JP5244932B2 - 有機化合物の精製方法、成膜方法、又は発光装置の作製方法 - Google Patents
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Description
本発明の実施の形態1において、成膜装置が有する成膜室と精製室の構成について図1に示す。
なお、ヒーター109に加熱された領域には、融解帯201が形成される。
のみをヒーター109により加熱し、領域I(113)に存在する不純物を気化させて除去する。
そして、高純度領域である領域II(114)を蒸発源112とするために、ヒーター109により有機化合物が昇華する温度で加熱し、有機化合物を気化させる。
本発明の実施の形態2において、成膜装置が有する成膜室と精製室の構成について図3に示す。
すなわち、坩堝b(401b)であっても、坩堝a(401a)または、坩堝c(401c)であってもよい。
また、アライメント室(A)802とは図示しないゲートで密閉遮断されている。
また、アライメント室(B)806とは図示しないゲートで密閉遮断されている。
また、アライメント室(C)808とは図示しないゲートで密閉遮断されている。
を設けておき、成膜室(D)810からの基板の搬出を行う。ここでの封止処理は形成された発光素子を酸素や水分から保護するための処理であり、カバー材で機械的に封入する、又は熱硬化性樹脂もしくは紫外光硬化性樹脂で封入するといった手段を用いる。
もしくはクライオポンプなどの排気ポンプを用いることが可能であるが、水分等の除去に優れているクライオポンプをドライポンプと組み合わせて用いるのが好ましい。
本実施例では、成膜室(D)912内の成膜部913において、発光素子の陰極となる導電膜としてAl−Li合金膜(アルミニウムとリチウムとの合金膜)を成膜する。なお、周期表の1族もしくは2族に属する元素とアルミニウムとを共蒸着することも可能である。共蒸着とは、同時に蒸発源を加熱し、成膜段階で異なる物質を混合する蒸着法をいう。
Claims (6)
- 第1の坩堝と、底部に開口部を有する第2の坩堝と、に固体の有機化合物を入れ、前記第1の坩堝の上に前記第2の坩堝を重ね、
前記有機化合物を加熱し、融解帯を発生させ、
前記融解帯を移動させることで不純物を移動させて、前記第1の坩堝中の有機化合物の純度を、前記第2の坩堝中の有機化合物の純度よりも高くすることを特徴とする有機化合物の精製方法。 - 第1の坩堝と、底部に開口部を有する第2の坩堝と、に固体の有機化合物を入れ、前記第1の坩堝の上に前記第2の坩堝を重ね、
前記有機化合物を加熱し、融解帯を発生させ、
前記融解帯を移動させることで不純物を移動させて、前記第2の坩堝中の有機化合物の純度を、前記第1の坩堝中の有機化合物の純度よりも高くすることを特徴とする有機化合物の精製方法。 - 第1の坩堝と、底部に開口部を有する第2の坩堝と、に固体の有機化合物を入れ、前記第1の坩堝の上に前記第2の坩堝を重ね、
前記有機化合物を加熱し、融解帯を発生させ、
前記融解帯を移動させることで不純物を移動させて、前記第1の坩堝中の有機化合物の純度を、前記第2の坩堝中の有機化合物の純度よりも高くし、
前記第1の坩堝中の有機化合物を、基板上に蒸着させることを特徴とする成膜方法。 - 第1の坩堝と、底部に開口部を有する第2の坩堝と、に固体の有機化合物を入れ、前記第1の坩堝の上に前記第2の坩堝を重ね、
前記有機化合物を加熱し、融解帯を発生させ、
前記融解帯を移動させることで不純物を移動させて、前記第2の坩堝中の有機化合物の純度を、前記第1の坩堝中の有機化合物の純度よりも高くし、
前記第2の坩堝中の有機化合物を、基板上に蒸着させることを特徴とする成膜方法。 - 第1の坩堝と、底部に開口部を有する第2の坩堝と、に固体の有機化合物を入れ、前記第1の坩堝の上に前記第2の坩堝を重ね、
前記有機化合物を加熱し、融解帯を発生させ、
前記融解帯を移動させることで不純物を移動させて、前記第1の坩堝中の有機化合物の純度を、前記第2の坩堝中の有機化合物の純度よりも高くし、
前記第1の坩堝中の有機化合物を、基板上に蒸着させることを特徴とする発光装置の作製方法。 - 第1の坩堝と、底部に開口部を有する第2の坩堝と、に固体の有機化合物を入れ、前記第1の坩堝の上に前記第2の坩堝を重ね、
前記有機化合物を加熱し、融解帯を発生させ、
前記融解帯を移動させることで不純物を移動させて、前記第2の坩堝中の有機化合物の純度を、前記第1の坩堝中の有機化合物の純度よりも高くし、
前記第2の坩堝中の有機化合物を、基板上に蒸着させることを特徴とする発光装置の作製方法。
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