JP5272823B2 - 焦点情報生成装置及び焦点情報生成方法 - Google Patents
焦点情報生成装置及び焦点情報生成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5272823B2 JP5272823B2 JP2009064763A JP2009064763A JP5272823B2 JP 5272823 B2 JP5272823 B2 JP 5272823B2 JP 2009064763 A JP2009064763 A JP 2009064763A JP 2009064763 A JP2009064763 A JP 2009064763A JP 5272823 B2 JP5272823 B2 JP 5272823B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light beam
- focus information
- information generation
- light receiving
- focus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 34
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 85
- 239000006059 cover glass Substances 0.000 claims abstract description 55
- 230000001575 pathological effect Effects 0.000 claims description 61
- 230000001788 irregular Effects 0.000 claims description 41
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 37
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 36
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 17
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 6
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 claims description 5
- 230000007170 pathology Effects 0.000 abstract description 8
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 89
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 4
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 3
- 102100022441 Sperm surface protein Sp17 Human genes 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000010827 pathological analysis Methods 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 101100438139 Vulpes vulpes CABYR gene Proteins 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000010186 staining Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/24—Base structure
- G02B21/241—Devices for focusing
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/24—Base structure
- G02B21/241—Devices for focusing
- G02B21/245—Devices for focusing using auxiliary sources, detectors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Eye Examination Apparatus (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
1.実施の形態(焦点情報生成装置)
2.他の実施の形態
[1−1.病理スライドガラスの構成]
本発明にかかる撮像システムについて説明する前に、撮像対象となる生体組織を保持する病理スライドガラス100の構成について、図1(A)〜(C)に示す断面図を用いその作成過程に沿って説明する。
次に、病理スライドガラス100を撮像して撮像データを生成する撮像システム1について説明する。
焦点情報生成装置2は、図6に示すように、統括制御部11により全体を統括制御するようになされている。
次に、各測定点QMにおける焦点情報IFの生成について説明する。
統括制御部11は、第1受光器33及び第2受光器39によりそれぞれ第1受光信号S1A〜S1D及びS2を生成させながら、アクチュエータ26により対物レンズ25を病理スライドガラス100の遠方から近づけるようにZ方向へ一定速度で移動させていく。
一方、包埋材103に気泡BBが含まれていた場合(図3(A)及び(B))、和信号SS及び差信号SDの波形は、図8(A)及び(B)とそれぞれ対応する図9(A)及び(B)に示すように、気泡BBが含まれていない場合とは異なる形状となる。
ところで、焦点情報生成装置2において、光ビームLMがカバーガラス104の上面104Aや下面104Bのように一様な面により反射された場合、当該光ビームLMはほぼ一様に反射される。このため反射光ビームLrは、乱反射成分が殆ど含まれない。
ところで和信号SS及び差信号SDは、病理スライドガラス100の包埋材103に気泡BBが含まれる場合、図9(A)及び(B)に示したように、気泡BBが含まれない場合(図8(A)及び(B))と異なる波形を形成する。
[条件2]位置ZBが位置Z1からカバーガラス104の厚さ程度以上に離れている
[条件3]位置ZBにおいて差信号SDがS字曲線を形成する
以上の構成において、焦点情報生成装置2は、任意の測定点QMについて、対物レンズ25をZ方向に移動させながら、反射光ビームLrの一部を分離した第1反射光ビームLr1を第1受光器33により受光して第1受光信号S1A〜S1Dを生成する。
なお上述した実施の形態においては、焦点情報生成装置2により、カバー距離DMを表す焦点情報IF及び気泡BBの有無を表す気泡情報IBの双方を生成するようにした場合について述べた。
Claims (14)
- 光ビームを焦点に集光する対物レンズと、
上記光ビームの光軸方向に関し、スライスされた生体組織がスライドガラスの置載面上に搭載され当該生体組織が包埋材及びカバーガラスにより被覆されてなる病理スライドガラスに対して上記焦点を移動させる焦点移動部と、
上記光ビームが上記病理スライドガラスにより反射されてなる反射光ビームを第1反射光ビーム及び第2反射光ビームに分離する分離部と、
上記第1反射光ビームを受光し第1受光信号を生成する第1受光部と、
上記第2反射光ビームに含まれる乱反射成分を除去する乱反射成分除去部と、
上記乱反射成分除去部を通過した上記第2反射光ビームを受光し第2受光信号を生成する第2受光部と、
上記焦点移動部により上記焦点を移動させたときの上記第1受光信号及び上記第2受光信号を基に、上記病理スライドガラスに設定された所定の基準点から上記生体組織までのカバー距離を算出し、当該カバー距離を基に上記病理スライドガラスの焦点情報を生成する焦点情報生成部と
を有する焦点情報生成装置。 - 上記焦点情報生成部は、
上記第1受光信号及び上記第2受光信号を基に、上記焦点が上記基準点及び上記生体組織にそれぞれ合っていることを判別し、上記基準点及び上記生体組織の間における上記焦点の移動距離を上記カバー距離とする
請求項1に記載の焦点情報生成装置。 - 上記焦点情報生成部は、
上記第1受光信号に対する上記第2受光信号の比率を基に上記焦点が上記生体組織に合っていると判別する
請求項2に記載の焦点情報生成装置。 - 上記焦点情報生成部は、
上記第1受光部による受光量が所定の閾値以上であり、且つ上記第1受光信号に対する上記第2受光信号の比率が所定の閾値以下となるときに、上記焦点が上記生体組織に合っていると判定する
請求項3に記載の焦点情報生成装置。 - 上記焦点情報生成部は、
上記カバーガラスの表面を上記基準点とし、上記第1受光部による受光量が所定の閾値以上となったときに上記焦点が上記カバーガラスの表面に合っていると判別する
請求項2に記載の焦点情報生成装置。 - 上記第1反射光ビームに非点収差を与えるマルチレンズ
をさらに有し、
上記第1受光部は、
格子状に4個の受光領域に分割され当該受光領域ごとに受光信号を生成すると共に、当該受光信号の総和を上記第1受光信号とし、
上記焦点情報生成部は、
上記カバーガラスの表面を上記基準点とし、上記第1受光部において対角位置にある2組の受光領域による受光信号の和同士の差分値でなる対角差分値を基に、上記焦点が上記カバーガラスの表面に合っていると判別する
請求項2に記載の焦点情報生成装置。 - 上記乱反射成分除去部は、
上記第2反射光ビームを集光する集光レンズと、
上記集光レンズにより集光された上記第2反射光ビームの焦点近傍部分を通過させるピンホール板と
を有する請求項1に記載の焦点情報生成装置。 - 上記生体組織における所定の測定点に対し上記光ビームの光軸を合わせるよう、上記病理スライドガラスを少なくとも当該スライドガラスの置載面と略平行な面方向に移動させる移動台
をさらに有し、
上記焦点情報生成部は、
上記測定点を表す情報と上記カバー距離とを対応付けることにより上記焦点情報を生成する
請求項1に記載の焦点情報生成装置。 - 上記焦点移動部により上記焦点を移動させたときの上記第1受光信号を基に、上記包埋材中における気泡の有無を判定し、その判定結果を基に上記光ビームの照射位置における気泡情報を生成する気泡情報生成部
をさらに有する請求項1に記載の焦点情報生成装置。 - 上記焦点情報生成部は、
上記カバーガラスの表面を上記基準点とし、
上記気泡情報生成部は、
上記基準点以外の箇所において、上記第1受光信号の値が上記基準点における値に対し所定比率以上となったときに、上記気泡が有ると判定する
請求項9に記載の焦点情報生成装置。 - 上記気泡情報生成部は、
上記基準点から上記カバーガラスの厚さに相当する距離以上離れた箇所において、上記第1受光信号の値が上記基準点における値に対し所定比率以上となったときに、上記気泡が有ると判定する
請求項9に記載の焦点情報生成装置。 - 上記第1集光レンズは、
上記第1反射光ビームに非点収差を与え、
上記第1受光部は、
格子状に4個の受光領域に分割され当該受光領域ごとに受光信号を生成すると共に、当該受光信号の総和を上記第1受光信号とし、
上記焦点情報生成部は、
上記カバーガラスの表面を上記基準点とし、
上記気泡情報生成部は、
上記基準点から上記カバーガラスの厚さに相当する距離以上離れた箇所において、上記第1受光部において対角位置にある2組の受光領域による受光信号の和同士の差分値でなる対角差分値が極大値及び極小値を有する場合に、上記気泡が有ると判定する
請求項9に記載の焦点情報生成装置。 - 上記焦点移動部は、
上記病理スライドガラスを保持するステージ又は上記対物レンズの少なくとも一方を移動対象として上記光軸方向に移動させ、
上記焦点情報生成部は、
上記光軸方向に関する上記移動対象の位置を基に上記焦点の位置を認識する
請求項1に記載の焦点情報生成装置。 - スライスされた生体組織がスライドガラスの置載面上に搭載され当該生体組織が包埋材及びカバーガラスにより被覆されてなる病理スライドガラスに対し、光ビームを集光する対物レンズの焦点を、上記光ビームの光軸方向に関して移動させる移動ステップと、
上記光ビームが上記病理スライドガラスにより反射されてなる反射光ビームを、第1反射光ビーム及び第2反射光ビームに分離する分離ステップと、
上記第1反射光ビームを受光し第1受光信号を生成する第1受光ステップと、
上記第2反射光ビームから乱反射成分を除去した上で受光し第2受光信号を生成する第2受光ステップと、
上記焦点を移動させたときの上記第1受光信号及び上記第2受光信号を基に、上記病理スライドガラスに設定された所定の基準点から上記生体組織までのカバー距離を算出するカバー距離算出ステップと、
上記カバー距離を基に上記病理スライドガラスの焦点情報を生成する焦点情報生成ステップと
を有する焦点情報生成方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009064763A JP5272823B2 (ja) | 2009-03-17 | 2009-03-17 | 焦点情報生成装置及び焦点情報生成方法 |
CN2010800114854A CN102349017B (zh) | 2009-03-17 | 2010-03-01 | 焦点信息生成设备和焦点信息生成方法 |
US13/255,637 US8710412B2 (en) | 2009-03-17 | 2010-03-01 | Focus information generating device and focus information generating method |
PCT/JP2010/053705 WO2010106927A1 (ja) | 2009-03-17 | 2010-03-01 | 焦点情報生成装置及び焦点情報生成方法 |
EP10753421A EP2410366A1 (en) | 2009-03-17 | 2010-03-01 | Focus information generating device and focus information generating method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009064763A JP5272823B2 (ja) | 2009-03-17 | 2009-03-17 | 焦点情報生成装置及び焦点情報生成方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010217554A JP2010217554A (ja) | 2010-09-30 |
JP2010217554A5 JP2010217554A5 (ja) | 2012-03-15 |
JP5272823B2 true JP5272823B2 (ja) | 2013-08-28 |
Family
ID=42739589
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009064763A Expired - Fee Related JP5272823B2 (ja) | 2009-03-17 | 2009-03-17 | 焦点情報生成装置及び焦点情報生成方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8710412B2 (ja) |
EP (1) | EP2410366A1 (ja) |
JP (1) | JP5272823B2 (ja) |
CN (1) | CN102349017B (ja) |
WO (1) | WO2010106927A1 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5644447B2 (ja) * | 2010-12-06 | 2014-12-24 | ソニー株式会社 | 顕微鏡、領域判定方法、及びプログラム |
CN104321635B (zh) * | 2012-06-06 | 2018-06-05 | 索尼公司 | 微粒测量装置中的数据校正方法和微粒测量装置 |
JP6364193B2 (ja) * | 2014-01-23 | 2018-07-25 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 焦点位置調整方法および検査方法 |
JP6506908B2 (ja) * | 2014-02-24 | 2019-04-24 | オリンパス株式会社 | 合焦方法、計測方法、合焦装置、及び計測装置 |
US10473906B2 (en) * | 2014-05-30 | 2019-11-12 | Nikon Corporation | Microscope |
US10330906B2 (en) | 2015-07-27 | 2019-06-25 | University Of Connecticut | Imaging assemblies with rapid sample auto-focusing |
DE102016122529A1 (de) * | 2016-11-22 | 2018-05-24 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Mikroskop zur Abbildung eines Objekts |
DE102016122528A1 (de) | 2016-11-22 | 2018-05-24 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Verfahren zum Steuern oder Regeln einer Mikroskopbeleuchtung |
US10477097B2 (en) | 2017-01-03 | 2019-11-12 | University Of Connecticut | Single-frame autofocusing using multi-LED illumination |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05142462A (ja) * | 1991-11-18 | 1993-06-11 | Olympus Optical Co Ltd | 合焦装置 |
JP2005345328A (ja) * | 2004-06-04 | 2005-12-15 | Sharp Corp | 光学式物体識別装置 |
JP2006285182A (ja) * | 2004-09-07 | 2006-10-19 | Fuji Photo Film Co Ltd | 可変焦点レンズ、および撮影装置 |
JP2006292999A (ja) * | 2005-04-11 | 2006-10-26 | Direct Communications:Kk | スライド画像データ作成装置およびスライド画像データ |
JP5142462B2 (ja) | 2005-10-19 | 2013-02-13 | 日立造船株式会社 | 水質浄化装置および水質浄化方法 |
JP2007148084A (ja) * | 2005-11-29 | 2007-06-14 | Nikon Corp | 焦点検出装置 |
EP2130085B1 (en) * | 2007-02-26 | 2011-04-20 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Method and device for optical analysis of a tissue |
DE102007017598A1 (de) * | 2007-04-13 | 2008-10-16 | Carl Zeiss Microimaging Gmbh | Verfahren und Anordnung zum Positionieren eines Lichtblattes in der Fokusebene einer Detektionsoptik |
US7576307B2 (en) * | 2007-04-30 | 2009-08-18 | General Electric Company | Microscope with dual image sensors for rapid autofocusing |
CN101063741B (zh) * | 2007-05-24 | 2010-11-10 | 浙江大学 | 一种高精度的恒姿态曲面调焦装置及其方法 |
JP2009008787A (ja) * | 2007-06-27 | 2009-01-15 | Nikon Corp | 焦点調節装置及び顕微鏡装置 |
US8450703B2 (en) * | 2007-07-27 | 2013-05-28 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Method and system for imaging samples |
JP2011095685A (ja) * | 2009-11-02 | 2011-05-12 | Sony Corp | 顕微鏡システム及び顕微鏡システムの制御方法 |
JP5577885B2 (ja) * | 2010-06-28 | 2014-08-27 | ソニー株式会社 | 顕微鏡及び合焦点方法 |
-
2009
- 2009-03-17 JP JP2009064763A patent/JP5272823B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-03-01 US US13/255,637 patent/US8710412B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2010-03-01 WO PCT/JP2010/053705 patent/WO2010106927A1/ja active Application Filing
- 2010-03-01 CN CN2010800114854A patent/CN102349017B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2010-03-01 EP EP10753421A patent/EP2410366A1/en not_active Withdrawn
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2410366A1 (en) | 2012-01-25 |
US20110315851A1 (en) | 2011-12-29 |
US8710412B2 (en) | 2014-04-29 |
JP2010217554A (ja) | 2010-09-30 |
CN102349017A (zh) | 2012-02-08 |
CN102349017B (zh) | 2013-11-13 |
WO2010106927A1 (ja) | 2010-09-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5272823B2 (ja) | 焦点情報生成装置及び焦点情報生成方法 | |
WO2010106928A1 (ja) | 画像生成装置及び画像生成方法 | |
WO2011145016A1 (en) | Autofocus imaging | |
CN111239164B (zh) | 一种缺陷检测装置及其方法 | |
CN110389021A (zh) | 透镜图像产生系统及屈光能力和厚度确定与缺陷检测方法 | |
JP2018502283A (ja) | 生物学的粒子の位置の決定を含む分析方法 | |
JP2006184303A (ja) | 画像検査装置 | |
US20160313548A1 (en) | Method for capturing image of three-dimensional structure of specimen and microscopic device | |
TWI699842B (zh) | 使用用於半導體檢查及度量之差分偵測技術而改善高度感測器之橫向解析度之方法 | |
WO2016054266A1 (en) | Wafer edge inspection with trajectory following edge profile | |
CN111352228A (zh) | 用于拍摄试样区域的荧光图像的方法和显微镜系统 | |
JP2006235250A (ja) | 測定顕微鏡 | |
JP6363477B2 (ja) | 3次元形状測定装置 | |
KR101826127B1 (ko) | 광학적 웨이퍼 검사 장치 | |
TWI357973B (en) | Apparatus and method for simulataneous confocal fu | |
JP6142996B2 (ja) | ビア形状測定装置及びビア検査装置 | |
JP5576195B2 (ja) | オートフォーカス装置 | |
JP2015203658A (ja) | 検査装置 | |
WO2016056205A1 (en) | Image acquisition device, image acquisition method, and program | |
JP2004102032A (ja) | 走査型共焦点顕微鏡装置 | |
JP4406873B2 (ja) | スキャン測定検査装置 | |
WO2021063417A1 (en) | Apparatus and method for quantifying the surface flatness of three-dimensional point cloud data | |
JP4780483B2 (ja) | レーザ顕微鏡用試料台、及びレーザ顕微鏡 | |
JP2003279311A (ja) | 光学式高さ測定装置及び方法 | |
JP4696599B2 (ja) | 共焦点光学系を有した測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120130 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120130 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130205 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130328 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130416 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130429 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |