JP5304980B2 - 流体輸送のためのマイクロリアクター - Google Patents
流体輸送のためのマイクロリアクター Download PDFInfo
- Publication number
- JP5304980B2 JP5304980B2 JP2007544975A JP2007544975A JP5304980B2 JP 5304980 B2 JP5304980 B2 JP 5304980B2 JP 2007544975 A JP2007544975 A JP 2007544975A JP 2007544975 A JP2007544975 A JP 2007544975A JP 5304980 B2 JP5304980 B2 JP 5304980B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluid
- annular passage
- openings
- inlet port
- passage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims description 97
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011149 active material Substances 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- WRIDQFICGBMAFQ-UHFFFAOYSA-N (E)-8-Octadecenoic acid Natural products CCCCCCCCCC=CCCCCCCC(O)=O WRIDQFICGBMAFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LQJBNNIYVWPHFW-UHFFFAOYSA-N 20:1omega9c fatty acid Natural products CCCCCCCCCCC=CCCCCCCCC(O)=O LQJBNNIYVWPHFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QSBYPNXLFMSGKH-UHFFFAOYSA-N 9-Heptadecensaeure Natural products CCCCCCCC=CCCCCCCCC(O)=O QSBYPNXLFMSGKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZQPPMHVWECSIRJ-UHFFFAOYSA-N Oleic acid Natural products CCCCCCCCC=CCCCCCCCC(O)=O ZQPPMHVWECSIRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005642 Oleic acid Substances 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001634 calcium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 235000014113 dietary fatty acids Nutrition 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229930195729 fatty acid Natural products 0.000 description 1
- 239000000194 fatty acid Substances 0.000 description 1
- 150000004665 fatty acids Chemical class 0.000 description 1
- 229920001600 hydrophobic polymer Polymers 0.000 description 1
- QXJSBBXBKPUZAA-UHFFFAOYSA-N isooleic acid Natural products CCCCCCCC=CCCCCCCCCC(O)=O QXJSBBXBKPUZAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- ZQPPMHVWECSIRJ-KTKRTIGZSA-N oleic acid Chemical compound CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCC(O)=O ZQPPMHVWECSIRJ-KTKRTIGZSA-N 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000010349 pulsation Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D7/00—Control of flow
- G05D7/01—Control of flow without auxiliary power
- G05D7/0186—Control of flow without auxiliary power without moving parts
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/87249—Multiple inlet with multiple outlet
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Micromachines (AREA)
Description
さらに、本発明の目的は、複数の均一な流体の流れを同時に生じさせることができる装置を提供することである。
第1入口ポート及び第2入口ポートを有するマニホールドと、第1環状通路及び第2環状通路と、第1開口の組と第2の開口の組を有し、各開口の組が、それぞれ2つ以上の開口を有している、分配要素とを含み、
前記第1入口ポートは、該第1入口ポートから前記第1環状通路に流体を運ぶように配置され、前記第2入口ポートは、該第2入口ポートから前記第2環状通路に流体を運ぶように配置されており、
前記第1開口の組は、前記第1環状通路に流体連通して、流体が、前記第1環状通路から均一な速度で前記第1開口の組の各開口を通って、前記マイクロ流体回路に流体を配給するための、それぞれの流体出口に流れることを可能にし、
前記第2開口の組は、前記第2環状通路に流体連通して、流体が、前記第2環状通路から均一な速度で前記第2開口の組の各開口を通って、前記マイクロ流体回路に流体を配給するための、それぞれの流体出口に流れることを可能にすることを特徴としている。
本発明に従う流体は、液体、気体、蒸気、又は超臨界的な流体であることが想像できる。
各開口の組は、一般的に複数の開口を含むが、これは、最終ユーザーによって必要とされる各流体に対する出口の数に依存する。
複数のマイクロ流体回路は、2つ以上に分割された液体の流れを生じさせるための分割流れ装置によって与えられる。
第1入口ポート及び第2入口ポートを含み、各入口ポートがそれぞれの入口ポートからそれぞれの環状通路に流体の輸送を与えるように配置されて、ほぼ均一な速度で流体の流れを作り出す装置と、
第1開口の組とその中に第2開口の組を有し、各開口の組が環状通路と流体連通し、そして、複数の開口を含み、1つの開口を介してそれぞれの流体出口に流体が流れ出ることができるように複数の開口を備えている分配要素と、
2つ以上の分割された液体の流れを生じさせるための分割流れ装置とを含んでいる。
(i)ほぼ均一な速度で流体の流れを作り出す装置と、
(ii)2つ以上の分割された流体の流れを生じさせる分割流れ装置とを含んでおり、
前記流体の流れを作り出す装置は、
第1入口ポートと第2入口ポートを有し、各入口ポートが、前記入口ポートからそれぞれの環状通路に流体の輸送を与えるように配置される、マニホールドと、
第1開口の組とその中に第2開口の組を有し、各開口の組が、少なくとも1つの開口を有し、かつ環状通路の1つと流体連通し、そして、前記環状通路から1つの開口を介してそれぞれの流体出口に流体が流れ出ることができるように配置されている、分配要素とを含んでいる。
図面を参照すると、同一の参照番号は、同一の部品を表わすために用いられ、参照番号1で示される、ほぼ均一な速度で流体の流れを作り出す装置が提供される。
疎水性のポリマーガスケット19と紫外線透過ガラス窓20がチップ15の頂部にクランプされている。上記クランプは、カバー部材21によって実行され、このカバー部材は、スクリュ24を用いてマニホールド2に固定される。カバーの頂部には、チップ上の空間的な領域を照明するための紫外線光源を収容するように設計された穴22がある。
Claims (15)
- 均一な速度で適切に複数の流体の流れを作り出し、複数の流体を多数のマイクロ流体回路に分配するための装置と、該装置から流れる複数の流体を受入れるように配置された多数の前記マイクロ流体回路とを含むマイクロリアクターであって、
前記マイクロ流体回路に分配するための装置は、
(a) 第1入口ポート及び第2入口ポートを有するマニホールドと、
(b) 第1環状通路及び第2環状通路と、
(c) 第1開口の組と第2の開口の組を有し、各開口の組が、それぞれ2つ以上の開口を有している、分配要素とを含み、
前記第1入口ポートは、該第1入口ポートから前記第1環状通路に流体を運ぶように配置され、前記第2入口ポートは、該第2入口ポートから前記第2環状通路に流体を運ぶように配置されており、
前記第1開口の組は、前記第1環状通路に流体連通し、かつ、流体が、前記第1環状通路から均一な速度で前記第1開口の組の各開口を通って、前記マイクロ流体回路に流体を配給するための、それぞれの流体出口に流れることを可能にしており、
前記第1開口の各々と前記各流体出口との間に各々1つの流れ制限器が設けられ、使用時に、流体が、前記第1開口から前記流れ制限器を通って前記流体出口に流れることにより、前記マニホールドを通る流体を所定の圧力に維持し、
前記第2開口の組は、前記第2環状通路に流体連通し、かつ、流体が、前記第2環状通路から均一な速度で前記第2開口の組の各開口を通って、前記マイクロ流体回路に流体を配給するための、それぞれの流体出口に流れることを可能にしており、
前記第2開口の各々と前記各流体出口との間に各々1つの流れ制限器が設けられ、使用時に、流体が、前記第2開口から前記流れ制限器を通って前記流体出口に流れることにより、前記マニホールドを通る流体を所定の圧力に維持することを特徴とするマイクロリアクター。 - 前記流れ制限器は、前記分配要素の分配通路内に配置されていることを特徴とする請求項1記載のマイクロリアクター。
- 前記流れ制限器は、前記分配通路の内部形状または構造を含んでいることを特徴とする請求項2記載のマイクロリアクター。
- 前記流れ制限器は、前記分配通路内に配置された一定長さのパイプまたは管を含んでいることを特徴とする請求項2記載のマイクロリアクター。
- 前記第1、第2環状通路の各々の外周寸法は、50mm〜300mmの範囲の平均直径であり、かつその断面寸法の平均幅及び平均深さは、それぞれ、1mm〜5mmの範囲であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載のマイクロリアクター。
- 前記第1、第2開口の各直径は、0.1mm〜3mmの範囲であることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載のマイクロリアクター。
- 前記第1環状通路の直径は、前記第2環状通路の直径と異なっていることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1項に記載のマイクロリアクター。
- 前記第1環状通路および前記第2環状通路の一方または両方の流路が連続していることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1項に記載のマイクロリアクター。
- 前記第1環状通路および前記第2環状通路の一方または両方の流路は、2つの隣接する開口間に1つのブレークを備えていることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1項に記載のマイクロリアクター。
- 前記ブレークは、45°またはそれ以下の角度を有することを特徴とする請求項9記載のマイクロリアクター。
- 前記第1入口ポートまたは前記第2入口ポートの近くにある前記第1環状通路及び前記第2環状通路の少なくとも一方の断面積は、前記第1入口ポートまたは前記第2入口ポートから離れた位置にある前記第1環状通路及び前記第2環状通路の断面積よりも大きいことを特徴とする請求項1ないし10のいずれか1項に記載のマイクロリアクター。
- 前記開口の断面積に対する前記環状通路の断面積の比は、5:1よりも大きいことを特徴とする請求項1ないし11のいずれか1項に記載のマイクロリアクター。
- 各流体入口ポートに対して、1つの環状通路と1つの開口の組を有することを特徴とする請求項1ないし12のいずれか1項に記載のマイクロリアクター。
- 前記マニホールドは、さらに少なくとも1つの入口ポートを有し、この入口ポートの各々は、前記入口ポートからそれぞれの環状通路に流体を輸送するように配置されていることを特徴とする請求項1ないし13のいずれか1項に記載のマイクロリアクター。
- 各環状通路が同軸構造に配置され、また、各開口の組における開口が、同軸構造に配置されていることを特徴とする請求項1ないし14のいずれか1項に記載のマイクロリアクター。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB0426766A GB0426766D0 (en) | 2004-12-06 | 2004-12-06 | Device for fluid transport |
GB0426766.2 | 2004-12-06 | ||
GB0502443.5 | 2005-02-07 | ||
GB0502443A GB0502443D0 (en) | 2004-12-06 | 2005-02-07 | Device for fluid transport |
PCT/GB2005/004689 WO2006061605A1 (en) | 2004-12-06 | 2005-12-06 | Device for fluid transport |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008522806A JP2008522806A (ja) | 2008-07-03 |
JP5304980B2 true JP5304980B2 (ja) | 2013-10-02 |
Family
ID=34073261
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007544975A Expired - Fee Related JP5304980B2 (ja) | 2004-12-06 | 2005-12-06 | 流体輸送のためのマイクロリアクター |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20080230129A1 (ja) |
JP (1) | JP5304980B2 (ja) |
CA (1) | CA2633550A1 (ja) |
GB (2) | GB0426766D0 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20100071614A1 (en) * | 2008-09-22 | 2010-03-25 | Momentive Performance Materials, Inc. | Fluid distribution apparatus and method of forming the same |
WO2010138693A1 (en) * | 2009-05-28 | 2010-12-02 | Cornell University | Microfabrication of high temperature microreactors |
US20110304105A1 (en) * | 2010-06-14 | 2011-12-15 | Li-Cor, Inc. | Diffusion and sorption free gaskets for gas exchange measurement systems |
US10170282B2 (en) * | 2013-03-08 | 2019-01-01 | Applied Materials, Inc. | Insulated semiconductor faceplate designs |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3854443A (en) * | 1973-12-19 | 1974-12-17 | Intel Corp | Gas reactor for depositing thin films |
US4792378A (en) * | 1987-12-15 | 1988-12-20 | Texas Instruments Incorporated | Gas dispersion disk for use in plasma enhanced chemical vapor deposition reactor |
US4993358A (en) * | 1989-07-28 | 1991-02-19 | Watkins-Johnson Company | Chemical vapor deposition reactor and method of operation |
JP3360098B2 (ja) * | 1995-04-20 | 2002-12-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理装置のシャワーヘッド構造 |
JPH0938447A (ja) * | 1995-07-25 | 1997-02-10 | Babcock Hitachi Kk | 吸収液分散装置と排煙脱硫装置 |
US5842787A (en) * | 1997-10-09 | 1998-12-01 | Caliper Technologies Corporation | Microfluidic systems incorporating varied channel dimensions |
US6206972B1 (en) * | 1999-07-08 | 2001-03-27 | Genus, Inc. | Method and apparatus for providing uniform gas delivery to substrates in CVD and PECVD processes |
JP4220075B2 (ja) * | 1999-08-20 | 2009-02-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜方法および成膜装置 |
US6533867B2 (en) * | 2000-11-20 | 2003-03-18 | Applied Epi Inc | Surface sealing showerhead for vapor deposition reactor having integrated flow diverters |
US6655829B1 (en) * | 2001-05-07 | 2003-12-02 | Uop Llc | Static mixer and process for mixing at least two fluids |
JP2003280126A (ja) * | 2002-01-18 | 2003-10-02 | Fuji Photo Film Co Ltd | ハロゲン化銀写真乳剤の製造方法および製造装置 |
JP4032128B2 (ja) * | 2002-08-01 | 2008-01-16 | 東ソー株式会社 | 微小流路構造体、構成されるデスクサイズ型化学プラント及びそれらを用いた微粒子製造装置 |
-
2004
- 2004-12-06 GB GB0426766A patent/GB0426766D0/en not_active Ceased
-
2005
- 2005-02-07 GB GB0502443A patent/GB0502443D0/en not_active Ceased
- 2005-12-06 CA CA 2633550 patent/CA2633550A1/en not_active Abandoned
- 2005-12-06 JP JP2007544975A patent/JP5304980B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2005-12-06 US US11/792,346 patent/US20080230129A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB0502443D0 (en) | 2005-03-16 |
CA2633550A1 (en) | 2006-06-15 |
JP2008522806A (ja) | 2008-07-03 |
US20080230129A1 (en) | 2008-09-25 |
GB0426766D0 (en) | 2005-01-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6818782B2 (ja) | 半導体処理用のガス分配シャワーヘッド | |
JP5345136B2 (ja) | 微細加工分離チャネルに試料及びキャリア液を分配する装置 | |
JP5304980B2 (ja) | 流体輸送のためのマイクロリアクター | |
KR840007361A (ko) | 농도 가변형 호스엔드 스프레이 | |
JP5665061B2 (ja) | 微小液滴の製造装置 | |
US8291935B1 (en) | Flexible gas mixing manifold | |
US7758814B2 (en) | Microfluidic fluid distribution manifold for use with multi-channel reactor systems | |
ATE313378T1 (de) | Mikrofluidische vorrichtungen mit verteilungseinlässen | |
TW201346065A (zh) | 氣體噴淋頭、其製造方法及薄膜生長反應器 | |
JP2005288254A (ja) | マイクロデバイスおよび流体の合流方法 | |
KR20050085326A (ko) | 정적 적층 마이크로 혼합기 | |
DE602007009175D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Mischen zweier oder mehrerer Fluidströme | |
DE60214167D1 (de) | Mehrlagige mikrofluidische verteilungsvorrichtung | |
US11919014B2 (en) | Nozzle assembly | |
JP4556849B2 (ja) | マイクロリアクタシステム | |
JP4892743B2 (ja) | 微細流路を用いた微小液滴の製造装置 | |
SE0202400D0 (sv) | FFE Array dispenser | |
AU2005313184B2 (en) | Device for fluid transport | |
TW200605951A (en) | Micro fluid chip | |
JP4592644B2 (ja) | マイクロリアクタ | |
JP2011036773A (ja) | 反応装置及び反応プラント | |
TW201009234A (en) | Laminated wall for uniform fluid flow | |
WO2017212851A1 (ja) | 流量制御装置、エミッタおよび点滴灌漑用チューブ | |
JP2008012499A (ja) | 分配器 | |
CN208407024U (zh) | 一种微流控复乳液液滴生成装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081001 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100618 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100707 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20101006 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20101014 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101217 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111221 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20120319 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20120327 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120613 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120620 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130403 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130415 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130515 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130611 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5304980 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |