JP5257914B2 - プラズマ処理チャンバ、プラズマ反応器、大気圧プラズマ処理システム及びプラズマ処理システム - Google Patents
プラズマ処理チャンバ、プラズマ反応器、大気圧プラズマ処理システム及びプラズマ処理システムInfo
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Description
などに多様に使われる。
図1A及び図1Bは本発明の第1実施形態によるプラズマ処理チャンバの斜視図及びその断面図である。図面を参照して、プラズマ処理チャンバはチャンバハウジング(10)と、その内部に二つの放電誘導ブリッジ(13、14)を備える。放電誘導ブリッジ(13、14)は線形構造を有する中空型のチューブである。放電誘導ブリッジ(13、14)は環形のマグネチックコア(20)が装着され、マグネチックコア(20)は巻き線コイル(21)が巻かれて変圧器を構成する。巻き線コイル(21)は変圧器の一次巻き線に無線周波数を供給する電源供給源(30)にインピーダンス整合器(30)を通じて電気的に繋がれる。
図6A及び図6Bは本発明の第2実施形態によるプラズマ処理チャンバの斜視図及びその断面図である。図面を参照して、本発明の第2実施形態によるプラズマ処理チャンバは上述した第1実施形態と同じな方式で誘導結合プラズマ(P)を発生することでそれと係わった繰り返された説明は省略する。
図8A、図8B及び図8Cは本発明の第3実施形態によるプラズマ処理チャンバの斜視図、その分解図及びその断面図である。図面を参照して、本発明の第3実施形態によるプラズマ処理チャンバ(1000)は被処理基板(W)が置かれるサセプタ(1101)が用意されたチャンバハウジング(1110)とその上部に形成されるガス供給部(1200)が構成される。
図16A及び図16Bは本発明の第4実施形態によるプラズマ反応器の正面及背面の斜視図である。図面を参照して、プラズマ反応器(2100)は並列に配列された多数の放電室(2114)を有する反応器の胴体(2110)を備える。反応器の胴体(2110)はプラズマを出力するために各放電室(2114)にしたがって、前面に開口された多数のプラズマ噴射スリット(2111)を有する。反応器の胴体(2110)の背面には、放電室(2114)でガスを供給するためのガス供給部(2150)が形成される。ガス供給部(2150)には、ガスソース(不図示)に繋がれるガス入口(2151)が備えられる。
13,14 放電誘導ブリッジ
15 開口部
20 マグネチックコア
21 巻き線コイル
30 電源供給源
2110 胴体
2111 プラズマ噴射スリット
2120 変圧器
2130 コア保護チューブ
2140 第1電源供給源
2100 プラズマ反応器
a1 第1被処理物待機部
a2 第1返送部
a3 大気圧処理部
Claims (51)
- 内部に被処理基板が置かれる少なくとも一つのサセプタを有するチャンバハウジングと;
チャンバハウジングの内部を横切って設置された多数の放電誘導ブリッジと;
多数の放電誘導ブリッジの両端が繋がれたチャンバハウジングの多数の開口部と;
多数の放電誘導ブリッジに装着され前記チャンバハウジングの開口部から前記チャンバハウジングの外部に突出するマグネチックコアと一次巻き線を有する変圧器と;
一次巻き線に電気的に繋がれる第1電源供給源と;
を含み、
第1電源供給源によって一次巻き線の電流が駆動され、これによって、放電誘導ブリッジを中心として誘導結合プラズマを形成し、変圧器の2次回路を完成するチャンバハウジングの内側AC電位が誘導され、
前記放電誘導ブリッジは金属物質と電気的な不連続性を形成するための電気的な絶縁物質を含み、前記放電誘導ブリッジと前記マグネチックコアの間に冷却チャンネルが備えられ、
多数の放電誘導ブリッジの上部に設置される電気的に接地された放電笠を含み、
前記放電笠は放電誘導ブリッジの直上で第1ガスを流す第1ガス供給チャンネルと、放電誘導ブリッジの間に第2ガスを流す第2ガス供給チャンネルを含むことを特徴とする、プラズマ処理チャンバ。 - 第1電源供給源と一次巻き線の間に電気的に繋がれるインピーダンス整合器を含むことを特徴とする、請求項1に記載のプラズマ処理チャンバ。
- サセプタでバイアス電力を供給するための第2電源供給源と、サセプタと、第2電源供給源に電気的に繋がれる第2インピーダンス整合器を含むことを特徴とする、請求項1に記載のプラズマ処理チャンバ。
- 放電誘導ブリッジは電気的な絶縁物質を含むことを特徴とする、請求項1に記載のプラズマ処理チャンバ。
- チャンバハウジングは上部ハウジングと下部ハウジング、そして、上部ハウジングと下部ハウジングの間に結合される中間ハウジングを備え、中間ハウジングに放電誘導ブリッジが備えられることを特徴とする、請求項1に記載のプラズマ処理チャンバ。
- マグネチックコアは馬蹄形状を有する二つのコアに分離された構造を有して相互の間隔が可変的に調節することができるように移動型構造を有することを特徴とする、請求項1に記載のプラズマ処理チャンバ。
- チャンバハウジングの内部の両側壁に向い合って対向するように設置される第1及び第2サセプタを含み、多数の放電誘導ブリッジは第1及び第2サセプタから同じな間隔を置いて垂直に並列設置されることを特徴とする、請求項1に記載のプラズマ処理チャンバ。
- 第1及び第2サセプタが設置されたチャンバハウジングの両側壁にそれぞれ設置されるガス出口を含むことを特徴とする、請求項7に記載のプラズマ処理チャンバ。
- 放電誘導ブリッジの直上で第1ガスを流す第1ガス供給チャンネルと、放電誘導ブリッジの間に第2ガスを流す第2ガス供給チャンネルを含んで分離されたガスの供給構造を有するガス供給部を含むことを特徴とする、請求項1に記載のプラズマ処理チャンバ。
- マグネチックコアは一つ以上の単一ループの閉鎖型コアを含むことを特徴とする、請求項1に記載のプラズマ処理チャンバ。
- マグネチックコアは一つ以上の多重ループの閉鎖型コアを含むことを特徴とする、請求項1に記載のプラズマ処理チャンバ。
- サセプタは一つ以上のバイアス電力の供給を受けることを特徴とする、請求項1に記載のプラズマ処理チャンバ。
- 多数の放電誘導ブリッジによるプラズマの形成領域を多数に区切る一つ以上の放電分離隔壁を含むことを特徴とする、請求項1に記載のプラズマ処理チャンバ。
- サセプタに対向されるように放電誘導ブリッジの内部に設置され、接地された電極を含むことを特徴とする、請求項1に記載のプラズマ処理チャンバ。
- 放電笠は多数の放電誘導ブリッジによるプラズマの形成領域を一つ以上区切る一つ以上の放電分離隔壁を含むことを特徴とする、請求項1に記載のプラズマ処理チャンバ。
- 多数の放電室を有する反応器の胴体と;
多数の放電室にしたがって、反応器の胴体に形成されたプラズマ噴射スリットと;
多数の放電室に結合され前記反応器の胴体の開口部から前記反応器の胴体の外部に突出するマグネチックコア及び一次巻き線を有する変圧器と;
放電室の内部でマグネチックコアをくるんで保護するコア保護チューブと;
一次巻き線に電気的に繋がれる第1電源供給源と;
を含み、
第1電源供給源によって一次巻き線の電流が駆動され、これによって多数のコア保護チューブを中心として誘導結合プラズマを形成して変圧器の二次回路を完成する多数の放電室内側のAC電位が誘導され、
前記コア保護チューブは金属物質と電気的な不連続性を形成するための電気的な絶縁物質を含み、前記コア保護チューブと前記マグネチックコアの間に冷却チャンネルが備えられ、
前記マグネチックコア及び前記コア保護チューブの上部に設置される電気的に接地された放電笠を含み、
前記放電笠は前記マグネチックコア及び前記コア保護チューブの直上で第1ガスを流す第1ガス供給チャンネルと、前記マグネチックコア及び前記コア保護チューブの間に第2ガスを流す第2ガス供給チャンネルを含むことを特徴とする、プラズマ反応器。 - 反応器の胴体は金属物質を含むことを特徴とする、請求項16に記載のプラズマ反応器。
- 反応器の胴体は電気的な絶縁物質を含むことを特徴とする、請求項16に記載のプラズマ反応器。
- 多数の放電室はそれぞれの内側に設置されて放電室内部を二つ以上の放電領域に区切る放電分離隔壁を含むことを特徴とする、請求項16に記載のプラズマ反応器。
- マグネチックコアは一つ以上の単一ループの閉鎖型コアを含むことを特徴とする、請求項16に記載のプラズマ反応器。
- マグネチックコアは多重ループの閉鎖型コアを含むことを特徴とする、請求項16に記載のプラズマ反応器。
- 多数の巻き線コイルは放電室の内部に位置するマグネチックコア部分をくるむ管形の電導性部材で構成され、管形の電導性部材は部分的に電気的な絶縁物質を含むことを特徴とする、請求項16に記載のプラズマ反応器。
- 反応器の胴体は電気的に接地されることを特徴とする、請求項16に記載のプラズマ反応器。
- 多数の放電室のそれぞれの内部に位置される容量結合電極を含むことを特徴とする、請求項16に記載のプラズマ反応器。
- 容量結合電極はマグネチックコア部分を全体的にくるむ管形の電導性部材で構成され、管形の電導性部材は部分的に絶縁領域を含むことを特徴とする、請求項24に記載のプラズマ反応器。
- 容量結合電極に電気的に繋がれる第2電源供給源を含むことを特徴とする、請求項24に記載のプラズマ反応器。
- 第1電源供給源から電源の入力を受けて一次巻き線と容量結合電極に電源を分割して供給する電源分割部を含むことを特徴とする、請求項24に記載のプラズマ反応器。
- コア保護チューブは電気的な絶縁物質を含むことを特徴とする、請求項16に記載のプラズマ反応器。
- 反応器の胴体は冷却チャンネルを含むことを特徴とする、請求項16に記載のプラズマ反応器。
- マグネチックコアは中心部が中空を成し、マグネチックコアの中空領域に設置される冷却チャンネルを含むことを特徴とする、請求項16に記載のプラズマ反応器。
- マグネチックコアの外部をくるむように設置される冷却チャンネルを含むことを特徴とする、請求項16に記載のプラズマ反応器。
- 反応器の胴体は多数の放電室に開口された多数のガス注入口を含み、多数のガス入口にガスを分配供給するためのガス供給部を含むことを特徴とする、請求項16に記載のプラズマ反応器。
- 多数の放電室を有する反応器の胴体、多数の放電室にしたがって、反応器の胴体に形成されたプラズマ噴射スリット、多数の放電室に結合され前記反応器の胴体の開口部から前記反応器の胴体の外部に突出するマグネチックコア及び一次巻き線を有する変圧器、放電室の内部に位置されたマグネチックコアをくるんで保護するコア保護チューブ、及び一次巻き線に電気的に繋がれる第1電源供給源を含むプラズマ反応器と;
プラズマ反応器が設置され、プラズマ噴射スリットを通じて噴射されるプラズマによって大気圧状態で被処理物に対してプラズマの処理が成される大気圧処理部と;
被処理物が待機する第1被処理物待機部と;
被処理物待機部と大気圧処理部の間で被処理物を返送する第1返送部と;
を含み、
前記コア保護チューブは金属物質と電気的な不連続性を形成するための電気的な絶縁物質を含み、前記コア保護チューブと前記マグネチックコアの間に冷却チャンネルが備えられ、
多数の前記マグネチックコア及び前記コア保護チューブの上部に設置される電気的に接地された放電笠を含み、
前記放電笠は前記マグネチックコア及び前記コア保護チューブの直上で第1ガスを流す第1ガス供給チャンネルと、前記マグネチックコア及び前記コア保護チューブの間に第2ガスを流す第2ガス供給チャンネルを含むことを特徴とする、大気圧プラズマ処理システム。 - プラズマ反応器はプラズマ噴射スリットが被処理物に対向されて垂直に設置され、被処理物は大気圧処理部に垂直に入力されることを特徴とする、請求項33に記載の大気圧プラズマ処理システム。
- プラズマ反応器はプラズマ噴射スリットが被処理物に対向されて水平に設置され、被処理物は大気圧処理部に水平に入力されることを特徴とする、請求項33に記載の大気圧プラズマ処理システム。
- 第1返送部は被処理物待機部と大気圧処理部の間で被処理物を返送するが、被処理物の状態を水平-垂直/垂直-水平転換させる第1返送ロボットを含むことを特徴とする、請求項33に記載の大気圧プラズマ処理システム。
- 大気圧処理部は被処理物を前後に移送する移送手段を含むことを特徴とする、請求項33に記載の大気圧プラズマ処理システム。
- 大気圧処理部は被処理物の予熱のための予熱手段を含むことを特徴とする、請求項33に記載の大気圧プラズマ処理システム。
- 大気圧処理部は被処理物をプラズマ反応器の対向された位置で被処理物を固定させる固定手段を含むことを特徴とする、請求項33に記載の大気圧プラズマ処理システム。
- 大気圧処理部で処理された被処理物が待機する第2被処理物待機部と;
大気圧処理部と他の被処理物待機部の間で被処理物を返送する第2返送部と;
を含むことを特徴とする、請求項33に記載の大気圧プラズマ処理システム。 - 第2返送部は被処理物待機部と大気圧処理部の間で被処理物を返送するが、被処理物の状態を水平-垂直/垂直-水平転換させる第2返送ロボットを含むことを特徴とする、請求項40に記載の大気圧プラズマ処理システム。
- 多数の放電室を有する反応器の胴体、多数の放電室にしたがって、反応器の胴体に形成されたプラズマ噴射スリット、多数の放電室に結合され前記反応器の胴体の開口部から前記反応器の胴体の外部に突出するマグネチックコア及び一次巻き線を有する変圧器、放電室の内部に位置されたマグネチックコアをくるんで保護するコア保護チューブ、及び一次巻き線に電気的に繋がれる第1電源供給源を含むプラズマ反応器と;
プラズマ噴射スリットを通じて出力されるプラズマを収容し、内部にバイアス電力が印加される基板支持台を有するチャンバハウジングと;
を含み、
第1電源供給源によって一次巻き線の電流が駆動され、一次巻き線の駆動電流は変圧器の二次回路を完成して誘導結合されたプラズマを多数の放電室にそれぞれ形成する多数の放電室内側のAC電位を誘導し、誘導結合されたプラズマはコア保護チューブの外側をくるむように放電室にそれぞれ形成され、
前記コア保護チューブは金属物質と電気的な不連続性を形成するための電気的な絶縁物質を含み、前記コア保護チューブと前記マグネチックコアの間に冷却チャンネルが備えられ、
多数の前記マグネチックコア及び前記コア保護チューブの上部に設置される電気的に接地された放電笠を含み、
前記放電笠は前記マグネチックコア及び前記コア保護チューブの直上で第1ガスを流す第1ガス供給チャンネルと、前記マグネチックコア及び前記コア保護チューブの間に第2ガスを流す第2ガス供給チャンネルを含むことを特徴とする、プラズマ処理チャンバ。 - 反応器の胴体は多数の放電室に開口された多数のガス注入口を含み、多数のガス注入口にガスを分配供給するためのガス供給部を含むことを特徴とする、請求項42に記載のプラズマ処理チャンバ。
- 反応器の胴体はプラズマ放電室に開口された第1ガス注入口と隣合う二つのプラズマ放電室の間に形成されてチャンバハウジングに開口された第2ガス注入口を含み、
ガス供給部は第1及び第2ガス注入口にお互いに異なるガスを個別的に分離供給することを特徴とする、請求項43に記載のプラズマ処理チャンバ。 - 基板支持台は被処理物を加熱するための加熱手段を含むことを特徴とする、請求項42に記載のプラズマ処理チャンバ。
- チャンバハウジングの内部には、光を照射して加熱するための光加熱手段を含むことを特徴とする、請求項42に記載のプラズマ処理チャンバ。
- 基板支持台は被処理物を固定するための固定手段を含むことを特徴とする、請求項42に記載のプラズマ処理チャンバ。
- 多数の放電室を有する反応器の胴体、多数の放電室にしたがって、反応器の胴体に形成されたプラズマ噴射スリット、多数の放電室に結合され前記反応器の胴体の開口部から前記反応器の胴体の外部に突出するマグネチックコア及び一次巻き線を有する変圧器、放電室の内部に位置されたマグネチックコアをくるんで保護するコア保護チューブ、及び一次巻き線に電気的に繋がれる第1電源供給源を含むプラズマ反応器と;
プラズマ噴射スリットを通じて出力されるプラズマを収容し、内部にバイアス電力が印加される基板支持台を有するチャンバハウジングを含むプラズマ処理チャンバと;
プラズマ処理チャンバに繋がれるロードロックチャンバと;
ロードロックチャンバに設置されてプラズマ処理チャンバとロードロックチャンバの間で被処理基板を返送する第1返送ロボットと;
ロードロックチャンバに繋がれる返送室と;
返送室に繋がれて被処理基板が待機する被処理基板の待機室と;
被処理基板の待機室とロードロックチャンバの間で基板を伝達する第2返送ロボットと;
を含み、
前記コア保護チューブは金属物質と電気的な不連続性を形成するための電気的な絶縁物質を含み、前記コア保護チューブと前記マグネチックコアの間に冷却チャンネルが備えられ、
多数の前記マグネチックコア及び前記コア保護チューブの上部に設置される電気的に接地された放電笠を含み、
前記放電笠は前記マグネチックコア及び前記コア保護チューブの直上で第1ガスを流す第1ガス供給チャンネルと、前記マグネチックコア及び前記コア保護チューブの間に第2ガスを流す第2ガス供給チャンネルを含むことを特徴とする、プラズマ処理システム。 - プラズマ処理チャンバはプラズマ反応器のプラズマ噴射スリットと基板支持台が向い合って対向して垂直に配置され、被処理基板はロードロックチャンバ及びプラズマ処理チャンバに垂直に入力されることを特徴とする、請求項48に記載のプラズマ処理システム。
- プラズマ処理チャンバはプラズマ反応器のプラズマ噴射スリットと基板支持台が向い合って対向して水平に配置され、被処理基板はロードロックチャンバ及びプラズマ処理チャンバに水平に入力されることを特徴とする、請求項48に記載のプラズマ処理システム。
- 第2返送ロボットは処理された被処理基板の状態を水平-垂直/垂直-水平転換させることを特徴とする、請求項49又は50に記載のプラズマ処理システム。
Applications Claiming Priority (10)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2005-0043232 | 2005-05-23 | ||
KR1020050043232A KR100798355B1 (ko) | 2005-05-23 | 2005-05-23 | 대면적 처리용 외장형 권선 코일을 구비하는 플라즈마처리장치 |
KR1020050051638A KR100629231B1 (ko) | 2005-06-15 | 2005-06-15 | 내부 방전 브릿지를 갖는 플라즈마 소오스 |
KR10-2005-0051638 | 2005-06-15 | ||
KR1020060015143A KR100731993B1 (ko) | 2006-02-16 | 2006-02-16 | 내부 방전 브리지를 갖는 플라즈마 소오스 |
KR10-2006-0015143 | 2006-02-16 | ||
KR10-2006-0042062 | 2006-05-10 | ||
KR1020060042062A KR100761688B1 (ko) | 2006-05-10 | 2006-05-10 | 다중 배열된 방전실을 갖는 플라즈마 반응기 및 이를이용한 대기압 플라즈마 처리 시스템 |
KR10-2006-0042073 | 2006-05-10 | ||
KR1020060042073A KR100772451B1 (ko) | 2006-05-10 | 2006-05-10 | 플라즈마 처리 챔버 및 플라즈마 처리 시스템 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006332055A JP2006332055A (ja) | 2006-12-07 |
JP5257914B2 true JP5257914B2 (ja) | 2013-08-07 |
Family
ID=36954639
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006143372A Expired - Fee Related JP5257914B2 (ja) | 2005-05-23 | 2006-05-23 | プラズマ処理チャンバ、プラズマ反応器、大気圧プラズマ処理システム及びプラズマ処理システム |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7952048B2 (ja) |
EP (1) | EP1727186B1 (ja) |
JP (1) | JP5257914B2 (ja) |
AT (1) | ATE543199T1 (ja) |
TW (1) | TWI390578B (ja) |
Families Citing this family (44)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8453600B2 (en) * | 2004-12-28 | 2013-06-04 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Substrate processing apparatus |
KR100909750B1 (ko) * | 2005-03-01 | 2009-07-29 | 가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키 | 기판 처리 장치 및 반도체 디바이스의 제조 방법 |
JP5257917B2 (ja) * | 2006-04-24 | 2013-08-07 | 株式会社ニューパワープラズマ | 多重マグネチックコアが結合された誘導結合プラズマ反応器 |
US7845310B2 (en) * | 2006-12-06 | 2010-12-07 | Axcelis Technologies, Inc. | Wide area radio frequency plasma apparatus for processing multiple substrates |
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US7863582B2 (en) * | 2008-01-25 | 2011-01-04 | Valery Godyak | Ion-beam source |
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-
2006
- 2006-05-19 EP EP06252610A patent/EP1727186B1/en not_active Not-in-force
- 2006-05-19 AT AT06252610T patent/ATE543199T1/de active
- 2006-05-23 US US11/438,691 patent/US7952048B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-05-23 JP JP2006143372A patent/JP5257914B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2006-05-23 TW TW095118290A patent/TWI390578B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
ATE543199T1 (de) | 2012-02-15 |
EP1727186B1 (en) | 2012-01-25 |
US20060289409A1 (en) | 2006-12-28 |
TW200710913A (en) | 2007-03-16 |
JP2006332055A (ja) | 2006-12-07 |
TWI390578B (zh) | 2013-03-21 |
US7952048B2 (en) | 2011-05-31 |
EP1727186A1 (en) | 2006-11-29 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20100323 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20100326 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
A02 | Decision of refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130319 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160502 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |