JP5314683B2 - プローブウエハ、プローブ装置および試験システム - Google Patents
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Description
Claims (7)
- 複数の半導体チップが形成された半導体ウエハと電気的に接続するプローブ装置に用いられるプローブウエハであって、
表面から裏面まで貫通する複数の貫通孔が形成された試験用基板と、
前記試験用基板の表面に形成され、それぞれの前記半導体チップに対して少なくとも一つずつ設けられ、対応する前記半導体チップの入出力端子と電気的に接続する複数のウエハ側接続端子と、
少なくとも一つの前記貫通孔に対応して設けられ、それぞれ対応する前記貫通孔を囲むように形成された少なくとも一つのガードリングと
を備えるプローブウエハ。 - 前記ガードリングを接地電位に電気的に接続する接地配線を更に備える
請求項1に記載のプローブウエハ。 - 前記貫通孔は、前記試験用基板の面方向について、前記試験用基板全体に、均等に分布して配置される請求項1または2に記載にプローブウエハ。
- 複数の半導体チップが形成された半導体ウエハに対する電気的な接続を形成するプローブ装置であって、
表面から裏面まで貫通した貫通孔を有する試験用基板、および、
前記半導体チップのそれぞれに対応して少なくとも一つずつ前記試験用基板の表面に設けられて対応する前記半導体チップの入出力端子に電気的に接続される複数のウエハ側接続端子を有し、前記半導体ウエハに対向して配置されたプローブウエハと、
前記プローブウエハおよび前記半導体ウエハの間に配され、前記プローブウエハおよび前記半導体ウエハの間を電気的に接続する異方性導電膜と、
前記貫通孔を介して前記プローブウエハおよび前記異方性導電膜の間の空間を前記試験用基板の裏面から減圧することにより前記異方性導電膜を固定して、前記プローブウエハおよび前記異方性導電膜を電気的に接続する固定部と
を備え、
前記プローブウエハは、少なくとも一つの前記貫通孔に対応して設けられ、それぞれ対応する前記貫通孔を囲むように形成された少なくとも一つのガードリングを更に有する、プローブ装置。 - 前記プローブウエハは、前記ガードリングを接地電位に電気的に接続する接地配線を更に有する
請求項4に記載のプローブ装置。 - 前記異方性導電膜は、表面から裏面まで貫通した貫通孔を有する請求項4または5に記載のプローブ装置。
- 半導体ウエハに形成された複数の半導体チップを試験する試験システムであって、
チャンバと、
前記半導体ウエハを、前記チャンバ内に順次搬送する搬送装置と、
前記チャンバ内において、前記半導体ウエハと電気的に接続するプローブ装置と
を備え、
前記プローブ装置は、
表面から裏面まで貫通した複数の貫通孔を有する試験用基板、および、
前記半導体チップのそれぞれに対応して少なくとも一つずつ前記試験用基板の表面に設けられて対応する前記半導体チップの入出力端子に電気的に接続される複数のウエハ側接続端子を有し、前記半導体ウエハに対向して配置されたプローブウエハと、
前記プローブウエハおよび前記半導体ウエハの間に配され、前記プローブウエハおよび前記半導体ウエハの間を電気的に接続する異方性導電膜と、
前記複数の貫通孔を介して前記プローブウエハおよび前記異方性導電膜の間の空間を前記試験用基板の裏面から減圧することにより前記異方性導電膜を吸引して固定し、前記プローブウエハおよび前記異方性導電膜を電気的に接続する固定部と
を有し、
前記プローブウエハは、少なくとも一つの前記貫通孔に対応して設けられ、それぞれ対応する前記貫通孔を囲むように形成された少なくとも一つのガードリングを更に有する、試験システム。
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