JP5336964B2 - 波面測定装置 - Google Patents
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Description
T(r,d,μtotal)=exp[-2・μtotal・d/cosβ(R)]/exp[-2・μtotal・d /cosβ(r)]
ここで、
Rは、前記光量調整フィルターの有効径、
rは、前記光量調整フィルターの座標(ラジアル方向 0≦r≦R)、
dは、前記被検物内での観察深さ、
T(r,d,μall)は、r,d,μtotalにおける前記光量調整フィルターの透過率、
β(r)は、rに対応する入射光の屈折後の角度、
β(R)は、Rに対応する入射光の屈折後の角度である
ここで、偏光偏光ビームスプリッタ105は、光源からの光を物体光と参照光とに分割する光分割部に対応する。
ここで、
I(d)は、厚さ(観察深さ)、
I0は、入射光の光強度、
μtotalは、散乱係数μsと吸収係数μaの和(μtotal=μs+μa)である。
そこでBeer-Lambert lawを用いて光量調整フィルター123の有効径Rでの透過率を100%として、光量調整フィルター123の有効径内で光強度が一定になるような濃度分布を計算する。
R:光量調整フィルター123の有効径、
r:光量調整フィルター123の座標(ラジアル方向 0≦r≦R)、
d:吸収散乱体内での観察深さ、
T(r,d,μall):r,d,μtotalにおける光量調整フィルター123の透過率、
β(r):rに対応する入射光の屈折後の角度、
β(R):Rに対応する入射光の屈折後の角度、
L(r, d):r,dにおける散乱吸収体122内を通過する光路長、
α(r):rに対応する吸収散乱体122へ入射光の入射角、
α(R):Rに対応する、吸収散乱体へ入射光の入射角、
Z:対物レンズ121の表面121Sから吸収散乱体122までの距離、
n1:対物レンズ121の表面121Sから吸収散乱体122間の屈折率、
n2:吸収散乱体122の屈折率である。
(1)rに対する入射光の屈折後の角度を算出する。
R=z・tanα(R)+d・tanβ(R)
n1・sinα=n2・sinβ
よりβ(R)を求める。
r=z・tanα(r)+d・tanβ(r)
n1・sinα(r)=n2・sinβ(r)
よりβ(r)を求める。
Beer-Lambert lawより、
T(r,d,μtotal)=exp[-2・μtotal・d/cosβ(R)]/exp[-2・μtotal・d /cosβ(r)]
(2)
(a)μtotal=50cm-1,d=0.5mmのとき
(b)μtotal=50cm-1,d=1mmのとき
吸収散乱体からの戻り光強度は、観察深さ、散乱吸収係数に応じて変化する。光量調整フィルターを適宜交換することで、その影響を打ち消して、理論式通りに中心部と周辺部とコントラスト差の補正することが出来る。
101 光源
102、103 レンズ
104 1/2波長板
105 偏光ビームスプリッタ
106,109、110、119 ミラー
107 コーナーキューブ
108 駆動部
111 偏光ビームスプリッタ
112 偏光板
113、114 レンズ
115 撮像部
116、117 レンズ(リレーレンズ)
118 1/4波長板
121 対物レンズ
120 対物レンズの瞳
122 被検物
123 光量調整フィルター
120 対物レンズの瞳の中間像
124 光量調整フィルター切替え部
125 1/2波長板
200 波面測定装置
201 偏光ビームスプリッタ
202 プリズム
203 液晶装置
Claims (6)
- 光を射出する光源と、
前記光源からの光を物体光と参照光とに分割する光分割部と、
物体光を被検物の所定位置へ集光するための対物レンズと、
前記被検物から戻る物体光と、前記参照光とを重ね合わせる光合成部と、
前記被検物から戻る物体光を前記光合成部の方向へ導く光偏向部と、
合成された波面による干渉縞を撮像する撮像部と、
前記光偏向部と前記光合成部との間の、前記被検物からの物体光のみが存在する光路中に設けられている光量を調整するための光量調整フィルターと、
を有することを特徴とする波面測定装置。 - 前記対物レンズの瞳の像をリレーするリレーレンズをさらに有し、
前記光量調整フィルターは、前記リレーレンズによりリレーされた瞳の位置に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の波面測定装置。 - 前記光分割部は、前記光偏向部の機能を兼用していることを特徴とする請求項1または2に記載の波面測定装置。
- 光分割部と前記光偏向部との間の、前記被検物へ向かう物体光のみが存在する光路中に、波面の位相を調整するための波面補正部を有することを特徴とする請求項1または2に記載の波面測定装置。
- 前記光量調整用フィルターは、以下の式で示す濃度分布を有していることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の波面測定装置。
T(r,d,μtotal)=exp[-2・μtotal・d/cosβ(R)]/exp[-2・μtotal・d /cosβ(r)]
ここで、
Rは、前記光量調整フィルターの有効径、
rは、前記光量調整フィルターの座標(ラジアル方向 0≦r≦R)、
dは、前記被検物内での観察深さ、
T(r,d,μall)は、r,d,μtotalにおける前記光量調整フィルターの透過率、
β(r)は、rに対応する入射光の屈折後の角度、
β(R)は、Rに対応する入射光の屈折後の角度である。 - 前記被検物の観察深さ及び/または前記被検物の散乱吸収係数に応じて、複数の光量調整用フィルターのうちから何れか一つの前記光量調節フィルターを択一的に光路へ挿脱可能な、光量調整フィルター切替え部を有することを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の波面測定装置。
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JP2009172052A JP5336964B2 (ja) | 2009-07-23 | 2009-07-23 | 波面測定装置 |
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JP2011027497A JP2011027497A (ja) | 2011-02-10 |
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