JP2009128081A - Window determination circuit - Google Patents

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Hiromoto Takeshita
博基 竹下
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a window determination circuit which does not cause false measurement by a phase deviation on the basis of the temperature drift of a DUT output for a DUT to be subjected to eye measurement. <P>SOLUTION: The window determination circuit determines the presence or absence of signal distortion in an output signal of a device under test 1 on the basis of a comparison result with a Hi-level threshold and a Low-level threshold in a window section of a window strobe signal. The window determination circuit comprises: an intermediate value comparator 33 to which the output signal of the device under test 1 is input and which compares it to an intermediate level threshold which is located midway between the Hi-level threshold and the Low-level threshold; a window width generation circuit 161 for generating a signal having a predetermined window width on the basis of the output signal of the intermediate value comparator 33; and a delay circuit 514 for generating the window strobe signal with the output signal of the window width generation circuit 161 delayed by a predetermined period of time. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、半導体試験装置などにおいて、高速で動作する測定デバイス(以下、DUT: Device Under Test と呼ぶ)の出力波形品質の評価を目的として、アイ(信号開口部)測定を実施するための、ウィンドウ判定回路に関する。   The present invention is for performing eye (signal opening) measurement for the purpose of evaluating the output waveform quality of a measurement device (hereinafter referred to as DUT: Device Under Test) operating at high speed in a semiconductor test apparatus or the like. The present invention relates to a window determination circuit.

高速通信系に使用されるデバイスでは、出力信号が高速なため、アイ測定を行って波形のエッジの歪みを評価する必要がある。1ビットに相当する、極めて多数の信号波形を切り出して重ね合せたとき表示されるアイ・ダイアグラムにおいて、1を表す波形と、0を表す波形の2つの波形に囲まれた部分を「アイ開口」と呼び、これが大きいほど1、0の判定が容易になるので良いとされている。この場合、テスタの判定系では、判定点をエッジで捉える通常のストローブ判定だけではなく、アイ(開口部)の内側にエッジが存在するかしないかを測定するために、ある一定期間内でのエッジの有無を検出するウィンドウ判定を実行する必要がある。ウィンドウ判定では、判定期間であるウィンドウ幅(前エッジ、後ろエッジ)を設定するため、2つのエッジ発生回路が必要となる。   In a device used in a high-speed communication system, since an output signal is high-speed, it is necessary to perform eye measurement to evaluate waveform edge distortion. In the eye diagram that is displayed when a very large number of signal waveforms corresponding to 1 bit are cut out and overlaid, a portion surrounded by two waveforms, a waveform representing 1 and a waveform representing 0, is an “eye opening”. It is said that the larger this is, the easier the determination of 1 or 0 is. In this case, in the tester's judgment system, not only the normal strobe judgment in which the judgment point is captured by the edge but also whether or not the edge exists inside the eye (opening) is determined within a certain period of time. It is necessary to execute window determination for detecting the presence or absence of an edge. In window determination, two edge generation circuits are required to set a window width (front edge and rear edge) that is a determination period.

図7は従来の判定系を構成するウィンドウ判定回路の一例を示す構成ブロック図である。
テスタ100において、Hi側比較器31,Low側比較器32は、被測定デバイスDUT1の出力信号DUT_OUTを、ケーブル2を介して入力し、それぞれHiレベル閾値Hi_cmp_level、Lowレベル閾値Low_cmp_levelと比較する。ここで、Hi/Low の2系統設けてあるのは、同時測定することにより、測定時間を短縮するためである。
FIG. 7 is a block diagram showing an example of a window determination circuit constituting a conventional determination system.
In the tester 100, the Hi-side comparator 31 and the Low-side comparator 32 input the output signal DUT_OUT of the device under test DUT1 via the cable 2 and compare them with the Hi level threshold Hi_cmp_level and the Low level threshold Low_cmp_level, respectively. Here, the reason why two systems of Hi / Low are provided is to shorten the measurement time by simultaneous measurement.

第1のストローブ発生部61、第2のストローブ発生部62は、試験パターンなどのタイミングをつくるテスタ100内の基準クロックと同期した第1のストローブ信号STB1、第2のストローブ信号STB2をそれぞれウィンドウ判定部51、52に出力する。ストローブ信号STB1,STB2の各エッジの位置は、あらかじめプログラムされた位置に固定となる。 The first strobe generation unit 61 and the second strobe generation unit 62 respectively perform window determination on the first strobe signal STB1 and the second strobe signal STB2 synchronized with the reference clock in the tester 100 that generates the timing of the test pattern and the like. To the units 51 and 52. The position of each edge of the strobe signals STB1 and STB2 is fixed at a preprogrammed position.

Hi/Lowウィンドウ判定部51,52は、Hi側比較器31の比較結果H-CMP、Low側比較器32の比較結果L-CMPが入力され、ストローブ信号STB1、STB2から生成されるウィンドウ区間におけるグリッチ発生の有無を判定する。 The Hi / Low window determination units 51 and 52 receive the comparison result H-CMP of the Hi-side comparator 31 and the comparison result L-CMP of the Low-side comparator 32, and in the window section generated from the strobe signals STB1 and STB2. Determine whether a glitch has occurred.

図8はHi側ウィンドウ判定部51の詳細を示す回路図である。
ウィンドウストローブ作成回路511は、フリップフロップ回路(以下FFと記す)で構成され、第1のストローブ信号STB1をクロック入力とし、第2のストローブ信号STB2をリセット入力として、第1のストローブ信号STB1で開始し第2のストローブ信号STB2で終了するウィンドウ区間で、Hi側となる信号WSTB12を発生する。
FIG. 8 is a circuit diagram showing details of the Hi-side window determination unit 51.
The window strobe generation circuit 511 includes a flip-flop circuit (hereinafter referred to as FF), and starts with the first strobe signal STB1 with the first strobe signal STB1 as a clock input and the second strobe signal STB2 as a reset input. Then, the signal WSTB12 on the Hi side is generated in the window period that ends with the second strobe signal STB2.

グリッチ検出器512は、FFからなり、データ入力がHiに設定され、Hi側比較器31の比較結果H-CMPがクロック入力とされ、ウィンドウストローブ作成回路511からの信号WSTB12がイネーブル入力とされる。 The glitch detector 512 is composed of FF, the data input is set to Hi, the comparison result H-CMP of the Hi side comparator 31 is used as a clock input, and the signal WSTB12 from the window strobe generation circuit 511 is used as an enable input. .

ラッチ回路513を構成するFFは、グリッチ検出器512の出力がデータ入力とされ、ストローブ信号STB2がクロック入力とされ、信号WSTB12がイネーブル入力とされる。ラッチ回路513の出力Hi_w_cmpは、グリッチ検出器512のリセット入力に接続される。 In the FF constituting the latch circuit 513, the output of the glitch detector 512 is a data input, the strobe signal STB2 is a clock input, and the signal WSTB12 is an enable input. The output Hi_w_cmp of the latch circuit 513 is connected to the reset input of the glitch detector 512.

Low側ウィンドウ判定部52は、H-CMPの代わりにLow側比較器32の出力L-CMPが入力される以外はウィンドウ判定部51と同様である。 The low-side window determination unit 52 is the same as the window determination unit 51 except that the output L-CMP of the low-side comparator 32 is input instead of H-CMP.

図7の装置の動作を以下に説明する。
被測定デバイスDUT1の出力信号DUT_OUTは、ケーブル2を介してテスタ100に送られ、Hi側比較器31でHiレベル閾値Hi_cmp_levelと、Low側比較器32でLowレベル閾値Low_cmp_levelと比較される。第1のストローブ発生部61、第2のストローブ発生部62は、それぞれ第1のストローブ信号STB1、第2のストローブ信号STB2をウィンドウ判定部51、52に出力する。Hi側比較器31の比較結果H-CMP、Low側比較器32の比較結果L-CMPはそれぞれウィンドウ判定部51、52に入力され、ストローブ信号STB1、STB2により生成されるウィンドウ区間においてグリッチ発生の有無を判定される。
The operation of the apparatus of FIG. 7 will be described below.
The output signal DUT_OUT of the device under test DUT1 is sent to the tester 100 via the cable 2, and is compared with the Hi level threshold value Hi_cmp_level by the Hi side comparator 31 and the Low level threshold value Low_cmp_level by the Low side comparator 32. The first strobe generation unit 61 and the second strobe generation unit 62 output the first strobe signal STB1 and the second strobe signal STB2 to the window determination units 51 and 52, respectively. The comparison result H-CMP of the Hi-side comparator 31 and the comparison result L-CMP of the Low-side comparator 32 are input to the window determination units 51 and 52, respectively, and a glitch is generated in the window section generated by the strobe signals STB1 and STB2. Existence is determined.

なお、DUT1の仕様が3V振幅の波形出力である場合、レベル比較用閾値の具体例として、例えば下記を設定する。
Hi_cmp_level : 2.5V
Low_cmp_level : 0.8V
In addition, when the specification of DUT1 is 3V amplitude waveform output, for example, the following is set as a specific example of the level comparison threshold.
Hi_cmp_level: 2.5V
Low_cmp_level: 0.8V

図9は、DUT1の出力信号DUT_OUTにグリッチが発生しているときの比較器31,32とウィンドウ判定部51,52の動作を示すタイムチャートである。被測定デバイスDUT1の出力信号DUT_OUT(a)に生じたグリッチA1,A2,A3に対応して、比較器31における閾値Hi_cmp_levelとの比較により信号H-CMP(b)に信号反転B1,B3が生じ、比較器32におけるLowレベル閾値Low_cmp_levelとの比較により信号L-CMP(c)に信号反転B2が生じる。 FIG. 9 is a time chart illustrating operations of the comparators 31 and 32 and the window determination units 51 and 52 when a glitch is generated in the output signal DUT_OUT of the DUT 1. Corresponding to the glitches A1, A2, and A3 generated in the output signal DUT_OUT (a) of the device under test DUT1, signal inversions B1 and B3 are generated in the signal H-CMP (b) by comparison with the threshold Hi_cmp_level in the comparator 31. In comparison with the low level threshold Low_cmp_level in the comparator 32, the signal inversion B2 occurs in the signal L-CMP (c).

図8のHi側ウィンドウ判定部51において、ストローブ信号STB1(d)及びSTB2(e)のタイミングエッジにより、ストローブ作成回路511からウィンドウストローブ信号WSTB12(f)が発生される。比較出力H-CMPがグリッチ検出器512に入力され、ウィンドウストローブ信号WSTB12によってイネーブルになると、比較出力H-CMPにグリッチB1,B3が発生した時点で、出力Win_det (g)はHiに変わる。ラッチ回路513もウィンドウストローブ信号WSTB12によってイネーブルとなっているので、ストローブ信号STB2 のタイミングで出力Win_det のHiレベルがラッチされ(C1,C3)、出力Hi_w_cmp (h)がHiレベルとなり、グリッチが検出されたことを示す。信号Hi_w_cmpにより、グリッチ検出器512出力(g)はリセットされ、次のグリッチ検出に備える。 In the Hi-side window determination unit 51 of FIG. 8, the window strobe signal WSTB12 (f) is generated from the strobe generation circuit 511 by the timing edges of the strobe signals STB1 (d) and STB2 (e). When the comparison output H-CMP is input to the glitch detector 512 and enabled by the window strobe signal WSTB12, the output Win_det (g) changes to Hi when the glitches B1 and B3 occur in the comparison output H-CMP. Since the latch circuit 513 is also enabled by the window strobe signal WSTB12, the Hi level of the output Win_det is latched at the timing of the strobe signal STB2 (C1, C3), the output Hi_w_cmp (h) becomes the Hi level, and a glitch is detected. It shows that. The output (g) of the glitch detector 512 is reset by the signal Hi_w_cmp to prepare for the next glitch detection.

同様に、Low側ウィンドウ判定部52において、比較出力L-CMP(c)にグリッチB2が発生した時点で、信号Win_det (i)はHiに変わり、ストローブ信号STB2 (e)のタイミングで出力Win_det のHiレベルがラッチされ(D1)、出力Low_w_cmp (j)がHiレベルとなる。 Similarly, when the glitch B2 occurs in the comparison output L-CMP (c) in the low-side window determination unit 52, the signal Win_det (i) changes to Hi, and the output Win_det is output at the timing of the strobe signal STB2 (e). The Hi level is latched (D1), and the output Low_w_cmp (j) becomes the Hi level.

ウィンドウストローブ信号WSTB12(f)がイネーブルの状態で、比較出力H-CMP(b),L-CMP(c)にグリッチが発生していない場合は、信号Win_det (g)(i)はLowのままとなるので(C2,D2)、信号Hi_w_cmp(h),Low_w_cmp(j)はLowとなる。 When the window strobe signal WSTB12 (f) is enabled and no glitch occurs in the comparison outputs H-CMP (b) and L-CMP (c), the signal Win_det (g) (i) remains low. (C2, D2), the signals Hi_w_cmp (h) and Low_w_cmp (j) are Low.

ウィンドウ判定回路に関連する先行技術文献としては次のようなものがある。   Prior art documents related to the window determination circuit include the following.

特開2001−350646号公報JP 2001-350646 A

しかしながら、高速のDUT出力信号の場合、DUT出力波形が少しでもなまっていると、テストレートと比べて信号の遷移時間(立上がり、立下り)の占める割合が大きくなる。また、テスト中にDUTのジャンクション温度が変わることにより、DUT出力信号の遅延時間は変動する。この温度ドリフトした遅延時間Tdがテストレートに比較して小さければ測定精度に問題は生じないが、大きい場合は誤測定の原因となってしまう。   However, in the case of a high-speed DUT output signal, if the DUT output waveform is slightly blurred, the ratio of the signal transition time (rising or falling) becomes larger than the test rate. Further, the delay time of the DUT output signal varies as the junction temperature of the DUT changes during the test. If this temperature drifted delay time Td is small compared to the test rate, there will be no problem in measurement accuracy, but if it is large, erroneous measurement will be caused.

図10は図7のウィンドウ判定回路で、温度ドリフトによる遅延時間で誤測定が生じた例を示すタイムチャートである。本来、ストローブ信号STB1(b), STB2(c) の間のウィンドウ区間T12に発生したグリッチEを観察するように設定されていたが、テスト中にDUT_OUT(a)の位相がずれたため、遅延時間Td遅延後の信号DUT_OUT(d)の正常波形の立ち上がりエッジFがウィンドウ区間T12内に入り込んで、信号Win_det (e)がHiに変わり、グリッチと認識されたもので、本来検出すべき中間点のグリッチGは検出できなくなっている。 FIG. 10 is a time chart showing an example in which erroneous measurement occurs in the delay time due to temperature drift in the window determination circuit of FIG. Originally, it was set to observe the glitch E generated in the window section T12 between the strobe signals STB1 (b) and STB2 (c), but because the phase of DUT_OUT (a) shifted during the test, the delay time The rising edge F of the normal waveform of the signal DUT_OUT (d) after the delay of Td enters the window section T12, the signal Win_det (e) changes to Hi, and is recognized as a glitch. Glitch G can no longer be detected.

なお、ストローブ信号STB1およびSTB2は、テスタ内の基準クロックから生成されるため、各エッジの位置は、あらかじめプログラムした位置に固定されているので、自動的に変化させることはできない。 Since the strobe signals STB1 and STB2 are generated from the reference clock in the tester, the position of each edge is fixed at a preprogrammed position and cannot be changed automatically.

本発明はこのような課題を解決しようとするもので、アイ測定を行うDUTについて、DUT出力の温度ドリフト等による位相ズレによる誤測定が生じないウィンドウ判定回路を提供することを目的とする。   An object of the present invention is to provide a window determination circuit in which an erroneous measurement due to a phase shift due to a temperature drift of a DUT output or the like does not occur in a DUT that performs eye measurement.

このような課題を達成するために、本発明のうち請求項1記載の発明は、
被測定デバイスの出力信号の、ウィンドウストローブ信号のウィンドウ区間におけるHiレベル閾値およびLowレベル閾値との比較結果に基づいて、信号歪みの有無を判定するウィンドウ判定回路において、
被測定デバイスの出力信号が入力され、Hiレベル閾値とLowレベル閾値との中間の中間レベル閾値と比較する中間値比較器と、
この中間値比較器の出力信号に基づいて所定のウィンドウ幅を持つ信号を発生するウィンドウ幅発生回路と、
このウィンドウ幅発生回路の出力信号を所定の時間遅延させて前記ウィンドウストローブ信号を発生する遅延回路と
を備えることを特徴とする。
In order to achieve such a problem, the invention according to claim 1 of the present invention is:
In a window determination circuit that determines the presence or absence of signal distortion based on a comparison result of the output signal of the device under measurement with the Hi level threshold and the Low level threshold in the window section of the window strobe signal.
An intermediate value comparator that receives an output signal of the device under test and compares it with an intermediate level threshold value intermediate between the Hi level threshold value and the Low level threshold value;
A window width generating circuit for generating a signal having a predetermined window width based on the output signal of the intermediate value comparator;
And a delay circuit that delays an output signal of the window width generation circuit for a predetermined time to generate the window strobe signal.

請求項2記載の発明は、
請求項1記載のウィンドウ判定回路において、
前記比較結果に対応する信号が入力され前記ウィンドウストローブ信号によりイネーブルとされるフリップフロップ回路と、
このフリップフロップ回路から出力される信号を保持するラッチ回路と
を備えることを特徴とする。
The invention according to claim 2
The window determination circuit according to claim 1,
A flip-flop circuit that receives a signal corresponding to the comparison result and is enabled by the window strobe signal;
And a latch circuit that holds a signal output from the flip-flop circuit.

請求項3記載の発明は、
請求項1または2記載のウィンドウ判定回路において、
前記比較結果は被測定デバイスの出力信号をHiレベル閾値及びLowレベル閾値と時分割に比較する比較器から得ることを特徴とする。
The invention described in claim 3
The window determination circuit according to claim 1 or 2,
The comparison result is obtained from a comparator that compares the output signal of the device under measurement with the Hi level threshold and the Low level threshold in a time division manner.

以上説明したことから明らかなように、本発明によれば、被測定デバイスの出力信号の、ウィンドウストローブ信号のウィンドウ区間におけるHiレベル閾値およびLowレベル閾値との比較結果に基づいて、信号歪みの有無を判定するウィンドウ判定回路において、被測定デバイスの出力信号が入力され、Hiレベル閾値とLowレベル閾値との中間の中間レベル閾値と比較する中間値比較器と、この中間値比較器の出力信号に基づいて所定のウィンドウ幅を持つ信号を発生するウィンドウ幅発生回路と、このウィンドウ幅発生回路の出力信号を所定の時間遅延させて前記ウィンドウストローブ信号を発生する遅延回路とを備えることにより、ウィンドウストローブ信号を自動的にDUT出力波形に追従させることができるので、DUT出力の温度ドリフト等による位相ズレによって誤測定が生じないウィンドウ判定回路を提供することができる。   As is clear from the above description, according to the present invention, the presence or absence of signal distortion is determined based on the comparison result of the output signal of the device under measurement with the Hi level threshold and the Low level threshold in the window section of the window strobe signal. In the window determination circuit for determining the output, an output signal of the device under test is input, an intermediate value comparator for comparing with an intermediate level threshold value between the Hi level threshold value and the Low level threshold value, and an output signal of the intermediate value comparator A window width generation circuit for generating a signal having a predetermined window width based on the delay time circuit for generating the window strobe signal by delaying an output signal of the window width generation circuit for a predetermined time. Since the signal can automatically follow the DUT output waveform, It can be erroneously determined by the phase shift due to temperature drift or the like to provide a window decision circuit does not occur.

以下本発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図1は本発明の実施の形態に係る、ウィンドウ判定回路の一実施例を示す構成ブロック図である。図7と同一の部分は同じ記号を付して重複する説明を省略する。 FIG. 1 is a configuration block diagram showing an example of a window determination circuit according to an embodiment of the present invention. The same parts as those in FIG.

中間値比較器33は、DUT1出力信号DUT_OUTを中間レベル閾値 Mid_ cmp_level と比較し、信号M-CMPを比較結果として出力する。ここで中間レベルMid_ cmp_levelは、Hiレベル閾値Hi_cmp_levelとLowレベル閾値Low_cmp_levelのほぼ中間の値とする。 The intermediate value comparator 33 compares the DUT1 output signal DUT_OUT with the intermediate level threshold value Mid_cmp_level, and outputs the signal M-CMP as a comparison result. Here, the intermediate level Mid_cmp_level is an intermediate value between the Hi level threshold Hi_cmp_level and the Low level threshold Low_cmp_level.

M-WIND発生部161は、信号M-CMP を入力して判定ウィンドウを生成するためのウィンドウ幅信号M-WINDをウィンドウ判定部151,152に出力する。 The M-WIND generation unit 161 inputs a signal M-CMP and outputs a window width signal M-WIND for generating a determination window to the window determination units 151 and 152.

ストローブ発生部162は、任意のタイミングで判定出力をラッチするためのストローブ信号をウィンドウ判定部151,152に出力する。 The strobe generator 162 outputs a strobe signal for latching the determination output at an arbitrary timing to the window determination units 151 and 152.

ウィンドウ判定部151,152は、それぞれHi側比較器31の比較結果H-CMP、Low側比較器32の比較結果L-CMPに対し、M-WIND作成回路161から入力する信号M-WINDに基づいてウィンドウ区間におけるグリッチ発生の有無を判定する。 The window determination units 151 and 152 are based on the signal M-WIND input from the M-WIND creation circuit 161 for the comparison result H-CMP of the Hi side comparator 31 and the comparison result L-CMP of the Low side comparator 32, respectively. To determine whether or not a glitch occurs in the window section.

図2はM-WIND発生部161の詳細を示す構成回路図である。
パルス生成用FF611は、データ入力がHiに設定され、クロック入力に中間値比較器33から出力された信号M-CMPが与えられる。
FIG. 2 is a configuration circuit diagram showing details of the M-WIND generator 161.
In the pulse generation FF 611, the data input is set to Hi, and the signal M-CMP output from the intermediate value comparator 33 is supplied to the clock input.

遅延回路612は、パルス生成用FF611の出力信号を入力し、設定された所定の時間だけ遅延した信号M-CMP_Delayを出力して、パルス生成用FF611のリセット端子Rstに入力する。パルス生成用FF611から判定ウィンドウを生成するためのウィンドウ幅信号M-WINDが出力される。 The delay circuit 612 receives an output signal of the pulse generation FF 611, outputs a signal M-CMP_Delay delayed by a set predetermined time, and inputs the signal M-CMP_Delay to the reset terminal Rst of the pulse generation FF 611. A window width signal M-WIND for generating a determination window is output from the pulse generation FF 611.

図3はウィンドウ判定部151の詳細を示す構成回路図である。図8のウィンドウ判定部51と同一の部分は同じ記号を付して重複する説明を省略する。 FIG. 3 is a configuration circuit diagram showing details of the window determination unit 151. The same parts as those of the window determination unit 51 in FIG.

遅延回路514は、M-WIND発生部161から出力されたウィンドウ幅信号M-WINDを入力して、設定された所定の時間Tstb1だけ遅延したウィンドウストローブ信号M-WSTBを生成して、グリッチ検出器512のイネーブル端子Enに出力する。 The delay circuit 514 receives the window width signal M-WIND output from the M-WIND generator 161, generates a window strobe signal M-WSTB delayed by a predetermined time Tstb1, and generates a glitch detector 512 is output to the enable terminal En.

反転回路515は、遅延回路514の出力信号M-WSTBを反転する。STB選択回路516はストローブ発生部162から出力されるストローブ信号STBと反転回路515の出力のいずれかを選択する。 The inverting circuit 515 inverts the output signal M-WSTB from the delay circuit 514. The STB selection circuit 516 selects either the strobe signal STB output from the strobe generator 162 or the output of the inverting circuit 515.

グリッチ検出器513のクロック端子にはSTB選択回路516で選択された信号がストローブ信号として入力される。図8の場合と異なり、ラッチ回路513のイネーブル入力にウィンドウストローブ信号は接続されない。 The signal selected by the STB selection circuit 516 is input to the clock terminal of the glitch detector 513 as a strobe signal. Unlike the case of FIG. 8, the window strobe signal is not connected to the enable input of the latch circuit 513.

ウィンドウ判定部152は、グリッチ検出器512のクロック入力にLow側比較器32の比較結果L-CMPが与えられる以外は上記のウィンドウ判定部151と同じである。 The window determination unit 152 is the same as the window determination unit 151 described above except that the comparison result L-CMP of the low-side comparator 32 is given to the clock input of the glitch detector 512.

上記で、M-WIND発生部161はこの中間値比較器33の出力信号に基づいて所定のウィンドウ幅T12を持つウィンドウ幅信号M-WINDを発生するウィンドウ幅発生回路を構成する。 The M-WIND generator 161 constitutes a window width generation circuit that generates a window width signal M-WIND having a predetermined window width T12 based on the output signal of the intermediate value comparator 33.

また、遅延回路514は、ウィンドウ幅発生回路161の出力信号を所定の時間Tstb1遅延させてウィンドウストローブ信号M-WSTBを発生する遅延回路を構成する。 The delay circuit 514 constitutes a delay circuit that generates the window strobe signal M-WSTB by delaying the output signal of the window width generation circuit 161 by a predetermined time Tstb1.

図1の装置の動作を以下にタイムチャートを用いて説明する。
図4は図1の中間値比較器33と図2のM-WIND発生部161の動作を示すためのタイムチャートである。
The operation of the apparatus shown in FIG. 1 will be described below using a time chart.
FIG. 4 is a time chart for illustrating the operation of the intermediate value comparator 33 of FIG. 1 and the M-WIND generator 161 of FIG.

被測定デバイスDUT1からケーブル2を介して送られた信号DUT_OUT(a)は、中間値比較器33で中間レベル閾値Mid_ cmp_levelと比較され、比較結果M-CMP(b)がM-WIND発生部161に入力される。信号M-CMPの立ち上がりエッジで、パルス生成用FF611は“1”(Hi)となる。この出力が、遅延回路612を通過し、時間T12遅延した後(c)、その立ち上がりでパルス生成用FF611をリセットしてその出力を“0”(Low)とする(d)。その結果、パルス生成用FF611からウィンドウストローブの元となるウィンドウ幅信号M-WINDが出力される。ここで、ウィンドウ幅信号M-WINDは遅延時間量T12と等しいウィンドウ幅を有する。 The signal DUT_OUT (a) sent from the device under test DUT1 via the cable 2 is compared with the intermediate level threshold value Mid_cmp_level by the intermediate value comparator 33, and the comparison result M-CMP (b) is compared with the M-WIND generator 161. Is input. At the rising edge of the signal M-CMP, the pulse generation FF 611 becomes “1” (Hi). After this output passes through the delay circuit 612 and is delayed by time T12 (c), the pulse generation FF 611 is reset at the rising edge and the output is set to “0” (Low) (d). As a result, the window width signal M-WIND that is the source of the window strobe is output from the pulse generation FF 611. Here, the window width signal M-WIND has a window width equal to the delay time amount T12.

図5は図3のウィンドウ判定部151の動作を示すためのタイムチャートである。ここでは、STB選択回路がストローブ信号STBを選択している場合を示す。 FIG. 5 is a time chart for illustrating the operation of the window determination unit 151 of FIG. Here, a case where the STB selection circuit selects the strobe signal STB is shown.

テスト中にDUT1の出力信号(a)の遅延時間が温度ドリフトによりTd変化したとする(b)。これに追従して遅延され、M-WIND発生部161から出力されたウィンドウ幅信号M-WIND(c)は遅延回路514に入力され、設定された所定の時間 Tstb1 だけ遅延されたウィンドウストローブ信号M-WSTB(d)が生成され、グリッチ検出器512のイネーブル端子Enに入力される。 Assume that during the test, the delay time of the output signal (a) of the DUT 1 changes by Td due to temperature drift (b). The window width signal M-WIND (c) delayed from this and output from the M-WIND generator 161 is input to the delay circuit 514, and the window strobe signal M delayed by a preset predetermined time Tstb1. -WSTB (d) is generated and input to the enable terminal En of the glitch detector 512.

このM-WSTB 信号が、“1”の時に、Hi側の比較結果 H-CMP にグリッジによる信号反転が発生すると、グリッジ検出器512がセットされ、出力Win_det(e)が“1”となる。この出力信号Win_det は次段のラッチ回路513に入力されて、ストローブ信号STB(f)のタイミングでラッチされると同時に、グリッジ検出器512をリセットして“0”とする。ラッチ回路513の出力信号Hi_w_cmp(g)がグリッチの判定結果を示す。 When this M-WSTB signal is “1” and the signal inversion due to glitch occurs in the comparison result H-CMP on the Hi side, the glitch detector 512 is set and the output Win_det (e) becomes “1”. This output signal Win_det is input to the latch circuit 513 at the next stage and latched at the timing of the strobe signal STB (f), and at the same time, the glitch detector 512 is reset to “0”. The output signal Hi_w_cmp (g) of the latch circuit 513 indicates the determination result of the glitch.

なお、ストローブ信号をグリッジが発生されると思われる位置よりも確実に遅延させたい場合は、あらかじめSTB選択回路516で反転回路515の出力信号を選択し、ウィンドウストローブ信号M-WSTB(d)の立下りのタイミングで信号Win_detをラッチさせてもよい。 When it is desired to delay the strobe signal more reliably than the position where the glitch is supposed to be generated, the STB selection circuit 516 selects the output signal of the inverting circuit 515 in advance, and the window strobe signal M-WSTB (d) The signal Win_det may be latched at the falling timing.

上記のような構成のウィンドウ判定回路によれば、ウィンドウストローブ信号M-WSTBをDUT出力信号の遅延に追従させることにより、DUTの温度ドリフトによる位相ずれを自動的に吸収することが可能となる。したがって、DUT出力の温度ドリフト等による位相ズレによる誤測定が生じないウィンドウ判定回路を実現することができる。 According to the window determination circuit configured as described above, it is possible to automatically absorb the phase shift due to the temperature drift of the DUT by causing the window strobe signal M-WSTB to follow the delay of the DUT output signal. Therefore, it is possible to realize a window determination circuit that does not cause erroneous measurement due to phase shift due to temperature drift of the DUT output.

また、波形にグリッジが発生した場合だけでなく、波形の立ち上がりが歪んだ場合の検出も可能である。図6(a)にDUT1信号が正常波形となっている場合、図6(b)にDUT1信号が歪んだ波形となっている場合のタイムチャートを示す。立ち上がりが歪んだ波形の場合、正常波形の場合と比較して、H-CMP波形のエッジ位置が、M-CMP波形のエッジ位置と比較して、かなり後方となる。この場合、信号M-WSTB の内側(Hiの状態)に立ち上がり歪みが存在することになるため、フェイルとなって検出される。このように、遅延時間を適切に設定することにより、立ち上がりの歪みについても、検出することが可能である。 Further, not only when a glitch occurs in the waveform but also when the rising edge of the waveform is distorted can be detected. FIG. 6A shows a time chart when the DUT1 signal has a normal waveform, and FIG. 6B shows a time chart when the DUT1 signal has a distorted waveform. In the case of a waveform with a distorted rising edge, the edge position of the H-CMP waveform is considerably backward compared to the edge position of the M-CMP waveform compared to the case of the normal waveform. In this case, since rising distortion exists inside the signal M-WSTB (Hi state), it is detected as a failure. In this way, by setting the delay time appropriately, it is possible to detect the rise distortion.

なお、上記の実施例では比較器とウィンドウ判定部をHi側およびLow側の2組設けているが、Hiレベル閾値とLowレベル閾値を時分割に切り換えることにより、1組としてハードウェアコストを低減してもよい。 In the above embodiment, two sets of the comparator and the window determination unit are provided on the Hi side and the Low side, but the hardware cost is reduced to one set by switching the Hi level threshold and the Low level threshold to time division. May be.

また、ウィンドウ判定部151において、ストローブ信号として常に信号STBを用いる場合は、反転回路515及びSTB選択回路516を省略することができる。 Further, when the window determination unit 151 always uses the signal STB as the strobe signal, the inversion circuit 515 and the STB selection circuit 516 can be omitted.

本発明の実施の形態に係る、ウィンドウ判定回路の一実施例を示す構成ブロック図である。It is a configuration block diagram showing an example of a window determination circuit according to an embodiment of the present invention. M-WIND発生部161の詳細を示す構成回路図である。4 is a configuration circuit diagram showing details of an M-WIND generation unit 161. FIG. ウィンドウ判定部151の詳細を示す構成回路図である。3 is a configuration circuit diagram illustrating details of a window determination unit 151. FIG. 図1の中間値比較器33と図2のM-WIND発生部161の動作を示すためのタイムチャートである。3 is a time chart for illustrating operations of the intermediate value comparator 33 of FIG. 1 and the M-WIND generator 161 of FIG. 図3のウィンドウ判定部151の動作を示すためのタイムチャートである。FIG. 4 is a time chart for illustrating the operation of a window determination unit 151 in FIG. 3. FIG. DUT信号が正常波形となっている場合と歪んだ波形となっている場合の図1のウィンドウ判定回路の動作を示すタイムチャートである。2 is a time chart showing the operation of the window determination circuit of FIG. 1 when a DUT signal has a normal waveform and a distorted waveform. 従来のウィンドウ判定回路の一例を示す構成ブロック図である。It is a block diagram showing an example of a conventional window determination circuit. Hi側ウィンドウ判定部51の詳細を示す回路図である。6 is a circuit diagram showing details of a Hi-side window determination unit 51. FIG. 図7のウィンドウ判定回路の動作を示すタイムチャートである。It is a time chart which shows operation | movement of the window determination circuit of FIG. 図7のウィンドウ判定回路で、温度ドリフトにより生じた誤測定の一例を示すタイムチャートである。8 is a time chart showing an example of erroneous measurement caused by temperature drift in the window determination circuit of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1 被測定デバイス
31 Hi側比較器
32 Low側比較器
33 中間値比較器
161 ウィンドウ幅発生回路
514 遅延回路
512 フリップフロップ回路
513 ラッチ回路
Hi_cmp_level Hiレベル閾値
Low_cmp_level Lowレベル閾値
Mid_ cmp_level 中間レベル閾値
M-WSTB ウィンドウストローブ信号
T12 ウィンドウ幅
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Device under test 31 Hi side comparator 32 Low side comparator 33 Intermediate value comparator 161 Window width generation circuit 514 Delay circuit 512 Flip-flop circuit 513 Latch circuit
Hi_cmp_level Hi level threshold
Low_cmp_level Low level threshold
Mid_ cmp_level Mid level threshold
M-WSTB Window strobe signal T12 Window width

Claims (3)

ウィンドウストローブ信号のウィンドウ区間におけるHiレベル閾値およびLowレベル閾値との比較結果に基づいて、被測定デバイスの出力信号の信号歪みの有無を判定するウィンドウ判定回路において、
被測定デバイスの出力信号が入力され、Hiレベル閾値とLowレベル閾値との中間の中間レベル閾値と比較する中間値比較器と、
この中間値比較器の出力信号に基づいて所定のウィンドウ幅を持つ信号を発生するウィンドウ幅発生回路と、
このウィンドウ幅発生回路の出力信号を所定の時間遅延させて前記ウィンドウストローブ信号を発生する遅延回路と
を備えることを特徴とするウィンドウ判定回路。
In a window determination circuit that determines the presence or absence of signal distortion of an output signal of a device under test based on a comparison result between a Hi level threshold and a Low level threshold in a window section of a window strobe signal.
An intermediate value comparator that receives an output signal of the device under test and compares it with an intermediate level threshold value intermediate between the Hi level threshold value and the Low level threshold value;
A window width generating circuit for generating a signal having a predetermined window width based on the output signal of the intermediate value comparator;
And a delay circuit for delaying an output signal of the window width generation circuit for a predetermined time to generate the window strobe signal.
前記比較結果に対応する信号が入力され前記ウィンドウストローブ信号によりイネーブルとされるフリップフロップ回路と、
このフリップフロップ回路から出力される信号を保持するラッチ回路と
を備えることを特徴とする請求項1記載のウィンドウ判定回路。
A flip-flop circuit that receives a signal corresponding to the comparison result and is enabled by the window strobe signal;
The window determination circuit according to claim 1, further comprising a latch circuit that holds a signal output from the flip-flop circuit.
前記比較結果は被測定デバイスの出力信号をHiレベル閾値及びLowレベル閾値と時分割に比較する比較器から得ることを特徴とする請求項1または2記載のウィンドウ判定回路。 3. The window determination circuit according to claim 1, wherein the comparison result is obtained from a comparator that compares the output signal of the device under measurement with the Hi level threshold and the Low level threshold in a time division manner.
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