置で、離型フィルム116上の所定の面積に粉粒体状樹脂102を投下する。原料供給機126は、図3(A)に示す如く、原料供給機126の供給口126Aから投下される粉粒体状樹脂102を所定の面積に制限するための筒形状の枠126Bを備えている。枠126B内には、図示せぬフレーム形状の構造体が配置されており、投下された粉粒体状樹脂102を該所定の面積内で均一に分散させる。なお、枠126Bの最下端には、粉粒体状樹脂102を加熱した際に枠126Bに融着しないような幅と高さの凹部126BBが設けられている。
The
ホットプレート128は、離型フィルム116上に供給された粉粒体状樹脂102を加熱するために、予備的融着部112において、原料供給機126に対向して離型フィルム116の下側に配置される。ホットプレート128は、図示せぬ制御部により制御され、離型フィルム116上の粉粒体状樹脂102の樹脂粒子が軟化して互いに融着可能な状態の樹脂(軟化した粉粒体状樹脂102、或いは半融着樹脂104と称する)となるように、加熱(約100度)を行う。
In order to heat the
エア吐出機構130は、離型フィルム116の移動方向で原料供給機126に並列すると共に、離型フィルム116をはさんでホットプレート128に対向して配置されている。そして、エア吐出機構130は、離型フィルム116上の粉粒体状樹脂102の反離型フィルム側の表面に接触せずに空隙を設けた状態(非接触状態)で配置されている。エア吐出機構130は、図2(A)に示す如く、コンプレッサ132からの圧縮空気を配管134でホルダ136に導く。ホルダ136は、ビーム138で支持されて、離型フィルム116に向かう吐出口140を備える。吐出口140は、図2(B)に示す如く、スリット形状とされている。エア吐出機構130は、半融着樹脂104に対して、反離型フィルム側の表面に圧縮空気を吹き付けてその厚みを収縮させて予備的融着樹脂106を仮成形する非接触収縮手段として機能する。離型フィルム116は、圧縮成形部114側に離型フィルム供給装置118の動作で移動させられることにより、スリット形状の吐出口140からの圧縮空気で上述の半融着樹脂104の所定の面積を均一に加圧することとなる。その際には、多くの軟化状態の樹脂粒子の融着が促進されて、半融着樹脂104は空孔数の少ない或いは空孔サイズの小さい予備的融着樹脂106に仮成形される。なお、ホルダ136はビーム138上で移動可能としてもよい。その場合には、離型フィルム116の移動に加圧条件が制限されることなく、エア吐出機構130は半融着樹脂104に圧縮空気を均一に吹き付けることができる。
The
圧縮成形部114は、圧縮成形機150を有する。なお、圧縮成形機150は、図1では1つであるが、複数備えられてもよい。圧縮成形機150は、本体152と、本体152に立設される複数の支柱であるタイバ154に支えられる固定プラテン156とを有する。固定プラテン156の下面には上型162が取り付けられている。本体152は、固定プラテン156に対して、接近・離反できるように移動可能な可動プラテン158を備えている。可動プラテン158の上面には下型164が取り付けられている。下型164には、図示せぬ吸着機構が設けられており、離型フィルム116を吸着・固定することができる。下型164は、可動プラテン158の移動に伴い、固定プラテン156に取り付けられた上型162に対して接近・離反する。即ち、可動プラテン158の移動により、上型162と下型164とで構成される金型160の型締め・型開きを行うことができる。
The compression molding unit 114 includes a compression molding machine 150. The number of compression molding machines 150 is one in FIG. 1, but a plurality of compression molding machines 150 may be provided. The compression molding machine 150 includes a main body 152 and a fixed platen 156 supported by tie bars 154 that are a plurality of support columns erected on the main body 152. An upper mold 162 is attached to the lower surface of the fixed platen 156. The main body 152 includes a
金型160に形成されたキャビティは、離型フィルム116の通過する圧縮成形部114の所定の場所に設けられている。このため、予備的融着樹脂106を載せた離型フィルム116を下型164に吸着することで、予備的融着樹脂106の金型160への投入を完了する。
The cavity formed in the mold 160 is provided at a predetermined location of the compression molding portion 114 through which the
次に、樹脂封止装置100の動作(予備的融着部112における予備的融着樹脂106の仮成形工程と圧縮成形部114における樹脂封止工程、樹脂封止作業とも称する)について図1、図3を用いて説明する。
Next, FIG. 1 illustrates the operation of the resin sealing device 100 (also referred to as a temporary molding step of the
まず、原料供給機126をホットプレート128上の離型フィルム116に接近させる。そして、供給口126Aから粉粒体状樹脂102を投下させて、ホットプレート128上の離型フィルム116に載せる(図3(A))。このとき、枠126Bは、その上端の位置Uで供給口126A下端の位置Bを覆い、且つ枠126Bの下端の位置Dで離型フィルム116の極近傍に配置される長さを有するので、粉粒体状樹脂102の枠126B外部への飛散を防止できる。同時に、離型フィルム116の枠126Bで定められた所定の面積に正確に粉粒体状樹脂102を投下することができる。このとき、供給口126Aと離型フィルム116との間の図示せぬフレーム形状の構造体により、該所定の面積に均等の厚みで粉粒体状樹脂102を降り積もらせる。このため、粉粒体状樹脂102の加熱の均一性と加熱時間の短縮とを確保し、圧縮成形時の樹脂流動を少なくすることができる。
First, the
ホットプレート128の温度は、粉粒体状樹脂102の樹脂粒子が軟化して互いに融着可能となる程度の温度(100度程度)に上昇させておき、離型フィルム116を介して原料供給機126から投下された粉粒体状樹脂102を加熱する。原料供給機126に対向する位置において、投下された粉粒体状樹脂102が軟化して互いに融着可能な状態(半融着樹脂104の状態)まで加熱される(図3(B))。粉粒体状樹脂102の樹脂粒子は加熱により軟化することで変形して、互いの接触面積が増大する。このため、樹脂粒子間の空孔サイズが小さくなると共に半融着樹脂104の厚みは粉粒体状樹脂102の投下直後の厚みよりも少なくなる。同時に、軟化した樹脂粒子は温度による粘度の変化と相まって互いに拘束力が増大して(一部で融着も開始して)移動しにくくなるので、枠126Bがなくても形が崩れにくくなる。
The temperature of the
次に、原料供給機126を枠126Bと共に、離型フィルム116から離反させる。枠126Bには凹部126BBが設けられている。このため、凹部126BBまで半融着樹脂104は形が崩れず、且つ枠126B側面に樹脂粒子が融着した状態ともならないので、投下された当初の粉粒体状樹脂102の量を変化させることなく、容易に枠124Bを離反させることができる。
Next, the
次に、離型フィルム供給装置118によりホットプレート128上で離型フィルム116を圧縮成形部側に動かして、半融着樹脂104をエア吐出機構130に対向させる(図3(C))。吐出口140から、圧縮空気を半融着樹脂104に吹き付けて、半融着樹脂104を加圧・収縮する。本実施形態では、吐出口140が固定されているので、離型フィルム供給装置118により一定の速度で離型フィルム116が圧縮成形部側に送られる。このため、半融着樹脂104の全面にスリット形状の吐出口140から圧縮空気が均一に吹き付けられる。半融着樹脂104を構成する樹脂粒子同士は、上述の如く、互いの拘束力が増大しているので、圧縮空気が吹き付けられても樹脂粒子の飛散が防止されている。圧縮空気の加圧により、軟化状態の樹脂粒子がつぶされて、軟化した樹脂粒子同士を確実に融着させる。このため、元々粒子形状の集合体の形態であった半融着樹脂104は、エア吐出機構130により樹脂粒子がつぶされて空孔数と空孔サイズが減少して、厚み方向に収縮させられた形態の予備的融着樹脂106に仮成形される。このとき、ホットプレート128は、離型フィルム116の下側に配置されて、下から粉粒体状樹脂102および半融着樹脂104を加熱している。このため、予備的融着樹脂106の離型フィルム側の面(下面)では、半離型フィルム側の表面に比べてより多くの樹脂粒子の融着がなされて、予備的融着樹脂106の間に存在する空孔数を少なく且つ空孔サイズを小さくする。
Next, the
次に、冷却時間(工程)を設けずに、離型フィルム供給装置118を動かして予備的融着樹脂106を離型フィルム116に貼り付けた状態のままで、予備的融着樹脂106を予備的融着部112の所定の場所から圧縮成形部114の所定の場所に移動させる(図3(D))。
Next, without providing a cooling time (step), the
次に、金型160の下型164の吸着機構で、予備的融着樹脂106の貼り付いた離型フィルム116の部分を、そのままの状態で下型164に吸着固定する。そして、予備的融着樹脂106を樹脂封止に適した成形温度まで加熱する。
Next, the portion of the
そして、被成形品を取り付けた上型162に対して下型164を接近させる。又、キャビティ内の減圧動作も開始させる。そして、所定のタイミングで型締めして、予備的融着樹脂106を用いて被成形品を圧縮成形して樹脂封止を行う。
Then, the
このように、樹脂封止の際に金型160に投入される樹脂は平板形状の予備的融着樹脂106なので、金型160への搬送時に樹脂粒子が飛散することを防止することができる。
As described above, since the resin put into the mold 160 at the time of resin sealing is the flat plate-shaped
又、予備的融着樹脂106の仮成形後に、冷却工程を必要としないので、予備的融着樹脂106が温まった状態で圧縮成形のために金型160に投入できる。このため、粉粒体状樹脂102をそのまま用いる場合に比べて、樹脂封止工程における予備的融着樹脂106の加熱時間(昇温時間)を短くすることができる。図4を用いて説明すると、粉粒体状樹脂102をそのまま用いた場合(破線Cのグラフ)には、金型160へ投入するとき(TM1)は、粉粒体状樹脂102が室温TP1であり、熱伝導が良くないために温度上昇が遅く、成形温度TP3に到達するには時間TM3が必要とされる。これに対して、本実施形態では、実線Aのグラフに示す如く、金型160へ予備的融着樹脂106を投入するとき(TM1)にすでに、室温TP1以上の温度TP2であるので、時間TM3よりも短い時間TM2で樹脂温度を圧縮成形に適した成形温度TP3とすることができる。
Further, since the cooling step is not required after the preliminary molding of the
なお、図4の一点鎖線Bのグラフは、圧縮工程を採用して成形した予備成形樹脂の場合である。この場合には、熱伝導が本実施形態の予備的融着樹脂106に比べてよくなるが、離型フィルム116からの予備成形樹脂の剥離をする関係から、予備成形樹脂は一旦室温に戻されているので、室温TP1から加熱することとなる。このため、本実施形態の予備的融着樹脂106を用いた場合と加熱時間の差異はあまりないと考えられるが、本実施形態では冷却工程や剥離工程を有しないので、圧縮工程を有して成形される予備成形樹脂の場合に比べて、予備的融着樹脂106を仮成形する工程を含む樹脂封止作業の高速化を促進することができる。
In addition, the graph of the dashed-dotted line B of FIG. 4 is the case of the preforming resin shape | molded using the compression process. In this case, the heat conduction is better than that of the
本実施形態は、ホットプレート128を用いて粉粒体状樹脂102の樹脂粒子を軟化させて樹脂粒子同士が融着可能な状態(半融着樹脂104の状態)とする。そして、エア吐出機構130を用いて、粉粒体状樹脂102の反離型フィルム側の表面に接触せずに半融着樹脂104に加圧して厚み方向に収縮させて、樹脂粒子同士を融着させた予備的融着樹脂106を仮成形している。即ち、ホットプレート128とエア吐出機構130を用いることで、融着可能な粉粒体状樹脂102の樹脂粒子同士を確実に結合・収縮させることができるので、樹脂粒子間の断熱層となる空孔数や空孔サイズを減らして熱伝導性を向上させることが可能となる。熱伝導性の向上により、樹脂封止工程における成形温度に達するまでの昇温時間が短縮されるので、成形品の生産性を向上させることができる。
In the present embodiment, the resin particles of the
又、予備的融着樹脂106を仮成形するのに、エア吐出機構130では、半融着樹脂104の反離型フィルム側を有体物を用いた押圧手段で圧縮したりする形態を取らないので、収縮の際の樹脂の貼り付きに伴う時間的ロスや樹脂損失を防止でき、同時に樹脂の貼り付きを防止するための多数の部材の使用を省くことができる。なお、非接触収縮手段としてエア吐出機構130を備えているので、単に圧縮空気を吹き付けることで、半融着樹脂104を加圧するので、非接触収縮手段の構成を簡易にでき、且つ相応の加圧・収縮効果を得る事ができる。
Further, since the
又、離型フィルム116の兼用により、予備的融着樹脂106を離型フィルム116から剥がす必要がない。このため、予備的融着樹脂106が薄くても剥がすことによる樹脂の割れや欠けを防止できる。つまり、被成形品の封止厚みが薄くなるような場合であっても容易に対応することができ、予備的融着部112と圧縮成形部114とで樹脂の計量誤差を最小限にすることが可能である。同時に、冷却工程や剥離工程がなく、使用装置と工数を少なくできる。それと共に、高価な離型フィルム116の使用量を低減でき、ホットプレート128とエア吐出機構130といった簡略な構成でありながら、樹脂封止作業の高速化とランニングコストの低減化とを促進することができる。
Further, since the
又、更に、予備的融着部112のホットプレート128とエア吐出機構130とが配置される位置を含めて、連続した離型フィルム116を金型160に供給する離型フィルム供給装置118を備えるので、粉粒体状樹脂102を離型フィルム116に載せる工程から樹脂封止するまでの工程を、離型フィルム116をローラ124で送るという同一の搬送機能で行うことができる。このため、搬送制御と動作に無駄がなく、樹脂封止作業の高速化を更に促進することができる。同時に、樹脂封止後の離型フィルム116の回収も回収ロール122を用いていることから容易で、そのための占有空間もコンパクトにすることができる。又、離型フィルム116を切断するといった作業もないので、切断に伴う粉塵の発生を少なくできて、粉塵の混入のおそれを低減できる。
Further, a release film supply device 118 for supplying a
又、ホットプレート128が、離型フィルム116の下側に配置されているので、離型フィルム側の粉粒体状樹脂102の樹脂粒子の軟化の程度が大きいので、予備的融着樹脂106の離型フィルム側の空孔数と空孔サイズを反離型フィルム側に比べて少なくできる。即ち、予備的融着樹脂106の表面側(反離型フィルム側)に空孔が多く残ることとなる。このため、樹脂封止工程の際には、金型160のキャビティ空間への予備的融着樹脂106の空孔に存在する空気の逃げが容易であり、樹脂封止された成形品にボイド等が発生することを効率よく防止することができる(歩止りと品質の向上)。
Further, since the
即ち、本実施形態によれば、粉粒体状樹脂102を予め熱の伝わりやすい形態である予備的融着樹脂106に仮成形することで、樹脂封止品質を保ちつつ樹脂封止装置100における樹脂封止作業の高速化、言い換えれば樹脂封止された成形品の製造のスループットを改善・向上させることが可能となる。
In other words, according to the present embodiment, the
次に、本発明の第2実施形態について、図5を用いて説明する。 Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
本実施形態は、第1実施形態とは、2つの加熱手段を用いたことで異なり、それ以外は同一であるので、符号下2桁を同一として、説明を省略する。 This embodiment is different from the first embodiment in that two heating means are used, and the other parts are the same. Therefore, the last two digits are the same and the description is omitted.
本実施形態では、ホットプレート228とは別に、反離型フィルム側にあるエア吐出機構230の吐出口240の周囲を取り囲むように加熱手段である赤外線ヒータ242を備えている。
In this embodiment, in addition to the
以下、予備的融着樹脂の仮成形工程について説明する。 Hereinafter, the preliminary molding process of the preliminary fusion resin will be described.
まず、原料供給機226をホットプレート228上の離型フィルム216に接近させる。そして、供給口226Aから粉粒体状樹脂202を投下させて、ホットプレート228上の離型フィルム216に載せる(図5(A))。
First, the
ホットプレート228の温度は、粉粒体状樹脂202の樹脂粒子が軟化して互いに融着可能となる程度の温度(100度程度)に上昇させておき、離型フィルム216を介して原料供給機226から投下された粉粒体状樹脂202を加熱する。原料供給機226に対向する位置において、投下された粉粒体状樹脂202が軟化して互いに融着可能な状態(半融着樹脂204の状態)まで加熱される(図5(B))。
The temperature of the
次に、原料供給機226を枠226Bと共に、離型フィルム216から離反させる。
Next, the raw
次に、離型フィルム供給装置によりホットプレート228上で離型フィルム216を圧縮成形部側に動かして、半融着樹脂204をエア吐出機構230に対向させる(図5(C))。同時に、エア吐出機構230の吐出口240の周囲に配置された赤外線ヒータ242も半融着樹脂204に対向する。吐出口240から、圧縮空気を半融着樹脂204に吹き付けて、半融着樹脂204を加圧・収縮する。本実施形態では、赤外線ヒータ242により、半融着樹脂204の反離型フィルム側の表面が更に加熱される。このため、半融着樹脂204の反離型フィルム側の樹脂粒子も十分な軟化状態とすることができ、圧縮空気の加圧により、多くの軟化状態の樹脂粒子がつぶされて、軟化した樹脂粒子同士を確実に融着させる。即ち、元々粒子形状の集合体の形態であった半融着樹脂204は、エア吐出機構230により樹脂粒子がつぶされて空孔数と空孔サイズが減少して、厚み方向に収縮させられた形態の予備的融着樹脂206に仮成形される。
Next, the
次に、冷却時間(工程)を設けずに、離型フィルム供給装置を動かして予備的融着樹脂206を離型フィルム216に貼り付けた状態のままで、予備的融着樹脂206を予備的融着部の所定の場所から圧縮成形部の所定の場所に移動させる(図5(D))。
Next, without providing a cooling time (step), the
本実施形態では、加熱手段であるホットプレート228と赤外線ヒータ242とがそれぞれ、離型フィルム216の下側と反離型フィルム側とに配置されて、2つの加熱手段で粉粒体状樹脂202を間に挟み込んで両面を加熱する。このため、第1実施形態に比べて、予備的融着樹脂206の仮成形をより早く行うことできる。そして、半融着樹脂204の反離型フィルム側の表面においても多くの樹脂粒子を軟化させて融着可能の状態とするので、予備的融着樹脂206の空孔数と空孔サイズをより少なくして熱伝導性を向上させることができる。このため、樹脂封止工程において、予備的融着樹脂206の温度上昇を更に速くできる。即ち、樹脂封止作業を第1実施形態に比べて、より高速化させることができる。
In this embodiment, the
なお、ここで用いられる加熱手段は、赤外線ヒータ242に限定されず、マイクロ波や吐出口240から吹き付けられる圧縮空気自体が熱風であってもよい。又、エア吐出機構230とは別体にして赤外線ヒータを設けて、エア吐出機構230の動作前から赤外線ヒータを作動させてもよい。
Note that the heating means used here is not limited to the
なお、第1、第2実施形態では、非接触収縮手段であるエア吐出機構130、230を原料供給機126、226に並列に配置したが、本発明はこれに限定されない。例えば、原料供給機を離型フィルムから離反させた後に、離型フィルムを移動させずに原料供給機の位置にエア吐出機構を移動させるようにしてもよい。その場合には、エア吐出機構を並列にしない分、樹脂封止装置の幅をコンパクトにすることができる。
In the first and second embodiments, the
次に、本発明の第3実施形態について、図6を用いて説明する。 Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
本実施形態は、第1、第2実施形態とは、非接触収縮手段として密閉機構344と圧力上昇機構345とを備えることで異なり、それ以外は同一であるので、符号下2桁を同一として、説明を省略する。
This embodiment is different from the first and second embodiments by providing a
本実施形態では、予備的融着部に、粉粒体状樹脂302の投下される所定の面積を離型フィルム316とで密閉する密閉機構344と密閉機構344により密閉された空間内の圧力を高くする圧力上昇機構345とを備えている。密閉機構344は具体的には有底筒をさかさまにした形状のベルジャなどであり、圧力上昇機構345は具体的にはコンプレッサなどである。
In this embodiment, the pressure in the space sealed by the
以下、予備的融着樹脂の仮成形工程について説明する。 Hereinafter, the preliminary molding process of the preliminary fusion resin will be described.
まず、原料供給機326をホットプレート328上の離型フィルム316に接近させる。そして、供給口326Aから粉粒体状樹脂302を投下させて、ホットプレート328上の離型フィルム316に載せる(図6(A))。
First, the
ホットプレート328の温度は、粉粒体状樹脂302の樹脂粒子が軟化して互いに融着可能となる程度の温度(100度程度)に上昇させておき、離型フィルム316を介して原料供給機326から投下された粉粒体状樹脂302を加熱する。原料供給機326に対向する位置において、投下された粉粒体状樹脂302が軟化して互いに融着可能な状態(半融着樹脂304の状態)まで加熱される(図6(B))。
The temperature of the
次に、原料供給機326を枠326Bと共に、離型フィルム316から離反させる。
Next, the
次に、離型フィルム供給装置によりホットプレート328上で離型フィルム316を圧縮成形部側に動かす。そして、ホットプレート328に対向して配置された密閉機構344を、離型フィルム316上に密着配置して、半融着樹脂304を密閉する(図6(C))。密閉機構344には、圧力上昇機構345が連通している。圧力上昇機構345から密閉機構344内に圧縮空気を送り、半融着樹脂304を加圧・収縮する。このときの圧縮空気の送り方は、パルス的でもよいし、アナログ的に変化させてもよい。密閉機構344で密閉する関係上、離型フィルム316上の半融着樹脂304が密閉されている間は、離型フィルム316の移動は停止している。圧縮空気の加圧により軟化状態の樹脂粒子がつぶされて、軟化した樹脂粒子同士を確実に融着させる。このため、元々粒子形状の集合体の形態であった半融着樹脂304は、圧力上昇機構345で密閉機構344に導入された圧縮空気により、樹脂粒子がつぶされて空孔数と空孔サイズが減少して、厚み方向に収縮させられた形態の予備的融着樹脂306に仮成形される。
Next, the
次に、密閉機構344を離型フィルム316から離反させる。そして、冷却時間(工程)を設けずに、離型フィルム供給装置を動かして予備的融着樹脂306を離型フィルム316に貼り付けた状態のままで、予備的融着樹脂306を予備的融着部の所定の場所から圧縮成形部の所定の場所に移動させる(図6(D))。
Next, the
本実施形態では、圧力上昇機構345からの圧縮空気により半融着樹脂304に加圧するので、密閉機構344による密閉品質は必ずしも高い必要はない。このため、密閉機構344を簡易的に構成することができる。また、加圧条件も圧縮空気の圧力によるので、容易に調整が可能である。
In this embodiment, since the
又、本実施形態では、密閉機構344内の圧力を上昇させることで半融着樹脂304を加圧・収縮する。この加圧は密閉機構344内であれば一定の圧力なので、離型フィルム方向、即ち厚み方向とは垂直な方向で均質な予備的融着樹脂306を再現性よく仮成形することができる。
In the present embodiment, the
次に、本発明の第4実施形態について、図7を用いて説明する。 Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
本実施形態は、第3実施形態とは、圧力上昇機構345の代わりにエア減圧機構447を用いた非接触収縮手段であることで異なり、それ以外は同一であるので、符号下2桁を同一として、説明を省略する。
This embodiment differs from the third embodiment in that it is a non-contact contraction means that uses an
本実施形態では、予備的融着部に、粉粒体状樹脂402の投下される所定の面積を離型フィルム416とで密閉する密閉機構444と密閉機構444により密閉された空間内の圧力を減圧するエア減圧機構447とを備えている。密閉機構444は具体的には有底筒をさかさまにした形状のベルジャなどであり、エア減圧機構447は具体的には真空ポンプなどである。
In this embodiment, the pressure in the space sealed by the
以下、予備的融着樹脂の仮成形工程ついて説明する。 Hereinafter, the preliminary molding process of the preliminary fusion resin will be described.
まず、原料供給機426をホットプレート428上の離型フィルム416に接近させる。そして、供給口426Aから粉粒体状樹脂402を投下させて、ホットプレート428上の離型フィルム416に載せる(図7(A))。
First, the
ホットプレート428の温度は、粉粒体状樹脂402の樹脂粒子が軟化して互いに融着可能となる程度の温度(100度程度)に上昇させておき、離型フィルム416を介して原料供給機426から投下された粉粒体状樹脂402を加熱する。原料供給機426に対向する位置において、投下された粉粒体状樹脂402が軟化して互いに融着可能な状態(半融着樹脂404の状態)まで加熱される(図7(B))。
The temperature of the
次に、原料供給機426を枠426Bと共に、離型フィルム416から離反させる。
Next, the raw
次に、離型フィルム供給装置によりホットプレート428上で離型フィルム416を圧縮成形部側に動かす。そして、ホットプレート428に対向して配置された密閉機構444を、離型フィルム416上に密着配置して、半融着樹脂404を密閉する(図7(C))。密閉機構444には、エア減圧機構447が連通している。エア減圧機構447により密閉機構444内を減圧する。そして、減圧状態から大気圧に戻すことで半融着樹脂104を加圧・収縮する(つまり、減圧状態の圧力と大気圧との差圧が加圧量となる)。密閉機構444で密閉する関係上、離型フィルム416上の半融着樹脂404が密閉されている間は、離型フィルム416の移動は停止している。大気圧への戻りで生じる加圧により軟化状態の樹脂粒子がつぶされて、軟化した樹脂粒子同士を確実に融着させる。このため、元々粒子形状の集合体の形態であった半融着樹脂404は、密閉機構444に導入された大気圧への戻りにより、樹脂粒子がつぶされて空孔数と空孔サイズが減少して、厚み方向に収縮させられた形態の予備的融着樹脂406に仮成形される。
Next, the
次に、密閉機構444を離型フィルム416から離反させる。そして、冷却時間(工程)を設けずに、離型フィルム供給装置を動かして予備的融着樹脂406を離型フィルム416に貼り付けた状態のままで、予備的融着樹脂406を予備的融着部の所定の場所から圧縮成形部の所定の場所に移動させる(図7(D))。
Next, the
本実施形態では、密閉機構444内を減圧後、大気圧に戻すことにより圧力上昇させることで半融着樹脂404を加圧・収縮する。この加圧は第3実施形態と同様に、密閉機構444内であれば一定の圧力なので、離型フィルム方向、即ち厚み方向とは垂直な方向で均質な予備的融着樹脂406を再現性よく仮成形することができる。
In the present embodiment, after the pressure inside the
なお、第3、第4実施形態では、原料供給機326、426が離反後、密閉機構344、444を配置していたが、本発明はこれに限定されない。例えば、最初から、原料供給機の供給口と枠とが、密閉機構に組み込まれる形態であってもよい。
In the third and fourth embodiments, the sealing
次に、本発明の第5実施形態について、図8を用いて説明する。 Next, a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
本実施形態は、第1〜4実施形態とは、非接触収縮手段として振動機構548をホットプレート528の下部に配置したことで異なり、それ以外は同一であるので、符号下2桁を同一として、説明を省略する。
This embodiment differs from the first to fourth embodiments in that the
以下、予備的融着樹脂の仮成形工程について説明する。 Hereinafter, the preliminary molding process of the preliminary fusion resin will be described.
まず、原料供給機526をホットプレート528上の離型フィルム516に接近させる。そして、供給口526Aから粉粒体状樹脂502を投下させて、ホットプレート528上の離型フィルム516に載せる(図8(A))。
First, the
ホットプレート528の温度は、粉粒体状樹脂502の樹脂粒子が軟化して互いに融着可能となる程度の温度(100度程度)に上昇させておき、離型フィルム516を介して原料供給機526から投下された粉粒体状樹脂502を加熱する。原料供給機526に対向する位置において、投下された粉粒体状樹脂502を軟化して融着可能な状態(半融着樹脂504の状態)まで加熱される(図8(B))。
The temperature of the
次に、原料供給機526を枠526Bと共に、離型フィルム516から離反させる。
Next, the raw
次に、ホットプレート528の下部に配置した振動機構548を動作させる。振動機構548で発生した振動は、ホットプレート528と離型フィルム516を介して、半融着樹脂504に伝わる。その振動による加速度に応じた慣性力が振動方向と逆方向に働くので、半融着樹脂504の樹脂粒子の内部にせん断力が生じる。このため、半融着樹脂504内の空孔の排出(空孔数と空孔サイズの減少)が促されて、軟化した樹脂粒子同士を確実に融着させる。このため、元々粒子形状の集合体の形態であった半融着樹脂504は、振動機構548の振動により、樹脂粒子がつぶされて空孔数と空孔サイズが減少して、厚み方向に収縮させられた形態の予備的融着樹脂506に仮成形される。
Next, the
次に、振動機構548を停止させ、冷却時間(工程)を設けずに、離型フィルム供給装置を動かして予備的融着樹脂506を離型フィルム516に貼り付けた状態のままで、予備的融着樹脂506を予備的融着部の所定の場所から圧縮成形部の所定の場所に移動させる(図8(D))。
Next, the
本実施形態では、加圧条件は振動条件を調整することで、容易に調整が可能である。 In the present embodiment, the pressurizing condition can be easily adjusted by adjusting the vibration condition.
更に、本実施形態では、振動が離型フィルム516全体に均一にかかるため減衰がない。このため、半融着樹脂504内部にせん断力を生じさせることで、空孔の排出(空孔数と空孔サイズの減少)を促して、半融着樹脂504全体の収縮に寄与させることができる。即ち、比較的簡単な構成で、均質な予備的融着樹脂506を仮成形することができる。なお、振動機構548は、半融着樹脂504の状態となる以前から動作させてもよい。振動の大きさとタイミングの調整により、投下された粉粒体状樹脂502の厚みの更なる均一化を行うことも可能である。なお、図8では、水平及び垂直方向の振動を示しているが、振動方向はいずれであってよい。
Further, in the present embodiment, the vibration is uniformly applied to the
なお、本実施形態では、振動機構548をホットプレート528の下部に配置したが、本発明はこれに限定されない。例えば、振動機構を、ホットプレートの脇に配置して脇からホットプレートを介して振動させてもよいし、ホットプレートを介さずに離型フィルムに振動機構を当接させてもよい。或いは、振動機構を、離型フィルムの上方に配置して空隙を介して直接半融着樹脂を振動させてもよい。
In the present embodiment, the
又、第3〜第5実施形態では、離型フィルム316、416、516の下方にのみ加熱手段であるホットプレート328、428、528を配置していたが、本発明はこれに限定されない。例えば、第2実施形態で示す如く、更に、反離型フィルム側に加熱手段を設けてもよい。その場合には、第2実施形態で説明したように、より熱伝導性のよい予備的融着樹脂を形成することができ、樹脂封止作業をより高速化することができる。
In the third to fifth embodiments, the
又、本実施形態の振動機構548を第1〜第4実施形態で示した非接触収縮手段と組み合わせてもよい。その場合には、更に樹脂封止作業を高速化することができる。
Further, the
次に、本発明の第6実施形態について、図9を用いて説明する。 Next, a sixth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
本実施形態は、第1実施形態とは、個片化された離型フィルム616が使用されることで異なり、それ以外は同一であるので、符号下2桁を同一として、説明を省略する。
The present embodiment is different from the first embodiment in that an
本実施形態では、予備的融着部612と圧縮成形部614とで離型フィルム616が個片とされた状態で兼用で用いられている。このため、ロールで供給される離型フィルムの場合に比べて、予備的融着部612と圧縮成形部614との配置に、より大きな自由度を取ることができる。又、予備的融着部612と圧縮成形部614とのいずれかを複数とすることも容易である。更には、離型フィルムがロールで供給される場合に比べて粉粒体状樹脂などが載せられていない面積を削減することも可能なので、離型フィルム616を無駄なく使用することもできる。同時に、樹脂封止装置が大掛かりになることを防止することもできる。
In this embodiment, the preliminarily fused
又、本実施形態では、非接触収縮手段としてエア吐出機構630を用いたが、本発明はこれに限定されずに、第2〜第5で示した非接触収縮手段を用いることもできる。
In the present embodiment, the
本発明について上記実施形態を挙げて説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。即ち本発明の要旨を逸脱しない範囲においての改良並びに設計の変更が可能なことは言うまでも無い。 Although the present invention has been described with reference to the above embodiment, the present invention is not limited to the above embodiment. That is, it goes without saying that improvements and design changes can be made without departing from the scope of the present invention.
例えば、上記実施形態においてはそれぞれ、別個の発明として説明したが、本発明はこれに限定されずに第1〜第6実施形態のどの構成要素も適宜組み合わせることができる。 For example, each of the above embodiments has been described as a separate invention. However, the present invention is not limited to this, and any component of the first to sixth embodiments can be combined as appropriate.
又、上記実施形態においては、粉粒体状樹脂として特に説明をしなかったが、当該樹脂は粉状や、粒状であってもよいし、小径のタブレットでもよい。若しくはそれらの混合物であってもよい。 Moreover, in the said embodiment, although it did not demonstrate in particular as a granular resin, the said resin may be a powder form, a granular form, and a small diameter tablet may be sufficient as it. Alternatively, a mixture thereof may be used.
又、上記実施形態においては、離型フィルムの下から粉粒体状樹脂を加熱したが、本発明はこれに限定されず、加熱手段が反離型フィルム側に配置されて離型フィルム上の粉粒体状樹脂の上のみから加熱してもよい。この場合には、キャビティ内でも一番熱が伝わりにくい予備的融着樹脂の反離型フィルム側の表面で空孔を少なくできるため、圧縮成形部における予備的融着樹脂の加熱を迅速に行うことができる。同時に、反離型フィルム側の粉粒体状樹脂の樹脂粒子の軟化の程度を大きくできるので、反離型フィルム側の粉粒体状樹脂の樹脂粒子がより多く融着可能となる。このため、非接触収縮手段による加圧・収縮が急激であっても粉粒体状樹脂の樹脂粒子の飛散を効果的に防止することもできる。 Moreover, in the said embodiment, although granular resin was heated from the bottom of a release film, this invention is not limited to this, A heating means is arrange | positioned at the reverse release film side and on a release film. You may heat from only on granular resin. In this case, since the number of pores can be reduced on the surface of the releasable film side of the preliminary fusing resin that hardly transfers heat even in the cavity, the preliminary fusing resin is quickly heated in the compression molding portion. be able to. At the same time, since the degree of softening of the resin particles of the granular resin on the side of the release film can be increased, more resin particles of the granular resin on the side of the release film can be fused. For this reason, even if the pressurization / shrinkage by the non-contact shrinking means is rapid, it is possible to effectively prevent the resin particles of the granular resin from scattering.
100…樹脂封止装置
102、202、302、402、502、602…粉粒体状樹脂
104、204、304、404、504、604…半融着樹脂
106、206、306、406、506、606…予備的融着樹脂
112、612…予備的融着部
114、614…圧縮成形部
116、216、316、416、516、616…離型フィルム
118…離型フィルム供給装置
120…供給ロール
122…回収ロール
124…ローラ
126、226、326、426、526、626…原料供給機
126A、226A、326A、426A、526A…供給口
126B、226B、326B、426B、526B…枠
126BB、226BB、326BB、426BB、526BB…凹部
128、228、328、428、528、628…ホットプレート
130、230…エア吐出機構
132、345…コンプレッサ、圧力上昇機構
140、240…吐出口
150、650…圧縮成形機
152、652…本体
154、654…タイバ
156、656…固定プラテン
158、658…可動プラテン
160…金型
162、662…上型
164、664…下型
242…赤外線ヒータ
344、444…密閉機構
447…真空ポンプ
548…振動機構
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 ...
Claims (9)
離型フィルム上で前記粉粒体状樹脂を軟化させる加熱手段と、
該粉粒体状樹脂の反離型フィルム側の表面に接触せずに空隙を設けた状態で、該軟化した粉粒体状樹脂を収縮させて予備的融着樹脂を仮成形する非接触収縮手段と、を備え、
前記離型フィルムと共に前記予備的融着樹脂が前記金型に投入され、該離型フィルムが樹脂封止の際にも兼用され、
前記非接触収縮手段は、前記軟化した粉粒体状樹脂を振動させる振動機構を備える
ことを特徴とする樹脂封止装置。 A resin sealing device for sealing a molded product with a mold using a granular resin,
Heating means for softening the granular resin on the release film;
Non-contact shrinkage in which a preliminary fusion resin is temporarily formed by shrinking the softened granular resin in a state where voids are provided without contacting the surface of the particulate resin on the side of the releasable film. Means, and
The preliminary fusion resin is put into the mold together with the release film, and the release film is also used for resin sealing,
The non-contact shrinking means includes a vibration mechanism for vibrating the softened granular resin.
前記加熱手段と非接触収縮手段とが配置される位置を含めて、連続した前記離型フィルムを前記金型に供給する離型フィルム供給装置を備える
ことを特徴とする樹脂封止装置。 In claim 1, further comprising:
A resin sealing device, comprising: a release film supply device that supplies the continuous release film to the mold including a position where the heating unit and the non-contact shrinking unit are disposed.
前記加熱手段は、前記離型フィルムの下側に配置されている
ことを特徴とする樹脂封止装置。 In claim 1 or 2,
The resin sealing device, wherein the heating means is disposed below the release film.
前記非接触収縮手段は、前記軟化した粉粒体状樹脂の反離型フィルム側の表面に圧縮空気を吹き付けるエア吐出機構を備える
ことを特徴とする樹脂封止装置。 In any one of Claims 1 thru | or 3,
The non-contact shrinking means includes an air discharge mechanism that blows compressed air onto the surface of the softened granular resin on the side of the releasable film.
前記非接触収縮手段は、前記離型フィルムとで前記軟化した粉粒体状樹脂を密閉する密閉機構と、該密閉機構で密閉された空間内の圧力を高くする圧力上昇機構と、を備える
ことを特徴とする樹脂封止装置。 In any one of Claims 1 thru | or 3,
The non-contact shrinking means includes a sealing mechanism that seals the softened granular resin with the release film, and a pressure increase mechanism that increases the pressure in the space sealed by the sealing mechanism. A resin sealing device.
前記非接触収縮手段は、前記離型フィルムとで前記軟化した粉粒体状樹脂を密閉する密閉機構と、該密閉機構で密閉された空間内を減圧するエア減圧機構と、を備える
ことを特徴とする樹脂封止装置。 In any one of Claims 1 thru | or 3,
The non-contact shrinking means includes a sealing mechanism that seals the softened granular resin with the release film, and an air decompression mechanism that decompresses the space sealed by the sealing mechanism. Resin sealing device.
離型フィルム上で前記粉粒体状樹脂を軟化させる加熱手段と、 Heating means for softening the granular resin on the release film;
該粉粒体状樹脂の反離型フィルム側の表面に接触せずに空隙を設けた状態で、該軟化した粉粒体状樹脂を収縮させて予備的融着樹脂を仮成形する非接触収縮手段と、を備え、 Non-contact shrinkage in which a preliminary fusion resin is temporarily formed by shrinking the softened granular resin in a state where voids are provided without contacting the surface of the particulate resin on the side of the releasable film. Means, and
前記離型フィルムと共に前記予備的融着樹脂が前記金型に投入され、該離型フィルムが樹脂封止の際にも兼用され、 The preliminary fusion resin is put into the mold together with the release film, and the release film is also used for resin sealing,
前記非接触収縮手段は、前記軟化した粉粒体状樹脂の反離型フィルム側の表面に圧縮空気を吹き付けるエア吐出機構を備えるThe non-contact shrinking means includes an air discharge mechanism for blowing compressed air onto the surface of the softened granular resin on the side of the releasable film.
ことを特徴とする樹脂封止装置。 A resin sealing device characterized by that.
離型フィルム上で前記粉粒体状樹脂を軟化させる加熱手段と、 Heating means for softening the granular resin on the release film;
該粉粒体状樹脂の反離型フィルム側の表面に接触せずに空隙を設けた状態で、該軟化した粉粒体状樹脂を収縮させて予備的融着樹脂を仮成形する非接触収縮手段と、を備え、 Non-contact shrinkage in which a preliminary fusion resin is temporarily formed by shrinking the softened granular resin in a state where voids are provided without contacting the surface of the particulate resin on the side of the releasable film. Means, and
前記離型フィルムと共に前記予備的融着樹脂が前記金型に投入され、該離型フィルムが樹脂封止の際にも兼用され、 The preliminary fusion resin is put into the mold together with the release film, and the release film is also used for resin sealing,
前記非接触収縮手段は、前記離型フィルムとで前記軟化した粉粒体状樹脂を密閉する密閉機構と、該密閉機構で密閉された空間内の圧力を高くする圧力上昇機構と、を備える The non-contact shrinking means includes a sealing mechanism that seals the softened granular resin with the release film, and a pressure increase mechanism that increases the pressure in the space sealed by the sealing mechanism.
ことを特徴とする樹脂封止装置。 A resin sealing device characterized by that.
離型フィルム上で前記粉粒体状樹脂を軟化させる工程と、
該粉粒体状樹脂の反離型フィルム側の表面に接触せずに空隙を設けた状態で、該軟化した粉粒体状樹脂を振動により収縮させて予備的融着樹脂を仮成形する工程と、
該予備的融着樹脂を前記離型フィルムに載せた状態で、前記樹脂封止するための金型に該予備的融着樹脂を投入する工程と、
を含むことを特徴とする樹脂封止方法。 A resin sealing method for resin-sealing a molded product using a granular resin,
A step of softening the granular resin on a release film;
In powder or granular material like state in which a gap without contacting the surface of the anti-release film side of the resin, is preliminarily molded the precautionary fused resin is contracted by the vibration of softening the granular material like resin Process,
In a state where the preliminary fusion resin is placed on the release film, the step of introducing the preliminary fusion resin into a mold for sealing the resin;
A resin sealing method comprising:
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