JP5317569B2 - 形状測定装置、及び形状測定方法 - Google Patents
形状測定装置、及び形状測定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5317569B2 JP5317569B2 JP2008197715A JP2008197715A JP5317569B2 JP 5317569 B2 JP5317569 B2 JP 5317569B2 JP 2008197715 A JP2008197715 A JP 2008197715A JP 2008197715 A JP2008197715 A JP 2008197715A JP 5317569 B2 JP5317569 B2 JP 5317569B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coordinate system
- measurement
- unit
- measured
- measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
- G01B21/045—Correction of measurements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/20—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring contours or curvatures
Description
特許文献1に記載の三次元測定機(形状測定装置)では、被測定物に対して設定されたワーク座標系(被測定物座標系)や、回転テーブルに対して設定されたテーブル座標系等の複数の直交座標系を用いることで被測定物の形状を測定している。なお、各座標系は、平行移動や、回転をさせることによって、相互に座標変換することができる。
値を、前記基準器座標系に変換する第1変換部と、前記第1変換部にて前記基準器座標系に変換された測定値を、前記補正関数にて補正する補正部と、前記補正部にて前記基準器座標系で補正された測定値を、前記被測定物座標系に変換する第2変換部とを備えることを特徴とする。
また、本発明の他の形態の形状測定装置は、被測定物を測定するためのプローブと、前記プローブを移動させる移動機構と、前記被測定物が固定されるとともに、前記プローブに対して回転させる回転テーブルと、キャリブレーションをするための基準球とを備え、前記被測定物を回転させることで前記被測定物の形状を測定する形状測定装置であって、既知の径を有する円柱状または円筒状の基準器を前記回転テーブルに固定した状態において、前記基準器に対して設定された基準器座標系で前記基準器の径を軸方向に沿って測定する基準器測定部と、前記基準器測定部にて測定された径、及び前記既知の径の差と、前記基準器測定部の測定位置とに基づいて補正関数を生成する補正関数生成部と、前記被測定物を前記回転テーブルに固定した状態において、前記回転テーブルに対して設定されるテーブル座標系、前記テーブル座標系を回転させたときの回転座標系、及び前記基準球の中心位置を原点として設定されるマシン座標系を経由して、前記被測定物に対して設定された被測定物座標系で前記被測定物を測定する測定部と、前記測定部にて前記被測定物座標系で測定された測定値を、前記移動機構に対して設定されるスケール座標系に変換した後、前記マシン座標系、前記テーブル座標系、及び前記回転座標系を経由して、前記基準器座標系に変換する第1変換部と、前記第1変換部にて前記基準器座標系に変換された測定値を、前記補正関数にて補正する補正部と、前記補正部にて前記基準器座標系で補正された測定値を、前記スケール座標系に変換した後、前記テーブル座標系、前記回転座標系、及び前記マシン座標系を経由して、前記被測定物座標系に変換する第2変換部とを備えることを特徴とする。
なお、基準器の径は、既知の径であればどのような大きさであってもよい。形状測定装置は、被測定物の表面に近接または当接するプローブの位置を測定値として出力するため、基準器の径が異なる場合であっても回転テーブルの面振れや、形状測定装置の直角度等に起因する測定誤差は同じになるからである。
したがって、補正関数生成部にて生成した補正関数を測定値に適用することにより、回転テーブルの面振れや、形状測定装置の直角度等に起因する測定誤差を適切に補正することができ、測定精度を向上させることができる。
本発明によれば、形状測定装置は、第1変換部と、補正部とを備えるので、測定部にて被測定物座標系で測定された測定値を、第1変換部にて基準器座標系に変換し、基準器座標系に変換された測定値を補正関数にて補正することができる。すなわち、第1変換部にて座標変換を行うことによって、基準器座標系における測定位置と、被測定物座標系における測定位置とを対応させることができ、基準器座標系で生成された補正関数を、被測定物座標系で測定された測定値に対して適用することができる。
さらに、形状測定装置は、補正部にて基準器座標系で補正された測定値を、被測定物座標系に変換する第2変換部を備えるので、補正部にて補正された測定値を被測定物座標系における測定値として出力することができる。
また、本発明の他の形態の形状測定方法は、被測定物を測定するためのプローブと、前記プローブを移動させる移動機構と、前記被測定物が固定されるとともに、前記プローブに対して回転させる回転テーブルと、キャリブレーションをするための基準球とを備え、前記被測定物を回転させることで前記被測定物の形状を測定する形状測定装置に用いられる形状測定方法であって、既知の径を有する円柱状または円筒状の基準器を前記回転テーブルに固定した状態において、前記基準器に対して設定された基準器座標系で前記基準器の径を軸方向に沿って測定する基準器測定ステップと、前記基準器測定ステップにて測定された径、及び前記既知の径の差と、前記基準器測定部の測定位置とに基づいて補正関数を生成する補正関数生成ステップと、前記被測定物を前記回転テーブルに固定した状態において、前記回転テーブルに対して設定されるテーブル座標系、前記テーブル座標系を回転させたときの回転座標系、及び前記基準球の中心位置を原点として設定されるマシン座標系を経由して、前記被測定物に対して設定された被測定物座標系で前記被測定物を測定する測定ステップと、前記測定ステップにて前記被測定物座標系で測定された測定値を、前記移動機構に対して設定されるスケール座標系に変換した後、前記マシン座標系、前記テーブル座標系、及び前記回転座標系を経由して、前記基準器座標系に変換する第1変換ステップと、前記第1変換ステップにて前記基準器座標系に変換された測定値を、前記補正関数にて補正する補正ステップと、前記補正ステップにて前記基準器座標系で補正された測定値を、前記スケール座標系に変換した後、前記テーブル座標系、前記回転座標系、及び前記マシン座標系を経由して、前記被測定物座標系に変換する第2変換ステップとを実行することを特徴とする。
〔三次元測定機の概略構成〕
図1は、本発明の一実施形態に係る三次元測定機1を示す全体模式図である。図2は、三次元測定機1の概略構成を示すブロック図である。なお、図1では、上方向を+Z軸方向とし、このZ軸に直交する2軸をそれぞれX軸、及びY軸として説明する。以下の図面においても同様である。
移動機構22は、プローブ21の基端側を保持するとともに、プローブ21のスライド移動を可能とするスライド機構24と、スライド機構24を駆動することでプローブ21を移動させる駆動機構25とを備える。
回転テーブル231は、図3、及び図4に示すように、上面側に取り付けられた円盤状のチャック234を備える。このチャック234は、外周に沿って等間隔で配設された3つの爪部234Aを備え、各爪部234Aにて内側に向かって押圧することでワーク10(円筒スコヤ101,ボールネジ102)を把持する。すなわち、ワーク10は、回転テーブル231に固定される。
また、図4に示すように、ボールネジ102は、チャック234の中央に形成された孔(図示略)に挿入され、ボールネジ102の中心軸と、回転テーブル231の回転軸(図4中一点鎖線)とが略一致するようにチャック234の爪部234Aにて把持される。
カウンタ部32は、各センサから出力されるパルス信号をカウントしてスライド機構24の移動量、及び回転テーブル231の回転量を計測する。そして、カウンタ部32にて計測されたスライド機構24の移動量、及び回転テーブル231の回転量は、ホストコンピュータ5に出力される。
基準器としての円筒スコヤ101は、三次元測定機1と比較して高精度な他の三次元測定機(以下、標準機とする)にて中心軸に沿った複数の測定位置で予め直径が測定されている。すなわち、円筒スコヤ101の直径は既知である。なお、本実施形態では、円筒スコヤ101の高さは300mmであり、円筒スコヤ101の下面から10mmの高さ位置を始点とし、290mmの高さ位置を終点とした10mm間隔の測定位置で標準機にて予め直径が測定されている。また、標準機による測定は、回転テーブルによる面振れの影響を回避するため、回転テーブルを用いることなく、標準機のプローブを円筒スコヤ101の表面に沿って移動させることで行っている。
測定部53は、図4に示すように、ボールネジ102を回転テーブル231に固定した状態において、ボールネジ102に対して設定された被測定物座標系Wでボールネジ102を測定する。
ここで、ホストコンピュータ5は、複数の直交座標系を用いることで被測定物の形状を測定している。
ホストコンピュータ5は、前述した基準器座標系B、及び被測定物座標系Wの他、図5に示すように、スライド機構24に対して設定されるスケール座標系S(XS,YS,ZS)、基準球233の中心位置を原点として設定されるマシン座標系M(XM,YM,ZM)、回転テーブル231に対して設定されるテーブル座標系T(XT,YT,ZT)、及びテーブル座標系Tを回転角θだけ回転させたときの回転座標系Tθ(図示略)などの複数の座標系を用いることでワーク10の形状を測定している。例えば、三次元測定機本体2の制御は、スケール座標系Sで行われている。
また、テーブル座標系Tは、回転テーブル231の上面に基準球233と同様の構成を有する基準球(図示略)を固定した状態で、回転テーブル231を回転させながら基準球の中心位置を所定の回転角ごとに少なくとも3箇所の回転位置で測定し、各中心位置にて定まる円の中心位置を原点として設定される。なお、テーブル座標系Tの1軸(ZT軸)の軸方向は、各基準球の中心位置にて定まる円の法線方向とされ、他の2軸(XT軸,YT軸)の軸方向は、法線方向と直交する2方向とされる。
また、各座標系は、平行移動や、回転をさせることによって、相互に座標変換することができる。例えば、被測定物座標系W(図5参照)で測定された点Pは、平行移動行列を用いて座標系を平行移動させることで回転座標系Tθに座標変換することができる。また、回転座標系Tθに座標変換された点Pは、回転行列を用いて座標系を回転させることでテーブル座標系Tに座標変換することができる。
第2変換部56は、補正部55にて基準器座標系Bで補正された測定値を、被測定物座標系Wに変換する。本実施形態では、第2変換部56は、マシン座標系M、テーブル座標系T、及び回転座標系Tθを経由して基準器座標系Bで補正された測定値をスケール座標系Sに変換した後、回転座標系Tθ、テーブル座標系T、及びマシン座標系Mを経由して被測定物座標系Wに変換する。
記憶部57は、基準器測定部51、及び測定部53にて測定された測定値の記憶や、補正関数生成部52にて生成された補正関数などの情報を記憶する。また、記憶部57には、後述する形状測定処理を実行するためのプログラムが記憶されている。
図6は、三次元測定機1の形状測定処理を示すフローチャートである。
形状測定処理が実行されると、ホストコンピュータ5は、図6に示すように、以下のステップS1〜S6を実行する。
基準器測定部51は、図3に示すように、円筒スコヤ101を回転テーブル231に固定した状態において、円筒スコヤ101に対して設定された基準器座標系B(XB,YB,ZB)で円筒スコヤ101の直径を軸方向に沿って測定する(基準器測定ステップS1)。
補正関数生成部52は、図7に示すように、半径差Rと、測定位置Hとに基づいて補正関数を生成する。具体的に、補正関数生成部52は、測定位置H、及び半径差Rに最小二乗法を適用して多項式近似を行い、補正関数R=f(H)を生成する。そして、補正関数生成部52にて生成された補正関数fは、記憶部57に記憶される。なお、補正関数の生成は、前述した多項式近似を行う他、例えば、スプライン近似等による近似を行ってもよい。
第1変換ステップS4にて測定値が基準器座標系Bに変換されると、補正部55は、第1変換部54にて基準器座標系Bに変換された測定値(xB,yB,zB)を、補正関数生成部52にて生成された補正関数fにて補正する(補正ステップS5)。
補正部55は、以下の式(1)〜(4)に基づいて、図8に示すように、基準器座標系Bに変換された測定値を補正する。
三次元測定機1は、以上のようなステップS1〜S6を実行することで回転テーブル231の面振れや、三次元測定機1の直角度等に起因する測定誤差を補正する。そして、補正された測定値に基づいてボールネジ102の直径値等が算出される。
(1)三次元測定機1は、基準器測定部51と、補正関数生成部52とを備えるので、補正関数生成部52にて生成した補正関数fを測定値(xw,yw,zw)に適用することにより、回転テーブル231の面振れや、三次元測定機1の直角度等に起因する測定誤差を適切に補正することができ、測定精度を向上させることができる。
(2)三次元測定機1は、第1変換部54と、補正部55とを備えるので、基準器座標系Bにおける測定位置と、被測定物座標系Wにおける測定位置とを対応させることができ、基準器座標系Bで生成された補正関数fを、被測定物座標系Wで測定された測定値(xw,yw,zw)に対して適用することができる。
(3)三次元測定機1は、第2変換部56を備えるので、補正部55にて補正された測定値(xB´,yB´,zB)を被測定物座標系Wにおける測定値として出力することができる。
なお、本発明は前記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前記実施形態では、基準器測定部51は、円筒スコヤ101の直径を測定し、補正関数生成部52は、基準器測定部51にて測定された円筒スコヤ101の直径、及び既知の直径の差に基づいて算出された半径差Rと、基準器測定部51にて測定を行った際の軸方向の測定位置Hとに基づいて補正関数を生成していた。これに対して、例えば、基準器測定部は、基準器の半径を測定し、補正関数生成部は、基準器測定部にて測定された基準器の半径、及び既知の半径の差と、基準器測定部にて測定を行った際の軸方向の測定位置、及び回転テーブルの回転角とに基づいて立体的な補正関数を生成するようにしてもよい。要するに、基準器測定部は、基準器に対して設定された基準器座標系で基準器の径を軸方向に沿って測定し、補正関数生成部は、基準器測定部にて測定された径、及び既知の径の差と、基準器測定部の測定位置とに基づいて補正関数を生成するように構成されていればよい。
前記実施形態では、第1変換部54、及び第2変換部56は、回転座標系Tθ、テーブル座標系T、及びマシン座標系Mを経由して、基準器座標系B、及び被測定物座標系Wの座標変換を行っていた。これに対して、例えば、基準器座標系B、及び被測定物座標系Wの座標変換を直接行う変換行列を生成し、生成した変換行列にて座標変換を行うようにしてもよい。
前記実施形態では、形状測定装置として三次元測定機1を例示したが、プローブと、回転テーブルとを備え、被測定物を回転させることで被測定物の形状を測定する形状測定装置であれば他の測定機に本発明を適用してもよい。
21…プローブ
51…基準器測定部
52…補正関数生成部
53…測定部
54…第1変換部
55…補正部
56…第2変換部
101…円筒スコヤ(基準器)
102 ボールネジ(被測定物)
231…回転テーブル
S1…基準器測定ステップ
S2…補正関数生成ステップ
S3…測定ステップ
S4…第1変換ステップ
S5…補正ステップ
S6…第2変換ステップ。
Claims (4)
- 被測定物を測定するためのプローブと、前記被測定物が固定されるとともに、前記プローブに対して回転させる回転テーブルとを備え、前記被測定物を回転させることで前記被測定物の形状を測定する形状測定装置であって、
既知の径を有する円柱状または円筒状の基準器を前記回転テーブルに固定した状態において、前記基準器に対して設定された基準器座標系で前記基準器の径を軸方向に沿って測定する基準器測定部と、
前記基準器測定部にて測定された径、及び前記既知の径の差と、前記基準器測定部の測定位置とに基づいて補正関数を生成する補正関数生成部と、
前記被測定物を前記回転テーブルに固定した状態において、前記被測定物に対して設定された被測定物座標系で前記被測定物を測定する測定部と、
前記測定部にて前記被測定物座標系で測定された測定値を、前記基準器座標系に変換する第1変換部と、
前記第1変換部にて前記基準器座標系に変換された測定値を、前記補正関数にて補正する補正部と、
前記補正部にて前記基準器座標系で補正された測定値を、前記被測定物座標系に変換する第2変換部とを備えることを特徴とする形状測定装置。 - 被測定物を測定するためのプローブと、前記プローブを移動させる移動機構と、前記被測定物が固定されるとともに、前記プローブに対して回転させる回転テーブルと、キャリブレーションをするための基準球とを備え、前記被測定物を回転させることで前記被測定物の形状を測定する形状測定装置であって、
既知の径を有する円柱状または円筒状の基準器を前記回転テーブルに固定した状態において、前記基準器に対して設定された基準器座標系で前記基準器の径を軸方向に沿って測定する基準器測定部と、
前記基準器測定部にて測定された径、及び前記既知の径の差と、前記基準器測定部の測定位置とに基づいて補正関数を生成する補正関数生成部と、
前記被測定物を前記回転テーブルに固定した状態において、前記回転テーブルに対して設定されるテーブル座標系、前記テーブル座標系を回転させたときの回転座標系、及び前記基準球の中心位置を原点として設定されるマシン座標系を経由して、前記被測定物に対して設定された被測定物座標系で前記被測定物を測定する測定部と、
前記測定部にて前記被測定物座標系で測定された測定値を、前記移動機構に対して設定されるスケール座標系に変換した後、前記マシン座標系、前記テーブル座標系、及び前記回転座標系を経由して、前記基準器座標系に変換する第1変換部と、
前記第1変換部にて前記基準器座標系に変換された測定値を、前記補正関数にて補正する補正部と、
前記補正部にて前記基準器座標系で補正された測定値を、前記スケール座標系に変換した後、前記テーブル座標系、前記回転座標系、及び前記マシン座標系を経由して、前記被測定物座標系に変換する第2変換部とを備えることを特徴とする形状測定装置。 - 被測定物を測定するためのプローブと、前記被測定物が固定されるとともに、前記プローブに対して回転させる回転テーブルとを備え、前記被測定物を回転させることで前記被測定物の形状を測定する形状測定装置に用いられる形状測定方法であって、
既知の径を有する円柱状または円筒状の基準器を前記回転テーブルに固定した状態において、前記基準器に対して設定された基準器座標系で前記基準器の径を軸方向に沿って測定する基準器測定ステップと、
前記基準器測定ステップにて測定された径、及び前記既知の径の差と、前記基準器測定部の測定位置とに基づいて補正関数を生成する補正関数生成ステップと、
前記被測定物を前記回転テーブルに固定した状態において、前記被測定物に対して設定された被測定物座標系で前記被測定物を測定する測定ステップと、
前記測定ステップにて前記被測定物座標系で測定された測定値を、前記基準器座標系に変換する第1変換ステップと、
前記第1変換ステップにて前記基準器座標系に変換された測定値を、前記補正関数にて補正する補正ステップと、
前記補正ステップにて前記基準器座標系で補正された測定値を、前記被測定物座標系に変換する第2変換ステップとを実行することを特徴とする形状測定方法。 - 被測定物を測定するためのプローブと、前記プローブを移動させる移動機構と、前記被測定物が固定されるとともに、前記プローブに対して回転させる回転テーブルと、キャリブレーションをするための基準球とを備え、前記被測定物を回転させることで前記被測定物の形状を測定する形状測定装置に用いられる形状測定方法であって、
既知の径を有する円柱状または円筒状の基準器を前記回転テーブルに固定した状態において、前記基準器に対して設定された基準器座標系で前記基準器の径を軸方向に沿って測定する基準器測定ステップと、
前記基準器測定ステップにて測定された径、及び前記既知の径の差と、前記基準器測定部の測定位置とに基づいて補正関数を生成する補正関数生成ステップと、
前記被測定物を前記回転テーブルに固定した状態において、前記回転テーブルに対して設定されるテーブル座標系、前記テーブル座標系を回転させたときの回転座標系、及び前記基準球の中心位置を原点として設定されるマシン座標系を経由して、前記被測定物に対して設定された被測定物座標系で前記被測定物を測定する測定ステップと、
前記測定ステップにて前記被測定物座標系で測定された測定値を、前記移動機構に対して設定されるスケール座標系に変換した後、前記マシン座標系、前記テーブル座標系、及び前記回転座標系を経由して、前記基準器座標系に変換する第1変換ステップと、
前記第1変換ステップにて前記基準器座標系に変換された測定値を、前記補正関数にて補正する補正ステップと、
前記補正ステップにて前記基準器座標系で補正された測定値を、前記スケール座標系に変換した後、前記テーブル座標系、前記回転座標系、及び前記マシン座標系を経由して、前記被測定物座標系に変換する第2変換ステップとを実行することを特徴とする形状測定方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008197715A JP5317569B2 (ja) | 2008-07-31 | 2008-07-31 | 形状測定装置、及び形状測定方法 |
EP09166787.3A EP2149775B1 (en) | 2008-07-31 | 2009-07-30 | Profile measuring instrument and profile measuring method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008197715A JP5317569B2 (ja) | 2008-07-31 | 2008-07-31 | 形状測定装置、及び形状測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010032474A JP2010032474A (ja) | 2010-02-12 |
JP5317569B2 true JP5317569B2 (ja) | 2013-10-16 |
Family
ID=41227302
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008197715A Expired - Fee Related JP5317569B2 (ja) | 2008-07-31 | 2008-07-31 | 形状測定装置、及び形状測定方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP2149775B1 (ja) |
JP (1) | JP5317569B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5277033B2 (ja) * | 2009-03-25 | 2013-08-28 | 株式会社ミツトヨ | 補正ボール径算出方法および形状測定装置 |
GB201003363D0 (en) | 2010-03-01 | 2010-04-14 | Renishaw Plc | Measurement method and apparatus |
CN102944163B (zh) * | 2012-11-12 | 2015-02-25 | 沈阳黎明航空发动机(集团)有限责任公司 | 一种测量任意轴剖面环形燕尾槽轮廓度的装置及方法 |
GB2529131B (en) | 2014-05-06 | 2019-06-05 | Taylor Hobson Ltd | Method and apparatus for characterising instrument error |
US11230393B1 (en) * | 2020-07-23 | 2022-01-25 | Pratt & Whitney Canada Corp. | Methods for measuring part size and runout |
US11821758B2 (en) | 2021-03-25 | 2023-11-21 | Pratt & Whitney Canada Corp. | Validation of a measurement machine |
JP7152086B1 (ja) * | 2021-07-30 | 2022-10-12 | 有限会社ピーシー・テクニクス | 回転軸線校正用治具、回転軸線校正方法、メンテナンス治具 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2774007B2 (ja) * | 1992-01-21 | 1998-07-09 | 株式会社東京精密 | 真円度測定機の回転軸心と真直度軸心の平行度誤差の測定方法 |
DE19815098B4 (de) * | 1998-04-03 | 2005-07-14 | Leitz Messtechnik Gmbh | Verfahren zur Messung von Drehtischabweichungen |
US6460261B1 (en) * | 1999-11-18 | 2002-10-08 | Mitutoyo Corporation | V-groove shape measuring method and apparatus by using rotary table |
JP3880030B2 (ja) * | 2000-03-17 | 2007-02-14 | 株式会社ミツトヨ | V溝形状測定方法及び装置 |
DE10122080A1 (de) * | 2001-05-07 | 2002-11-14 | Carl Zeiss 3D Metrology Servic | Verfahren zum Bestimmen von Eigenschaften eines Koordinatenmeßgeräts sowie Testobjekt hierzu |
JP2006153546A (ja) * | 2004-11-26 | 2006-06-15 | Sanyo Special Steel Co Ltd | 接触式鋼管寸法測定装置 |
-
2008
- 2008-07-31 JP JP2008197715A patent/JP5317569B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-07-30 EP EP09166787.3A patent/EP2149775B1/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010032474A (ja) | 2010-02-12 |
EP2149775B1 (en) | 2019-10-02 |
EP2149775A2 (en) | 2010-02-03 |
EP2149775A3 (en) | 2014-04-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5425267B2 (ja) | 座標測定装置 | |
JP5317569B2 (ja) | 形状測定装置、及び形状測定方法 | |
EP1579168B1 (en) | Workpiece inspection method and apparatus | |
JP5189806B2 (ja) | 表面形状測定装置 | |
US9542355B2 (en) | Method for recalibrating coordinate positioning apparatus | |
JP5277033B2 (ja) | 補正ボール径算出方法および形状測定装置 | |
JP5706158B2 (ja) | 表面センサオフセット | |
US7918033B2 (en) | Method for correcting the measured values of a coordinate measuring machine, and coordinate measuring machine | |
JP7390117B2 (ja) | 工作機械対象物の位置計測方法及び位置計測システム | |
JP5297906B2 (ja) | 画像プローブの校正方法および形状測定機 | |
JP5297787B2 (ja) | 三次元測定機 | |
JP2018169180A (ja) | 内径測定装置およびそれを用いた内径測定方法 | |
JP4618616B2 (ja) | 数値制御装置 | |
JP3880030B2 (ja) | V溝形状測定方法及び装置 | |
JP5437693B2 (ja) | 主軸又はアタッチメント主軸の補正値自動計測方法 | |
US10222193B2 (en) | Method and apparatus for inspecting workpieces | |
EP3418682B1 (en) | Measuring method using touch probe | |
JP2009288227A (ja) | 三次元測定機 | |
JP2022127130A (ja) | 形状測定機の校正方法 | |
JP2006349411A (ja) | キャリブレーションゲージ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110601 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130205 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130312 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130502 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130702 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130709 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5317569 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |