JP5321069B2 - 触媒化学気相成長装置の触媒体支持構造 - Google Patents
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Description
最初に、本発明の触媒体支持構造が適用される触媒化学気相成長装置の概要について説明する。図10は、連続式の触媒化学気相成長装置を示す断面図である。触媒化学気相成長装置100は、筐体(真空容器)103と、筐体103の下方から原料ガスを供給する原料ガス供給手段102と、電力線111を介して電力供給手段101に接続して通電加熱する触媒体4と、触媒体4を張架する把持部材と、把持部材を防着する防着ユニット1と、成膜する基材フィルム107を成膜エリアに引き出して、成膜した基材フィルム117を巻き取るローラ機構105と、筐体103の下方に接続され使用済みの原料ガスを排気する排気手段(真空ポンプ)104を備える。矢印aは、原料ガスの流れを示す。原料ガス供給手段102から供給された原料ガスは、多数のガス吹き出し孔122を有するガス供給器112から真空容器103内に放出される。ローラ機構105は、3つのローラ105A,105B,105Cと複数のテンションローラ115(図5では2つのテンションローラ)からなる。巻装ローラ105Aに予め巻装された基材フィルム107は、触媒体4近傍の成膜エリアに引き出されて冷却ローラ105Bに密着され、基材フィルム107の始端部が巻取りローラ105Cに巻き取られる。冷却ローラ105Bには冷却手段が備わり、基材フィルム107を低温に保持することで、分解された高温ガスを基材フィルム107上に成膜させる。そして、成膜済みの基材フィルム117が巻取りローラ105Cに巻き取られる。テンションローラ115は、基材フィルム107(及び117)に所定のテンションをかけることで、基材フィルム107(及び117)に皺が寄らないようにする。基材フィルム107は、フィルム状の基板を使用したり、板状の基板を搬送フィルムに貼り付けて使用する。
次に、本発明の触媒体支持構造に使用される触媒体支持枠2の構造について説明する。図11(a)は、本実施形態の触媒体支持枠を示す正面図であり、図11(b)は、その側面図である。本実施形態の触媒体支持枠2は、断面四角形状で棒状の橋渡し部材80と断面四角形状で棒状の枠体21(20)をそれぞれ2つずつ対向配置させて、ネジ、ボルト等の固定手段により固定して組み合わせた四角形状の枠である(図11(a))。触媒体4は、断面円形状で軸方向に真っ直ぐな棒形状の単線であり、図11(a)では触媒体4がそれぞれ平行となる位置で、隣り合う触媒体4同士の中心間隔だけずらした位置で向かい合って配された同一形状の1対の導電金具50(51と52)にて触媒体4がそれぞれ2本ずつ把持されている。そして橋渡し部材80に近接した導電金具53に触媒体4がそれぞれ1本ずつ把持されている。本実施形態では合計6本の触媒体4が触媒体支持枠2に張架されている。そして、一方側の枠体21には、触媒体4を張架する方向に張力を与える複数のスプリング6が内蔵されている(図11(a))。
本発明の第1の実施形態の触媒化学気相成長装置の防着ユニット、並びに防着ユニットを備えた触媒体支持構造、及び防着ユニットの取り付け方法について、以下に説明する。図1は、本実施形態の防着ユニットを取り付けた触媒体支持構造を示す斜視図である。図2から図4は、防着ユニットの取り付け過程を示す斜視図である。
本発明の第2の実施形態の触媒化学気相成長装置の防着ユニット、並びに防着ユニットを備えた触媒体支持構造、及び防着ユニットの取り付け方法について、以下に説明する。図7は、本実施形態の防着ユニットを取り付けた触媒体支持構造を示す斜視図である。図8と図9は、上記防着ユニットの取り付け過程を示す斜視図である。
1a 防着ユニットの上側部材、
1b 防着ユニットの下側部材、
2 触媒体支持枠、
20 枠構成部材(把持部材、枠体)、
4 触媒体、
50、51、52、53 導電金具、
55 電極プレート、
6 圧縮コイルばね(スプリング)、
80 橋渡し部材、
100 触媒化学気相成長装置、
130 支柱(側壁)
Claims (1)
- 所定間隔で配される触媒体を介して向かい合う一対の枠構成部材と、前記触媒体の両側をそれぞれ把持しつつ前記枠構成部材とは電気絶縁された状態で前記触媒体に通電する電気回路を構成する複数の導電金具と、向かい合う導電金具のうち一方の導電金具を他方の導電金具から離す方向に押す圧縮コイルばねと、前記導電金具と電気絶縁された状態で前記枠構成部材を覆う防着ユニットを備え、前記圧縮コイルばねが前記枠構成部材に内蔵されており、前記圧縮コイルばねを通電することなく前記触媒体に通電する構成とされ、前記防着ユニットは、前記触媒体の軸付近を境目として前記触媒体の軸と略垂直方向に上下に分割する上側部材と下側部材からなり、これら上側部材と下側部材とが前記触媒体に非接触の状態で組み合わさっていることを特徴とする触媒化学気相成長装置の触媒体支持構造。
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