JP5245935B2 - ロボットハンド及び移送ロボット - Google Patents
ロボットハンド及び移送ロボット Download PDFInfo
- Publication number
- JP5245935B2 JP5245935B2 JP2009058113A JP2009058113A JP5245935B2 JP 5245935 B2 JP5245935 B2 JP 5245935B2 JP 2009058113 A JP2009058113 A JP 2009058113A JP 2009058113 A JP2009058113 A JP 2009058113A JP 5245935 B2 JP5245935 B2 JP 5245935B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- hand
- robot
- movable frame
- movable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
1 ロボットハンド
3 移送ロボット
5 ロボットアーム
7 リスト部
9 ハンド本体
11 第1取付アーム
13 第1クランパ
15 クランパジョー
17 第1ガイドレール
19 可動フレーム
21 第2取付アーム
23 第2クランパ
25 クランパジョー
27 エアシリンダ
29 ピストンロッド
31A 第2ガイドレール
31B 第2ガイドレール
33A,33B カウンタウェイト
35A,35B 第1滑車
39A,39B 第1連結ワイヤ
41A,41B 第2滑車
45A,45B 第2連結ワイヤ
Claims (4)
- テンションをかけた状態で基板を保持するロボットハンドにおいて、
ハンド本体の一端側に設けられ、基板の一端部を保持する第1保持具と、
前記ハンド本体の他端側に前記第1保持具に対して接近離隔する方向へ移動可能に設けられた可動フレームと、
前記可動フレームに設けられ、基板の他端部を保持する第2保持具と、
前記第1保持具に対して離隔する方向の推力を前記可動フレームに与えるアクチュエータと、
前記ハンド本体の他端側に前記第1保持具に対して接近離隔する方向へ移動可能に設けられ、前記可動フレーム及び前記第2保持具の重量とバランスさせるカウンタウェイトと、
前記ハンド本体の一端側に設けられた第1サポートに支持され、前記カウンタウェイトと前記可動フレームを連結する第1連結部材と、
前記ハンド本体の他端側に設けられた第2サポートに支持され、前記カウンタウェイトと前記可動フレーム連結する第2連結部材と、を具備したことを特徴とするロボットハンド。 - 前記カウンタウェイトは、前記可動フレーム及び前記第2保持具の重量に相当する重量を有していることを特徴とする請求項1に記載のロボットハンド。
- 前記第1連結部材及び前記第2連結部材は、可撓性を有した第1連結ワイヤ及び第2連結ワイヤであって、前記第1サポート及び前記第2サポートは、前記ハンド本体に回転自在に設けられた第1滑車及び第2滑車であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のロボットハンド。
- 基板を移送する際に用いられる移送ロボットにおいて、
請求項1から請求項3のうちのいずれかの請求項に記載のロボットハンドを具備したことを特徴とする移送ロボット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009058113A JP5245935B2 (ja) | 2009-03-11 | 2009-03-11 | ロボットハンド及び移送ロボット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009058113A JP5245935B2 (ja) | 2009-03-11 | 2009-03-11 | ロボットハンド及び移送ロボット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010207982A JP2010207982A (ja) | 2010-09-24 |
JP5245935B2 true JP5245935B2 (ja) | 2013-07-24 |
Family
ID=42968731
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009058113A Active JP5245935B2 (ja) | 2009-03-11 | 2009-03-11 | ロボットハンド及び移送ロボット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5245935B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7268262B1 (ja) | 2022-11-18 | 2023-05-02 | 第一高周波工業株式会社 | 金属材における防食被覆層の損傷の補修方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE112015005991B4 (de) | 2015-01-19 | 2024-02-08 | Mitsubishi Electric Corporation | Paketsendevorrichtung, Paketempfangsvorrichtung, Paketsendeprogramm und Paketempfangsprogramm |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08385B2 (ja) * | 1988-03-10 | 1996-01-10 | 東急建設株式会社 | 長尺据付物用建設作業ロボットに於ける重量軽減装置 |
EP0443295A1 (de) * | 1990-02-23 | 1991-08-28 | GebràDer Sulzer Aktiengesellschaft | Werkzeug zum Greifen, Roboter mit einem derartigen Werkzeug sowie Verwendung des Roboters mit dem Greiferwerkzeug |
JPH04223889A (ja) * | 1990-12-20 | 1992-08-13 | Tokico Ltd | 工業用ロボット |
JPH04300194A (ja) * | 1991-03-28 | 1992-10-23 | Yamaha Corp | 直動機構の防塵装置 |
JP4454211B2 (ja) * | 2002-08-12 | 2010-04-21 | チメイ オプトエレクトロニクス コーポレーション | 基板搬送ロボットシステム及びこの基板搬送ロボットシステムに用いられる基板搬送容器 |
JP2005096027A (ja) * | 2003-09-25 | 2005-04-14 | Toray Eng Co Ltd | ロボットハンド |
JP4618643B2 (ja) * | 2005-03-11 | 2011-01-26 | ヤマハファインテック株式会社 | ワークの把持機構およびそれを用いた把持システム |
-
2009
- 2009-03-11 JP JP2009058113A patent/JP5245935B2/ja active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7268262B1 (ja) | 2022-11-18 | 2023-05-02 | 第一高周波工業株式会社 | 金属材における防食被覆層の損傷の補修方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010207982A (ja) | 2010-09-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW461847B (en) | Mechanical gripper for wafer handling robots | |
CN107553523B (zh) | 一种柔性夹持装置 | |
FR3066422B1 (fr) | Prehenseur pour manipulateur, muni de bras de prehension comprenant des branches reliees par des organes d'articulation a changement d'etats. | |
ATE500032T1 (de) | Klemme für handhabungsroboter mit verbesserter greifgenauigkeit und mindestens eine solche klemme umfassender handhabungsroboter | |
WO2014147937A1 (ja) | ワーク搬入装置 | |
CN113199498B (zh) | 一种可调刚度的软体机械手及其驱动方法 | |
JP5587638B2 (ja) | 万能チャック | |
CN108406738B (zh) | 一种二自由度微夹持器 | |
JP2009543034A5 (ja) | ||
JP5522439B2 (ja) | 把持装置 | |
JP2010253571A (ja) | 先端可動爪を有するチャックハンド | |
CN108527426A (zh) | 一种双联动机械手 | |
JP5245935B2 (ja) | ロボットハンド及び移送ロボット | |
CN209774704U (zh) | 一种搬运机械手的缓冲装置 | |
JP2019209458A (ja) | エンドエフェクタ及び装置 | |
CN112276979A (zh) | 一种用于工业机器人的抓取装置 | |
CN108381504A (zh) | 一种简易手持式夹臂 | |
TWI716889B (zh) | 引線插入裝置及引線插入方法 | |
CN102069501A (zh) | 机械手爪结构与机械手 | |
UA91391C2 (ru) | Транспортное устройство для заготовок | |
JP5705052B2 (ja) | ダイボンディング装置 | |
CN110002223B (zh) | 一种具有表面黏附能力的夹持器 | |
JP2010023120A (ja) | ロボットハンドとこれを用いた対象物の把持方法 | |
JP2004001112A (ja) | 産業用ロボット | |
CZ309450B6 (cs) | Způsob a zařízení pro podpírání obráběných součástí během obrábění |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120126 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130207 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130312 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130325 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5245935 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160419 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |