JP5737195B2 - 振動アクチュエータ - Google Patents

振動アクチュエータ Download PDF

Info

Publication number
JP5737195B2
JP5737195B2 JP2012002704A JP2012002704A JP5737195B2 JP 5737195 B2 JP5737195 B2 JP 5737195B2 JP 2012002704 A JP2012002704 A JP 2012002704A JP 2012002704 A JP2012002704 A JP 2012002704A JP 5737195 B2 JP5737195 B2 JP 5737195B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
stator
roller
vibration actuator
vibration
connecting member
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2012002704A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2013143827A (ja
Inventor
真也 浅井
真也 浅井
高三 正己
正己 高三
昭宏 鈴木
昭宏 鈴木
合田 泰之
泰之 合田
幹士 撰
幹士 撰
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toyota Industries Corp
Original Assignee
Toyota Industries Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toyota Industries Corp filed Critical Toyota Industries Corp
Priority to JP2012002704A priority Critical patent/JP5737195B2/ja
Priority to PCT/JP2012/081738 priority patent/WO2013105369A1/ja
Publication of JP2013143827A publication Critical patent/JP2013143827A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5737195B2 publication Critical patent/JP5737195B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/10Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/103Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors by pressing one or more vibrators against the rotor
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/0005Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
    • H02N2/001Driving devices, e.g. vibrators
    • H02N2/003Driving devices, e.g. vibrators using longitudinal or radial modes combined with bending modes
    • H02N2/0035Cylindrical vibrators

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Description

この発明は、振動アクチュエータに関し、特に、超音波振動を用いて回転体を回転させる振動アクチュエータに関する。
振動アクチュエータの従来技術としては、例えば、特許文献1に開示された超音波モータを挙げることができる。
特許文献1に開示された超音波モータは、圧電振動子と、圧電振動子の底面に設けた振動拡大部材と、圧電振動子の上面に設けた低弾性率部材を備えている。
圧電振動子の周囲には案内ケースが配置され、この案内ケースの上面に加圧部材が設けられ、案内ケースの側部を嵌め合わせた案内板が備えられている。
そして、超音波モータでは、振動拡大突起の先端は移動体に圧接させている。
この超音波モータによれば、案内ケースは、圧電振動子の屈曲振動及び伸縮振動に対しても、圧電振動子を加圧方向と垂直な方向へ移動させずに、加圧方向のみに案内する。
したがって、圧電振動子の移動体との圧接部位は滑らないので、圧電振動子の圧接部位 に設けた振動拡大部材と移動体との間に大きな加圧力が加わり、大きなトルクを発生させるとともに、トルクを安定させるとしている。
特開2007−189899号公報
しかしながら、特許文献1に開示された超音波モータは、大きなトルクを発生させるとともに、トルクを安定させるとしているものの、案内ケースが圧電振動子の周囲に配置される構造であるため、超音波モータの体格が大きくなるという問題がある。
本発明は上記の問題点に鑑みてなされたもので、本発明の目的は、体格が小さくても大きなトルクを安定して得ることができる振動アクチュエータの提供にある。
上記の課題を解決するために、本発明は、ステータと、前記ステータにより接触支持されるローラと、前記ローラを回転可能に支持する回転軸と、前記ステータに連結されると共に前記ステータと前記ローラの接触部分に超音波振動を発生させて前記ローラを回転させる振動手段と、前記回転軸に連結されて前記回転軸を前記ステータに向かって付勢することにより前記ローラを前記ステータに対して加圧する予圧手段とを備える振動アクチュエータにおいて、前記予圧手段は、前記ローラの両側において前記回転軸と連結される一対の連結部を有する連結部材と、を備え、前記ステータは、前記連結部材を収容する空間部を備え、前記連結部材は、前記ローラの外周面と対向する対向面を備え、潤滑剤を含む潤滑部材が前記対向面に設置されていることを特徴とする。
本発明によれば、予圧手段の一部を構成する連結部材はステータの内部の空間部に収容され、振動アクチュエータの体格を小さくすることができる。
また、連結部材は振動手段の振動を妨げることないことから、体格が小さくても大きなトルクを安定して得ることができる。
また、潤滑部材を連結部材の対向面に設置することによりローラとステータとの潤滑を促進する潤滑剤をローラに供給することができる。
また、潤滑部材はローラ、ステータおよび連結部材に囲まれるため脱落することはなく、潤滑部材を連結部材に固定するための手段が不要となる。
また、上記の振動アクチュエータにおいて、前記予圧手段は、前記ステータおよび前記振動手段の内部を貫通し、前記連結部材と連結される連結ロッドと、前記ロッドに連結され、前記回転軸を前記ステータに向かって付勢する付勢部材と、を備えた構成としてもよい。
この場合、連結ロッドが振動手段の内部を貫通することから、ロッドを振動手段の外部に設ける必要がなく、振動アクチュエータの体格をさらに小さくすることができる。
また、上記の振動アクチュエータにおいて、前記ローラは単一である構成としてもよい。
この場合、ローラを単一にすることで加工精度が上がり、またローラを複数個組み付ける際に発生する組付精度のばらつきも無い。したがって、振動アクチュエータはより安定したトルクを得ることができる。
また、上記の振動アクチュエータにおいて、前記ステータと接続されるケース部材が設けられ、前記ケース部材は、前記付勢部材を収容する空間を備えている構成としてもよい。
この場合、付勢部材をケース部材の空間部に収容することができ、付勢部材を外部に設ける必要がない。
このため、振動アクチュエータの体格をさらに小さくすることができる。
また、上記の振動アクチュエータにおいて、前記連結部材は、固定用の固定部を有する構成としてもよい。
この場合、固定部を介して振動アクチュエータを固定先に固定することができる。
振動アクチュエータが固定された状態であっても、固定される連結部材は振動手段の振動を妨げることなく、体格が小さくても大きなトルクを安定して得ることができる。
本発明によれば、体格が小さくても大きなトルクを安定して得ることができる振動アクチュエータを提供することができる。
第1の実施形態に係る振動アクチュエータの斜視図である。 第1の実施形態に係る振動アクチュエータの側面図である。 図2のA−A線の矢視図である。 第1の実施形態に係る振動アクチュエータの要部の分解斜視図である。 第2の実施形態に係る振動アクチュエータの側面図である。 図5のB−B線の矢視図である。 変形例に係る振動アクチュエータの側面図である。
(第1の実施形態)
以下、第1の実施形態に係る振動アクチュエータについて図面を参照して説明する。
図1に示す振動アクチュエータ10は、超音波振動を利用して回転体を回転させる超音波アクチュエータである。
図1に示すように、振動アクチュエータ10は、円筒状の基部11と、ステータ13と、圧電素子17と、回転軸34を備えたローラ30と、回転軸34と連結される連結部材37と、付勢部材としての皿ばね50を備えている。
図1に示すように、ローラ30は単一の部材で構成されている。
図2に示すように、基部11は円筒状であって基部11の中心にはねじ孔12が形成されており、基部11はステータ13と連結されている。
ステータ13は、ねじ孔12に螺入可能な軸部14と、軸部14の基端側に形成された円柱状のステータ本体部15を備えている。
軸部14の先端寄りにはねじ孔12に対応する雄ねじ16が形成されている。
基部11とステータ本体部15との間には、振動手段としての圧電素子17が設けられている。
圧電素子17は略円柱状の形態を呈しており中心に通孔18を有する。
圧電素子17の通孔18にステータ13の軸部14が挿入されることにより、圧電素子17はステータ13に保持される。
圧電素子17は、駆動回路(図示せず)に電気的に接続される有孔円盤状の圧電素子板(図示せず)を積層した構造を有している。
そして、圧電素子17を構成する複数の圧電素子板は、駆動回路から交流電圧を印加されることにより超音波振動を発生する。
軸部14の基端側にはローラ30を接触支持する円柱状のステータ本体部15が備えられている。
ステータ本体部15のローラ30側の端部には、径方向に横断する溝部19が形成されている。
溝部19は、回転軸34と連結される連結部材37の一部が収容される空間部を形成する。
ステータ本体部15における溝部19の両側には、ローラ30の外周面31と接触する接触面21を有する接触部20が形成されている。
接触面21はローラ30との接触部分に相当する。
なお、ステータ13は、軸部14およびステータ本体部15の中心を貫通する貫通孔22を有している。
図3に示すように、ローラ30は外周面31と一対のローラ端面32を備え、ローラ30の中心には軸孔33が形成されている。
ローラ30の軸孔33には回転軸34が貫通しており、回転軸34はローラ30と固定されている。
このように、回転軸34がローラ30を貫通することにより、回転軸34はローラを回転可能に支持している。
図示はしないが、回転軸34は止めねじやキー等を用いてローラ30に固定される。
回転軸34の軸心はローラ30の回転軸心Pとなる。
ローラ30の外周面31は、ステータ13における接触部20の接触面21の曲率と同じ曲率の面に形成されている。
本実施形態では、回転軸34の両端部は、振動アクチュエータ10の出力端であり、回転軸34の回転力を出力として用いる。
回転軸34は、ローラ端面32の両側において軸受36を介して連結部材37と連結されている。
図3に示すように、連結部材37は正面視略U字状であり、一対の連結部38および一対の連結部38を接続する接続部39を備えている。
連結部38には通孔40が形成されており、回転軸34が通孔40に挿通され、回転軸34は軸受36を介して連結部38に支持されている。
接続部39および連結部38の接続部39寄りの部位は、ステータ13の溝部19にほぼ隙間無く挿入される溝挿入部であり、溝挿入部は溝部19の幅に対応する寸法に設定されている。
因みに、本実施形態では、回転軸心Pの方向に対応する連結部材37の寸法が、ステータ本体部15の溝部19の溝長さとほぼ対応しており、溝部19に挿入された連結部材37は僅かに溝部19からはみ出る程度で済む。
本実施形態では、ローラ30の外周面31と連結部材37の接続部39との間に隙間が形成されており、この隙間に潤滑剤としての潤滑油を含ませたスポンジ体41が収容されている。
スポンジ体41は潤滑部材に相当し、潤滑油をローラ30の外周面31に供給するためのものである。
スポンジ体41は連結部38間における接続部39の表面に載置され、連結部材37に固定されない。
連結部38間における接続部39の表面は、ローラ30の外周面31と対向する対向面に相当する。
連結部材37がステータ13の溝部19に挿入されている状態では、スポンジ体41の周囲は、ステータ13、ローラ30および連結部材37により覆われており、スポンジ体41は空間部から脱落しない。
連結部材37は連結ロッド45と連結されている。
連結部材37の接続部39の中央にはねじ孔42が形成されている。
連結ロッド45の一方の端部には、ねじ孔42に対応するねじ軸部46が形成されている。
連結ロッド45のねじ軸部46がねじ孔42に螺入されることにより、連結ロッド45と連結部材37は互いに連結される。
連結ロッド45はステータ13の貫通孔22に挿通されており、連結ロッド45の他方の端部はステータ13の軸部14から突出している。
従って、連結ロッド45はステータ13および圧電素子17の内部を貫通している。
連結ロッド45の軸部14から突出する突出端47には、ホルダ48を介して円板状のばね受体49が取り付けられている。
ばね受体49と基部11との間には、付勢部材としての皿ばね50が介在されている。
皿ばね50は、皿ばね50の外径縁と内径縁が接近する方向に作用する力に対抗するばね力を有し、ばね力は回転軸34をステータ13へ近づける付勢力として連結ロッド45に付与される。
皿ばね50の付勢力により回転軸34が連結部材37を介してステータ13へ向かって付勢されることから、ローラ30がステータ13に対して加圧される。
本実施形態では、連結ロッド45、ばね受体49および皿ばね50が予圧手段を構成する要素である。
ここで、説明の便宜上、連結ロッド45の軸心方向をZ軸と規定し、Z軸に対して垂直方向に向かうX軸とし、Z軸およびX軸に対して垂直なY軸が設定されているものとする。
図4は振動アクチュエータ10の分解斜視図であり、基部11、ステータ13、圧電素子17、ローラ30、連結部材37、皿ばね50を分解して図示している。
図4では、連結ロッド45は連結部材37と連結された状態であり、突出端47、ホルダ48およびばね受体49の図示を省略している。
次に、本実施形態に係る振動アクチュエータ10の作動について説明する。
駆動回路により交流電圧が圧電素子17の各圧電素子板に印加されると、各圧電素子板が振動方向の異なる超音波振動を発生する。
圧電素子17に対して位相を90度シフトした交流電圧を印加することにより、圧電素子17にY軸のたわみ振動とZ軸方向の縦振動とを組み合わせた複合運動を発生させる。
超音波振動の複合振動がステータ13に伝達され、ステータ13における一対の接触面21には、Y軸−Z軸平面におけるX軸周りの楕円運動(又は円運動)が発生する。
ローラ30が接触面21を通じて楕円運動(又は円運動)を受けることにより、ローラ30は回転軸34を中心にして回転される。
ローラ30の回転により、ローラ30に固定された回転軸34の端部では出力として回転力が得られる。
ローラ30の回転方向、回転速度およびトルクの制御は、印加する交流電圧や周波数等を制御することにより行うことが可能である。
連結部材37は、皿ばね50の付勢力を受ける連結ロッド45により、回転軸34をステータ13へ近づく方向に付勢されるため、ローラ30はステータ13に圧接される。
ローラ30は予圧手段による回転軸34のステータ13側への付勢によりステータ13に圧接された状態にあることから、ステータ13の接触面21においてローラ30の加圧接触による荷重がそれぞれ均等に作用し、ローラ30は高トルクで回転される。
ローラ30とステータ13が互いに圧接されることから、連結部材37は振動するステータ13や圧電素子17に対して振動を妨げることはない。
このため、連結部材37に設置先との固定用の固定部を設定し、固定部を介して振動アクチュエータ10を設置先に固定すれば、固定された振動アクチュエータ10はステータ13や圧電素子17の振動が妨げられることなく作動する。
本実施形態では、連結部材37の連結部38の一部を固定部とすることが好ましい。
ローラ30の回転時において、スポンジ体41の潤滑油がローラ30の外周面31に塗布され、潤滑油によりローラ30の外周面31とステータ13の接触面21との圧接状態は、ローラ30が高トルクの回転力を得ることができる状態となる。
つまり、潤滑油はローラ30の外周面31とステータ13の接触面21との適切な圧接状態を維持する。
本実施形態の振動アクチュエータ10は、以下の作用効果を奏する。
(1)予圧手段の一部を構成する連結部材37の溝挿入部はステータ13の溝部19の空間部に収容されるから、振動アクチュエータ10の体格を小さくすることができる。特に、連結部材37がステータ13の径方向においてステータ13から大きくはみ出すことはなく、振動アクチュエータ10の体格をより小さくすることができる。
(2)連結部材37はステータ13や圧電素子17の振動を妨げることないことから、体格が小さくても回転するローラ30は大きなトルクを安定して得ることができる。
(3)連結部材37はローラ30の両側において回転軸34と連結され、付勢力を受ける連結ロッド45により付勢されるから、ステータ13の一対の接触面21においてローラ30の加圧接触による荷重をそれぞれ均等に作用させることができる。
(4)連結ロッド45がステータ13および圧電素子17の内部を貫通することから、連結ロッドをステータ13および圧電素子17の外部に設ける必要がなく、振動アクチュエータ10の体格をさらに小さくすることができる。
(5)ローラ30を単一の部材にすることで加工精度が上がり、また、ローラを複数個組み付ける際に発生する組付精度のばらつきも無い。したがって、振動アクチュエータ10はより安定したトルクを得ることができる。
(6)連結部材37に設置先との固定用の固定部を設定し、固定部を介して振動アクチュエータ10を設置先に固定することができる。この場合、振動アクチュエータ10が固定された状態であっても、固定される連結部材37はステータや圧電素子17の振動を妨げることはなく、振動アクチュエータ10は体格が小さくても大きなトルクを安定して得ることができる。
(7)潤滑油を含ませたスポンジ体41を連結部材37に設置することにより、ローラ30とステータ13の接触面21との潤滑を促進する潤滑油がローラ30に供給される。潤滑油はローラ30、ステータ13および連結部材37に囲まれるため設置先から脱落することはなく、潤滑油を連結部材37に固定するための手段が不要となる。
(第2の実施形態)
次に、第2の実施形態に係る振動アクチュエータについて説明する。
本実施形態では、連結部材が第1の実施形態の連結部材と異なる。
連結部材を除く共通の構成については、第1の実施形態の説明を援用して説明を省略し、共通の符号を用いる。
図5は、本実施形態に係る振動アクチュエータの側面図であり、図6は図5のB−B線矢視図である。
図5および図6に示す振動アクチュエータ60は連結部材61を備えている。
図6に示すように、連結部材61は断面ロ字状の形態を呈しており、一対の連結部62と、第1接続部63および第2接続部64を備えている。
一対の連結部62には通孔65が形成されており、連結部62は軸受36を介して回転軸34を支持する。
第1接続部63は一対の連結部62をステータ13側において接続する部位であり、第1の実施形態の連結部材37における接続部39に相当する。
第1接続部63の中央には連結ロッド45を連結するためのねじ孔66が形成されている。
第2接続部64は一対の連結部62をステータ13側の反対側において接続する部位である。
本実施形態の振動アクチュエータ60は、第1の実施形態の作用効果と同等の作用効果を奏する。
また、本実施形態の振動アクチュエータ60では、断面ロ字状の連結部材61を備えることから、第1の実施形態と比較して連結部材61の剛性が向上しており、振動アクチュエータ60の構造をより堅牢とすることができる。
また、連結部材61において第2接続部64が形成されていることから、第2接続部64を固定部とすることができる。
本実施形態では、固定部として利用できる部位が連結部材61において増加し、固定先に対する自由度を高くなるほか、固定先との固定力を向上させることができる。
なお、上記の実施形態は、本発明の一実施形態を示すものであり、本発明は、上記の実施形態に限定されるものではなく、下記のように発明の趣旨の範囲内で種々の変更が可能である。
○ 上記の実施形態では、ローラ30は単一の部材である構成としたが、ローラ30を例えば2つの部材となるように2分割する構成や、あるいは、個別に製作された2つの部材を重ねてローラ30としてもよい。また、2分割した部材又は2つの部材の間に減速機を設けてもよいし、あるいは、部材間に振動アクチュエータの出力を取出すための出力リンク等の出力部材を設けた構成でもよい。
○ 上記の実施形態では、回転軸34がローラ30の軸孔33を貫通する構成としたが、例えば、ローラ30の軸孔33の両側から複数の軸を挿入してローラ30とそれぞれ固定し、複数の軸により構成される回転軸としてもよい。このように、回転軸はローラ30を回転可能に支持する構成であれば特に限定されない。
○ 上記の実施形態では、略U字状の連結部材又は断面ロ字状の連結部材としたが、連結部材はローラの両側において回転軸と連結され、予圧手段により付勢されてローラの回転を実現することができる形状であればとくに限定されない。
○ 上記の実施形態では、ステータの径方向に横断する溝部により連結部材を収容する空間部を形成したが、横断しない溝、すなわち長方形の有底孔であってもよい。また、ステータに軸部を設けて軸部と基部が連結されるとしたが、ステータに軸部を設けず、代わりに基部に軸部を設けて基部の軸部とステータを連結する構成としてもよい。
○ 上記の実施形態では、付勢部材として皿ばねを用いたが、付勢部材は皿ばねに限定されない。付勢部材は、回転軸をステータに向かって付勢する付勢力を発生することができる要素であればよく、例えば、弾性樹脂やコイルばねでもよい。あるいは、連結ロッドを弾性体とし、連結ロッドを付勢部材として機能させてもよい。
○ 上記の実施形態では、回転軸の回転力をそのまま出力とするとしたが、例えば、回転軸および連結部材にギヤを設けて、減速機構を構成するようにしてもよい。この場合、連結部材を減速機構を構成する要素として兼用させることができる。また、減速機構が備えられることにより、コンパクトであってもさらに高トルクの回転力を得ることができる。
○ 上記の実施形態では、連結部材を固定先に固定することで回転軸の端部を出力端としたがこれに限らない。例えば、回転軸を固定先に固定することにより、回転軸およびローラ以外の要素を出力側としてもよい。この場合も上記の実施形態と同様に連結部材はステータや圧電素子の振動を妨げることはない。
○ 上記の実施形態では、付勢部材である皿ばね50が基部11の端部に設けられる構成としたが、図7の変形例に示すように、皿ばね50を収容可能な筒部72を基部71に形成し、筒部72を備えた基部71をケース部材としてもよい。この場合、筒部72内に皿ばね50を収容する。また、皿ばね以外の付勢部材とする場合でもケース部材の内部に収容するようにしてもよい。付勢部材をケース部材の内部に収容することにより、外部に付勢部材を設ける必要がなく、付勢部材を保護することができる。また、振動アクチュエータの体格をより小さくすることも可能となる。
10、60 振動アクチュエータ
11 基部
13 ステータ
15 ステータ本体部
17 圧電素子
19 溝部
21 接触面
30 ローラ
31 外周面
34 回転軸
37、61 連結部材
38、62 連結部
39 接続部
41 スポンジ体
45 ロッド
49 ばね受体
50 皿ばね
63 第1接続部
64 第2接続部
P 回転軸心

Claims (5)

  1. ステータと、
    前記ステータにより接触支持されるローラと、
    前記ローラを回転可能に支持する回転軸と、
    前記ステータに連結されると共に前記ステータと前記ローラの接触部分に超音波振動を発生させて前記ローラを回転させる振動手段と、
    前記回転軸に連結されて前記回転軸を前記ステータに向かって付勢することにより前記ローラを前記ステータに対して加圧する予圧手段とを備える振動アクチュエータにおいて、
    前記予圧手段は、前記ローラの両側において前記回転軸と連結される一対の連結部を有する連結部材と、を備え、
    前記ステータは、前記連結部材を収容する空間部を備え
    前記連結部材は、前記ローラの外周面と対向する対向面を備え、
    潤滑剤を含む潤滑部材が前記対向面に設置されていることを特徴とする振動アクチュエータ。
  2. 前記予圧手段は、前記ステータおよび前記振動手段の内部を貫通し、前記連結部材と連結される連結ロッドと、
    前記ロッドに連結され、前記回転軸を前記ステータに向かって付勢する付勢部材と、を備えたことを特徴とする請求項1記載の振動アクチュエータ。
  3. 前記ローラは単一であることを特徴とする請求項1又は2記載の振動アクチュエータ。
  4. 前記ステータと接続されるケース部材が設けられ、
    前記ケース部材は、前記付勢部材を収容する空間を備えていることを特徴とする請求項2記載の振動アクチュエータ。
  5. 前記連結部材は、固定用の固定部を有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項記載の振動アクチュエータ。
JP2012002704A 2012-01-11 2012-01-11 振動アクチュエータ Expired - Fee Related JP5737195B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012002704A JP5737195B2 (ja) 2012-01-11 2012-01-11 振動アクチュエータ
PCT/JP2012/081738 WO2013105369A1 (ja) 2012-01-11 2012-12-07 振動アクチュエータ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012002704A JP5737195B2 (ja) 2012-01-11 2012-01-11 振動アクチュエータ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013143827A JP2013143827A (ja) 2013-07-22
JP5737195B2 true JP5737195B2 (ja) 2015-06-17

Family

ID=48781330

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012002704A Expired - Fee Related JP5737195B2 (ja) 2012-01-11 2012-01-11 振動アクチュエータ

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP5737195B2 (ja)
WO (1) WO2013105369A1 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107470628B (zh) * 2017-08-22 2020-01-07 哈尔滨工程大学 改善增材制造金属组织与性能的超声微锻造复合装置与增材制造方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08109927A (ja) * 1994-10-11 1996-04-30 Tokiyoshi Kuroda 多段スライドレール装置
JP4667838B2 (ja) * 2004-11-26 2011-04-13 オリンパスイメージング株式会社 超音波モータ
JP4807276B2 (ja) * 2007-02-13 2011-11-02 株式会社豊田自動織機 振動アクチュエータ

Also Published As

Publication number Publication date
JP2013143827A (ja) 2013-07-22
WO2013105369A1 (ja) 2013-07-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN100508354C (zh) 振动波电机和镜头筒
JP5810303B2 (ja) 駆動装置
JP2009268237A (ja) リニア駆動型超音波モータ
JP5211463B2 (ja) 振動アクチュエータ
JP5292703B2 (ja) 振動アクチュエータ
JP2008187756A (ja) アクチュエータケースおよび超音波モータ
EP3101784A1 (en) Electric pump
JP5737195B2 (ja) 振動アクチュエータ
US20070188027A1 (en) Motor
JP7481988B2 (ja) 軸受を備えたロータ
KR20140100460A (ko) 분할구조를 갖는 에어 포일 베어링
US9197141B2 (en) Piezoelectric motor with efficient transfer of energy
JP4444395B2 (ja) 振動波駆動装置
JP2008017603A (ja) 円筒型超音波モータ
JP4213737B2 (ja) 圧電ステータのノーダルポイントを自動で探して支持する構造
JP5049523B2 (ja) 振動波駆動装置
JP4574731B2 (ja) 振動波駆動装置
JP2001186781A (ja) 振動アクチュエータ
JP2012039820A (ja) 超音波モータ
JP2010216653A (ja) 制振装置
JP2016048986A (ja) 振動アクチュエータ
JP4079111B2 (ja) 回転電機のステータ支持構造
US11712740B2 (en) Built-in type supersonic spindle and excitation method using same
JP3650060B2 (ja) ブラシ装置の支持構造
WO2013069343A1 (ja) 超音波モータ

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20140605

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20150120

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20150303

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20150324

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20150406

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees