JP5292703B2 - 振動アクチュエータ - Google Patents

Description

この発明は、振動アクチュエータに係り、特にステータに超音波振動を発生させることによりステータに接触されたロータを回転駆動する振動アクチュエータに関する。
に関する。

近年、超音波振動を利用してロータを回転させる振動アクチュエータが提案され、実用化されている。この振動アクチュエータは、圧電素子を用いてステータの表面に楕円運動または進行波を発生させ、ステータにロータを加圧接触させることによりこれら両者間の摩擦力を介してロータを移動させるものである。
例えば、特許文献１には、ロータ表面に固定された回転シャフトにベアリングを介してバネを連結することによりロータをステータに加圧接触させ、この状態で互いに重ね合わされた複数の圧電素子板に駆動電圧を印加してステータに超音波振動を発生させることでロータを回転させる振動アクチュエータが開示されている。

特開２００４−３１２８０９号公報

しかしながら、上述の特許文献１のように、ロータがステータに接触すると共にロータの回転シャフトがベアリングに接触した状態でロータが回転されると、それらの接触部分に摩耗が生じるという問題があった。
この発明はこのような問題点を解消するためになされたもので、ロータの回転に伴う摩耗を低減することができる振動アクチュエータを提供することを目的とする。

この発明に係る振動アクチュエータは、凹部を有するステータと、ステータの凹部の開口端周縁部に接触して配置されるロータと、ステータに対してロータを加圧する予圧手段と、ステータに超音波振動を発生させることによりロータを回転させる振動手段と、ロータが接触するステータの凹部の開口端周縁部及びロータと予圧手段との接触部分のうち少なくとも凹部の開口端周縁部に潤滑剤を供給する潤滑剤供給手段とを有し、潤滑剤供給手段は、ステータ及び予圧手段のうち少なくともステータに形成されると共にその内部に潤滑剤が収容された潤滑剤収容部を有し、ステータの潤滑剤収容部は、凹部であり、凹部の開口端周縁部に潤滑剤を供給する潤滑剤供給手段では、凹部の開口端周縁部に接触するロータの表面の一部が凹部内に突出するように位置して凹部内の潤滑剤と接触し、ロータの表面と接触する凹部内の潤滑剤がロータの表面に付着し、凹部内の潤滑剤が付着したロータの表面がロータの回転に伴って移動することにより凹部の開口端周縁部に潤滑剤が供給されるものである。
また、上記の振動アクチュエータにおいて、予圧手段におけるロータとの接触部分には、予圧手段におけるロータが接触する側にロータに向かって開いた予圧手段凹部が、予圧手段の潤滑剤収容部として形成され、ロータと予圧手段との接触部分に潤滑剤を供給する潤滑剤供給手段では、予圧手段に接触するロータの表面の一部が予圧手段凹部内に位置して予圧手段凹部内の潤滑剤と接触するようにしてもよい。
また、上記の振動アクチュエータにおいて、ロータと予圧手段との接触部分に潤滑剤を供給する潤滑剤供給手段は、予圧手段に配置されると共に潤滑剤を含有してロータに接触する潤滑剤含有部材を有してもよい。

潤滑剤含有部材は、例えば、金属からなる多孔質部材に潤滑剤を含浸させたものから形成することができる。このように金属を用いると、樹脂等の材料を用いるよりも耐熱性が良くなるため、摩擦駆動に好適である。このとき、例えば潤滑油を潤滑剤として用いることができる。

さらに、潤滑剤供給手段に対して潤滑剤を補給するための補給経路を備えてもよい。

この発明によれば、ロータの回転に伴う摩耗を低減することができる。

以下、この発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
実施の形態１．
図１に、この発明の実施の形態１に係る振動アクチュエータを示す。この振動アクチュエータは、超音波振動を利用して回転体を回転する超音波アクチュエータである。基部ブロック１とステータ２との間に円筒状の振動手段３が挟持されると共に、基部ブロック１とステータ２とが振動手段３内に通された連結ボルト４を介して互いに連結されており、振動アクチュエータ全体としてほぼ円柱状の外形を有している。ここで、説明の便宜上、基部ブロック１からステータ２へと向かう円柱状の外形の中心軸をＺ軸と規定し、Ｚ軸に対して垂直方向にＸ軸が、Ｚ軸及びＸ軸に対して垂直にＹ軸がそれぞれ延びているものとする。
振動手段３は、それぞれＸＹ平面上に位置し且つ互いに重ね合わされた平板状の第１〜第３の圧電素子部３１〜３３を有している。これら第１〜第３の圧電素子部３１〜３３がそれぞれ駆動回路５に電気的に接続されている。

ステータ２には、振動手段３に接する面とは反対側の面に、凹部６が形成されており、この凹部６内にグリス等の潤滑剤Ｇが収容されている。ステータ２の凹部６の開口端周縁部にはＸＹ平面上に位置する環状の角部７が形成されており、この角部７には、ステータ２の凹部６の内径よりも大きい直径を有する略球体状のロータ８が回転自在に接触配置されている。ここで、ロータ８の表面の一部がステータ２の凹部６内に位置すると共に、この凹部６内において潤滑剤Ｇはロータ８の表面に接する高さまで収容されている。
また、ステータ２には、凹部６に連通すると共にこの凹部６に潤滑剤Ｇを補給するための補給経路９が形成されており、補給経路９は凹部６からステータ２の側面まで延在してこの側面で開口している。補給経路９の開口部に栓部材１０が脱着可能に嵌合されている。

ステータ２の上面の上には、ロータ８の上方にアーチ状に架け渡される支持部材１１が固定されており、支持部材１１のほぼ中央部には、予圧部１２がロータ８のほぼ頂部の表面に当接するように垂下支持されている。予圧部１２には、ロータ８に当接する面に、潤滑剤収容部としての下方に向かって開いた凹部１３が形成されており、この凹部１３内にもステータ２の凹部６と同様に、グリス等からなる潤滑剤Ｇが収容されている。ロータ８の表面の一部が予圧部１２の凹部１３内に位置すると共に、この凹部１３内において潤滑剤Ｇがロータ８の表面に接している。予圧部１２の側部には、凹部１３に連通すると共にこの凹部１３に潤滑剤Ｇを補給するための補給経路である開口部が形成されており、この開口部に栓部材１４が脱着可能に嵌合されている。

また、予圧部１２は、凹部１３の開口周縁部に、ロータ８の表面形状に対応した形状を有する予圧面１５を有しており、この予圧面１５はロータ８の＋Ｚ軸方向の最高点である頂部付近に接触している。支持部材１１は弾性を有し、これにより予圧部１２の予圧面１５がロータ８に圧接され、ロータ８に−Ｚ軸方向の加圧力を付与している。したがって、予圧部１２によりロータ８がステータ２に対し加圧されている。これら予圧部１２と支持部材１１により、この発明の予圧手段が構成されている。

図２に示されるように、第１の圧電素子部３１は、それぞれ円板形状を有する電極板３１ａ、圧電素子板３１ｂ、電極板３１ｃ、圧電素子板３１ｄ及び電極板３１ｅが順次重ね合わされた構造を有している。同様に、第２の圧電素子部３２は、それぞれ円板形状を有する電極板３２ａ、圧電素子板３２ｂ、電極板３２ｃ、圧電素子板３２ｄ及び電極板３２ｅが順次重ね合わされた構造を有し、第３の圧電素子部３３は、それぞれ円板形状を有する電極板３３ａ、圧電素子板３３ｂ、電極板３３ｃ、圧電素子板３３ｄ及び電極板３３ｅが順次重ね合わされた構造を有している。これらの圧電素子部３１〜３３が絶縁シート３４〜３７を介してステータ２及び基部ブロック１から、また互いに絶縁された状態で配置されている。

図３に示されるように、第１の圧電素子部３１の一対の圧電素子板３１ｂ及び３１ｄは、Ｙ軸方向に２分割された部分が互いに逆極性を有してそれぞれＺ軸方向（厚み方向）に膨張と収縮の反対の変形挙動を行うように分極されており、圧電素子板３１ｂと圧電素子板３１ｄは互いに裏返しに配置されている。
第２の圧電素子部３２の一対の圧電素子板３２ｂ及び３２ｄは、２分割されることなく全体がＺ軸方向（厚み方向）に膨張あるいは収縮の変形挙動を行うように分極されており、圧電素子板３２ｂと圧電素子板３２ｄは互いに裏返しに配置されている。
第３の圧電素子部３３の一対の圧電素子板３３ｂ及び３３ｄは、Ｘ軸方向に２分割された部分が互いに逆極性を有してそれぞれＺ軸方向（厚み方向）に膨張と収縮の反対の変形挙動を行うように分極されており、圧電素子板３３ｂと圧電素子板３３ｄは互いに裏返しに配置されている。

第１の圧電素子部３１の両面部分に配置されている電極板３１ａ及び電極板３１ｅと、第２の圧電素子部３２の両面部分に配置されている電極板３２ａ及び電極板３２ｅと、第３の圧電素子部３３の両面部分に配置されている電極板３３ａ及び電極板３３ｅがそれぞれ電気的に接地されている。また、第１の圧電素子部３１の一対の圧電素子板３１ｂ及び３１ｄの間に配置されている電極板３１ｃと、第２の圧電素子部３２の一対の圧電素子板３２ｂ及び３２ｄの間に配置されている電極板３２ｃと、第３の圧電素子部３３の一対の圧電素子板３３ｂ及び３３ｄの間に配置されている電極板３３ｃがそれぞれ駆動回路５に電気的に接続されている。

次に、この実施の形態１に係る振動アクチュエータの動作について説明する。
まず、振動手段３に対して、第１の圧電素子部３１の電極板３１ｃにステータ２の固有振動数に近い周波数の交流電圧を印加すると、第１の圧電素子部３１の一対の圧電素子板３１ｂ及び３１ｄの２分割された部分がＺ軸方向に膨張と収縮を交互に繰り返し、ステータ２にＹ軸方向のたわみ振動を発生する。同様に、第２の圧電素子部３２の電極板３２ｃに交流電圧を印加すると、第２の圧電素子部３２の一対の圧電素子板３２ｂ及び３２ｄがＺ軸方向に膨張と収縮を繰り返し、ステータ２にＺ軸方向の縦振動を発生する。さらに、第３の圧電素子部３３の電極板３３ｃに交流電圧を印加すると、第３の圧電素子部３３の一対の圧電素子板３３ｂ及び３３ｄの２分割された部分がＺ軸方向に膨張と収縮を交互に繰り返し、ステータ２にＸ軸方向のたわみ振動を発生する。

そこで、例えば、駆動回路５から第１の圧電素子部３１の電極板３１ｃと第２の圧電素子部３２の電極板３２ｃとの双方に位相を９０度シフトさせた交流電圧をそれぞれ印加すると、Ｙ軸方向のたわみ振動とＺ軸方向の縦振動とが組み合わされて、ロータ８と接触するステータ２の角部７にＹＺ面内の楕円振動が発生し、摩擦力を介してロータ８がＸ軸回りに回転する。
同様に、駆動回路５から第２の圧電素子部３２の電極板３２ｃと第３の圧電素子部３３の電極板３３ｃとの双方に位相を９０度シフトさせた交流電圧をそれぞれ印加すると、Ｘ軸方向のたわみ振動とＺ軸方向の縦振動とが組み合わされて、ロータ８と接触するステータ２の角部７にＸＺ面内の楕円振動が発生し、摩擦力を介してロータ８がＹ軸回りに回転する。
さらに、駆動回路５から第１の圧電素子部３１の電極板３１ｃと第３の圧電素子部３３の電極板３３ｃとの双方に位相を９０度シフトさせた交流電圧をそれぞれ印加すると、Ｘ軸方向のたわみ振動とＹ軸方向のたわみ振動とが組み合わされて、ロータ８と接触するステータ２の角部７にＸＹ面内の楕円振動が発生し、摩擦力を介してロータ８がＺ軸回りに回転する。

このようにして振動手段３を駆動することにより、ロータ８をＸ、Ｙ、Ｚの３軸の回りにそれぞれ回転させることができる。

ここで、ステータ２の凹部６及び予圧部１２の凹部１３の内部にそれぞれ収容されている潤滑剤Ｇにロータ８の表面が接して、ロータ８の表面に潤滑剤Ｇが付着する。このように潤滑剤Ｇが付着したロータ８の表面部分がロータ８の回転に伴って移動することにより、ロータ８の表面に接触するステータ２の角部７及び予圧部１２の予圧面１５にそれぞれ潤滑剤Ｇが供給され、これにより、ステータ２及び予圧部１２とロータ８とのそれぞれの接触部分における摩耗を低減することができる。また、それらの接触部分における騒音の発生等を抑制することもできる。
また、潤滑剤Ｇにより、ロータ８、ステータ２の角部７及び予圧部１２の予圧面１５における表面の凹凸や表面粗さが潤滑剤Ｇにより低減され、それらに起因したロータ８の回転方向のずれ及び蛇行等が抑制される。したがって、ロータ８を精度よく且つ安定して回転させることが可能である。

また、予圧部１２の予圧面１５とロータ８の表面との間が潤滑されながら予圧部１２によりロータ８に加圧力を作用させるため、予圧部１２とロータ８との接触による摩擦損失を低減することができる。
また、ステータ２の栓部材１０を取り外して補給経路９の開口部に潤滑剤Ｇを注入することにより、補給経路９を介してステータ２の凹部６内に潤滑剤Ｇを補給することができる。
同様に、予圧部１２の栓部材１４を取り外して開口部に潤滑剤Ｇを注入することで予圧部１２の凹部１３内に潤滑剤Ｇを補給することができる。

ここで、この実施の形態１の振動アクチュエータにおいて、シリコン系グリス及び鉱油系グリスをそれぞれ潤滑剤Ｇとして使用する場合と、潤滑剤Ｇの供給を行わないドライの場合に、予圧部１２によりロータ８に付与する加圧力を変化させたときの保持トルク及び駆動トルクをそれぞれ図４及び５に示す。
潤滑剤Ｇとしてシリコン系グリスを使用すれば、ドライの場合とほぼ同等の保持トルクが得られる。また、鉱油系グリスを潤滑剤Ｇとして使用すると、ドライの場合に比べて保持トルク及び駆動トルクが低下するが、予圧部１２による加圧力を大きくすることで、ドライの場合と同等の保持トルク及び駆動トルクを得ることができる。
このように予圧部１２による加圧力を大きくしても、潤滑剤Ｇの効果により、ステータ２及び予圧部１２とロータ８とのそれぞれの接触部分における摩耗を低減することができると共に、ロータ８の回転方向のズレ及び蛇行等を抑制することができる。

実施の形態２．
次に、図６を参照して、この発明の実施の形態２に係る振動アクチュエータを説明する。この実施の形態２は、図１に示した実施の形態１の振動アクチュエータにおいて、ステータ２の凹部６及び予圧部１２の凹部１３内に収容された潤滑剤Ｇをロータ８の表面に直接接触させる代わりに、潤滑剤Ｇを含有した潤滑剤含有部材をロータ８の表面に接触させたものである。

ステータ２の凹部６の開口端周縁部に環状の潤滑剤含有部材２１が配置され、この潤滑剤含有部材２１により形成される環状の角部２４にロータ８が回転自在に接触配置されている。
また、支持部材１１のほぼ中央から垂下支持された予圧部２３の下端に凹状円錐面形状の予圧面を形成する潤滑剤含有部材２２が貼設され、この潤滑剤含有部材２２がロータ８の頂部付近の表面に当接している。このような凹状円錐面形状を有することで、略球体状のロータ８の表面に接触しやすくなる。支持部材１１の弾性により、予圧部２３の潤滑剤含有部材２２がロータ８に圧接され、ロータ８に−Ｚ軸方向の加圧力を付与しており、これによりロータ８がステータ２に対して加圧されている。

潤滑剤含有部材２１及び２２は、金属からなる多孔質部材に潤滑剤Ｇを含浸させたものであり、自己潤滑性を有している。この潤滑剤Ｇとして潤滑油を用いることが好ましい。
これらの潤滑剤含有部材２１及び２２を介してステータ２及び予圧部２３がそれぞれロータ８に接触しているため、ステータ２及び予圧部２３とロータ８とのそれぞれの接触部分における摩耗を低減することができる。また、これらの接触部分におけるロータ８、潤滑剤含有部材２１及び潤滑剤含有部材２２の表面の凹凸や表面粗さ等が潤滑剤Ｇにより低減され、ロータ８の回転方向のずれ及び蛇行等が抑制される。
したがって、実施の形態１と同様の効果が得られる。

なお、潤滑剤含有部材２１及び２２は、金属からなる多孔質部材に潤滑剤Ｇを含浸させたものから構成されていたが、その代わりに、焼結体等からなる多孔質部材に潤滑剤Ｇを含浸させたものから構成することもできる。

実施の形態３．
次に図７を参照して、この発明の実施の形態３に係る振動アクチュエータを説明する。この実施の形態３は、図１に示した実施の形態１の振動アクチュエータにおいて、ステータ２の凹部６及び予圧部１２の凹部１３内に収容された潤滑剤Ｇをロータ８の表面に直接接触させる代わりに、ロータ８の表面に接触させた多孔質部材を介して潤滑剤Ｇをロータ８の表面に供給するものである。

ステータ２の凹部６の開口端周縁部に環状の多孔質部材４１が配置され、この多孔質部材４１により形成される環状の角部４３にロータ８が回転自在に接触配置されている。多孔質部材４１の下部には多孔質部材４１を一面とする環状のチャンバ４４が形成され、チャンバ４４に、潤滑剤Ｇの補給経路としての供給管４５の一端部が接続されると共に、この供給管４５の他端部がステータ２の外部に引き出されて図示しない潤滑剤供給装置に接続されている。
また、予圧部１２の凹部１３の開口部に多孔質部材４２が配置されると共に凹部１３に、潤滑剤Ｇの補給経路としての供給管４６の一端部が接続されており、この供給管４６の他端部も上記の潤滑剤供給装置に接続されている。

図示しない潤滑剤供給装置により供給管４５及び４６を介してチャンバ４４及び凹部１３内にそれぞれ潤滑剤Ｇを圧送すると、潤滑剤Ｇが多孔質部材４１及び４２を浸透してロータ８の表面に供給される。
したがって、ステータ２及び予圧部１２とロータ８とのそれぞれの接触部分における摩耗を低減することができる。また、それらの接触部分におけるロータ８、ステータ２の角部４３及び予圧部１２の予圧面１５の表面の凹凸や表面粗さ等が潤滑剤Ｇにより低減され、ロータ８の回転方向のずれ及び蛇行等が抑制される。
これにより、実施の形態１と同様の効果が得られる。

なお、上述の実施の形態１〜３における３種類の潤滑剤供給手段のうち必ずしも同じ種類のものをステータ２及び予圧部１２，２３の双方に設ける必要はなく、３種類の潤滑剤供給手段のうち互いに異なる２種類を選択してそれぞれステータ２及び予圧部１２，２３に設けることもできる。

また、上述の実施の形態１〜３では、ステータ２と予圧部１２及び２３の双方に潤滑剤供給手段をそれぞれ設けていたが、ステータ２と予圧部１２及び２３の一方にだけ潤滑剤供給手段を設けることもできる。
例えば、実施の形態１〜３における予圧部１２及び２３にだけ潤滑剤供給手段を設けると共に、潤滑剤供給手段により予圧部１２及び２３とロータ８との接触部分に供給された潤滑剤Ｇがロータ８の回転に伴ってステータ２とロータ８との接触部分にまで到達しないようにロータ８の回転角度を規制する。このように構成すれば、ステータ２とロータ８との接触部分では摩擦力を介してロータ８に効果的に回転力を伝達しながら、予圧部１２及び２３とロータ８との接触部分における摩耗及び摩擦損失を低減することができ、これにより高トルクで高効率な振動アクチュエータを実現することができる。

また、ロータ８に、実施の形態１〜３のいずれかの潤滑剤供給手段を設けてもよい。特に、ロータ８に、実施の形態３における潤滑剤供給手段を設ける場合には、例えばロータ８の表面の少なくとも一部に多孔質部材を配置すると共に、ロータ８の内部に多孔質部材に接続する補給経路を設け、この補給経路を介して多孔質部材に潤滑剤を圧送することにより、潤滑剤Ｇが多孔質部材を浸透してロータ８の表面に供給されるように構成することができる。
したがって、ロータ８、ステータ２及び予圧部１２，２３の少なくとも１つに潤滑剤供給手段を設けることができる。

実施の形態４．
次に図８を参照して、この発明の実施の形態４に係る振動アクチュエータを説明する。この実施の形態４は、図１に示した実施の形態１の振動アクチュエータにおいて、ステータ２の凹部６及び予圧部１２の凹部１３内に収容された潤滑剤Ｇをロータ８の表面に直接接触させる代わりに、ロータ８を密閉された空間に収容してこの空間内を潤滑剤Ｇで満たすものである。

ステータ２の上面の上に、ロータ８の周囲全体を覆う筐体状の支持部材５１が固定されて密閉されており、この支持部材５１内に潤滑剤Ｇが充填されている。支持部材５１の天井面のほぼ中央部に予圧部５２が垂下支持されており、予圧部５２はその下端に形成された凹状円錐面形状の予圧面５３でロータ８の頂部付近の表面に当接している。支持部材５１の弾性により、予圧部５２の予圧面５３がロータ８に圧接され、ロータ８に−Ｚ軸方向の加圧力を付与しており、これによりロータ８がステータ２に対して加圧されている。

ロータ８の周囲全体が潤滑剤Ｇにより覆われているため、ステータ２及び予圧部５２とロータ８とのそれぞれの接触部分における摩耗を低減することができる。また、それらの接触部分におけるロータ８、ステータ２の角部７及び予圧部５２の予圧面５３の表面の凹凸や表面粗さ等が潤滑剤Ｇにより低減され、ロータ８の回転方向のずれ及び蛇行等が抑制される。
これにより、実施の形態１と同様の効果が得られる。

なお、上述の実施の形態１〜４における潤滑剤Ｇとして、各種のグリスの他、潤滑油等も用いることができる。
また、特に実施の形態２では、潤滑剤Ｇとして固体潤滑剤を潤滑剤含有部材２１及び２２に含有させることもできる。
また、実施の形態４では、潤滑油Ｇが充填された空間内でロータ８が回転するので、粘度の低い潤滑油を潤滑剤Ｇとして用いることが好ましい。

上述の実施の形態１〜４では、支持部材１１及び５１により垂下支持された予圧部１２，２３，５２がロータ８の頂部付近に当接して加圧力を付与することでロータ８をステータ２に対し加圧する予圧手段を用いたが、これに限定されるものではなく、ロータ８をステータ２に対し加圧することができる各種の予圧手段を用いることが可能である。
例えば、ロータ８がその表面に突出形成される出力軸部材を有し、予圧手段がこの出力軸部材に接触してロータをステータに加圧するように構成することもできる。その場合にも、ロータの出力軸部材と予圧手段との接触部分にこの発明の潤滑剤供給手段を適用して潤滑剤を供給することができる。

また、上記実施の形態において、ステ―タ２とロータ８との接触は角部７，２４，４３であったが、この構成に限らない。楕円運動が伝達できれば平面で接触するようにしても曲面で接触しても良いし、環状でなくてもよい。
また、上記各実施の形態では、ステータ２とロータ８との接触部分に楕円運動を発生させていたが、各軸方向の振幅を制御することで円運動を発生させても良い。

なお、実施の形態１〜４では、ロータ８が略球体状であり、振動手段３によりステータ２を振動させてロータ８を複数の軸回りに回転させる多自由度の振動アクチュエータについて説明したが、これに限定されるものではなく、この発明は、ロータを単一の軸の回りに回転させる１自由度の振動アクチュエータにも適用することができる。

この発明の実施の形態１に係る振動アクチュエータを示す断面図である。 実施の形態１で用いられた振動手段の構成を示す部分断面図である。 実施の形態１で用いられた圧電素子手段の３対の圧電素子板の分極方向を示す斜視図である。 予圧部による加圧力の変化に対する保持トルクの関係を示すグラフである。 予圧部による加圧力の変化に対する駆動トルクの関係を示すグラフである。 実施の形態２に係る振動アクチュエータを示す断面図である。 実施の形態３に係る振動アクチュエータを示す断面図である。 実施の形態４に係る振動アクチュエータを示す断面図である。

符号の説明

１ 基部ブロック、２ ステータ、３ 振動手段、４ 連結ボルト、５ 駆動回路、６，１３ 凹部、７，２４，４３ 角部、８ ロータ、９ 補給経路、１０，１４ 栓部材、１１，５１ 支持部材、１２，２３，５２ 予圧部、１３ 先端部材、１５，５３ 予圧面、２１，２２ 潤滑剤含有部材、３１ 第１の圧電素子部、３２ 第２の圧電素子部、３３ 第３の圧電素子部、３１ａ，３１ｃ，３１ｅ，３２ａ，３２ｃ，３２ｅ，３３ａ，３３ｃ，３３ｅ 電極板、３１ｂ，３１ｄ，３２ｂ，３２ｄ，３３ｂ，３３ｄ 圧電素子板、４１，４２ 多孔質部材、４４ チャンバ、４５，４６ 供給管、Ｇ 潤滑剤。

Claims (6)

1. 凹部を有するステータと、
   前記ステータの前記凹部の開口端周縁部に接触して配置されるロータと、
   前記ステータに対して前記ロータを加圧する予圧手段と、
   前記ステータに超音波振動を発生させることにより前記ロータを回転させる振動手段と、
   前記ロータが接触する前記ステータの前記凹部の開口端周縁部及び前記ロータと前記予圧手段との接触部分のうち少なくとも前記凹部の開口端周縁部に潤滑剤を供給する潤滑剤供給手段と
   を有し、
   前記潤滑剤供給手段は、前記ステータ及び前記予圧手段のうち少なくとも前記ステータに形成されると共にその内部に潤滑剤が収容された潤滑剤収容部を有し、
   前記ステータの前記潤滑剤収容部は、前記凹部であり、
   前記凹部の開口端周縁部に潤滑剤を供給する前記潤滑剤供給手段では、前記凹部の開口端周縁部に接触する前記ロータの表面の一部が前記凹部内に突出するように位置して前記凹部内の潤滑剤と接触し、前記ロータの表面と接触する前記凹部内の潤滑剤が前記ロータの表面に付着し、前記凹部内の潤滑剤が付着した前記ロータの表面が前記ロータの回転に伴って移動することにより前記凹部の開口端周縁部に潤滑剤が供給されることを特徴とする振動アクチュエータ。
2. 前記予圧手段における前記ロータとの接触部分には、前記予圧手段における前記ロータが接触する側に前記ロータに向かって開いた予圧手段凹部が、前記予圧手段の前記潤滑剤収容部として形成され、
   前記ロータと前記予圧手段との接触部分に潤滑剤を供給する前記潤滑剤供給手段では、前記予圧手段に接触する前記ロータの表面の一部が前記予圧手段凹部内に位置して前記予圧手段凹部内の潤滑剤と接触することを特徴とする請求項１に記載の振動アクチュエータ。
3. 前記ロータと前記予圧手段との接触部分に潤滑剤を供給する潤滑剤供給手段は、前記予圧手段に配置されると共に潤滑剤を含有して前記ロータに接触する潤滑剤含有部材を有することを特徴とする請求項１または２に記載の振動アクチュエータ。
4. 前記潤滑剤含有部材は、金属からなる多孔質部材に潤滑剤を含浸させたものである請求項３に記載の振動アクチュエータ。
5. 前記潤滑剤は、潤滑油である請求項４に記載の振動アクチュエータ。
6. 前記潤滑剤供給手段に対して潤滑剤を補給するための補給経路をさらに備える請求項１〜５のいずれか一項に記載の振動アクチュエータ。

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