JP5248396B2 - 固体撮像素子及びその製造方法、放射線撮像装置及びその製造方法、並びに固体撮像素子の検査方法 - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態に係る固体撮像素子1の概略構成図である。また、図2は、図1に示す固体撮像素子1のII−II線に沿った断面を示す側断面図である。本実施形態に係る固体撮像素子1は、受光部10、複数の信号出力部20および垂直シフトレジスタ30を備える。なお、図1では、受光部10の一部の領域Dを拡大して示している。
図8は、本発明の第2実施形態に係る放射線撮像装置2の構成を示す平面図である。また、図9は、図8に示す放射線撮像装置2のIX−IX線に沿った断面を示す側断面図である。
ここで、本発明の第3実施形態として、第2実施形態に係る放射線撮像装置2を製造する方法について説明する。なお、この製造方法には、第1実施形態に係る固体撮像素子1の製造方法及び検査方法も含まれている。図10は、放射線撮像装置2を製造するための各工程を示す図である。
Claims (7)
- フォトダイオードを各々含むM×N個(M,Nは2以上の整数)の画素がM行N列に2次元配列されて成る受光部と、
2以上の列を各々含み前記N列が分割されて成る複数の列群のそれぞれに対応して設けられた複数の信号出力部と、
前記画素からの電荷出力を各行毎に制御する垂直シフトレジスタと
を備え、
前記複数の信号出力部のそれぞれが、
各列群に含まれる前記2以上の列のそれぞれに対応して設けられ、各列に含まれる前記画素から出力された電荷を蓄積して電圧信号に変換する2以上の積分回路と、
前記2以上の積分回路それぞれの出力端に接続された2以上の保持回路と、
前記2以上の保持回路から順に電圧信号を出力させる水平シフトレジスタと、
前記積分回路のリセットを行うリセット信号、前記保持回路への電圧信号の入力を制御するホールド信号、前記水平シフトレジスタの動作を開始する水平スタート信号、前記水平シフトレジスタのクロックを規定する水平クロック信号、前記垂直シフトレジスタの動作を開始する垂直スタート信号、及び前記垂直シフトレジスタのクロックを規定する垂直クロック信号のそれぞれを入力する複数の端子電極を含む入力端子電極群と、
前記保持回路からの出力信号を提供する出力端子電極と
を有しており、
各信号出力部の前記積分回路に前記リセット信号を提供するためのリセット用共通配線、各信号出力部の前記保持回路に前記ホールド信号を提供するための保持用共通配線、前記垂直シフトレジスタに前記垂直スタート信号を提供するための垂直スタート用共通配線、及び、前記垂直シフトレジスタに前記垂直クロック信号を提供するための垂直クロック用共通配線のそれぞれが、複数の信号出力部にわたって配設されており、
各信号出力部の前記リセット信号用の端子電極、前記ホールド信号用の端子電極、前記垂直スタート信号用の端子電極、及び前記垂直クロック信号用の端子電極のそれぞれが、スイッチ手段を介して前記リセット用共通配線、前記保持用共通配線、前記垂直スタート用共通配線、及び前記垂直クロック用共通配線のそれぞれに接続されており、
各信号出力部が、前記スイッチ手段の接続/非接続を制御するためのスイッチ制御信号を入力する制御端子電極を更に有することを特徴とする、固体撮像素子。 - 前記複数の信号出力部のそれぞれが、電源電圧を入力する電源用端子電極を更に有しており、
各信号出力部の前記電源用端子電極が、前記複数の信号出力部にわたって設けられた配線によって互いに接続されていることを特徴とする、請求項1に記載の固体撮像素子。 - 請求項1または2に記載の固体撮像素子と、
前記受光部上に設けられ、入射した放射線に応じてシンチレーション光を発生して放射線像を光像へと変換し、該光像を前記受光部へ出力するシンチレータと
を備えることを特徴とする、放射線撮像装置。 - フォトダイオードを各々含むM×N個(M,Nは2以上の整数)の画素がM行N列に2次元配列されて成る受光部と、
2以上の列を各々含み前記N列が分割されて成る複数の列群のそれぞれに対応して設けられた複数の信号出力部と、
前記画素からの電荷出力を各行毎に制御する垂直シフトレジスタと
を備える固体撮像素子を製造する方法であって、
各列群に含まれる前記2以上の列のそれぞれに対応して設けられ、各列に含まれる前記画素から出力された電荷を蓄積して電圧信号に変換する2以上の積分回路と、前記2以上の積分回路それぞれの出力端に接続された2以上の保持回路と、前記2以上の保持回路から順に電圧信号を出力させる水平シフトレジスタと、前記積分回路のリセットを行うリセット信号、前記保持回路への電圧信号の入力を制御するホールド信号、前記水平シフトレジスタの動作を開始する水平スタート信号、前記水平シフトレジスタのクロックを規定する水平クロック信号、前記垂直シフトレジスタの動作を開始する垂直スタート信号、及び前記垂直シフトレジスタのクロックを規定する垂直クロック信号のそれぞれを入力する複数の端子電極を含む入力端子電極群と、前記保持回路からの出力信号を提供する出力端子電極とを、半導体基板上において前記複数の信号出力部となる各領域に形成すると共に、前記受光部及び前記垂直シフトレジスタを該半導体基板上に形成する形成工程と、
前記受光部及び前記複数の信号出力部の動作を各列群毎に検査し、正常に動作する前記半導体基板を選択する検査工程と、
前記検査工程において選択された前記半導体基板における各信号出力部の前記入力端子電極群及び前記出力端子電極のそれぞれと、前記半導体基板の外部に用意された配線パターンとをワイヤボンディングにより接続するワイヤボンディング工程と
を含み、
前記形成工程の際、各信号出力部の前記積分回路に前記リセット信号を提供するためのリセット用共通配線、各信号出力部の前記保持回路に前記ホールド信号を提供するための保持用共通配線、前記垂直シフトレジスタに前記垂直スタート信号を提供するための垂直スタート用共通配線、及び、前記垂直シフトレジスタに前記垂直クロック信号を提供するための垂直クロック用共通配線のそれぞれを複数の信号出力部にわたって形成し、また、各信号出力部の前記リセット信号用の端子電極、前記ホールド信号用の端子電極、前記垂直スタート信号用の端子電極、及び前記垂直クロック信号用の端子電極のそれぞれを、スイッチ手段を介して前記リセット用共通配線、前記保持用共通配線、前記垂直スタート用共通配線、及び前記垂直クロック用共通配線のそれぞれに接続し、また、前記スイッチ手段の接続/非接続を制御するためのスイッチ制御信号を入力する制御端子電極を各信号出力部に形成し、
前記検査工程の際、各信号出力部毎に、前記制御端子電極にプローブを接触させて前記スイッチ制御信号を与えることにより前記スイッチ手段を接続状態とするとともに、前記入力端子電極群に別のプローブを接触させることにより、前記リセット信号、前記ホールド信号、前記水平スタート信号、前記水平クロック信号、前記垂直スタート信号、及び前記垂直クロック信号のそれぞれを前記入力端子電極群に与え、前記出力端子電極に更に別のプローブを接触させて電圧信号を取得することにより、前記受光部及び前記複数の信号出力部の動作を検査することを特徴とする、固体撮像素子の製造方法。 - 前記形成工程の際、電源電圧を入力する電源用端子電極を、前記半導体基板上において前記複数の信号出力部となる各領域に形成し、各信号出力部の前記電源用端子電極を互いに接続する配線を前記複数の信号出力部にわたって形成することを特徴とする、請求項4に記載の固体撮像素子の製造方法。
- 請求項4または5に記載の固体撮像素子の製造方法に加え、
入射した放射線に応じてシンチレーション光を発生して放射線像を光像へと変換し、該光像を前記受光部へ出力するシンチレータを前記受光部上に設けるシンチレータ付加工程を前記検査工程の前または後に含むことを特徴とする、放射線撮像装置の製造方法。 - フォトダイオードを各々含むM×N個(M,Nは2以上の整数)の画素がM行N列に2次元配列されて成る受光部と、
2以上の列を各々含み前記N列が分割されて成る複数の列群のそれぞれに対応して設けられた複数の信号出力部と、
前記画素からの電荷出力を各行毎に制御する垂直シフトレジスタと
を備え、
前記複数の信号出力部のそれぞれが、
各列群に含まれる前記2以上の列のそれぞれに対応して設けられ、各列に含まれる前記画素から出力された電荷を蓄積して電圧信号に変換する2以上の積分回路と、
前記2以上の積分回路それぞれの出力端に接続された2以上の保持回路と、
前記2以上の保持回路から順に電圧信号を出力させる水平シフトレジスタと、
前記積分回路のリセットを行うリセット信号、前記保持回路への電圧信号の入力を制御するホールド信号、前記水平シフトレジスタの動作を開始する水平スタート信号、前記水平シフトレジスタのクロックを規定する水平クロック信号、前記垂直シフトレジスタの動作を開始する垂直スタート信号、及び前記垂直シフトレジスタのクロックを規定する垂直クロック信号のそれぞれを入力する複数の端子電極を含む入力端子電極群と、
前記保持回路からの出力信号を提供する出力端子電極と
を有する固体撮像素子を検査する方法であって、
各信号出力部の前記積分回路に前記リセット信号を提供するためのリセット用共通配線、各信号出力部の前記保持回路に前記ホールド信号を提供するための保持用共通配線、前記垂直シフトレジスタに前記垂直スタート信号を提供するための垂直スタート用共通配線、及び、前記垂直シフトレジスタに前記垂直クロック信号を提供するための垂直クロック用共通配線のそれぞれを、複数の信号出力部にわたって形成し、また、各信号出力部の前記リセット信号用の端子電極、前記ホールド信号用の端子電極、前記垂直スタート信号用の端子電極、及び前記垂直クロック信号用の端子電極のそれぞれを、スイッチ手段を介して前記リセット用共通配線、前記保持用共通配線、前記垂直スタート用共通配線、及び前記垂直クロック用共通配線のそれぞれに接続し、また、前記スイッチ手段の接続/非接続を制御するためのスイッチ制御信号を入力する制御端子電極を各信号出力部に形成し、
各信号出力部毎に、前記制御端子電極にプローブを接触させて前記スイッチ制御信号を与えることにより前記スイッチ手段を接続状態とするとともに、前記入力端子電極群に別のプローブを接触させることにより、前記リセット信号、前記ホールド信号、前記水平スタート信号、前記水平クロック信号、前記垂直スタート信号、及び前記垂直クロック信号のそれぞれを前記入力端子電極群に与え、前記出力端子電極に更に別のプローブを接触させて電圧信号を取得することにより、前記受光部及び前記複数の信号出力部の動作を検査することを特徴とする、固体撮像素子の検査方法。
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