JP5262178B2 - Grinding apparatus and grinding method - Google Patents

Grinding apparatus and grinding method Download PDF

Info

Publication number
JP5262178B2
JP5262178B2 JP2008043158A JP2008043158A JP5262178B2 JP 5262178 B2 JP5262178 B2 JP 5262178B2 JP 2008043158 A JP2008043158 A JP 2008043158A JP 2008043158 A JP2008043158 A JP 2008043158A JP 5262178 B2 JP5262178 B2 JP 5262178B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
workpiece
backup shoe
work
grinding
flexible member
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2008043158A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2009196068A (en
Inventor
岳 関川
公男 西村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nissan Motor Co Ltd
Original Assignee
Nissan Motor Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nissan Motor Co Ltd filed Critical Nissan Motor Co Ltd
Priority to JP2008043158A priority Critical patent/JP5262178B2/en
Publication of JP2009196068A publication Critical patent/JP2009196068A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5262178B2 publication Critical patent/JP5262178B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a grinding device eliminating clogging of a grinding tool. <P>SOLUTION: This grinding device has a backup shoe 15 to pressurize a wrapping film 20 on a workpiece 101 (102) supported by a workpiece fixture 11 and moves the wrapping film 20 between the workpiece 101 (102) and the backup shoe 15. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、研削装置および研削方法に関する。   The present invention relates to a grinding apparatus and a grinding method.

従来から、複数の加工面を加工するために、各加工面に応じた研削度合いの砥石を複数設けた装置がある(たとえば特許文献1、2)。
特開2006−15432号公報 特開2007−196302号公報
Conventionally, in order to process a plurality of processed surfaces, there is an apparatus provided with a plurality of grindstones having a grinding degree corresponding to each processed surface (for example, Patent Documents 1 and 2).
JP 2006-15432 A JP 2007-196302 A

しかしながら、これら従来の技術は、砥石面の目詰まりについて考慮されていない。特に加工する部位が小形状である場合、小さな砥石で加工することになるため、砥石面がすぐに目詰まりしてしまう。   However, these conventional techniques do not consider clogging of the grindstone surface. In particular, when the portion to be processed is a small shape, the processing is performed with a small grindstone, so that the grindstone surface is quickly clogged.

そこで本発明の目的は、砥石の目詰まりの問題を解消することができる研削装置および研削方法を提供することである。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a grinding apparatus and a grinding method capable of solving the problem of clogging of a grindstone.

上記課題を解決するための本発明は、一方の面に砥粒が設けられた可撓性部材と、前記可撓性部材をワークに押し付けるバックアップシューと、前記可撓性部材を前記ワークと前記バックアップシューとの間で移動させる移動手段と、を有し、前記ワークが第1のワークと第2のワークからなる2つであって、前記第1のワークと前記第2のワークのそれぞれの加工部位に前記可撓性部材が接し、かつそれぞれの加工部位により前記バックアップシューを挟み込むように前記第1のワークと前記第2のワークを固定するワーク固定手段を有することを特徴とする研削装置である。 The present invention for solving the above-described problems includes a flexible member provided with abrasive grains on one surface, a backup shoe that presses the flexible member against a workpiece, and the flexible member as the workpiece and the workpiece. possess a moving means for moving between the backup shoes and the workpiece is not more two of a first workpiece and a second workpiece, the first workpiece and each of the second work wherein the machining area flexible member is in contact, and grinding, characterized in that have a workpiece fixing means for fixing the first workpiece to the second workpiece so as to sandwich the backup shoe by each machined portion Device.

また上記課題を解決するための本発明は、ワークに対し、前記ワークと接する面側に砥粒が設けられた可撓性部材をバックアップシューによって押し付けつつ、前記可撓性部材を移動する研削方法であって、前記ワークが第1のワークと第2のワークからなる2つであり、前記第1のワークと前記第2のワークのそれぞれの加工部位により前記バックアップシューを挟み込むように前記第1のワークと前記第2のワークを固定して、前記第1のワークと前記第2のワークを前記バックアップシューの方向へ押し付け、前記第1のワークと前記バックアップシューの間、および前記第2のワークと前記バックアップシューの間で、前記可撓性部材を移動させることを特徴とする研削方法である。 The present invention for solving the above problems, the workpiece while pressing the flexible member abrasive grains provided on the surface side in contact with the workpiece by the backup shoe, Lab move the flexible member It is a cutting method , and the work is composed of two parts including a first work and a second work, and the backup shoe is sandwiched between the processing parts of the first work and the second work. The first work and the second work are fixed, the first work and the second work are pressed toward the backup shoe, the first work and the backup shoe, and the first work The grinding method is characterized in that the flexible member is moved between the workpiece 2 and the backup shoe .

本発明によれば、加工部位と接する砥粒面は常に新しい面となるため、砥石の目詰まりが発生しない。   According to the present invention, the abrasive grain surface in contact with the processing site is always a new surface, so that the grindstone is not clogged.

以下、図面を参照して本発明を実施するための最良の形態について説明する。   The best mode for carrying out the present invention will be described below with reference to the drawings.

図1は、本発明を適用した実施形態における研削装置の概略図である。   FIG. 1 is a schematic view of a grinding apparatus in an embodiment to which the present invention is applied.

研削装置(以下単に装置1という)は、ワーク固定治具11(ワーク固定手段)と、ワーク固定治具11により支持されているワーク101(102)にラッピングフィルム20を押し付けるバックアップシュー15とを有する。そして、この装置1は、ワーク固定治具11を開閉するクランプ機構12と、ワーク固定治具11をクランプ機構12に取り付けるとともに所定の押圧力でワーク101(102)をバックアップシュー15方向へ押し付ける弾性部材13と、クランプ機構12の開閉を行うエアシリンダ14を有する。また、装置1は、ラピングフィルム20を往復移動させるための巻き取り装置24、25(移動手段)を備える。   The grinding device (hereinafter simply referred to as device 1) has a workpiece fixing jig 11 (work fixing means) and a backup shoe 15 that presses the wrapping film 20 against the workpiece 101 (102) supported by the workpiece fixing jig 11. . The apparatus 1 includes a clamp mechanism 12 that opens and closes the workpiece fixing jig 11, and an elasticity that attaches the workpiece fixing jig 11 to the clamp mechanism 12 and presses the workpiece 101 (102) toward the backup shoe 15 with a predetermined pressing force. A member 13 and an air cylinder 14 for opening and closing the clamp mechanism 12 are provided. Further, the apparatus 1 includes winding devices 24 and 25 (moving means) for reciprocating the wrapping film 20.

ワーク固定治具11は、ワーク101(102)を固定する。ワーク固定治具11は、
弾性部材13によってクランプ機構12に取り付けられており、支軸21によって回転可能となっている。これは、この支軸21によってワーク101(102)に横方向の不要な力が加わった場合(たとえば、ラッピングフィルムによってワークが一時的に引っ張られるなど)に、ワーク固定治具11がワーク101(102)ごと回転して、このような力によるワーク101(102)の損傷やラッピングフィルム20が切れるのを防止する。
The workpiece fixing jig 11 fixes the workpiece 101 (102). The workpiece fixing jig 11 is
It is attached to the clamp mechanism 12 by an elastic member 13 and can be rotated by a support shaft 21. This is because, when an unnecessary lateral force is applied to the workpiece 101 (102) by the support shaft 21 (for example, the workpiece is temporarily pulled by a wrapping film), the workpiece fixing jig 11 is moved to the workpiece 101 ( 102) to prevent the workpiece 101 (102) from being damaged by this force and the wrapping film 20 from being cut.

ラッピングフィルム20は、帯状の可撓性部材からなる。そして一方の面に砥粒が形成されている。   The wrapping film 20 is made of a strip-shaped flexible member. Abrasive grains are formed on one surface.

バックアップシュー15は、ワーク101(102)が押し付けられる方向に対して直交する方向(図示左右、これを以下横方向という)に移動自在となっている。バックアップシュー15を移動させる移動機構(不図示)としては、特に限定されず、たとえば、機械的な送りねじ機構などでよい。また、バックアップシュー15は、固定した状態で使用する場合に備え、所望するワーク形状となるように形成されている。つまり、バックアップシュー15の形状が、研削加工によってワーク101(102)へ転写されることになる。   The backup shoe 15 is movable in a direction orthogonal to the direction in which the workpiece 101 (102) is pressed (left and right in the figure, hereinafter referred to as a horizontal direction). The moving mechanism (not shown) for moving the backup shoe 15 is not particularly limited, and may be a mechanical feed screw mechanism, for example. Further, the backup shoe 15 is formed to have a desired workpiece shape in preparation for use in a fixed state. That is, the shape of the backup shoe 15 is transferred to the workpiece 101 (102) by grinding.

弾性部材13は、ワーク101(102)の加工部位を所定の押圧力でバックアップシューへ押し付ける。このときの押圧力は、ワーク101(102)とバックアップシュートの間でラッピングフィルム20の移動が妨げられず、かつ、加工部位が確実に研削される圧力とする。なお、図示する場合には、弾性部材13としてコイルスプリングを示したが、これに限らずエアー式やオイル式、あるいは機械式の弾性部材でもよい。   The elastic member 13 presses the processed portion of the workpiece 101 (102) against the backup shoe with a predetermined pressing force. The pressing force at this time is a pressure at which the movement of the wrapping film 20 is not hindered between the workpiece 101 (102) and the backup chute and the processing site is reliably ground. In the case shown in the drawing, a coil spring is shown as the elastic member 13. However, the elastic member 13 is not limited to this and may be an air-type, oil-type, or mechanical-type elastic member.

クランプ機構12は、エアシリンダ14によって開閉される。このクランプ機構12は、その開閉度合いを変えることで、バックアップシュー15の横移動とあいまってワーク101(102)のさまざまな位置を研削加工できるようにしている。   The clamp mechanism 12 is opened and closed by an air cylinder 14. The clamping mechanism 12 can change the degree of opening and closing so that various positions of the workpiece 101 (102) can be ground together with the lateral movement of the backup shoe 15.

巻き取り装置24、25は、それぞれ、正逆転自在なモータ(不図示)に取り付けられている。そして、このモータの回転によって、ラッピングフィルム20を移動させる。ラッピングフィルム20を移動させる際は、たとえば、巻き取り側となる巻き取り装置(例えば25)の回転数を送り出し側となる巻き取り装置(例えば24)の回転数より、若干早くするとことが好ましい。これによりラッピングフィルム20には常に引っ張り力が加わり途中でたるんだりすることがない。なお、回転数の差はラッピングフィルム20の長さや重量、加工部位の形状などを考慮して、ラッピングフィルム20に好ましい引っ張り力が加わるように調整すればよい。   Each of the winding devices 24 and 25 is attached to a motor (not shown) that can freely rotate forward and backward. And the wrapping film 20 is moved by rotation of this motor. When the wrapping film 20 is moved, for example, the rotational speed of the winding device (for example, 25) on the winding side is preferably slightly faster than the rotational speed of the winding device (for example, 24) on the sending side. Accordingly, a tensile force is always applied to the wrapping film 20 so that it does not sag in the middle. The difference in the number of rotations may be adjusted so that a preferable tensile force is applied to the wrapping film 20 in consideration of the length and weight of the wrapping film 20 and the shape of the processed part.

この装置1では、2つのワーク101および102を一度に取り付けて加工を行うことができる。ワーク101および102は図示するように、バックアップシュー15を、ワーク101および102の加工部位によっては挟み込むように設置される。   In this apparatus 1, two workpieces 101 and 102 can be attached and processed at the same time. As shown in the figure, the workpieces 101 and 102 are installed so that the backup shoe 15 is sandwiched depending on the processing parts of the workpieces 101 and 102.

図2は、この装置1によって加工するワーク101(102)の一例を示す図面である。図示するように、たとえば、エンジンに使用されるカムの加工に用いられる。   FIG. 2 is a view showing an example of a workpiece 101 (102) to be processed by the apparatus 1. As shown in the figure, for example, it is used for processing a cam used in an engine.

この装置1を用いた第1の研削加工は、バックアップシュー15を固定した状態で行われる。まず、バックアップシュー15と、ワーク101および102の加工部位それぞれの間にラッピングフィルム20を挟み込むようにして、クランプ機構12によりワーク101および102をクランプする。このとき、ラッピングフィルム20の砥粒面が加工部位のほうを向くようにセットされる。   The first grinding process using the apparatus 1 is performed with the backup shoe 15 fixed. First, the workpieces 101 and 102 are clamped by the clamp mechanism 12 so that the wrapping film 20 is sandwiched between the backup shoe 15 and the processed parts of the workpieces 101 and 102. At this time, it is set so that the abrasive grain surface of the wrapping film 20 faces the processed part.

ラッピングフィルム20は、途中、送り方向を転換するためのプーリー19にかけられている。ラピングフィルム20は、往復移動可能なように巻き取り装置24、25により移動させる。この移動によって、ワーク101および102の加工部位が研削加工されるのである。   The wrapping film 20 is hung on a pulley 19 for changing the feeding direction on the way. The wrapping film 20 is moved by the winding devices 24 and 25 so as to be reciprocally movable. By this movement, the processing parts of the workpieces 101 and 102 are ground.

次に、この装置1を用いた第2の研削加工として、バックアップシュー15を横移動される場合について説明する。図3は、バックアップシューの横移動を説明するための説明図である。なお、図3においては、装置1の要部のみ示した。   Next, a case where the backup shoe 15 is laterally moved will be described as a second grinding process using the apparatus 1. FIG. 3 is an explanatory diagram for explaining the lateral movement of the backup shoe. In FIG. 3, only the main part of the apparatus 1 is shown.

図3に示すように、バックアップシュー15を横方向に移動することで、ワーク101および102にバックアップシュー15の形状を写し取るような研削加工に限らず、平坦部の研削加工もできるようにした。   As shown in FIG. 3, by moving the backup shoe 15 in the lateral direction, not only grinding that copies the shape of the backup shoe 15 to the workpieces 101 and 102 but also grinding of the flat portion can be performed.

たとえば、平坦部の研削加工は、図3に示したように、まず、ワーク101および102の加工したい部位がバックアップシュー15に当たるように、バックアップシュー15を横移動させるとともにクランプ機構12の開き量(または開き角)を調整する。そして、ラッピングフィルム20を移動させつつ、さらにバックアップシュー15を横移動させる。クランプの開閉度は、一度、加工したい部位がバックアップシュー15に当たるように調整された後(すなわち平坦部の研削作業中)、変えなくてもよい。これは、弾性部材13によってワーク101および102を押えているため、クランプ機構12の開閉度を変えなくても適度な押圧力が加わるためである。もちろん、クランプ機構12による開閉度を調整する必要があるときは、そのつど変更すればよい。   For example, as shown in FIG. 3, the grinding of the flat portion is performed by first moving the backup shoe 15 laterally and opening the clamp mechanism 12 so that the parts to be machined of the workpieces 101 and 102 hit the backup shoe 15 (see FIG. 3). Adjust the opening angle. Then, the backup shoe 15 is further moved laterally while moving the wrapping film 20. The degree of opening and closing of the clamp does not need to be changed after the part to be processed is adjusted so as to hit the backup shoe 15 (that is, during the grinding operation of the flat portion). This is because, since the workpieces 101 and 102 are pressed by the elastic member 13, an appropriate pressing force is applied without changing the opening / closing degree of the clamp mechanism 12. Of course, when the degree of opening / closing by the clamp mechanism 12 needs to be adjusted, it may be changed each time.

これにより、バックアップシュー15の形状転写に限らず、ワーク平坦部の研削加工も可能となる。   Thereby, not only the shape transfer of the backup shoe 15 but also the grinding of the flat part of the work can be performed.

以上説明した本実施形態によれば以下のような効果を奏する。   According to the present embodiment described above, the following effects can be obtained.

ラッピングフィルム20を用いることで、ワーク101および102と接する砥粒面は常に新しい面となるため、砥石の目詰まりが発生しない。   By using the wrapping film 20, the abrasive grain surface in contact with the workpieces 101 and 102 is always a new surface, so that the grindstone is not clogged.

バックアップシュー15を、2つのワーク101および102で挟み込み、それぞれのワーク101および102とバックアップシュー15の間にラッピングフィルム20を移動させるようにしたので、一度に2つのワーク101および102を研削加工することができる。   Since the backup shoe 15 is sandwiched between the two workpieces 101 and 102 and the wrapping film 20 is moved between the workpieces 101 and 102 and the backup shoe 15, the two workpieces 101 and 102 are ground at a time. be able to.

バックアップシュー15を横移動可能としたことで、バックアップシュー15の形状転写に限らず、平坦部の研削加工が可能となる。   Since the backup shoe 15 can be moved laterally, not only the shape of the backup shoe 15 but also the flat part can be ground.

以上本発明を適用した実施形態を説明したが、本発明はこの実施形態に限定されるものではない。たとえば、2つのワークを一度に加工する場合に、それぞれのワークの加工部位の形状は、同じである必要はない。これには、バックアプシューの形状を、それぞれの加工形状に合わせてさえおけば、それぞれのワークで異なる形状を転写加工することができる。   Although the embodiment to which the present invention is applied has been described above, the present invention is not limited to this embodiment. For example, when processing two workpieces at a time, the shapes of the processing parts of the workpieces do not have to be the same. For this purpose, as long as the shape of the back-up shoe is matched to each processing shape, a different shape can be transferred and processed for each workpiece.

また、バックアップシュー15を横移動することで、平坦部を研削加工する例を説明したが、これについても、たとえば、なだらかな曲面などを研削加工する際にも適用できる。この場合、たとえば、バックアップシュー15を横移動させつつ、クランプ機構12の開き量(または開き角)を曲面に合わせて徐々に開いたり、閉じたりすることで、加工部位に対する押圧力を変えて、曲面を形成するように調整すればよい。   Moreover, although the example which grinds a flat part by laterally moving the backup shoe 15 was demonstrated, this is applicable also when grinding a gentle curved surface etc., for example. In this case, for example, by moving the backup shoe 15 laterally, the opening amount (or opening angle) of the clamp mechanism 12 is gradually opened or closed in accordance with the curved surface, thereby changing the pressing force on the processing site, What is necessary is just to adjust so that a curved surface may be formed.

また、乾式研削に限らずクーラントを流しながらの研削にも用いることができる。そのほか、本発明は、さまざまな研削加工に利用可能であることはいうまでもない。   Moreover, it can be used not only for dry grinding but also for grinding while flowing coolant. In addition, it goes without saying that the present invention can be used for various grinding processes.

本発明を適用した実施形態における研削装置の概略図である。It is a schematic diagram of a grinding device in an embodiment to which the present invention is applied. 加工するワークの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the workpiece | work to process. バックアップシューの横移動を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the horizontal movement of a backup shoe.

符号の説明Explanation of symbols

1 装置、
11 ワーク固定治具、
12 クランプ機構、
13 弾性部材、
14 エアシリンダ、
15 バックアップシュー、
20 ラッピングフィルム、
100 ワーク。
1 device,
11 Work fixing jig,
12 Clamp mechanism,
13 elastic member,
14 air cylinder,
15 Backup shoe,
20 Wrapping film,
100 work.

Claims (4)

一方の面に砥粒が設けられた可撓性部材と、
前記可撓性部材をワークに押し付けるバックアップシューと、
前記可撓性部材を前記ワークと前記バックアップシューとの間で移動させる移動手段と、を有し、
前記ワークが第1のワークと第2のワークからなる2つであって、
前記第1のワークと前記第2のワークのそれぞれの加工部位に前記可撓性部材が接し、かつそれぞれの加工部位により前記バックアップシューを挟み込むように前記第1のワークと前記第2のワークを固定するワーク固定手段を有することを特徴とする研削装置。
A flexible member provided with abrasive grains on one surface;
A backup shoe that presses the flexible member against the workpiece;
The flexible member have a, a moving means for moving between said workpiece and said backup shoe,
The workpiece is two consisting of a first workpiece and a second workpiece,
The first work and the second work are arranged so that the flexible member is in contact with each processing part of the first work and the second work, and the backup shoe is sandwiched between the processing parts. grinding apparatus, characterized in that it have a workpiece fixing means for fixing.
前記バックアップシューは、前記ワークが押し付けられる方向に対して直交する方向に移動自在であることを特徴とする請求項記載の研削装置。 The backup shoe, grinding apparatus according to claim 1, wherein the workpiece is movable in a direction perpendicular to the direction to be pressed. ワークに対し、前記ワークと接する面側に砥粒が設けられた可撓性部材をバックアップシューによって押し付けつつ、前記可撓性部材を移動する研削方法であって、
前記ワークが第1のワークと第2のワークからなる2つであり、
前記第1のワークと前記第2のワークのそれぞれの加工部位により前記バックアップシューを挟み込むように前記第1のワークと前記第2のワークを固定して、前記第1のワークと前記第2のワークを前記バックアップシューの方向へ押し付け、前記第1のワークと前記バックアップシューの間、および前記第2のワークと前記バックアップシューの間で、前記可撓性部材を移動させることを特徴とする研削方法。
The workpiece, the while pressed by the flexible member backup shoe provided with abrasive grains to the workpiece surface in contact side, a to that Grinding method moves the flexible member,
The workpiece is two consisting of a first workpiece and a second workpiece,
The first work and the second work are fixed by fixing the first work and the second work so that the backup shoe is sandwiched between the processing parts of the first work and the second work. Grinding, characterized in that a workpiece is pressed toward the backup shoe and the flexible member is moved between the first workpiece and the backup shoe and between the second workpiece and the backup shoe. Method.
前記バックアップシューを前記ワークが押し付けられる方向に対して直交する方向に移動することを特徴とする請求項記載の研削方法。 The grinding method according to claim 3, wherein the backup shoe is moved in a direction orthogonal to a direction in which the work is pressed.
JP2008043158A 2008-02-25 2008-02-25 Grinding apparatus and grinding method Expired - Fee Related JP5262178B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008043158A JP5262178B2 (en) 2008-02-25 2008-02-25 Grinding apparatus and grinding method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008043158A JP5262178B2 (en) 2008-02-25 2008-02-25 Grinding apparatus and grinding method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009196068A JP2009196068A (en) 2009-09-03
JP5262178B2 true JP5262178B2 (en) 2013-08-14

Family

ID=41140172

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008043158A Expired - Fee Related JP5262178B2 (en) 2008-02-25 2008-02-25 Grinding apparatus and grinding method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5262178B2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103317419B (en) * 2013-06-17 2016-02-10 深圳市华星光电技术有限公司 Lapping device

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4156200B2 (en) * 2001-01-09 2008-09-24 株式会社荏原製作所 Polishing apparatus and polishing method
JP2007181886A (en) * 2006-01-04 2007-07-19 Ntn Corp Tape polisher
JP2007326175A (en) * 2006-06-07 2007-12-20 Nihon Micro Coating Co Ltd Cleaning tape and method

Also Published As

Publication number Publication date
JP2009196068A (en) 2009-09-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101481053B1 (en) Machining apparatus and deburring apparatus
JP5226394B2 (en) Flange end face correction method
EP2859992B1 (en) A transform mechanism of a finishing wheel for an abrasive belt polishing finisher
CN105798622A (en) Automatic processing integrated machine achieving valve feeding, cutting, grinding and chamfering
US8333638B2 (en) Abrading device
JP5262178B2 (en) Grinding apparatus and grinding method
JP6315471B2 (en) Method of dividing plate workpiece
JP2019529120A5 (en)
TWI633973B (en) Cutting apparatus
JP5779165B2 (en) Workpiece end machining equipment
JP6151529B2 (en) Grinding method of sapphire wafer
CN209969316U (en) Feeding device of punching rotating tower
JP4687285B2 (en) Polishing processing method and polishing processing apparatus
JP2010069594A (en) Grinding and polishing device and grinding and polishing method
JP2012000736A (en) Method and apparatus for chamfering silicon block
JP4526546B2 (en) Sewing machine method
WO2010058442A1 (en) Cutting device and cut processing method
CN104526529B (en) A kind of arrow shaft longitudinal polishing machine
KR101981481B1 (en) Solenoid body polishing device for automobile transmissions
TWI330573B (en) Cylindrical grinding machine and method for grinding workpieces using the same
JP2004243435A (en) Lapping apparatus and lapping method
KR20010011191A (en) Scissor side face grinding apparatus
JP2004243437A (en) Lapping apparatus and lapping method
JP2009023079A (en) V-shape formation of patterned material for ruled line and chamfering method for the same v-shape
JPH11123641A (en) Flat surface grinding method and device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20110127

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20121228

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130108

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130214

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130402

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130415

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees