JP5205700B2 - セラミックス基板の焼成装置およびセラミックス基板の焼成方法 - Google Patents
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Description
50.000+0.500+1.000=51.500・・・式(1)
となる。スペーサ6の高さH1が台座3と台座4とセラミックス基板7との各厚さを合わせた高さH2よりも大きいので、セラミックス基板7とセッター5との間には隙間があり、セラミックス基板7は非加圧状態である(図3中、(a))。
51.842+51.842×(1100−25)×2×10-6=51.953・・・式(2)
となり、H2は、
50.000+50.000×(1100−25)×10×10-6+0.500+0.500×(1100−25)×10×10-6+1.000+1.000×(1100−25)×10×10-6=52.953・・・式(3)
となる。H1がH2よりも小さくなるので、セラミックス基板7はセッター5と接触し、台座3、4とセッター5とにより加圧される(図3中、(b))。つまり、昇温工程において、セラミックス基板7は非加圧状態から加圧状態に切り替わる。
51.842+51.842×(1400−25)×2×10-6=51.985・・・式(4)
となり、H2は、
50.000+50.000×(1400−25)×10×10-6+0.500+0.500×(1400−25)×10×10-6+1.000+1.000×(1400−25)×10×10-6=52.107・・・式(5)
となり、セラミックス基板7は台座3、4とセッター5とにより加圧される(図3中、(c))。なお、焼成により、セラミックス基板7の材料が焼結し、セラミックス基板7の厚さは0.900mmとなる。加圧して本焼成を行うことで緻密なセラミックス基板7を得ることができる。
51.842+51.842×(1100−25)×2×10-6=51.953・・・式(6)
となり、H2は、
50.000+50.000×(1100−25)×10×10-6+0.500+0.500×(1100−25)×10×10-6+0.900+0.900×(1100−25)×10×10-6=51.953・・・式(7)
となる。H1とH2が等しくなる。つまり、焼成装置1の温度を下げることで、セラミックス基板7は加圧状態から非加圧状態へ切り替わる(図3中、(d))。本焼成後に1100℃によって非加圧状態で焼鈍することで、残留応力の小さなセラミックス基板7を得ることができる。
50.000+0.500+0.900=51.400・・・式(8)
となる。
50.000+0.500+1.000=51.500(mm)・・・式(9)
となる。スペーサ6の高さH11が台座13と台座14とセラミックス基板17との各厚さを合わせた高さH12よりも小さいので、セラミックス基板17は、セッター2と台座13、14と、セッター5とにより加圧される(図8中、(a))。
51.000+51.000×(1100−25)×10×10-6=51.548(mm)・・・式(10)
となり、H12は、
50.000+50.000×(1100−25)×10×10-6+0.500+0.500×(1100−25)×10×10-6+1.000+1.000×(1100−25)×10×10-6=51.624(mm)・・・式(11)
となる。セラミックス基板17はステップS200と同様に加圧される(図8中、(b))。
51.000+51.000×(1400−25)×10×10-6=51.702(mm)・・・式(12)
となり、H12は、
50.000+50.000×(1400−25)×2×10-6+0.500+0.500×(1400−25)×10×10-6+0.900+0.900×(1400−25)×10×10-6=51.560(mm)・・・式(13)
となり、H11がH12よりも大きくなるので、セラミックス基板17とセッター5との間に隙間が生じ、セラミックス基板17は非加圧状態となる(図8中、(c))。
51.000+51.000×(1100−25)×10×10-6=51.548(mm)・・・式(14)
となり、セラミックス基板17に反りが0.2mm発生しているとするとH12は、
50.000+50.000×(1100−25)×2×10-6+0.500+0.500×(1100−25)×10×10-6+0.900+0.900×(1100−25)×10×10-6+0.2=51.718(mm)・・・式(15)
となり、セラミックス基板17は加圧される。ここでは焼成装置10の温度が1100℃と比較的に高く、セラミックス基板17は加圧されるので、ステップS202で発生した反りが矯正される(図8中、(e)、(f))。
50.000+0.500+0.900=51.400(mm)・・・式(8)
なり、セラミックス基板17は加圧状態で冷却される。
2 セッター(第1のセッター)
3、13 台座
4、14 台座
5 セッター(第2のセッター)
6、16 スペーサ
7、17 セラミックス基板
20 固体電解質型燃料電池
Claims (4)
- 第1のセッターと、
前記第1のセッターと向かい合う第2のセッターと、
前記第1のセッターと前記第2のセッターとの間に、前記第1のセッターと当接するスペーサと、
前記第1のセッターと前記第2のセッターとの間に、配置するセラミックス基板と、を備え、
前記スペーサの温度変化に伴う熱膨張または熱収縮により、前記第1のセッターと前記第2のセッターとの距離を変化させて、前記セラミックス基板の焼成温度で前記セラミックス基板を非加圧状態とし、焼鈍温度で前記セラミックス基板を加圧状態とすることを特徴とするセラミックス基板の焼成装置。 - 前記第1のセッターと前記セラミックス基板との間に台座を備え、
前記スペーサと前記台座との温度変化に伴う熱膨張量または熱収縮量の差によって、前記焼成温度で前記セラミックス基板を前記非加圧状態とし、前記焼鈍温度で前記セラミックス基板を前記加圧状態とすることを特徴とする請求項1に記載のセラミックス基板の焼成装置。 - 第1のセッターと、
前記第1のセッターと向かい合う第2のセッターと、
前記第1のセッターと前記第2のセッターとの間にスペーサと、を備え、
前記第1のセッターと前記第2のセッターとの間に、セラミックス基板を配置し、前記セラミックス基板を焼成するセラミックス基板の焼成方法において、
前記第1のセッターと前記第2のセッターとの間にセラミックス基板を配置する工程と、
前記セラミックス基板を焼成する焼成工程と、
焼成した前記セラミックス基板を焼鈍する焼鈍工程と、を備え、
前記スペーサの温度変化に伴う熱膨張または熱収縮により、前記第1のセッターと前記第2のセッターとの距離を変化させて、前記焼成工程と前記焼鈍工程との間で前記セラミックス基板の加圧状態と非加圧状態を切り替え、
前記焼成工程は、前記セラミックス基板を非加圧状態とし、
前記焼鈍工程は、前記セラミックス基板を加圧状態とすることを特徴とするセラミックス基板の焼成方法。 - 前記第1のセッターと前記セラミックス基板との間に台座を備え、
前記スペーサと前記台座との温度変化に伴う熱膨張量または熱収縮量の差によって、前記焼成工程では、前記セラミックス基板を前記非加圧状態とし、前記焼鈍工程では、前記セラミックス基板を前記加圧状態とすることを特徴とする請求項3に記載のセラミックス基板の焼成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006064440A JP5205700B2 (ja) | 2006-03-09 | 2006-03-09 | セラミックス基板の焼成装置およびセラミックス基板の焼成方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006064440A JP5205700B2 (ja) | 2006-03-09 | 2006-03-09 | セラミックス基板の焼成装置およびセラミックス基板の焼成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007240085A JP2007240085A (ja) | 2007-09-20 |
JP5205700B2 true JP5205700B2 (ja) | 2013-06-05 |
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ID=38585788
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006064440A Expired - Fee Related JP5205700B2 (ja) | 2006-03-09 | 2006-03-09 | セラミックス基板の焼成装置およびセラミックス基板の焼成方法 |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5205700B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4994287B2 (ja) * | 2008-04-01 | 2012-08-08 | 株式会社ノリタケカンパニーリミテド | 固体酸化物形燃料電池の製造方法および該製造に用いる焼成治具 |
JP5435385B2 (ja) * | 2009-07-29 | 2014-03-05 | Tdk株式会社 | 固体酸化物型燃料電池及び固体酸化物型燃料電池の製造方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62128973A (ja) * | 1985-11-25 | 1987-06-11 | 松下電工株式会社 | セラミツクス基板の焼成法 |
JPH04144970A (ja) * | 1990-10-05 | 1992-05-19 | Toyota Motor Corp | 圧電セラミックスの焼成構造 |
JPH04144971A (ja) * | 1990-10-05 | 1992-05-19 | Toyota Motor Corp | 圧電セラミックスの焼成構造 |
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2006
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---|---|
JP2007240085A (ja) | 2007-09-20 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
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