JP5259055B2 - Signal transmission circuit - Google Patents

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Description

この発明は、信号伝達回路に係り、特に、遅延回路を含む信号伝達経路内を、ディジタル信号を正確に伝達させるための信号伝達回路に関する。   The present invention relates to a signal transmission circuit, and more particularly to a signal transmission circuit for accurately transmitting a digital signal in a signal transmission path including a delay circuit.

図1は、特開平11−304888号公報に開示される半導体試験装置のブロック図を示す。図1に示す半導体試験装置は、試験対象である半導体デバイス(DUT)に対して、種々の試験信号を供給するための装置である。図1には、DUTが有する一つのピンに対して試験信号を供給するための構成が示されている。上記従来の半導体試験装置は、図1に示すブロック構成を、DUTの複数ピンに対応して、複数組み有している。   FIG. 1 is a block diagram of a semiconductor test apparatus disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 11-304888. The semiconductor test apparatus shown in FIG. 1 is an apparatus for supplying various test signals to a semiconductor device (DUT) to be tested. FIG. 1 shows a configuration for supplying a test signal to one pin of the DUT. The conventional semiconductor test apparatus has a plurality of block configurations shown in FIG. 1 corresponding to a plurality of pins of the DUT.

図1に示すブロック構成は、パターン発生器PGを有している。パターン発生器PGは、試験信号のパターンを発生するためのユニットであり、正転信号を出力する正転出力端子と反転信号を出力する反転出力端子を備えている。正転出力端子からは、所定のレートでパルス化されたディジタル信号が、シリアルに出力される。また、反転出力端子からは、正転出力端子から出力される信号の反転信号が出力される。   The block configuration shown in FIG. 1 has a pattern generator PG. The pattern generator PG is a unit for generating a test signal pattern, and includes a normal output terminal that outputs a normal signal and an inverted output terminal that outputs an inverted signal. From the normal output terminal, a digital signal pulsed at a predetermined rate is serially output. Further, the inverted output terminal outputs an inverted signal of the signal output from the normal output terminal.

パターン発生器PGの正転出力端子には、セットパルス生成部が接続されている。セットパルス生成部は、PGから供給される正転信号のアップエッジを受けてパルス信号を生成するTGDと、そのパルス信号に所望の遅延を与えるための可変遅延手段とを備えている。このため、セットパルス生成部からは、正転信号のアップエッジに対して所望の遅延を伴ったセットパルスSP10が出力される。   A set pulse generator is connected to the normal output terminal of the pattern generator PG. The set pulse generation unit includes a TGD that generates a pulse signal in response to an up-edge of a normal rotation signal supplied from the PG, and variable delay means for giving a desired delay to the pulse signal. For this reason, the set pulse generator 10 outputs a set pulse SP10 with a desired delay with respect to the up edge of the normal rotation signal.

パターン発生器PGの反転出力端子には、リセットパルス生成部が接続されている。リセットパルス生成部は、セットパルス生成部と同様にTGDと可変遅延手段とを備えている。リセットパルス生成部は、PGから反転信号の供給を受けているため、反転信号のアップエッジに対して(従って、正転信号のダウンエッジに対して)所望の遅延を伴ったリセットパルスRP11を出力する。   A reset pulse generator is connected to the inverted output terminal of the pattern generator PG. Similar to the set pulse generation unit, the reset pulse generation unit includes a TGD and variable delay means. Since the reset pulse generator is supplied with the inverted signal from PG, the reset pulse generator outputs a reset pulse RP11 with a desired delay with respect to the up edge of the inverted signal (and therefore with respect to the down edge of the normal signal). To do.

セットパルス生成部及びリセットパルス生成部の後段には、SRラッチ70が配置されている。SRラッチ70のセット端子Sには、セットパルスSP10が供給されている。他方、SRラッチ70のリセット端子Rには、リセットパルスRP11が供給されている。SRラッチは、S端子及びR端子の状態に応じて、出力端子Qを下記の状態とするデバイスである。   An SR latch 70 is disposed after the set pulse generator and the reset pulse generator. A set pulse SP10 is supplied to the set terminal S of the SR latch 70. On the other hand, a reset pulse RP11 is supplied to the reset terminal R of the SR latch 70. The SR latch is a device that sets the output terminal Q to the following state according to the states of the S terminal and the R terminal.

S端子 R端子 Q端子
L L 維持
H L H
L H L
H H 禁止
S terminal R terminal Q terminal
LL maintenance
HLH
LHL
HH prohibited

尚、上記の規則において、「維持」とは、従前の出力Qが維持されることを意味する。また、「禁止」とは、出力Qが不安定になるため、S端子及びR端子への入力を、共にHとすることは禁止されていることを意味する。   In the above rules, “maintain” means that the previous output Q is maintained. Further, “prohibited” means that since the output Q becomes unstable, it is prohibited to set both the input to the S terminal and the R terminal to H.

図2は、図1に示す半導体試験装置の動作を説明するためのタイミングチャートである。より具体的には、図2中、「SP10」の欄は、セットパルスSP10の発生タイミングを示す。また、「SP11」は、リセットパルスRP11の発生タイミングを示す。そして、「W1」の欄は、SRラッチ70の端子Qから出力される試験波形を示す。   FIG. 2 is a timing chart for explaining the operation of the semiconductor test apparatus shown in FIG. More specifically, the column “SP10” in FIG. 2 indicates the generation timing of the set pulse SP10. “SP11” indicates the generation timing of the reset pulse RP11. The column “W1” indicates a test waveform output from the terminal Q of the SR latch 70.

セットパルスSP10は、PGから発せられる正転信号のアップエッジを受けて発生する。上記の規則によれば、セットパルスSP10の発生を受けて、SRラッチ70は、端子Qの出力をHとする。リセットパルスRP11は、PGから発せられる正転信号のダウンエッジを受けて発生する。SRラッチ70は、このリセットパルスRP11を受けて、端子Qの出力をLとする。その結果、試験波形W1は、PGから発せられる正転信号と同じディジタル信号となる。   The set pulse SP10 is generated in response to the up edge of the normal rotation signal generated from the PG. According to the above rule, upon receipt of the set pulse SP10, the SR latch 70 sets the output of the terminal Q to H. The reset pulse RP11 is generated in response to the down edge of the normal rotation signal generated from the PG. The SR latch 70 receives this reset pulse RP11 and sets the output of the terminal Q to L. As a result, the test waveform W1 is the same digital signal as the normal rotation signal emitted from the PG.

図1に示す構成において、SRラッチ70によって生成された試験波形W1は、ドライバを介してDUTのピンに供給される。このため、図1に示す半導体試験装置によれば、パターン発生器PGが発生するパターン(正転信号)を、所望の遅延を施したうえで、DUTのピンに供給することができる。   In the configuration shown in FIG. 1, the test waveform W1 generated by the SR latch 70 is supplied to the pins of the DUT through the driver. Therefore, according to the semiconductor test apparatus shown in FIG. 1, the pattern (forward rotation signal) generated by the pattern generator PG can be supplied to the DUT pin after a desired delay.

特開平11−304888号公報JP-A-11-304888

上述した半導体試験装置において、SRラッチ70は、セットパルスSP10及びリセットパルスRP11の発生を受けて端子Qの状態を変化させる。つまり、SRラッチ70は、S端子の立ち上がりを検知した時点で端子QをHとし、R端子の立ち上がりを検知した時点で端子QをLとする。   In the semiconductor test apparatus described above, the SR latch 70 changes the state of the terminal Q in response to the generation of the set pulse SP10 and the reset pulse RP11. That is, the SR latch 70 sets the terminal Q to H when the rising edge of the S terminal is detected, and sets the terminal Q to L when the rising edge of the R terminal is detected.

セットパルスSP10は、PGが発生する試験信号(正転信号)が立ち上がることにより立ち上がる。PGは、様々なパターンで試験信号を生成するため、その立ち上がり方には、種々のバリエーションが存在する。具体的には、試験信号の立ち上がりは、1ビットのL信号に続いて生ずることもあれば、6ビットのL信号に続いて立ち上がることもある。   The set pulse SP10 rises when a test signal (normal rotation signal) generated by PG rises. Since PG generates test signals in various patterns, there are various variations in the way it rises. Specifically, the rising edge of the test signal may occur following the 1-bit L signal, or may rise after the 6-bit L signal.

図3は、試験信号の立ち上がり方と、セットパルスSP10の立ち上がり方との関係を説明するための図である。具体的には、図3(A)は、試験信号が1ビットのL信号に続いて立ち上がった場合に、セットパルス生成部によって生成されるセットパルスSP10の波形を示す。また、図3(B)及び図3(C)は、それぞれ、試験信号が2ビットのL信号、又は6ビットのL信号に続いて立ち上がった場合に生成されるセットパルスSP10の波形を示す。そして、図3(D)は、SP10の立ち上がり部分を拡大した図である。   FIG. 3 is a diagram for explaining the relationship between how the test signal rises and how the set pulse SP10 rises. Specifically, FIG. 3A shows the waveform of the set pulse SP10 generated by the set pulse generator when the test signal rises following the 1-bit L signal. FIGS. 3B and 3C show the waveforms of the set pulse SP10 generated when the test signal rises following the 2-bit L signal or the 6-bit L signal, respectively. FIG. 3D is an enlarged view of the rising portion of SP10.

セットパルスSP10に所望の遅延を与えるための可変遅延手段は、バッファアンプを直列に多段接続した構成を有している。PGの発する試験信号が、6ビット連続でL信号であった場合、可変遅延手段に対しても、6ビットに相当する期間中、連続してL信号が供給される。この場合、可変遅延手段を構成する全てのバッファアンプの入力は、十分に低い値に収束する。   The variable delay means for giving a desired delay to the set pulse SP10 has a configuration in which buffer amplifiers are connected in multiple stages in series. When the test signal generated by the PG is a 6-bit continuous L signal, the L signal is continuously supplied to the variable delay means during a period corresponding to 6 bits. In this case, the inputs of all the buffer amplifiers constituting the variable delay means converge to a sufficiently low value.

上記の状況下で試験信号が立ち上がると、TGDによってパルスが生成され、そのパルスの立ち上がりが、多段に接続されたバッファアンプに順次伝達される。この際、個々のバッファアンプは、それらに対する入力が十分に下がっていたため、パルスの立ち上がりを、比較的長い遅延を伴って後段に伝える。このため、可変遅延手段を通過する間に、セットパルスSP10の立ち上がり時期には、比較的大きな遅延が付与される。   When the test signal rises in the above situation, a pulse is generated by TGD, and the rise of the pulse is sequentially transmitted to buffer amplifiers connected in multiple stages. At this time, since the input to each of the buffer amplifiers is sufficiently lowered, the rising edge of the pulse is transmitted to the subsequent stage with a relatively long delay. For this reason, a relatively large delay is given to the rising timing of the set pulse SP10 while passing through the variable delay means.

他方、PGの発する試験信号が、1ビットのL信号の後に立ち上がった場合、つまり、試験信号が、H信号となった後、1ビットだけL信号を挟んで再びH信号となったような場合は、バッファアンプの入力電位が十分に低下する前に、再びその電位が立ち上げられる事態が生ずる。この場合、個々のバッファアンプは、パルスの立ち上がりを、短時間で後段に伝達する。その結果、可変遅延手段を通過する間にセットパルスSP10に与えられる遅延時間は、比較的短いものとなる。   On the other hand, when the test signal generated by the PG rises after the 1-bit L signal, that is, when the test signal becomes an H signal and then becomes an H signal again with the L signal sandwiched by 1 bit. This causes a situation where the potential is raised again before the input potential of the buffer amplifier is sufficiently lowered. In this case, each buffer amplifier transmits the rising edge of the pulse to the subsequent stage in a short time. As a result, the delay time given to the set pulse SP10 while passing through the variable delay means is relatively short.

図3(D)において、最も早く立ち上がっている波形は、試験信号が1ビットのL信号に続いて立ち上げられた場合のSP10の波形である。以下、この場合の立ち上がり時期を「基準時期」と称す。上述した理由により、試験信号が2ビットのL信号の後に立ち上げられた場合、SP10の立ち上がり時期は、基準時期からY1だけ遅れた時期となる。また、試験信号が6ビットのL信号の後に立ち上げられた場合、SP10の立ち上がり時期は、基準時期からY2だけ遅れた時期となる。   In FIG. 3D, the earliest rising waveform is the waveform of SP10 when the test signal is raised following the 1-bit L signal. Hereinafter, the rise time in this case is referred to as “reference time”. For the reasons described above, when the test signal is raised after the 2-bit L signal, the rising timing of SP10 is delayed by Y1 from the reference timing. When the test signal is raised after the 6-bit L signal, the rising time of SP10 is delayed by Y2 from the reference time.

上述した通り、SP10の立ち上がり時期は、試験信号が立ち上げられる前に、どの程度のビット数L信号に維持されていたかに応じて変化する。この関係は、試験信号がL信号に維持されたビット数を横軸にとり、基準時期からの遅延時間を縦軸に取ると、図4に示すように表すことができる。以下、上述した原理によってSP10の立ち上がり時期にずれが生ずる現象を「ジッタ」と称す。   As described above, the rising timing of SP10 varies depending on how many bits L signal is maintained before the test signal is raised. This relationship can be expressed as shown in FIG. 4, where the horizontal axis represents the number of bits in which the test signal is maintained as the L signal and the vertical axis represents the delay time from the reference time. Hereinafter, a phenomenon in which a shift occurs in the rising timing of the SP 10 according to the principle described above is referred to as “jitter”.

図1に示す従来の半導体試験装置においては、リセットパルスRP11にも、ジッタが生ずる。すなわち、この装置において、リセットパルスRP11は、PGの発する反転信号の立ち上がりを受けてLからHに変化する。パターン発生器PGは、任意のパターンで反転信号を生成するため、反転信号が、立ち上がり以前にL信号に維持されるビット数は様々な値に変化する。このため、リセットパルスRP11の立ち上がり時期にも、上述した通り、セットパルスSP10に生ずるのと同様のジッタが生ずる。   In the conventional semiconductor test apparatus shown in FIG. 1, jitter also occurs in the reset pulse RP11. That is, in this device, the reset pulse RP11 changes from L to H in response to the rising edge of the inverted signal generated by PG. Since the pattern generator PG generates an inverted signal in an arbitrary pattern, the number of bits maintained in the L signal before the inverted signal rises changes to various values. For this reason, as described above, the same jitter as that generated in the set pulse SP10 occurs at the rising timing of the reset pulse RP11.

セットパルスSP10のジッタは、試験波形W1の立ち上がり時期に影響を与える。また、リセットパルスRP11のジッタは、試験波形W1の立ち下がり時期に影響を与える。ディジタル信号は、クロック信号との同期が取れていることを前提として処理されるのが一般的である。ジッタの影響により、試験波形W1の立ち上がりや立ち下がりの時期が大きく変化すると、上記の前提が崩れ、DUTが正確に検査できない事態が生ずる。この点、上述した従来の半導体試験装置は、試験信号をDUTまで伝達するための装置として、必ずしも理想的なものではなかった。   The jitter of the set pulse SP10 affects the rising timing of the test waveform W1. The jitter of the reset pulse RP11 affects the falling timing of the test waveform W1. Digital signals are generally processed on the assumption that they are synchronized with a clock signal. If the rise or fall time of the test waveform W1 changes greatly due to the influence of jitter, the above assumptions are lost and the DUT cannot be accurately inspected. In this respect, the above-described conventional semiconductor test apparatus is not necessarily ideal as an apparatus for transmitting a test signal to the DUT.

この発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、ディジタル信号を、ジッタを生じさせることなく遅延経路の後段まで伝達することのできる信号伝達回路を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a signal transmission circuit capable of transmitting a digital signal to a subsequent stage of a delay path without causing jitter. .

第1の発明は、上記の目的を達成するため、信号伝達回路であって、
入力側に供給されるディジタル信号の変化を受けて、第1のパルス幅を有する狭パルスを発生する狭パルス生成回路と、
前記狭パルスの後段に配置され、当該狭パルスの伝達に遅延を生じさせる遅延回路と、
前記遅延回路から出力される狭パルスの開始側エッジ及び終端側エッジのうち終端側エッジを受けてディジタル信号を再生する信号再生回路と、
を有することを特徴とする。
In order to achieve the above object, a first invention is a signal transmission circuit,
A narrow pulse generating circuit for generating a narrow pulse having a first pulse width in response to a change in a digital signal supplied to the input side;
A delay circuit disposed downstream of the narrow pulse and causing a delay in the transmission of the narrow pulse;
A signal reproduction circuit that reproduces a digital signal in response to a termination side edge among a start side edge and a termination side edge of a narrow pulse output from the delay circuit;
It is characterized by having.

また、第2の発明は、第1の発明において、
前記狭パルス生成回路は、入力側に供給されるディジタル信号のアップエッジを受けて狭パルスを生成するアップ側狭パルス生成回路と、前記ディジタル信号のダウンエッジを受けて狭パルスを生成するダウン側狭パルス生成回路とを含み、
前記遅延回路は、前記アップ側狭パルス生成回路の後段に配置されるアップ側遅延回路と、前記ダウン側狭パルス生成回路の後段に配置されるダウン側遅延回路とを含み、
前記信号再生回路は、前記アップ側遅延回路から出力される狭パルスの終端側エッジを受けて出力信号を第1値から第2値に変化させ、かつ、前記ダウン側遅延回路から出力される狭パルスの終端側エッジを受けて出力信号を第2値から第1値に変化させることを特徴とする。
The second invention is the first invention, wherein
The narrow pulse generation circuit includes an up side narrow pulse generation circuit that receives an up edge of a digital signal supplied to an input side and generates a narrow pulse, and a down side that receives a down edge of the digital signal and generates a narrow pulse. Including a narrow pulse generation circuit,
The delay circuit includes an up-side delay circuit disposed downstream of the up-side narrow pulse generation circuit, and a down-side delay circuit disposed downstream of the down-side narrow pulse generation circuit,
The signal regeneration circuit changes the output signal from the first value to the second value in response to the terminal end edge of the narrow pulse output from the up-side delay circuit, and outputs the narrow signal output from the down-side delay circuit. The output signal is changed from the second value to the first value in response to the trailing edge of the pulse.

また、第3の発明は、第2の発明において、前記信号再生回路は、
前記アップ側遅延回路から出力される狭パルスの終端側エッジを受けて第2のパルス幅を有する狭パルスを発生するアップ側第2狭パルス生成回路と、
前記ダウン側遅延回路から出力される狭パルスの終端側エッジを受けて第2のパルス幅を有する狭パルスを発生するダウン側第2狭パルス生成回路と、
前記アップ側第2狭パルス生成回路から出力される狭パルスを、セット端子及びリセット端子の一方で受け、かつ、前記ダウン側第2狭パルス生成回路から出力される狭パルスを、前記セット端子及びリセット端子の他方で受けるSRラッチと、
を含むことを特徴とする。
In a third aspect based on the second aspect, the signal regeneration circuit comprises:
An up-side second narrow pulse generating circuit that receives a terminal-side edge of a narrow pulse output from the up-side delay circuit and generates a narrow pulse having a second pulse width;
A down-side second narrow pulse generation circuit that receives a narrow-side end edge of the narrow pulse output from the down-side delay circuit and generates a narrow pulse having a second pulse width;
The narrow pulse output from the up-side second narrow pulse generating circuit is received by one of a set terminal and a reset terminal, and the narrow pulse output from the down-side second narrow pulse generating circuit is received by the set terminal and SR latch received at the other side of the reset terminal,
It is characterized by including.

また、第4の発明は、第3の発明において、前記第1のパルス幅に比して、前記第2のパルス幅が狭いことを特徴とする。   The fourth invention is characterized in that, in the third invention, the second pulse width is narrower than the first pulse width.

また、第5の発明は、第1の発明において、
前記狭パルス生成回路は、入力側に供給されるディジタル信号のアップエッジ及びダウンエッジの双方に対してそれぞれ狭パルスを発生する両エッジ狭パルス生成回路を含み、
前記信号再生回路は、前記遅延回路から出力される狭パルスの終端側エッジを受けて出力信号を第1値と第2値との間で反転させるダウンエッジトリガ式のTフリップフロップを含むことを特徴とする。
The fifth invention is the first invention, wherein
The narrow pulse generation circuit includes a both-edge narrow pulse generation circuit that generates a narrow pulse for both the up edge and the down edge of the digital signal supplied to the input side,
The signal regeneration circuit includes a down-edge triggered T flip-flop that receives an end side edge of a narrow pulse output from the delay circuit and inverts an output signal between a first value and a second value. Features.

第1の発明によれば、入力側に供給されるディジタル信号の変化点を、狭パルスに変換して遅延回路に供給することができる。変化点以前の入力信号の状態は様々であるため、狭パルスの開始側エッジにはジッタの影響が及び易い。他方、狭パルスは第1のパルス幅の後に必ず終了するため、その終端側エッジは、ジッタの影響を受け難い。本発明における信号再生回路は、遅延回路の後段で、狭パルスの終端側エッジを受けてディジタル信号を再生する。このため、本発明によれば、遅延回路の後段まで、ジッタの影響を受けないディジタル信号を伝達することができる。   According to the first aspect, the changing point of the digital signal supplied to the input side can be converted into a narrow pulse and supplied to the delay circuit. Since the state of the input signal before the change point is various, the influence of jitter is likely to affect the start side edge of the narrow pulse. On the other hand, since the narrow pulse always ends after the first pulse width, the end edge thereof is hardly affected by jitter. The signal reproduction circuit according to the present invention reproduces a digital signal in response to the trailing edge of a narrow pulse at the subsequent stage of the delay circuit. Therefore, according to the present invention, a digital signal that is not affected by jitter can be transmitted to the subsequent stage of the delay circuit.

第2の発明によれば、入力側に供給されるディジタル信号のアップエッジが、アップ側狭パルス生成回路によって狭パルスに変換され、かつ、そのディジタル信号のダウンエッジがダウン側狭パルス生成回路によって狭パルスに変換される。それらの狭パルスは、それぞれ、アップ側遅延回路とダウン側遅延回路とによって伝送される。信号再生回路は、アップ側遅延回路から出力される狭パルスの終端側エッジと、ダウン側遅延回路から出力される狭パルスの終端側エッジとを受けて、出力信号の状態を反転させることにより、ジッタの影響を受けないディジタル信号を再生することができる。   According to the second invention, the up edge of the digital signal supplied to the input side is converted into a narrow pulse by the up side narrow pulse generation circuit, and the down edge of the digital signal is converted by the down side narrow pulse generation circuit. Converted to narrow pulse. These narrow pulses are transmitted by the up-side delay circuit and the down-side delay circuit, respectively. The signal regeneration circuit receives the narrow pulse termination side edge output from the up side delay circuit and the narrow pulse termination side edge output from the down side delay circuit, and inverts the state of the output signal, A digital signal that is not affected by jitter can be reproduced.

第3の発明によれば、アップ側遅延回路から出力される狭パルスの終端側エッジが、アップ側第2狭パルス生成回路によって狭パルスに変換される。また、ダウン側遅延回路から出力される狭パルスの終端側エッジは、ダウン側第2狭パルス生成回路によって狭パルスに変換される。これらの狭パルスが、SRラッチのセット端子及びリセット端子に供給されることにより、SRラッチによって、ジッタの影響を受けないディジタル信号が生成される。   According to the third aspect, the terminal end edge of the narrow pulse output from the up side delay circuit is converted into a narrow pulse by the up side second narrow pulse generating circuit. Also, the terminal end edge of the narrow pulse output from the down side delay circuit is converted into a narrow pulse by the down side second narrow pulse generation circuit. By supplying these narrow pulses to the set terminal and the reset terminal of the SR latch, a digital signal that is not affected by jitter is generated by the SR latch.

第4の発明によれば、遅延回路にはパルス幅の広い狭パルスを供給し、また、SRラッチには、パルス幅の狭い狭パルスを供給することができる。遅延回路に対して幅の太いパルスを供給すれば、その中を伝わる過程で、狭パルスが消滅するのを防ぐことができる。他方、SRラッチに供給する狭パルス幅を狭くすると、セットパルスとリセットパルスの許容間隔を狭くすることができる。つまり、再生されるディジタル信号のパルス幅を狭めることができる。このため、本発明によれば、再生信号の自由度を高めることができる。   According to the fourth invention, a narrow pulse having a wide pulse width can be supplied to the delay circuit, and a narrow pulse having a narrow pulse width can be supplied to the SR latch. If a pulse having a large width is supplied to the delay circuit, it is possible to prevent the narrow pulse from disappearing in the process of traveling through the pulse. On the other hand, if the narrow pulse width supplied to the SR latch is narrowed, the allowable interval between the set pulse and the reset pulse can be narrowed. That is, the pulse width of the reproduced digital signal can be narrowed. For this reason, according to the present invention, the degree of freedom of the reproduction signal can be increased.

第5の発明によれば、両エッジ狭パルス活性回路によって、入力側に供給されるディジタル信号のアップエッジ及びダウンエッジを、それぞれ狭パルスに変換することができる。また、それらの狭パルスを、遅延回路の後段でダウンエッジトリガ式のTフリップフロップに入力させることにより、ジッタの影響を受けないディジタル信号を再生することができる。   According to the fifth invention, the up-edge and the down-edge of the digital signal supplied to the input side can be converted into narrow pulses by the double-edge narrow pulse activation circuit. Further, by inputting these narrow pulses to a down-edge triggered T flip-flop after the delay circuit, a digital signal that is not affected by jitter can be reproduced.

実施の形態1.
[実施の形態1の構成]
図5は、本発明の実施の形態1の信号伝達回路10のブロック図である。信号伝達回路10は、例えば、半導体デバイスの試験装置において、パターン発生器PGが発生した試験信号を、試験対象の半導体デバイス(DUT)のピンまで伝達するための回路として用いることができる。
Embodiment 1 FIG.
[Configuration of Embodiment 1]
FIG. 5 is a block diagram of the signal transmission circuit 10 according to the first embodiment of the present invention. The signal transmission circuit 10 can be used, for example, as a circuit for transmitting a test signal generated by the pattern generator PG to a pin of a semiconductor device (DUT) to be tested in a semiconductor device test apparatus.

信号伝達回路10は、入力信号の供給を受ける入力端子12を備えている。入力端子12には、L信号とH信号との組み合わせで構成されるディジタル信号が、所定のレートでシリアルに供給される。入力端子12供給されたディジタル信号は、セットパルス伝達回路14と、リセットパルス伝達回路16とに並列に供給される。   The signal transmission circuit 10 includes an input terminal 12 that receives an input signal. A digital signal composed of a combination of an L signal and an H signal is serially supplied to the input terminal 12 at a predetermined rate. The digital signal supplied to the input terminal 12 is supplied in parallel to the set pulse transmission circuit 14 and the reset pulse transmission circuit 16.

セットパルス伝達回路14は、狭パルス生成回路18を備えている。狭パルス生成回路18は、入力信号のアップエッジを受けて、第1のパルス幅を有する狭パルスを生成する回路である。本実施形態において、第1のパルス幅は、伝達するべきディジタル信号の1ビットに対応する幅とされている。   The set pulse transmission circuit 14 includes a narrow pulse generation circuit 18. The narrow pulse generation circuit 18 is a circuit that generates a narrow pulse having a first pulse width in response to an up edge of an input signal. In the present embodiment, the first pulse width is a width corresponding to one bit of the digital signal to be transmitted.

狭パルス生成回路18には、遅延調整回路20が接続されている。遅延調整回路20は、直列に接続された多段のバッファアンプによって構成されている。個々のバッファアンプは、前段からの信号が閾値を超えると出力をH信号とし、また、前段からの信号が閾値を下回ると出力をL信号とする。遅延調整回路20は、個々のバッファアンプが順次後段のバッファアンプに信号を伝達する過程で、入力信号に所望の遅延を与える。   A delay adjustment circuit 20 is connected to the narrow pulse generation circuit 18. The delay adjustment circuit 20 is composed of multistage buffer amplifiers connected in series. Each buffer amplifier outputs an H signal when the signal from the previous stage exceeds the threshold, and outputs an L signal when the signal from the previous stage falls below the threshold. The delay adjustment circuit 20 gives a desired delay to the input signal in the process in which each buffer amplifier sequentially transmits a signal to the subsequent buffer amplifier.

遅延調整回路20には、インバータ22を介して、第2狭パルス生成回路24が接続されている。インバータ22は、遅延調整回路20から出力される信号を反転させるための回路である。また、第2狭パルス生成回路24は、インバータ22から供給される信号のアップエッジを受けて、第2のパルス幅を有する狭パルスを生成する回路である。本実施形態において、第2のパルス幅は、上述した第1のパルス幅に比して狭い幅とされている。   A second narrow pulse generation circuit 24 is connected to the delay adjustment circuit 20 via an inverter 22. The inverter 22 is a circuit for inverting the signal output from the delay adjustment circuit 20. The second narrow pulse generation circuit 24 is a circuit that receives a rising edge of a signal supplied from the inverter 22 and generates a narrow pulse having a second pulse width. In the present embodiment, the second pulse width is narrower than the first pulse width described above.

リセットパルス伝達回路16は、入力端子12の直後にインバータ26を備えている点を除いて、セットパルス伝達回路14と同様の構成を有している。具体的には、リセットパルス伝達回路16は、インバータ26の後段に、狭パルス生成回路28、遅延調整回路30、インバータ32、及び第2狭パルス生成回路34を備えている。これらの回路は、それぞれ、セットパルス伝達回路14が備える狭パルス生成回路18、遅延調整回路20、インバータ22、及び第2狭パルス生成回路24と同様に機能する。   The reset pulse transmission circuit 16 has the same configuration as the set pulse transmission circuit 14 except that an inverter 26 is provided immediately after the input terminal 12. Specifically, the reset pulse transmission circuit 16 includes a narrow pulse generation circuit 28, a delay adjustment circuit 30, an inverter 32, and a second narrow pulse generation circuit 34 subsequent to the inverter 26. These circuits function in the same manner as the narrow pulse generation circuit 18, the delay adjustment circuit 20, the inverter 22, and the second narrow pulse generation circuit 24 included in the set pulse transmission circuit 14, respectively.

セットパルス伝達回路14及びリセットパルス伝達回路16の後段には、SRラッチ36が配置されている。より具体的には、セットパルス伝達回路14が備える第2狭パルス生成回路24の出力は、SRラッチ36のセット端子に供給されている。また、リセットパルス伝達回路16が備える第2狭パルス生成回路34の出力は、SRラッチ36のリセット端子に供給されている。そして、SRラッチ36の出力は、出力端子38に供給されている。   An SR latch 36 is disposed downstream of the set pulse transmission circuit 14 and the reset pulse transmission circuit 16. More specifically, the output of the second narrow pulse generation circuit 24 provided in the set pulse transmission circuit 14 is supplied to the set terminal of the SR latch 36. The output of the second narrow pulse generation circuit 34 included in the reset pulse transmission circuit 16 is supplied to the reset terminal of the SR latch 36. The output of the SR latch 36 is supplied to the output terminal 38.

SRラッチ36は、セット端子のみがHレベルとなると出力をHレベルとし、反対に、リセット端子のみがHレベルになると、出力をLレベルとする。そして、SRラッチ36は、セット端子及びリセット端子の双方がLレベルである場合は、従前の出力レベルを維持する。セット端子及びリセット端子の双方をHレベルにすることは、SRラッチ36の出力を不安定にするため禁止事項である。   The SR latch 36 sets the output to the H level when only the set terminal becomes the H level, and conversely sets the output to the L level when only the reset terminal becomes the H level. The SR latch 36 maintains the previous output level when both the set terminal and the reset terminal are at the L level. Setting both the set terminal and the reset terminal to the H level is a prohibited matter because it makes the output of the SR latch 36 unstable.

本実施形態の信号伝達回路によれば、セットパルス伝達回路14の第2狭パルス生成回路24から狭パルスが発せられることによりSRラッチ36の出力はHレベルとなる。その後、リセットパルス伝達回路16の第2狭パルス生成回路34から狭パルスが発せられると、SRラッチ36の出力はLレベルに反転する。以後、第2狭パルス生成回路24,34が交互に狭パルスを発するのを受けて、SRラッチ36の出力は、HレベルとLレベルの間で反転を繰り返す。   According to the signal transmission circuit of this embodiment, when the narrow pulse is generated from the second narrow pulse generation circuit 24 of the set pulse transmission circuit 14, the output of the SR latch 36 becomes H level. Thereafter, when a narrow pulse is generated from the second narrow pulse generation circuit 34 of the reset pulse transmission circuit 16, the output of the SR latch 36 is inverted to the L level. Thereafter, in response to the second narrow pulse generation circuits 24 and 34 alternately generating narrow pulses, the output of the SR latch 36 repeats inversion between the H level and the L level.

[第1のパルス幅及び第2のパルス幅の設定]
図6は、狭パルス生成回路18が生成する狭パルスの幅、つまり、第1のパルス幅が満たすべき条件を説明するための図である。図6(A)、図6(B)及び図6(C)は、第1のパルス幅が十分に確保されている場合に、遅延調整回路20内の第n段〜第n+2段のバッファアンプによって順次伝達されるパルスの波形を示す。他方、図6(D)、図6(E)及び図6(F)は、第1のパルス幅が過小であった場合に、第n段〜第n+2段のバッファアンプによって順次伝達されていく過程でパルス幅が徐々に狭くなっていく様子を表した図である。
[Setting of first pulse width and second pulse width]
FIG. 6 is a diagram for explaining the width of the narrow pulse generated by the narrow pulse generation circuit 18, that is, the condition that the first pulse width should satisfy. 6 (A), 6 (B), and 6 (C) show the nth to n + 2 stages in the delay adjustment circuit 20 when the first pulse width is sufficiently secured. The waveform of the pulse sequentially transmitted by the buffer amplifier is shown. On the other hand, FIG. 6D, FIG. 6E, and FIG. 6F are sequentially transmitted by the buffer amplifiers of the nth to n + 2 stages when the first pulse width is too small. It is a figure showing a mode that a pulse width becomes narrow gradually in the process of going.

第n段のバッファアンプは、入力信号の値が閾値を超えた段階で、出力信号、つまり、第n+1段目のバッファアンプに対する入力信号を立ち上げ始める。また、第n段のバッファアンプは、入力信号の値が閾値を下回った段階で、第n+1段目のバッファアンプに対する入力信号を立ち下げ始める。この動作は、第n+1段目のバッファアンプにおいても、また、第n+2段目のバッファアンプにおいても同様に行われる。   The n-th stage buffer amplifier starts raising the output signal, that is, the input signal to the (n + 1) -th stage buffer amplifier when the value of the input signal exceeds the threshold value. The nth stage buffer amplifier starts to drop the input signal to the (n + 1) th stage buffer amplifier when the value of the input signal falls below the threshold value. This operation is performed similarly in the (n + 1) th stage buffer amplifier and also in the (n + 2) th stage buffer amplifier.

図6(A)に示すように、狭パルスが十分にHレベルとLレベルに収束する場合は、その収束の状態が、全ての段のバッファアンプに順次伝達される。従って、この場合は、遅延調整回路20を伝わる過程で、狭パルスの幅は維持される。他方、図6(D)に示すように、第n段に対する入力信号が、十分にHレベルに収束する前に立ち下がり始める場合は、遅延調整回路20の内部を進むに連れてパルスの幅が徐々に狭くなり、やがては、パルスが消滅する事態が生ずる。   As shown in FIG. 6A, when the narrow pulse sufficiently converges to the H level and the L level, the state of convergence is sequentially transmitted to the buffer amplifiers in all stages. Therefore, in this case, the width of the narrow pulse is maintained in the process of traveling through the delay adjustment circuit 20. On the other hand, as shown in FIG. 6D, when the input signal to the n-th stage starts to fall before it sufficiently converges to the H level, the width of the pulse increases as it advances through the delay adjustment circuit 20. It gradually narrows, and eventually a situation occurs where the pulse disappears.

このため、遅延調整回路20の後段まで狭パルスを確実に伝達させるためには、狭パルス生成回路18には、十分にHレベル及びLレベルに収束するに足る幅を持つ狭パルスを発生させる必要がある。本実施形態において、遅延調整回路20は、伝達するべきディジタル信号のレートに対応する動作速度を有している。つまり、遅延調整回路20は、上記のレート下で生ずる1ビット幅の信号を適正に伝達できるように構成されている。   For this reason, in order to reliably transmit the narrow pulse to the subsequent stage of the delay adjustment circuit 20, the narrow pulse generation circuit 18 needs to generate a narrow pulse having a width sufficient to converge to the H level and the L level. There is. In this embodiment, the delay adjustment circuit 20 has an operation speed corresponding to the rate of the digital signal to be transmitted. That is, the delay adjustment circuit 20 is configured to appropriately transmit a 1-bit width signal generated at the above rate.

本実施形態において、狭パルス生成回路18が発生する狭パルスの幅、つまり、第1のパルス幅は、上述した通り、伝達するべきディジタル信号の1ビットに対応する幅とされている。このため、本実施形態の構成によれば、狭パルス生成回路18が生成する狭パルスは、確実に、遅延調整回路20の後段まで伝達される。   In the present embodiment, the width of the narrow pulse generated by the narrow pulse generating circuit 18, that is, the first pulse width is set to a width corresponding to one bit of the digital signal to be transmitted as described above. For this reason, according to the configuration of the present embodiment, the narrow pulse generated by the narrow pulse generation circuit 18 is reliably transmitted to the subsequent stage of the delay adjustment circuit 20.

上述した事情は、リセットパルス伝達回路16においても同様に成立する。このため、本実施形態の構成によれば、狭パルス生成回路28によって生成される狭パルスは、確実に、遅延調整回路30の後段まで伝達される。   The situation described above is similarly established in the reset pulse transmission circuit 16. For this reason, according to the configuration of the present embodiment, the narrow pulse generated by the narrow pulse generation circuit 28 is reliably transmitted to the subsequent stage of the delay adjustment circuit 30.

第2狭パルス発生回路24,34が発生する狭パルスは、遅延回路等を経由することなく、直接SRラッチ36に供給される。SRラッチ36は、狭パルスが瞬間的にでも閾値を超えれば、Hレベルを検知することができる。他方、セット端子とリセット端子に同時にHレベルが供給されるのを防ぐ意味では、つまり、SRラッチ36にとっての禁止事項を避けるうえでは、セット端子に供給される狭パルスの幅、及びリセット端子に供給される狭パルスの幅は、狭いほど望ましい。   The narrow pulses generated by the second narrow pulse generating circuits 24 and 34 are directly supplied to the SR latch 36 without passing through a delay circuit or the like. The SR latch 36 can detect the H level if the narrow pulse instantaneously exceeds the threshold value. On the other hand, in order to prevent the H level from being simultaneously supplied to the set terminal and the reset terminal, that is, in order to avoid prohibition for the SR latch 36, the width of the narrow pulse supplied to the set terminal and the reset terminal It is desirable that the narrow pulse to be supplied has a narrow width.

このため、本実施形態では、第2のパルス幅が第1のパルス幅に比して狭く設定されている。より具体的には、第1のパルス幅が、伝達するべきディジタル信号の1ビットに対応しているのに対して、第2のパルス幅は、SRラッチ36がHレベルを認識することのできる最小限の幅とされている。   For this reason, in the present embodiment, the second pulse width is set narrower than the first pulse width. More specifically, the first pulse width corresponds to one bit of the digital signal to be transmitted, whereas the second pulse width allows the SR latch 36 to recognize the H level. It is the minimum width.

[実施の形態1の動作]
図7は、本発明の実施の形態1の信号伝達回路の動作を説明するための図である。図7中「入力信号」の欄は、図5における入力端子12に供給される信号の波形を示し、「出力信号」の欄は、図5における出力端子38に表れる信号の波形を示している。また、図7に示すA乃至Hの欄は、それぞれ、図5中に示すA乃至Hの点に表れる信号の波形を示している。
[Operation of Embodiment 1]
FIG. 7 is a diagram for explaining the operation of the signal transmission circuit according to the first embodiment of the present invention. In FIG. 7, the “input signal” column shows the waveform of the signal supplied to the input terminal 12 in FIG. 5, and the “output signal” column shows the waveform of the signal appearing at the output terminal 38 in FIG. . In addition, the columns A to H shown in FIG. 7 show the waveforms of signals appearing at points A to H shown in FIG.

本実施形態において、セットパルス伝達回路14に属する狭パルス生成回路18は、入力信号の立ち上がりを受けて1ビットに相当する狭パルスを生成する。このため、狭パルス生成回路18の後段(A点)には、入力信号の立ち上がりと同期して立ち上がり、その後、1ビットに対応する時間が経過した時点で立ち下がる狭パルスが表れる。   In this embodiment, the narrow pulse generation circuit 18 belonging to the set pulse transmission circuit 14 receives the rising edge of the input signal and generates a narrow pulse corresponding to 1 bit. For this reason, a narrow pulse that rises in synchronization with the rise of the input signal and falls after the time corresponding to 1 bit has elapsed appears at the subsequent stage (point A) of the narrow pulse generation circuit 18.

リセットパルス伝達回路16に属する狭パルス生成回路28には、インバータ26を介して入力信号が供給される。このため、リセットパルス伝達回路16においては、狭パルス生成回路28の後段(B点)に、入力信号の立ち下がりと同期して立ち上がり、その後、1ビットに対応する時間が経過した時点で立ち下がる狭パルスが表れる。   An input signal is supplied to the narrow pulse generation circuit 28 belonging to the reset pulse transmission circuit 16 via the inverter 26. For this reason, the reset pulse transmission circuit 16 rises in synchronization with the fall of the input signal at the subsequent stage (point B) of the narrow pulse generation circuit 28 and then falls when the time corresponding to 1 bit elapses. A narrow pulse appears.

A点に表れた狭パルスの立ち上がりは、遅延調整回路20を構成する多段のバッファアンプによって順次伝達される。その結果、遅延調整回路20の後段(C点)には、入力信号の立ち上がりから、所望の遅延時間の後に立ち上がりが生ずる。   The rise of the narrow pulse appearing at the point A is sequentially transmitted by the multistage buffer amplifier constituting the delay adjustment circuit 20. As a result, at the subsequent stage (point C) of the delay adjustment circuit 20, a rise occurs after a desired delay time from the rise of the input signal.

ところで、入力信号の立ち上がり方には、様々なバリエーションが存在する。従って、A点に表れる狭パルスの立ち上がり方にも、様々なバリエーションが存在する。具体的には、A点に表れる立ち上がりは、1ビット分のL信号に続いて表れることもあり、また、6ビット分のL信号に続いて表れることもある。   By the way, there are various variations in how the input signal rises. Therefore, there are various variations in how the narrow pulse appears at point A. Specifically, the rising edge appearing at the point A may appear following the 1-bit L signal, or may occur following the 6-bit L signal.

遅延調整回路20を構成する個々のバッファアンプは、立ち上がりの前に維持されたL期間が長いほど、信号の立ち上がりを後段に伝えるのに長い時間を必要とする。この伝達時間の差が積み重なることにより、遅延調整回路20の後段(C点)における立ち上がりのタイミングには、無視できないジッタが生ずる(図7CにおけるY1参照)。   The individual buffer amplifiers constituting the delay adjustment circuit 20 require a longer time to transmit the signal rise to the subsequent stage as the L period maintained before the rise is longer. By accumulating the differences in the transmission times, jitter that cannot be ignored occurs at the rising timing at the subsequent stage (point C) of the delay adjustment circuit 20 (see Y1 in FIG. 7C).

遅延調整回路20は、また、A点に表れる狭パルスの立ち下がりも伝達する。狭パルスの立ち下がりは、必ず、1ビット分のH信号に続いて表れる。つまり、立ち下がりに関しては、立ち上がりの場合と異なり、信号レベルの変化の仕方が規格化されている。このため、遅延調整回路20は、A点に生じた立ち下がりを、常にほぼ一定の遅延時間をかけてC点まで伝達する。その結果、C点における立ち下がりのタイミングには、殆どジッタが発生しない(図7CにおけるY2参照)。   The delay adjustment circuit 20 also transmits the falling edge of the narrow pulse appearing at the point A. The trailing edge of the narrow pulse always appears following the 1-bit H signal. That is, regarding the falling, unlike the rising, the method of changing the signal level is standardized. For this reason, the delay adjustment circuit 20 always transmits the fall generated at the point A to the point C over a substantially constant delay time. As a result, almost no jitter occurs at the falling timing at the point C (see Y2 in FIG. 7C).

上記の現象は、リセットパルス伝達回路16においても同様に生ずる。すなわち、狭パルス生成回路28の後段(B点)には、入力信号の立ち下がりを受けて立ち上がりが生ずる。従って、入力信号がHレベルを維持するビット数に応じて、B点の立ち上がり方には、種々のバリエーションが生ずる。他方、B点における立ち下がり方は、1ビットのH信号に続くものとして規格化されている。このため、遅延調整回路30の後段(D点)において、立ち上がりのタイミングには無視できないジッタが生じ(図7DにおけるY1参照)、立ち下がりのタイミングには殆どジッタが生じない(図7DにおけるY2参照)。   The above phenomenon occurs similarly in the reset pulse transmission circuit 16. In other words, at the subsequent stage (point B) of the narrow pulse generation circuit 28, a rise occurs in response to the fall of the input signal. Therefore, various variations occur in how the point B rises according to the number of bits at which the input signal maintains the H level. On the other hand, the way of falling at point B is standardized as following the 1-bit H signal. For this reason, in the subsequent stage (point D) of the delay adjustment circuit 30, jitter that cannot be ignored occurs at the rise timing (see Y1 in FIG. 7D), and almost no jitter occurs at the fall timing (see Y2 in FIG. 7D). ).

C点及びD点において、狭パルスの立ち上がりのタイミングに生ずる時間のずれY1は、入力信号の立ち上がり前に維持されたLレベルのビット数、或いは、入力信号がHレベルに維持されたビット数との関係で、図8に示すように表すことができる。また、図8に示すように、C点及びD点において、狭パルスが立ち下がるタイミングに生ずるずれY2は、常にY1に比して十分に小さな値である。   At point C and point D, the time lag Y1 occurring at the rise timing of the narrow pulse is the number of bits at the L level maintained before the rise of the input signal or the number of bits at which the input signal is maintained at the H level. This can be expressed as shown in FIG. Further, as shown in FIG. 8, the deviation Y2 that occurs at the timing when the narrow pulse falls at the points C and D is always sufficiently smaller than Y1.

図7において、E欄及びF欄は、インバータ22,32によって反転された狭パルスの波形を表している。インバータ22,32を通過させることにより、1ビット分だけLレベルを維持する狭パルス(以下、「反転狭パルス」と称す)を生成することができる。C点及びD点におけるジッタの影響は、反転狭パルスに重畳する。すなわち、反転狭パルスには、開始側のダウンエッジに無視できないジッタが発生する一方、終端側のアップエッジには、殆どジッタが発生しない。   In FIG. 7, the E column and the F column represent the narrow pulse waveforms inverted by the inverters 22 and 32. By passing through the inverters 22 and 32, it is possible to generate a narrow pulse (hereinafter referred to as “inverted narrow pulse”) that maintains the L level for one bit. The influence of jitter at points C and D is superimposed on the inverted narrow pulse. That is, in the inversion narrow pulse, a jitter that cannot be ignored occurs on the start-side down edge, while almost no jitter occurs on the end-side up edge.

インバータ22によって生成された反転狭パルスは、第2狭パルス生成回路24に供給される。その結果、第2狭パルス生成回路24の後段(G点)には、E点における反転狭パルスの終端側エッジと同期した、第2のパルス幅の狭パルスが表れる。反転狭パルスの終端側エッジにはジッタが生じていない。このため、G点には、ジッタの影響を受けない狭パルスが表れる。この狭パルスがSRラッチ36のセット端子に供給されることにより、出力信号は、入力信号が立ち上がった後、ジッタの影響を受けることなく、セット側の遅延時間(第1のパルス幅に対応する時間と、遅延調整回路20による遅延時間との和)が経過した時点で正確に立ち上がる。   The inverted narrow pulse generated by the inverter 22 is supplied to the second narrow pulse generation circuit 24. As a result, a narrow pulse having the second pulse width appears in the subsequent stage (point G) of the second narrow pulse generating circuit 24 in synchronization with the end-side edge of the inverted narrow pulse at the point E. There is no jitter at the end edge of the inverted narrow pulse. For this reason, a narrow pulse not affected by jitter appears at point G. By supplying the narrow pulse to the set terminal of the SR latch 36, the output signal is not affected by jitter after the input signal rises, and the delay time on the set side (corresponds to the first pulse width). It rises accurately when the sum of the time and the delay time by the delay adjustment circuit 20) has elapsed.

リセット信号伝達回路16のF点に表れる反転狭パルスは、第2狭パルス生成回路34に供給される。その結果、第2狭パルス生成回路34の後段(H点)には、F点の反転狭パルスの終端側エッジと同期した、第2のパルス幅の狭パルスが表れる。この狭パルスがSRラッチ36のリセット端子に供給されることにより、出力信号は、入力信号が立ち下がった後、ジッタの影響を受けることなく、リセット側の遅延時間(第1のパルス幅に対応する時間と、遅延調整回路30による遅延時間との和)が経過した時点で正確に立ち下がる。   The inverted narrow pulse appearing at point F of the reset signal transmission circuit 16 is supplied to the second narrow pulse generation circuit 34. As a result, a narrow pulse having the second pulse width appears in the subsequent stage (point H) of the second narrow pulse generation circuit 34 in synchronization with the terminal side edge of the inverted narrow pulse at the point F. By supplying this narrow pulse to the reset terminal of the SR latch 36, the output signal is not affected by jitter after the input signal falls, and the delay time on the reset side (corresponding to the first pulse width). When the delay time and the delay time by the delay adjustment circuit 30) have elapsed.

[実施の形態1における効果]
以上説明した通り、本実施形態の信号伝達回路によれば、入力信号の立ち上がりを、ジッタの影響を受けることなく、セット側の遅延時間の後に出力信号に反映させることができる。同様に、この回路によれば、入力信号の立ち下がりを、ジッタの影響を受けることなく、リセット側の遅延時間の後に出力信号に反映させることができる。つまり、本実施形態の信号伝達回路によれば、入力端子12に供給されるディジタル信号を、所望の遅延時間を与えたうえで、ジッタの影響を受けることなく出力端子38まで伝達することができる。
[Effect in Embodiment 1]
As described above, according to the signal transmission circuit of this embodiment, the rising edge of the input signal can be reflected in the output signal after the delay time on the set side without being affected by jitter. Similarly, according to this circuit, the falling edge of the input signal can be reflected in the output signal after the delay time on the reset side without being affected by jitter. That is, according to the signal transmission circuit of the present embodiment, a digital signal supplied to the input terminal 12 can be transmitted to the output terminal 38 without being affected by jitter after giving a desired delay time. .

更に、本実施形態の構成によれば、セット側の遅延時間、及びリセット側の遅延時間に、それぞれ第1のパルス幅分の時間が含まれている。このため、本実施形態の信号伝達回路によれば、遅延調整回路20,30だけで遅延時間を確保する回路に比して、大きな遅延時間を発生させることができる。   Furthermore, according to the configuration of the present embodiment, the set-side delay time and the reset-side delay time each include a time corresponding to the first pulse width. For this reason, according to the signal transmission circuit of the present embodiment, a larger delay time can be generated as compared with a circuit that ensures a delay time only by the delay adjustment circuits 20 and 30.

また、本実施形態の構成によれば、セット信号伝達回路14側の遅延調整回路20が発生する遅延時間と、リセット信号伝達回路16側の遅延調整回路30が発生する遅延時間とを異ならせることにより、伝達の過程で、ディジタル信号のパルス幅を伸縮させることができる。   Further, according to the configuration of the present embodiment, the delay time generated by the delay adjustment circuit 20 on the set signal transmission circuit 14 side and the delay time generated by the delay adjustment circuit 30 on the reset signal transmission circuit 16 side are made different. Thus, the pulse width of the digital signal can be expanded and contracted during the transmission process.

特に、本実施形態では、第2のパルス幅を十分に狭くしていることから、SRラッチ36の禁止事項に触れることなく、G点の狭パルスとH点の狭パルスとの間隔を、十分に狭くすることができる。この点、本実施形態の構成は、伝達パルスの伸縮に関する自由度を大きく確保するうえで好適である。   In particular, in this embodiment, since the second pulse width is sufficiently narrow, the gap between the narrow pulse at the G point and the narrow pulse at the H point is sufficiently set without touching the prohibited items of the SR latch 36. Can be narrowed. In this respect, the configuration of the present embodiment is suitable for ensuring a large degree of freedom regarding the expansion and contraction of the transmission pulse.

[実施の形態1の変形例]
図9は、本実施形態の信号伝達回路を多チャンネル化した場合の構成例を示す。図9に示す信号伝達回路は、複数の遅延回路(遅延回路1〜3)を備えている。遅延回路1〜3は、それぞれ、遅延調整回路20,30、インバータ22,32、第2狭パルス生成回路24,34、SRラッチ36、及び出力端子38を備えている。また、遅延回路1〜3は、共通する狭パルス生成回路18,28に接続されている。
[Modification of Embodiment 1]
FIG. 9 shows a configuration example when the signal transmission circuit of this embodiment is multi-channeled. The signal transmission circuit shown in FIG. 9 includes a plurality of delay circuits (delay circuits 1 to 3). Each of the delay circuits 1 to 3 includes delay adjustment circuits 20 and 30, inverters 22 and 32, second narrow pulse generation circuits 24 and 34, an SR latch 36, and an output terminal 38. The delay circuits 1 to 3 are connected to the common narrow pulse generation circuits 18 and 28.

遅延調整回路20,30には、遅延回路1〜3毎に異なる遅延時間が割り振られている。このため、図9に示す信号伝達回路によれば、入力端子12に単一のディジタル信号を供給することにより、異なる遅延処理が施された複数の信号を出力端子38に伝達することができる。この回路は、例えば、半導体デバイスの複数ピンに対して、タイミングを変えて同じ信号を与える必要があるような場合に有効である。   Different delay times are assigned to the delay adjustment circuits 20 and 30 for each of the delay circuits 1 to 3. For this reason, according to the signal transmission circuit shown in FIG. 9, by supplying a single digital signal to the input terminal 12, a plurality of signals subjected to different delay processes can be transmitted to the output terminal. This circuit is effective when, for example, it is necessary to change the timing and apply the same signal to a plurality of pins of a semiconductor device.

ところで、上述した実施の形態1においては、信号伝達回路10に、所望の遅延を生じさせるための遅延調整回路20,30を、意図的に含ませることとしているが、本発明の構成はこれに限定されるものではない。例えば、ディジタル信号を長距離に渡って伝送するような場合には、信号の伝達経路中に、複数の増幅器が配置され、必然的に多段の遅延回路が形成されることがある。本発明の構成は、このような信号伝達経路の中を、ジッタを生じさせることなくディジタル信号を送信するために用いることとしてもよい。   In the first embodiment described above, the signal transmission circuit 10 intentionally includes the delay adjustment circuits 20 and 30 for causing a desired delay, but the configuration of the present invention is included in this. It is not limited. For example, when a digital signal is transmitted over a long distance, a plurality of amplifiers are arranged in the signal transmission path, and a multistage delay circuit is inevitably formed. The configuration of the present invention may be used for transmitting a digital signal in such a signal transmission path without causing jitter.

尚、上述した実施の形態1では、狭パルス生成回路18,28及びインバータ26が、前記第1の発明における「狭パルス生成回路」に、遅延調整回路20,30が前記第1の発明における「遅延回路」に、インバータ22,32、第2狭パルス生成回路24,34、及びSRラッチ36が前記第1の発明における「信号再生回路」に、それぞれ相当している。   In the first embodiment described above, the narrow pulse generation circuits 18 and 28 and the inverter 26 are the “narrow pulse generation circuit” in the first invention, and the delay adjustment circuits 20 and 30 are the “narrow pulse generation circuit” in the first invention. The inverters 22 and 32, the second narrow pulse generation circuits 24 and 34, and the SR latch 36 correspond to the “delay circuit” and the “signal regeneration circuit” in the first invention, respectively.

また、上述した実施の形態1では、狭パルス生成回路18が前記第2の発明における「アップ側狭パルス生成回路」に、インバータ26及び狭パルス生成回路28が前記第2の発明における「ダウン側狭パルス生成回路」に、遅延調整回路20が前記第2の発明における「アップ側遅延回路」に、遅延調整回路30が前記第2の発明における「ダウン側遅延回路」に、Lレベルが前記第2の発明における「第1値」に、Hレベルが前記第2の発明における「第2値」に、それぞれ相当している。   In the first embodiment described above, the narrow pulse generation circuit 18 is the “up side narrow pulse generation circuit” in the second invention, and the inverter 26 and the narrow pulse generation circuit 28 are the “down side in the second invention”. In the “narrow pulse generation circuit”, the delay adjustment circuit 20 is the “up-side delay circuit” in the second invention, the delay adjustment circuit 30 is the “down-side delay circuit” in the second invention, and the L level is the first The H level corresponds to the “first value” in the second invention, and the “second value” in the second invention.

また、上述した実施の形態1では、インバータ22及び第2狭パルス生成回路24が前記第3の発明における「アップ側第2狭パルス生成回路」に、インバータ32及び第2狭パルス生成回路34が前記第3の発明における「ダウン側第2狭パルス生成回路に、それぞれ相当している。   In the first embodiment described above, the inverter 22 and the second narrow pulse generation circuit 24 are the “up-side second narrow pulse generation circuit” in the third invention, and the inverter 32 and the second narrow pulse generation circuit 34 are the same. “Corresponds to the“ down-side second narrow pulse generation circuit ”in the third invention.

実施の形態2.
[実施の形態2の構成]
次に、図10及び図11を参照して、本発明の実施の形態2について説明する。図10は、本発明の実施の形態2の信号伝達回路40の構成を説明するためのブロック図である。本実施形態の信号伝達回路40は、入力端子12の後段に、両エッジ狭パルス生成回路42を備えている。
Embodiment 2. FIG.
[Configuration of Embodiment 2]
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 10 is a block diagram for explaining the configuration of the signal transmission circuit 40 according to the second embodiment of the present invention. The signal transmission circuit 40 of this embodiment includes a double-edge narrow pulse generation circuit 42 at the subsequent stage of the input terminal 12.

両エッジ狭パルス生成回路42は、入力信号のLからHへの変化、及びHからLの変化のそれぞれを受けて、狭パルスを発生する回路である。本実施形態では、ここで生成される狭パルスの幅(第1のパルス幅)は、少なくとも伝達するべきディジタル信号の倍のレートに対応するように、1ビット分の幅の半分未満に設定されている。   The both-edge narrow pulse generating circuit 42 is a circuit that generates a narrow pulse in response to each of the change from L to H and the change from H to L of the input signal. In this embodiment, the width of the narrow pulse generated here (first pulse width) is set to be less than half of the width of 1 bit so as to correspond to at least a double rate of the digital signal to be transmitted. ing.

両エッジ狭パルス生成回路42によって生成された狭パルスは、遅延調整回路44に供給される。遅延調整回路44は、上述した第1のパルス幅を有する狭パルスを、消滅させることなく伝達させることができるように、伝達するべきディジタル信号の倍以上のレートに対応するように設計されている。   The narrow pulse generated by the two-edge narrow pulse generation circuit 42 is supplied to the delay adjustment circuit 44. The delay adjustment circuit 44 is designed to correspond to a rate more than double the digital signal to be transmitted so that the narrow pulse having the first pulse width described above can be transmitted without being extinguished. .

遅延調整回路44を通過した信号は、立ち下がりエッジトリガ式のTフリップフロップ(T-FF)46に供給される。T-FF46は、前段から供給される信号のダウンエッジを受けて、出力信号をLレベルとHレベルの間で反転させる回路である。T-FF46の出力は、出力信号として出力端子38に伝達される。   The signal that has passed through the delay adjustment circuit 44 is supplied to a falling edge triggered T flip-flop (T-FF) 46. The T-FF 46 is a circuit that receives the down edge of the signal supplied from the previous stage and inverts the output signal between the L level and the H level. The output of the T-FF 46 is transmitted to the output terminal 38 as an output signal.

[実施の形態2の動作]
図11は、本実施形態の信号伝達回路40の動作を説明するための図である。図11中「入力信号」の欄は、図10における入力端子12に供給される信号の波形を示し、「出力信号」の欄は、図10における出力端子38に表れる信号の波形を示している。また、図11に示すA及びBの欄は、それぞれ、図10中に示すA及びBの点に表れる信号の波形を示している。
[Operation of Embodiment 2]
FIG. 11 is a diagram for explaining the operation of the signal transmission circuit 40 of the present embodiment. 11, the column “input signal” indicates the waveform of the signal supplied to the input terminal 12 in FIG. 10, and the column “output signal” indicates the waveform of the signal appearing at the output terminal 38 in FIG. . Further, the columns A and B shown in FIG. 11 show the waveforms of signals appearing at points A and B shown in FIG. 10, respectively.

本実施形態において、入力信号が図11に示すように変化すると、両エッジ狭パルス生成回路42の後段(A点)には、入力信号の立ち上がりに同期した狭パルスと、入力信号の立ち下がりに同期した狭パルスとが順次表れる。   In the present embodiment, when the input signal changes as shown in FIG. 11, a narrow pulse synchronized with the rising edge of the input signal and a falling edge of the input signal are provided at the subsequent stage (point A) of the both-edge narrow pulse generating circuit 42. Synchronized narrow pulses appear sequentially.

狭パルスが遅延調整回路44の内部を進行する過程で、その立ち上がりのタイミングにはジッタが生ずる。他方、その立ち下がりのタイミングには、殆どジッタは生じない。このため、遅延調整回路44の後段(B点)には、開始側エッジにはジッタが生じているが、終端側エッジにはジッタが生じていない狭パルスが発生する。尚、遅延調整回路44の後段に、このような狭パルスが生ずる理由は、実施の形態1の場合と同様であるため、ここでは、その詳細な説明は省略する。   As the narrow pulse travels through the delay adjustment circuit 44, jitter occurs at the rising timing. On the other hand, almost no jitter occurs at the falling timing. For this reason, in the subsequent stage (point B) of the delay adjustment circuit 44, a narrow pulse in which jitter is generated in the start side edge but no jitter is generated in the end side edge is generated. The reason why such a narrow pulse occurs in the subsequent stage of the delay adjustment circuit 44 is the same as in the case of the first embodiment, and a detailed description thereof is omitted here.

本実施形態におけるT-FF46は、B点に生ずるダウンエッジを受けて、出力を反転させる。つまり、本実施形態の構成によれば、T-FF46は、ジッタの影響を受けていないダウンエッジを受けて出力を反転させる。このため、T-FF46により生成される波形は、ジッタの影響を受けていないものとなる。   The T-FF 46 in this embodiment receives the down edge generated at the point B and inverts the output. That is, according to the configuration of the present embodiment, the T-FF 46 inverts the output in response to a down edge that is not affected by jitter. For this reason, the waveform generated by the T-FF 46 is not affected by jitter.

また、本実施形態の構成によれば、T-FF46には、入力信号の立ち上がりに対応するダウンエッジと、入力信号の立ち下がりに対応するダウンエッジとが交互に入力される。その結果、T-FF46は、結果的に、入力信号と同じ波形の信号再生する。このように、本実施形態の信号伝達回路によれば、実施の形態1の回路と同様に、入力端子12に供給されるディジタル信号を、ジッタの影響を受けることなく、出力端子38まで伝達させることができる。   Further, according to the configuration of the present embodiment, the T-FF 46 is alternately input with the down edge corresponding to the rising edge of the input signal and the down edge corresponding to the falling edge of the input signal. As a result, the T-FF 46 eventually reproduces a signal having the same waveform as the input signal. Thus, according to the signal transmission circuit of the present embodiment, the digital signal supplied to the input terminal 12 is transmitted to the output terminal 38 without being affected by jitter, as in the circuit of the first embodiment. be able to.

尚、上述した実施の形態2においては、両エッジ狭パルス生成回路42が前記第1の発明における「狭パルス生成回路」に、遅延調整回路44が前記第1の発明における「遅延回路」に、立ち下がりエッジトリガ式のT-FF46が前記第1の発明における「信号再生回路」に、それぞれ相当している。   In the second embodiment, the two-edge narrow pulse generation circuit 42 is the “narrow pulse generation circuit” in the first invention, and the delay adjustment circuit 44 is the “delay circuit” in the first invention. The falling edge trigger type T-FF 46 corresponds to the “signal reproduction circuit” in the first aspect of the present invention.

従来の半導体試験装置のブロック図である。It is a block diagram of the conventional semiconductor test apparatus. 図1に示す半導体試験装置の動作を説明するための図である。It is a figure for demonstrating operation | movement of the semiconductor test apparatus shown in FIG. 図1に示す半導体試験装置においてジッタが生ずる理由を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the reason a jitter arises in the semiconductor test apparatus shown in FIG. 図3に示す変化点に生ずる時間のずれと、変化点以前に信号がLレベルに維持されたビット数との関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the time lag which arises in the change point shown in FIG. 3, and the bit number by which the signal was maintained at L level before the change point. 本発明の実施の形態1の信号伝達回路のブロック図である。1 is a block diagram of a signal transmission circuit according to a first embodiment of the present invention. 狭パルス生成回路18が生成する狭パルスの幅、つまり、第1のパルス幅が満たすべき条件を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the conditions which the width | variety of the narrow pulse which the narrow pulse generation circuit 18 produces | generates, ie, the 1st pulse width, should be satisfied. 本発明の実施の形態1の信号伝達回路の動作を説明するための図である。It is a figure for demonstrating operation | movement of the signal transmission circuit of Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1の信号伝達回路において、C点の立ち上がりタイミングに生ずるずれY1と、D点の立ち下がりタイミングに生ずるずれY2とを対比して表した図である。In the signal transmission circuit according to the first embodiment of the present invention, the difference Y1 that occurs at the rise timing of the point C and the deviation Y2 that occurs at the fall timing of the point D are shown in comparison. 本発明の実施の形態1の信号伝達回路を多チャンネル化した場合を構成を説明するための図である。It is a figure for demonstrating a structure when the signal transmission circuit of Embodiment 1 of this invention is multi-channeled. 本発明の実施の形態2の信号伝達回路のブロック図である。It is a block diagram of the signal transmission circuit of Embodiment 2 of the present invention. 本発明の実施の形態2の信号伝達回路の動作を説明するための図である。It is a figure for demonstrating operation | movement of the signal transmission circuit of Embodiment 2 of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

10;40 信号伝達回路
12 入力端子
14 セット信号伝達回路
16 リセット信号伝達回路
18,28 狭パルス生成回路
20,30;44 遅延調整回路
22,26,32 インバータ
24,34 第2狭パルス生成回路
36 SRラッチ
38 出力端子
42 両エッジ狭パルス生成回路
46 立ち下がりエッジトリガ式T-FF
10; 40 Signal transmission circuit 12 Input terminal 14 Set signal transmission circuit 16 Reset signal transmission circuit 18, 28 Narrow pulse generation circuit 20, 30; 44 Delay adjustment circuit 22, 26, 32 Inverter 24, 34 Second narrow pulse generation circuit 36 SR latch 38 Output terminal 42 Both edges narrow pulse generation circuit 46 Falling edge trigger type T-FF

Claims (5)

入力側に供給されるディジタル信号の変化を受けて、第1のパルス幅を有する狭パルスを発生する狭パルス生成回路と、
前記狭パルスの後段に配置され、当該狭パルスの伝達に遅延を生じさせる遅延回路と、
前記遅延回路から出力される狭パルスの開始側エッジ及び終端側エッジのうち終端側エッジを受けてディジタル信号を再生する信号再生回路と、
を有することを特徴とする信号伝達回路。
A narrow pulse generating circuit for generating a narrow pulse having a first pulse width in response to a change in a digital signal supplied to the input side;
A delay circuit disposed downstream of the narrow pulse and causing a delay in the transmission of the narrow pulse;
A signal reproduction circuit that reproduces a digital signal in response to a termination side edge among a start side edge and a termination side edge of a narrow pulse output from the delay circuit;
A signal transmission circuit comprising:
前記狭パルス生成回路は、入力側に供給されるディジタル信号のアップエッジを受けて狭パルスを生成するアップ側狭パルス生成回路と、前記ディジタル信号のダウンエッジを受けて狭パルスを生成するダウン側狭パルス生成回路とを含み、
前記遅延回路は、前記アップ側狭パルス生成回路の後段に配置されるアップ側遅延回路と、前記ダウン側狭パルス生成回路の後段に配置されるダウン側遅延回路とを含み、
前記信号再生回路は、前記アップ側遅延回路から出力される狭パルスの終端側エッジを受けて出力信号を第1値から第2値に変化させ、かつ、前記ダウン側遅延回路から出力される狭パルスの終端側エッジを受けて出力信号を第2値から第1値に変化させることを特徴とする請求項1記載の信号伝達回路。
The narrow pulse generation circuit includes an up side narrow pulse generation circuit that receives an up edge of a digital signal supplied to an input side and generates a narrow pulse, and a down side that receives a down edge of the digital signal and generates a narrow pulse. Including a narrow pulse generation circuit,
The delay circuit includes an up-side delay circuit disposed downstream of the up-side narrow pulse generation circuit, and a down-side delay circuit disposed downstream of the down-side narrow pulse generation circuit,
The signal regeneration circuit changes the output signal from the first value to the second value in response to the terminal end edge of the narrow pulse output from the up-side delay circuit, and outputs the narrow signal output from the down-side delay circuit. 2. The signal transmission circuit according to claim 1, wherein the output signal is changed from the second value to the first value in response to an end edge of the pulse.
前記信号再生回路は、
前記アップ側遅延回路から出力される狭パルスの終端側エッジを受けて第2のパルス幅を有する狭パルスを発生するアップ側第2狭パルス生成回路と、
前記ダウン側遅延回路から出力される狭パルスの終端側エッジを受けて第2のパルス幅を有する狭パルスを発生するダウン側第2狭パルス生成回路と、
前記アップ側第2狭パルス生成回路から出力される狭パルスを、セット端子及びリセット端子の一方で受け、かつ、前記ダウン側第2狭パルス生成回路から出力される狭パルスを、前記セット端子及びリセット端子の他方で受けるSRラッチと、
を含むことを特徴とする請求項2記載の信号伝達回路。
The signal regeneration circuit includes:
An up-side second narrow pulse generating circuit that receives a terminal-side edge of a narrow pulse output from the up-side delay circuit and generates a narrow pulse having a second pulse width;
A down-side second narrow pulse generating circuit that receives a terminal-side edge of the narrow pulse output from the down-side delay circuit and generates a narrow pulse having a second pulse width;
The narrow pulse output from the up-side second narrow pulse generating circuit is received by one of a set terminal and a reset terminal, and the narrow pulse output from the down-side second narrow pulse generating circuit is received by the set terminal and SR latch received at the other side of the reset terminal,
The signal transmission circuit according to claim 2, comprising:
前記第1のパルス幅に比して、前記第2のパルス幅が狭いことを特徴とする請求項3記載の信号伝達回路。   4. The signal transmission circuit according to claim 3, wherein the second pulse width is narrower than the first pulse width. 前記狭パルス生成回路は、入力側に供給されるディジタル信号のアップエッジ及びダウンエッジの双方に対してそれぞれ狭パルスを発生する両エッジ狭パルス生成回路を含み、
前記信号再生回路は、前記遅延回路から出力される狭パルスの終端側エッジを受けて出力信号を第1値と第2値との間で反転させるダウンエッジトリガ式のTフリップフロップを含むことを特徴とする請求項1記載の信号伝達回路。
The narrow pulse generation circuit includes a both-edge narrow pulse generation circuit that generates a narrow pulse for both the up edge and the down edge of the digital signal supplied to the input side,
The signal regeneration circuit includes a down-edge triggered T flip-flop that receives an end side edge of a narrow pulse output from the delay circuit and inverts an output signal between a first value and a second value. The signal transmission circuit according to claim 1, wherein:
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