JP5256765B2 - 薄膜被覆されたプラスチック容器 - Google Patents
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Description
定されるものではなくアミノシラン、シラザン等も用いることができる。いずれも液体である上記有機ケイ素化合物を気化させ、酸素もしくは酸化力を有するガス(例えばN2O、CO2等)と混合したガス、または、上記混合ガスに不活性ガスであるヘリウム及び/又はアルゴンを混合したガスを適宜加えることも可能である。
また酸化ケイ素膜3の膜厚としては、10nm〜50nm、より好ましくは、20nm〜40nmの範囲であることが好ましい。
図6に示した成膜装置を用い、プラスチック容器基材として容量500ml、重量32gのポリエチレンテレフタレート樹脂ボトルを使用し、この内面にプラズマCVD法により、下記に示すような条件により成膜を行った。その後、得られたプラスチック容器の水道水、40℃促進保存後の酸素バリア性、密着性、透明性を評価した。評価結果を表1に示す。酸素バリア性は、モコン社製OXITRAN2/20により測定した。水道水、40℃促進保存後の酸素バリア性、密着性の評価としては、プラスチック容器に水道水を500ml充填し、40℃で3ヶ月保存した後の酸素バリア性を測定し、バリア性の劣化の程度を調べた。透明性は目視にて評価し、未成膜品と比較して色の変化が認められないか、または変化が小さいものを○とし、色の変化が認められたものを×とした。
図1に示した実施形態の層構成を作るために、まずプロセスガスとしてアセチレンガス100SCCM(Standard CC/min)を導入し、300ワットのマイクロ波電力を1秒間印加することで第1層の炭素膜2を成膜した。それに連続してヘキサメチルジシロキサンと酸素ガスをそれぞれ3SCCM、100SCCM導入し、300ワットのマイクロ波電力を3秒間印加することで第2層の酸化ケイ素膜3を成膜した。但し、この第2層膜である酸化ケイ素膜はヘキサメチル
ジシロキサンのガス流量のみを3秒間の間に変化させることで、単体の膜としても内容物として水道水を充填しなければガスバリア性が劣化しないようにポリエチレンテレフタレート容器との密着性やガスバリア性が良好になるよう各々両立させる膜質を形成している。
図2に示した実施形態の層構成を作るために、プロセスガスとしてヘキサメチルジシロキサンと酸素ガスをそれぞれ3SCCM、100SCCM導入し、300ワットのマイクロ波電力を3秒間印加することで第1層の酸化ケイ素膜3を成膜した。それに連続してアセチレンガス100SCCMを導入し、300ワットのマイクロ波電力を1秒間印加することで第2層の炭素膜2を成膜した。酸化ケイ素膜3の成膜条件は実施例1に準ずる。
図3に示した実施形態の層構成を作るために、プロセスガスとしてアセチレンガス100SCCMを導入し、300ワットのマイクロ波電力を1秒間印加することで第1層の炭素膜2を成膜した。次にヘキサメチルジシロキサンと酸素ガスをそれぞれ3SCCM、100SCCM導入し、300ワットのマイクロ波電力を3秒間印加することで第2層の酸化ケイ素膜3を成膜した。それに連続してアセチレンガス100SCCMを導入し、300ワットのマイクロ波電力を1秒間印加することで第3層の炭素膜4を成膜した。酸化ケイ素膜の成膜条件は実施例1に準ずる。
図4に示した層構成を作るために、プロセスガスとしてヘキサメチルジシロキサンと酸素ガスをそれぞれ3SCCM、100SCCM導入し、300ワットのマイクロ波電力を3秒間印加することで第1層の酸化ケイ素膜3を成膜した。酸化ケイ素膜の成膜条件は実施例1に準ずる。
図5に示した層構成を作るために、プロセスガスとしてアセチレンガス100SCCMを導入し、300ワットのマイクロ波電力を5秒間印加することで第1層の炭素膜2を成膜した。これについてはガスバリア性を発現させるために電力の印加時間を前記の1秒間から5秒間に長くすることで酸素バリア性の初期値が同等となるようにした。
総合的には実施例3の層構成が透明性と水道水40℃×3ヶ月の促進保存後の酸素バリア性、密着性の両方を備えたバランスの良い結果となった。
2・・・炭素膜
3・・・酸化ケイ素膜
4・・・炭素膜
a・・・共振器
b・・・プラスチック容器
c・・・真空チャンバ
d・・・ガス供給管
e・・・マイクロ波電源
f・・・インピーダンス整合器
g・・・方形導波管
Claims (1)
- 内側表面に複数層の薄膜が形成されたプラスチック容器において、内側表面に第1層として炭素膜が存在し、その上に第2層として酸化ケイ素膜が存在し、その上に第3層として炭素膜が形成されており、前記炭素膜の厚さは10nm〜15nmであり、前記酸化ケイ素膜の厚さは10nm〜50nmであることを特徴とする薄膜被覆されたプラスチック容器。
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