JP5326813B2 - フォトマスク、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ - Google Patents
フォトマスク、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ Download PDFInfo
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Description
また、透明導電膜(43)の形成は、着色画素が形成されたガラス基板上に、例えば、ITO(Indium Tin Oxide)を用いスパッタ法によって透明導電膜を形成するといった方法がとられている。
には、上記基本的な機能に付随して種々な機能が付加されるようになった。
しかし、TN型液晶においては、原理的に広い視野角を得ることは困難であり、コントラストが良好な視野角は狭く、視野によりコントラストが低下し表示品質が悪化するといった問題を有していた。
図6に示すように、MVA−LCD(LD−2)は、液晶分子(30)を介して配向制御用開口部(25a)、(25b)が設けられたTFT基板(20−2)と、配向制御用開口部(45)が設けられたカラーフィルタ(CF−2)とを配置した構造である。配向制御用開口部(25a)、(25b)、及び配向制御用開口部(25)は一画素内で互い違いの位置に設けられている。これら透明導電膜(43、23)の開口部は、液晶分子の配
向を制御する機能を有している。
また、図6に示すカラーフィルタ(CF−2)に設けられた配向制御用開口部(45)は、図2に示す、ブラックマトリックス(41)、着色画素(42)、及び透明導電膜(43)が順次に形成された該透明導電膜(43)に、例えば、フォトエッチング法によってエッチングが施されて形成される。
この種の配向制御用開口部(45A)は、例えば、液晶TV、モニター用の液晶表示装置などに用いられており、画素のX軸方向の幅(W3)は150〜200μm程度で、開口部(45A)の幅(W4)は12μm程度のものである。
この種の配向制御用開口部(45B)は、例えば、モバイル機器用の液晶表示装置などに用いられており、画素のX軸方向の幅(W5)は25〜50μm程度で、開口部(45B)の幅(W6)は10〜15μm程度のものである。
この十字形状の配向制御用開口部(45C)において、その十字の幅(W7)が、上記ストライプ状の配向制御用開口部(45A)の幅(W4)である12μm、或いは、円形状の配向制御用開口部(45B)の幅(W6)である10μmよりも微細な幅、例えば、3〜5μm程度の幅を有する十字形状の配向制御用開口部(45C)が要望されている。
ず)、着色画素(42)、及び透明導電膜(43)が順次に形成されたカラーフィルタ(CF−3)の上面に、ポジ型フォトレジスト層(60)が設けられ、その上方には、近接露光のギャップ(G)を設け、フォトマスク(PM)が配置されている。
フォトマスク(PM)には、エッチングレジストパターン(61)の形成に対応した開口部(K)が設けられている。図10(a)中、上方からの露光光(L)が開口部(K)を経てポジ型フォトレジスト層(60)に照射される。
図11に示すように、このフォトマスクのパターンは、十字形状の開口部(K3)であり、十字形状の開口部(K3)以外の部分は遮光部(S)となっている。このパターンは、符号(a)の線幅、符号(b)の線長を有する2個の開口部が、直交して構成される十字形状の開口部を呈している。
また、微細な幅の十字形状の配向制御用開口部を有するカラーフィルタの製造方法、並びにカラーフィルタを提供することを課題とする。
1)前記フォトマスク上の、十字形状の配向制御用開口部の形成に対応したパターンは、4個の正方形開口部からなる市松模様開口部と、4個の平行線開口部とで構成され、他の部分は遮光部であり、
2)該市松模様開口部の中心は、フォトマスク上の、直交する第1軸(X軸)と第2軸(Y軸)の交点に位置し、その長手方向は、該交点を回転中心として第1軸(X軸)及び第2軸(Y軸)を反時計回り45度回転させた第3軸又は第4軸と平行に設けられており、3)該4個の平行線開口部は、第1軸(X軸)のプラス方向とマイナス方向、及び第2軸(Y軸)のプラス方向とマイナス方向の、市松模様開口部に隣接した各位置に、各々の長手方向を当該軸と平行に設けられていることを特徴とするフォトマスクである。
1)前記ガラス基板上にブラックマトリックス、着色画素を順次に形成する工程、
2)該ブラックマトリックス、着色画素が形成されたガラス基板上の全面に透明導電膜を形成する工程、
3)該透明導電膜が形成されたガラス基板上に、ポジ型フォトレジストの塗膜を設け、フォトマスクを介した近接露光による露光、現像によりエッチングレジストを形成する工程、
4)該エッチングレジストが形成されたガラス基板上に、エッチング、剥膜を施し透明導電膜に配向制御用開口部を形成する工程を具備し、
前記フォトマスクとして請求項1又は請求項2記載のフォトマスクを用い、透明導電膜に幅3〜5μmの微細な幅の十字形状の配向制御用開口部を形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。
点に位置し、その長手方向は、該交点を回転中心として第1軸(X軸)及び第2軸(Y軸)を45度回転させた第3軸又は第4軸と平行に設けられており4個の平行線開口部は、第1軸(X軸)のプラス方向とマイナス方向、及び第2軸(Y軸)のプラス方向とマイナス方向の、市松模様開口部に隣接した各位置に、各々の長手方向を当該軸と平行に設けられているので、フォトエッチング法により十字形状の配向制御用開口部を形成する際に、ポジ型フォトレジストを用い近接露光を行っても、微細な幅の十字形状の配向制御用開口部を形成することのできるフォトマスクとなる。
図14は、本発明によるフォトマスクのパターンを説明する平面図である。このフォトマスクは、透明導電膜にフォトエッチング法により十字形状の配向制御用開口部を形成する際に用いるフォトマスクであって、フォトレジストとしてポジ型フォトレジストを用い、近接露光により露光される際に用いるフォトマスクである。
この際、フォトマスクとして、図14及び図17に示すパターンが設けられたフォトマスクを用い、透明導電膜に十字形状の配向制御用開口部を形成する。
23、43・・・透明導電膜
24a、24b、44・・・配向制御用突起
25、25a、25b、45・・・配向制御用開口部
30・・・液晶分子
40・・・ガラス基板
41・・・ブラックマトリックス
42・・・着色画素
44A・・・ストライプ状の配向制御用突起
44B・・・円形状の配向制御用突起
45A・・・ストライプ状の配向制御用開口部
45B・・・円形状の配向制御用開口部
45C・・・十字形状の配向制御用開口部
45D・・・本発明における十字形状の配向制御用開口部
60・・・ポジ型フォトレジスト層
61・・・エッチングレジストパターン
CF、CF−A、CF−B、CF−2、CF−3・・・カラーフィルタ
G・・・露光のギャップ
K、K2・・・開口部
K3・・・十字形状の開口部
K4・・・正方形開口部
K5・・・線開口部
K14・・・市松模様開口部
K15−1〜K15−4・・・第1〜4平行線開口部
L・・・露光光
LD、LD−2・・・MVA−LCD
O・・・第1軸と第2軸の交点
PM・・・フォトマスク
S・・・フォトマスク上の遮光部
S2・・・中心遮光部
S3・・・線遮光部
W8・・・試みの十字形状の配向制御用開口部の幅
W9・・・本発明における十字形状の配向制御用開口部の幅
a、c・・・十字の線幅
b、d・・・十字の線長
e・・・線開口部の幅
f・・・線開口部の長さ
g・・・線遮光部の幅
h・・・市松模様開口部端と平行線開口部端との距離
j・・・市松模様開口部の第1軸プラス方向端
m・・・平行線開口部端
Claims (4)
- 透明導電膜にフォトエッチング法により十字形状の配向制御用開口部を形成する際に用いるフォトマスクであって、
1)前記フォトマスク上の、十字形状の配向制御用開口部の形成に対応したパターンは、4個の正方形開口部からなる市松模様開口部と、4個の平行線開口部とで構成され、他の部分は遮光部であり、
2)該市松模様開口部の中心は、フォトマスク上の、直交する第1軸(X軸)と第2軸(Y軸)の交点に位置し、その長手方向は、該交点を回転中心として第1軸(X軸)及び第2軸(Y軸)を反時計回り45度回転させた第3軸又は第4軸と平行に設けられており、3)該4個の平行線開口部は、第1軸(X軸)のプラス方向とマイナス方向、及び第2軸(Y軸)のプラス方向とマイナス方向の、市松模様開口部に隣接した各位置に、各々の長手方向を当該軸と平行に設けられていることを特徴とするフォトマスク。 - 前記市松模様開口部の線幅が2〜5μm、線長が10μm以上、前記平行線開口部を構成する線開口部の線幅が3〜5μm、線開口部間の線遮光部の線幅が3〜5μm、平行線開口部の長さが10μm以上、市松模様開口部端から平行線開口部端までの距離が2〜3μmであることを特徴とする請求項1記載のフォトマスク。
- ガラス基板上に少なくともブラックマトリックス、着色画素、透明導電膜が形成され、該透明導電膜にフォトエッチング法により十字形状の配向制御用開口部を形成するカラーフィルタの製造方法において、
1)前記ガラス基板上にブラックマトリックス、着色画素を順次に形成する工程、
2)該ブラックマトリックス、着色画素が形成されたガラス基板上の全面に透明導電膜を形成する工程、
3)該透明導電膜が形成されたガラス基板上に、ポジ型フォトレジストの塗膜を設け、フォトマスクを介した近接露光による露光、現像によりエッチングレジストを形成する工程、
4)該エッチングレジストが形成されたガラス基板上に、エッチング、剥膜を施し透明導電膜に配向制御用開口部を形成する工程を具備し、
前記フォトマスクとして請求項1又は請求項2記載のフォトマスクを用い、透明導電膜に幅3〜5μmの微細な幅の十字形状の配向制御用開口部を形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 - 請求項3記載のカラーフィルタの製造方法を用いて製造したことを特徴とするカラーフィルタ。
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